JPH081450A - Positioning confirming device and assembling device using it - Google Patents
Positioning confirming device and assembling device using itInfo
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- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 11
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 8
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 8
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 4
- 244000144985 peep Species 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、主として液晶表示器
(LCD:Liquid Crystal Display)用パネル(透明
体)の上面にICチップ等の電子部品(対象物)を取り
付ける際に、透明体に対する対象物の位置決め状態を確
認するための装置およびこれを用いた組立装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is mainly applied to a transparent body when mounting an electronic component (object) such as an IC chip on the upper surface of a liquid crystal display (LCD) panel (transparent body). BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for confirming a positioning state of an object and an assembling device using the device.
【0002】[0002]
【従来の技術】上記LCDは、図8(A)に示すよう
に、ガラス製のLCD用パネル9の画面部分9aの周囲
に形成された周囲部(以下、パネル周囲部という)9b
の上面にICチップ10を圧着接合して組み立てられ
る。ICチップ10の下面には多数のバンプ(接点)が
きわめて小さなピッチ(例えば、50μm)で形成され
ており、これに対応してパネル周囲部9bの上面にも多
数の配線パターンが狭ピッチで印刷されている。このた
め、両者を接合するときは、各バンプの位置と各配線パ
ターンの位置とが合うように正確な位置決めが必要とな
る。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 8A, the above LCD has a peripheral portion (hereinafter referred to as a panel peripheral portion) 9b formed around a screen portion 9a of a glass LCD panel 9.
The IC chip 10 is assembled by pressure bonding to the upper surface of the. A large number of bumps (contact points) are formed on the lower surface of the IC chip 10 at an extremely small pitch (for example, 50 μm), and correspondingly, a large number of wiring patterns are printed on the upper surface of the panel peripheral portion 9b at a narrow pitch. Has been done. Therefore, when joining the two, it is necessary to perform accurate positioning so that the positions of the bumps and the positions of the wiring patterns match.
【0003】ところで、このような組立作業については
自動化が進められており、図8(B),(C)に示すよ
うな自動組立装置100が用いられる。この組立装置
は、LCD用パネル9を載置固定するためのセット台1
02と、セット台102の上方にてICチップ10を吸
着するヒーターチップ107とから構成される。この組
立装置100では、図8(B)に示すように、まずセッ
ト台102とヒーターチップ107の間に上下両方向の
視野を有する上下視野顕微鏡106が挿入される。この
顕微鏡106によって撮影された配線パターンとバンプ
の合成(重ね合わせ)画像は、モニタMに表示される。
作業者はこの表示を見てLCD用パネルとICチップの
位置ずれを確認することができ、この位置ずれがなくな
るようにセット台102の位置(X,Y,θ)を調整す
る。こうしてLCD用パネル9の上方にて位置決めされ
たICチップ10は、図8(C)に示すように下動した
ヒーターチップ107によってパネル周囲部9bに押し
付けられて加熱され、各バンプBが各配線パターンPに
接合される。By the way, automation of such assembling work is in progress, and an automatic assembling apparatus 100 as shown in FIGS. 8B and 8C is used. This assembling apparatus includes a set base 1 for mounting and fixing an LCD panel 9.
02 and a heater chip 107 that adsorbs the IC chip 10 above the set table 102. In this assembling apparatus 100, as shown in FIG. 8 (B), first, a vertical field microscope 106 having both vertical field of view is inserted between the setting table 102 and the heater chip 107. The composite (superimposed) image of the wiring pattern and the bump taken by the microscope 106 is displayed on the monitor M.
The operator can confirm the positional deviation between the LCD panel and the IC chip by looking at this display, and adjusts the position (X, Y, θ) of the set table 102 so that this positional deviation disappears. The IC chip 10 thus positioned above the LCD panel 9 is pressed against the panel peripheral portion 9b and heated by the heater chip 107 moved downward as shown in FIG. 8C, and each bump B is connected to each wiring. It is joined to the pattern P.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
組立装置では、上下視野顕微鏡自体が正確に位置決め確
認を行うための設置位置からずれていたり、上下視野顕
微鏡の上下方向軸が傾いていたりしている場合が考えら
れ、位置決め精度についての信頼性に欠けるという問題
がある。なお、ICチップ下動後に、顕微鏡(下方視野
のもの)を再度用いて、ICチップの上面側から接合完
了後の位置決め確認を行うことも考えられるが、バンプ
と配線パターンの接合状態が直接見れるわけではないの
でさほど信頼性向上には役立たない。However, in the above assembling apparatus, the vertical field microscope itself is displaced from the installation position for accurate positioning confirmation, or the vertical axis of the vertical field microscope is tilted. However, there is a problem that the positioning accuracy is not reliable. It should be noted that after the IC chip is moved down, it is conceivable to use the microscope (with a lower field of view) again to confirm the positioning after the bonding is completed from the upper surface side of the IC chip, but the bonding state of the bump and the wiring pattern can be seen directly. It doesn't mean that it doesn't improve reliability so much.
【0005】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであり、透明体(LCD用パネル)と対象物(IC
チップ)との位置決め精度の確認を容易に行えるように
した位置決め確認装置およびこれを用いた組立装置を提
供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and a transparent body (LCD panel) and an object (IC) are provided.
It is an object of the present invention to provide a positioning confirmation device and a assembling device using the same so that the positioning accuracy with a chip can be easily confirmed.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の位置決め確認装置は、セット台に載置固
定された透明体(LCD用パネル)の上面に対する対象
物(電子部品)の位置決め状態を、撮影手段によって撮
影した画像により確認できるようにしたものであり、透
明な材料により形成したセット台又は上下方向に貫通す
る貫通穴を形成したセット台を用い、撮影手段によって
セット台の下側から、透明なセット台又は上記貫通穴お
よび透明体を通して対象物を撮影するように構成され
る。In order to achieve the above-mentioned object, the positioning confirmation apparatus of the present invention is an object (electronic component) on the upper surface of a transparent body (LCD panel) mounted and fixed on a set base. The positioning state of the can be confirmed by the image taken by the photographing means, and the setting table formed by the photographing means is used by using the setting table made of a transparent material or the setting table having through holes penetrating vertically. From below, the object is photographed through the transparent set table or the through hole and the transparent body.
【0007】また、本発明の組立装置は、上記のような
セット台と、このセット台に載置固定された透明体の上
面に対象物を移動させて取り付ける取付手段と、取付手
段によって対象物が透明体の上面に移動されたときに、
セット台の下側から透明なセット台又は貫通穴および透
明体を通して対象物を撮影し、撮影画像によりこれらの
位置決め状態の確認を行わせる位置決め確認手段とから
構成される。そして、この組立装置では、位置決め確認
手段により上記位置決め状態が確認してから対象物の透
明体への取付けを行うことができるようにしている。Further, the assembling apparatus of the present invention is such that the set table as described above, a mounting means for moving and mounting the object on the upper surface of the transparent body mounted and fixed on the set table, and the object by the mounting means. When is moved to the upper surface of the transparent body,
Positioning confirmation means for photographing the object from the lower side of the setting table through the transparent setting table or the through hole and the transparent body, and for confirming the positioning state of these by the photographed image. In this assembly apparatus, the object can be attached to the transparent body after the positioning state is confirmed by the positioning confirmation means.
【0008】[0008]
【作用】上記のような位置決め確認装置では、撮影手段
が透明体の下側(裏側)から透明体と対象物の位置ずれ
状況(方向や量)を直接撮影し、画像として表示する。
このため、この位置決め確認手段を備えた組立装置にお
いて、このような位置決め確認を行った上で上下視野顕
微鏡の位置調整等を行うようにすれば、組立装置の精度
確認を容易且つ正確に行うことができる。In the positioning confirmation apparatus as described above, the photographing means directly photographs the positional deviation state (direction and amount) of the transparent body and the object from the lower side (back side) of the transparent body and displays it as an image.
For this reason, in the assembling apparatus equipped with this positioning confirming means, if the above-mentioned positioning confirmation is performed and then the position adjustment of the vertical field microscope is performed, the accuracy of the assembling apparatus can be confirmed easily and accurately. You can
【0009】[0009]
【実施例】以下、本発明の好ましい実施例について図面
を参照しながら説明する。図1には、本発明に係る位置
決め確認装置を示している。この位置決め確認装置1は
LCDの組立装置の一部に組み込まれており、LCDセ
ット台2と、セット台位置調整装置3と、下部顕微鏡4
と、テレビモニタMとから構成される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a positioning confirmation device according to the present invention. The positioning confirmation device 1 is incorporated in a part of an LCD assembling device, and includes an LCD setting table 2, a setting table position adjusting device 3, and a lower microscope 4.
And a TV monitor M.
【0010】LCDセット台2は、図2(A),(B)
にも示すように、石英ガラス等の透明な材料により矩形
板状に形成されている。このようなLCDセット台2に
は、LCD用パネル9が載置される。なお、このLCD
用パネル9は、図8(A)で示したものと同じものであ
り、画面部分9aとL字形状の周囲部9bとを有する。
なお、LCD用パネル9は空気負圧を利用してセット台
2を吸着固定することができる。The LCD set base 2 is shown in FIGS. 2 (A) and 2 (B).
As also shown in FIG. 3, it is formed in a rectangular plate shape with a transparent material such as quartz glass. An LCD panel 9 is mounted on such an LCD set base 2. This LCD
The panel 9 for use is the same as that shown in FIG. 8A, and has a screen portion 9a and an L-shaped peripheral portion 9b.
The LCD panel 9 can adsorb and fix the set base 2 by using negative air pressure.
【0011】セット台位置調整装置3は、図1に示すよ
うに、上部にLCDセット台2が載置固定される圧着テ
ーブル31と、この圧着テーブル31を水平旋回させる
旋回テーブル32と、旋回テーブル32を前後(Y)方
向に移動させるY軸テーブル33と、このY軸テーブル
33を左右(X)方向に移動させるX軸テーブル34と
から構成される。圧着テーブル31は、図2(A)に詳
しく示すように、中空円柱形状に形成されて上面に円形
の矩形の開口部31a(図2(B)参照)を有する胴部
31bと、この開口部31aを塞ぐように胴部31bの
上面に取り付けられた固定板31cとから構成されてい
る。図2(B)に示すように、固定板31cの下側(図
1でいう手前側)と右側には、固定板31cの側端に沿
って延びる貫通孔(覗き穴)31dが形成されている。
なお、覗き穴31dは開口部31aの内側に位置する。As shown in FIG. 1, the setting table position adjusting device 3 has a pressure bonding table 31 on which the LCD setting table 2 is mounted and fixed, a turning table 32 for horizontally turning the pressing table 31, and a turning table. A Y-axis table 33 that moves the Y-axis table 32 in the front-back (Y) direction and an X-axis table 34 that moves the Y-axis table 33 in the left-right (X) direction. As shown in detail in FIG. 2 (A), the crimping table 31 has a body portion 31b formed in a hollow columnar shape and having a circular rectangular opening portion 31a (see FIG. 2 (B)) on the upper surface, and this opening portion. It is composed of a fixed plate 31c attached to the upper surface of the body 31b so as to cover 31a. As shown in FIG. 2B, through-holes (peep holes) 31d extending along the side edges of the fixed plate 31c are formed on the lower side (front side in FIG. 1) and the right side of the fixed plate 31c. There is.
The peep hole 31d is located inside the opening 31a.
【0012】このように形成された固定板31cの上面
には、図2(A)に示すように、上述したLCDセット
台2が載置される。この状態でLCDセット台2は固定
板31c(圧着テーブル31)に固定される。この際、
覗き穴31d の上方にはLCDセット台2に固定され
たLCD用パネル9の周囲部9bが位置する。また、胴
部31bの左側面には、後述する下部顕微鏡8が挿入で
きるカメラ挿入穴31eが形成されている。なお、図2
(B)に示すように、カメラ挿入穴31eの幅は、セッ
ト台2に固定されたパネル9の幅より若干大きい。On the upper surface of the fixing plate 31c thus formed, the above-mentioned LCD set base 2 is placed, as shown in FIG. 2 (A). In this state, the LCD set base 2 is fixed to the fixed plate 31c (pressure bonding table 31). On this occasion,
A peripheral portion 9b of the LCD panel 9 fixed to the LCD set base 2 is located above the peep hole 31d. Further, a camera insertion hole 31e into which a lower microscope 8 described later can be inserted is formed on the left side surface of the body portion 31b. Note that FIG.
As shown in (B), the width of the camera insertion hole 31e is slightly larger than the width of the panel 9 fixed to the set table 2.
【0013】下部顕微鏡4は、図1に示すように、セッ
ト台位置調整装置3の左方に配置されている。この下部
顕微鏡4は、基台41を左右(X)方向に移動させる移
動テーブル40と、レンズ42aを右方に延ばして基台
41の上面に取り付けられたテレビカメラ42と、基台
41におけるレンズ42aの右方に取り付けられた挿入
鏡43とから構成されている。テレビカメラ42は、白
黒タイプのCCDカメラであり、また、レンズ42aは
約50〜200倍の間で倍率の調整が可能である。挿入
鏡43は、図3に詳しく示すように、円筒状のカバー4
3aと、このカバー43aの先端に左上45度の方向を
向いて取り付けられたミラー(普通の鏡)44とから構
成される。カバー43aにおけるミラー44の上方には
開口部43bが形成されている。このため、開口部43
bを通って上方から入射した光L4はミラー44にて左
方に反射し、レンズ42aに入射する。なお、移動テー
ブル40の作動により、挿入鏡43は圧着テーブル31
に形成されたカメラ挿入穴31eを通って、圧着テーブ
ル31内に入ったり出たりすることができる。As shown in FIG. 1, the lower microscope 4 is arranged on the left side of the setting table position adjusting device 3. The lower microscope 4 includes a moving table 40 that moves the base 41 in the left-right (X) direction, a television camera 42 that is mounted on the upper surface of the base 41 by extending a lens 42a to the right, and a lens on the base 41. It is composed of an insertion mirror 43 attached to the right side of 42a. The television camera 42 is a black-and-white type CCD camera, and the lens 42a can adjust the magnification between about 50 and 200 times. The insertion mirror 43 has a cylindrical cover 4 as shown in detail in FIG.
3a, and a mirror (ordinary mirror) 44 attached to the tip of the cover 43a facing the direction of the upper left 45 degrees. An opening 43b is formed in the cover 43a above the mirror 44. Therefore, the opening 43
The light L4 incident from above through b is reflected to the left by the mirror 44 and is incident on the lens 42a. By the operation of the moving table 40, the insertion mirror 43 is moved to the crimp table 31
It is possible to go in and out of the crimping table 31 through the camera insertion hole 31e formed in the.
【0014】テレビモニタMは9インチ前後の白黒テレ
ビであり、下部顕微鏡7により撮影された拡大画像およ
び後述する上下視野顕微鏡6により撮影された拡大画像
を選択的に表示する。The television monitor M is a 9-inch black and white television, and selectively displays an enlarged image taken by the lower microscope 7 and an enlarged image taken by the vertical field microscope 6 described later.
【0015】そして組立装置には、このように構成され
る位置決め確認装置に加えて、上下視野顕微鏡6とヒー
タープレス7とが備えられている。上下視野顕微鏡6
は、図4に示すように2台のテレビカメラ62と、ビー
ムスプリッター63とから構成される。テレビカメラ6
2は、下部顕微鏡7に用いられているものと同じ白黒タ
イプのCCDカメラであり、また、レンズ62aは約5
0〜200倍の間で倍率の調整が可能である。The assembling apparatus is provided with a vertical field microscope 6 and a heater press 7 in addition to the positioning confirmation apparatus thus constructed. Vertical field microscope 6
Is composed of two television cameras 62 and a beam splitter 63, as shown in FIG. TV camera 6
Reference numeral 2 is the same black-and-white type CCD camera used in the lower microscope 7, and the lens 62a is approximately 5
It is possible to adjust the magnification between 0 and 200 times.
【0016】ビームスプリッター63は、十字形状に形
成された本体カバーを有する。この本体カバーは、縦方
向に延びて上下端が開口した第1カバー部64aと、左
右方向に延びて後面両端が開口した第2カバー部64b
とからなる。なお、図示はしないが、第1カバー部64
aと第2カバー部64bとが合わさった部分は互いに開
口しており、これらの内部空間は連通している。また、
ビームスプリッター63は、図5に詳しく示すように、
本体カバー内の所定位置に配置されたミラー65〜68
を有する。第1カバー部64aの上下方向中央部には、
第1ミラー65が配置されている。この第1ミラー65
は後方斜め下45度の方向を向いている。この第1ミラ
ー65はいわゆるハーフミラーであり、入射した光束の
一部を反射し残りを透過させるという性質を有する。ま
た、第1カバー部64aの上下方向中央部には、第1ミ
ラー65の下端部と同じ位置から垂直に立ち上がって後
方を向いた第2ミラー(普通の鏡)66が配置されてい
る。The beam splitter 63 has a main body cover formed in a cross shape. The main body cover includes a first cover portion 64a that extends in the vertical direction and has upper and lower ends opened, and a second cover portion 64b that extends in the left-right direction and has both rear end portions opened.
Consists of Although not shown, the first cover portion 64
A portion where a and the second cover portion 64b are combined is open to each other, and these internal spaces communicate with each other. Also,
The beam splitter 63, as shown in detail in FIG.
Mirrors 65 to 68 arranged at predetermined positions in the body cover
Have. At the central portion in the vertical direction of the first cover portion 64a,
The first mirror 65 is arranged. This first mirror 65
Faces diagonally downward 45 degrees. The first mirror 65 is a so-called half mirror, and has a property of reflecting a part of the incident light beam and transmitting the rest. A second mirror (ordinary mirror) 66 that vertically rises from the same position as the lower end of the first mirror 65 and faces rearward is disposed at the center of the first cover portion 64a in the vertical direction.
【0017】一方、第2カバー部64bの左右方向中央
部には、2枚の第3ミラー(普通の鏡)67,67が配
置されている。これら第3ミラー67,67はそれぞ
れ、中央を境にして前方外向きで斜め45度の方向を向
いている。さらに、第2カバー部64bの左右方向両端
部にはそれぞれ第4ミラー(普通の鏡)68,68が配
置されている。これら第4ミラー68,68はそれぞれ
後方内向きで斜め45度の方向を向いている。On the other hand, two third mirrors (ordinary mirrors) 67, 67 are arranged at the center of the second cover portion 64b in the left-right direction. Each of these third mirrors 67, 67 faces forward and outward at an angle of 45 degrees with the center as a boundary. Further, fourth mirrors (ordinary mirrors) 68, 68 are arranged at both left and right ends of the second cover portion 64b. Each of the fourth mirrors 68, 68 faces rearward and inward at an angle of 45 degrees.
【0018】このように構成されたビームスプリッター
63では、第1カバー部64aの下端開口から第1ミラ
ー65の下面に入射した光の一部(L1,L1′)は後
方に反射する。この反射光(L2,L2′)は、第3ミ
ラー67にて反射し、左又は右方向に進む。さらにこの
反射光(L3,L3′)は、第4ミラー68にて反射し
て後方に進み、テレビカメラ62のレンズ62a,62
aに入射する(即ち、各第4ミラー68に写った像が各
テレビカメラ62に撮影される)。一方、第1カバー部
64aの上端開口から第1ミラー65の上面に入射した
光の一部(L4,L4′)は前方に反射する。この反射
光は第2ミラー66にて反射し後方に進む。そして、こ
の反射光の一部(L5,L5′)は、第1ミラー65を
通過して後方に進み、第3ミラー67および第4ミラー
68にて反射して(L6,L6′)、レンズ62a,6
2aに入射する。このため、第1カバー部64aの上下
に対象物が存在すれば、これら対象物の左右半分ずつの
像がそれぞれ重なった状態で各テレビカメラ62に撮影
される。In the beam splitter 63 thus constructed, a part (L1, L1 ') of the light incident on the lower surface of the first mirror 65 from the lower end opening of the first cover portion 64a is reflected backward. The reflected light (L2, L2 ') is reflected by the third mirror 67 and travels leftward or rightward. Further, the reflected light (L3, L3 ') is reflected by the fourth mirror 68 and travels backward, and the lenses 62a, 62 of the television camera 62 are reflected.
It is incident on a (that is, the image captured by each fourth mirror 68 is captured by each television camera 62). On the other hand, a part (L4, L4 ') of the light incident on the upper surface of the first mirror 65 from the upper end opening of the first cover portion 64a is reflected forward. This reflected light is reflected by the second mirror 66 and travels backward. Then, a part (L5, L5 ') of this reflected light passes through the first mirror 65 and travels backward, is reflected by the third mirror 67 and the fourth mirror 68 (L6, L6'), and the lens 62a, 6
It is incident on 2a. Therefore, if there are objects above and below the first cover portion 64a, the respective left and right halves of these objects are captured by the respective television cameras 62.
【0019】ヒータープレス7は、図1に示すように、
セット台位置調整装置3の上方に配置され、組立装置の
フレーム(図示せず)に固定された本体カバー71を有
して構成される。ヒータープレス7は、図示しないパル
スヒータにより加熱されるヒーターチップ74を下端部
に上下移動自在に備えている。ヒーターチップ74に
は、図6に示すように、空気負圧を利用してICチップ
10を吸着することができる。なお、ICチップ10
は、図6に示すチップ供給装置5のトレー51上に載せ
られてヒーターチップ74の下方に搬送される。The heater press 7 is, as shown in FIG.
It is arranged above the set table position adjusting device 3 and has a main body cover 71 fixed to a frame (not shown) of the assembling device. The heater press 7 is provided with a heater chip 74, which is heated by a pulse heater (not shown), at its lower end so as to be vertically movable. As shown in FIG. 6, the heater chip 74 can adsorb the IC chip 10 using negative air pressure. The IC chip 10
Is placed on the tray 51 of the chip supply device 5 shown in FIG. 6 and conveyed below the heater chip 74.
【0020】次に、このように構成された組立装置の初
期設定作業、即ち、精度出し作業について説明する。ま
ず、図7(A)に示すように、ICチップ10を吸着さ
せたヒータープレス7を下動させ、セット台2に固定さ
れたLCD用バネル9の周囲部9bにICチップ10を
接近させる。一方、下部顕微鏡4を右動(前進)させて
挿入鏡43を圧着テーブル31内に挿入させる。このと
き、挿入鏡43の開口部43bを覗き窓31dの真下ま
で移動させる。これにより、ミラー44には、覗き窓3
1dおよび透明なセット台2を通してバンプBおよび配
線パターンPを裏側から見た像が写る。これをテレビカ
メラ42によって撮影してテレビモニタMに表示すれ
ば、図7(B)に示すように、バンプBと配線パターン
Pとの位置ずれの有無を確認することができる。位置ず
れがあるときは、セット台位置調整装置3を作動させて
LCD用パネル9を移動させ、位置ずれをなくす。Next, the initial setting work of the assembling apparatus thus configured, that is, the precision setting work will be described. First, as shown in FIG. 7A, the heater press 7 having the IC chip 10 adsorbed thereon is moved downward to bring the IC chip 10 close to the peripheral portion 9b of the LCD panel 9 fixed to the set table 2. On the other hand, the lower microscope 4 is moved to the right (forward) to insert the insertion mirror 43 into the pressure bonding table 31. At this time, the opening 43b of the insertion mirror 43 is moved to just below the viewing window 31d. As a result, the viewing window 3 is formed on the mirror 44.
An image of the bump B and the wiring pattern P viewed from the back side is seen through the transparent substrate 1d and 1d. If this is photographed by the television camera 42 and displayed on the television monitor M, it is possible to confirm whether or not there is a positional deviation between the bump B and the wiring pattern P, as shown in FIG. 7B. If there is a position shift, the set base position adjusting device 3 is operated to move the LCD panel 9 to eliminate the position shift.
【0021】次に、ヒータープレス7を上動させるとと
もに、上下視野顕微鏡6を前進させ、図4(A)に示す
ように、ビームスプリッター63における第1カバー部
64aの上下開口をそれぞれICチップ10の下面とパ
ネル周囲部9bに対向させる。これにより、ICチップ
10およびパネル周囲部9bが互いに重なった像が各テ
レビカメラ62によって撮影され、バンプBと配線パタ
ーンPの拡大合成画像が、図4(B)に示すようにテレ
ビモニタMに表示される。なお、図4(B)中左側に示
したモニタ画像は、図4(C)に示す配線パターンP中
の左下の視野F1に対応するものであり、右側に示した
モニタ画像は右上の視野F2に対応するものである。Next, the heater press 7 is moved upward and the vertical field microscope 6 is moved forward to move the upper and lower openings of the first cover portion 64a of the beam splitter 63 to the IC chip 10 as shown in FIG. 4 (A). The lower surface of the panel and the panel peripheral portion 9b. As a result, an image in which the IC chip 10 and the panel peripheral portion 9b overlap each other is captured by each television camera 62, and an enlarged composite image of the bump B and the wiring pattern P is displayed on the television monitor M as shown in FIG. 4B. Is displayed. The monitor image shown on the left side in FIG. 4B corresponds to the lower left field of view F1 in the wiring pattern P shown in FIG. 4C, and the monitor image shown on the right side is the upper right field of view F2. It corresponds to.
【0022】そして、これらモニタ画像中の配線パター
ンPの画像とバンプBの画像とがずれているときは、上
下視野顕微鏡6自体に位置ずれ又は上下方向軸の傾きが
あると判断できるので、配線パターンPの画像とバンプ
Bの画像とが重なるように上下視野顕微鏡6の位置等を
修正する。こうして組立装置の精度出しを容易且つ正確
に行うことができる。When the image of the wiring pattern P and the image of the bump B in these monitor images are deviated, it can be determined that the vertical field microscope 6 itself is misaligned or the vertical axis is tilted. The position of the vertical field microscope 6 is corrected so that the image of the pattern P and the image of the bump B overlap. In this way, the accuracy of the assembly device can be easily and accurately obtained.
【0023】組立装置の精度出しが終了した後は、まず
上下視野顕微鏡6を用いてパネル周囲部9bとICチッ
プ10の間の位置決め確認を行い、その後、ヒータープ
レス7を加熱および下動させてICチップ10をパネル
周囲部9bに圧着し、LCDの組立てが行われる。After the accuracy of the assembling apparatus is completed, the positioning between the panel peripheral portion 9b and the IC chip 10 is first confirmed using the vertical field microscope 6, and then the heater press 7 is heated and moved downward. The IC chip 10 is pressure-bonded to the panel peripheral portion 9b to assemble the LCD.
【0024】なお、上記実施例では、LCD用パネルに
対してICチップの圧着を行う組立装置について説明し
たが、本発明の組立装置は、例えば、プリント配線板に
対するICチップの取付けを行うものであってもよい。
また、上記実施例では、透明な材料により形成されたセ
ット台を用いたが、不透明な材料を用いて、図2等に示
す覗き穴31dに重なるような貫通穴を形成したセット
台を用いることもできる。この場合は、貫通穴と透明体
を通して対象物を撮影することができるので、透明なセ
ット台を用いた場合と同様な効果を得ることができる。In the above embodiment, the assembling apparatus for crimping the IC chip to the LCD panel has been described, but the assembling apparatus of the present invention is, for example, for attaching the IC chip to the printed wiring board. It may be.
Further, in the above-mentioned embodiment, the set table formed of the transparent material is used, but the set table formed of the opaque material and having the through hole overlapping the peep hole 31d shown in FIG. 2 and the like is used. You can also In this case, since the object can be photographed through the through hole and the transparent body, it is possible to obtain the same effect as in the case of using the transparent set table.
【0025】[0025]
【発明の効果】以上説明したように本発明の位置決め確
認装置では、透明体の下側(裏側)からこの透明体と対
象物とを撮影する。このため、両者の位置ずれ状況を撮
影画像から直接判断することができる。したがって、こ
の位置決め確認装置を用いた組立装置においては、初期
設定時等において精度確認を容易かつ正確に行うことが
できる。As described above, in the positioning confirmation apparatus of the present invention, the transparent body and the object are photographed from the lower side (back side) of the transparent body. Therefore, it is possible to directly determine the positional deviation between the two from the captured image. Therefore, in the assembling apparatus using this positioning confirmation apparatus, the accuracy confirmation can be easily and accurately performed at the time of initial setting.
【図1】本発明に係る位置決め確認装置およびこれを用
いた組立装置を示した斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a positioning confirmation device according to the present invention and an assembly device using the same.
【図2】上記組立装置を構成する圧着テーブルの側面断
面図および平面図である。2A and 2B are a side sectional view and a plan view of a crimping table which constitutes the assembling apparatus.
【図3】上記位置決め確認装置を構成する下部顕微鏡の
部分側面図である。FIG. 3 is a partial side view of a lower microscope which constitutes the positioning confirmation device.
【図4】上記組立装置を構成する上下視野顕微鏡の作動
説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory view of an up-down field microscope which constitutes the assembling apparatus.
【図5】上記上下視野顕微鏡の部分斜視図である。FIG. 5 is a partial perspective view of the above vertical field microscope.
【図6】上記組立装置を構成するヒータープレスおよび
チップ供給装置を示す概念図である。FIG. 6 is a conceptual diagram showing a heater press and a chip supply device that constitute the assembly device.
【図7】上記位置決め確認装置の作動説明図である。FIG. 7 is an operation explanatory view of the positioning confirmation device.
【図8】LCD用パネルの斜視図と従来の自動組立装置
の作動説明図である。FIG. 8 is a perspective view of an LCD panel and an operation explanatory view of a conventional automatic assembly apparatus.
2,102 セット台 6,106 上下視野顕微鏡 7 下部顕微鏡 9 LCD用パネル 10 ICチップ B バンプ P 配線パターン 2,102 set stand 6,106 vertical field microscope 7 lower microscope 9 LCD panel 10 IC chip B bump P wiring pattern
Claims (4)
に対する対象物の位置決め状態を、撮影手段によって撮
影した画像により確認できるようにした位置決め確認装
置であって、 前記セット台は透明な材料により形成されており、 前記撮影手段は、前記セット台の下側からこのセット台
および前記透明体を通して前記対象物を撮影することを
特徴とする位置決め確認装置。1. A positioning confirmation device capable of confirming a positioning state of an object with respect to an upper surface of a transparent body mounted and fixed on a set table by an image photographed by a photographing means, wherein the set table is transparent. The positioning confirmation apparatus is formed of a material, and the photographing means photographs the object from below the set table through the set table and the transparent body.
に対する対象物の位置決め状態を、撮影手段によって撮
影した画像により確認できるようにした位置決め確認装
置であって、 前記セット台には上下方向に貫通する貫通穴が形成され
ており、 前記撮影手段は、前記セット台の下側から前記貫通穴お
よび前記透明体を通して前記対象物を撮影することを特
徴とする位置決め確認装置。2. A positioning confirmation device capable of confirming a positioning state of an object with respect to an upper surface of a transparent body placed and fixed on a set table by an image photographed by a photographing means, wherein the set table has a vertical position. A positioning confirmation device is characterized in that a through hole penetrating in a direction is formed, and the photographing means photographs the object from below the set table through the through hole and the transparent body.
と、 このセット台に載置固定された透明体の上面に、対象物
を移動させて取り付ける取付手段と、 前記取付手段によって前記対象物が前記透明体の上面に
移動されたときに、前記セット台の下側からこのセット
台および前記透明体を通して前記対象物を撮影し、撮影
画像によって前記位置決め状態の確認を行わせる位置決
め確認手段とからなり、 この位置決め確認手段により前記位置決め状態を確認し
た後、前記取付手段による前記対象物の前記透明体への
取付を行うようにしたことを特徴とする組立装置。3. A set base made of a transparent material, a mounting means for mounting an object by moving it on the upper surface of a transparent body mounted and fixed on the set base, and the mounting means for mounting the object. From a positioning confirmation means for photographing the object through the set base and the transparent body from the lower side of the set base when moved to the upper surface of the transparent body and confirming the positioning state by the captured image. The assembly apparatus is characterized in that after the positioning state is confirmed by the positioning confirmation means, the object is attached to the transparent body by the attachment means.
ット台と、 このセット台に載置固定された透明体の上面に、対象物
を移動させて取り付ける取付手段と、 前記取付手段によって前記対象物が前記透明体の上面に
移動されたときに、前記セット台の下側から前記貫通穴
および前記透明体を通して前記対象物を撮影し、撮影画
像によって前記位置決め状態の確認を行わせる位置決め
確認手段とからなり、 この位置決め確認手段により前記位置決め状態を確認し
た後、前記取付手段による前記対象物の前記透明体への
取付を行うようにしたことを特徴とする組立装置。4. A set base having a through hole formed therethrough in the vertical direction, a mounting means for moving and mounting an object on an upper surface of a transparent body mounted and fixed on the set base, and the mounting means for mounting the object. When the object is moved to the upper surface of the transparent body, the object is photographed from the lower side of the set table through the through hole and the transparent body, and the positioning confirmation is performed by the photographed image to confirm the positioning state. An assembling apparatus comprising: means for attaching the object to the transparent body by the attaching means after confirming the positioning state by the positioning confirming means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15537794A JPH081450A (en) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | Positioning confirming device and assembling device using it |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15537794A JPH081450A (en) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | Positioning confirming device and assembling device using it |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH081450A true JPH081450A (en) | 1996-01-09 |
Family
ID=15604616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15537794A Pending JPH081450A (en) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | Positioning confirming device and assembling device using it |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081450A (en) |
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-
1994
- 1994-06-14 JP JP15537794A patent/JPH081450A/en active Pending
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