JPH081450A - 位置決め確認装置およびこれを用いた組立装置 - Google Patents
位置決め確認装置およびこれを用いた組立装置Info
- Publication number
- JPH081450A JPH081450A JP15537794A JP15537794A JPH081450A JP H081450 A JPH081450 A JP H081450A JP 15537794 A JP15537794 A JP 15537794A JP 15537794 A JP15537794 A JP 15537794A JP H081450 A JPH081450 A JP H081450A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning
- transparent body
- mounting
- transparent
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 11
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 8
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 8
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 4
- 244000144985 peep Species 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Image Input (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 透明体とこれに取り付けられる対象物との位
置決め精度の確認を容易に行えるようにする。 【構成】 本位置決め確認装置は、セット台2に載置固
定された透明体(LCD用パネル)9の上面に対する対
象物(電子部品)10の位置決め状態を、撮影手段42
aによって撮影した画像により確認できるようにしたも
のであり、透明な材料により形成したセット台又は上下
方向に貫通する貫通穴を形成したセット台を用い、撮影
手段によってセット台の下側から、透明なセット台又は
上記貫通穴および透明体9を通して対象物10を撮影す
るように構成される。また、この位置決め確認装置を用
いた組立装置では、位置決め確認装置により上記位置決
め状態を確認してから対象物10の透明体9への取付け
を行うことができる。
置決め精度の確認を容易に行えるようにする。 【構成】 本位置決め確認装置は、セット台2に載置固
定された透明体(LCD用パネル)9の上面に対する対
象物(電子部品)10の位置決め状態を、撮影手段42
aによって撮影した画像により確認できるようにしたも
のであり、透明な材料により形成したセット台又は上下
方向に貫通する貫通穴を形成したセット台を用い、撮影
手段によってセット台の下側から、透明なセット台又は
上記貫通穴および透明体9を通して対象物10を撮影す
るように構成される。また、この位置決め確認装置を用
いた組立装置では、位置決め確認装置により上記位置決
め状態を確認してから対象物10の透明体9への取付け
を行うことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、主として液晶表示器
(LCD:Liquid Crystal Display)用パネル(透明
体)の上面にICチップ等の電子部品(対象物)を取り
付ける際に、透明体に対する対象物の位置決め状態を確
認するための装置およびこれを用いた組立装置に関す
る。
(LCD:Liquid Crystal Display)用パネル(透明
体)の上面にICチップ等の電子部品(対象物)を取り
付ける際に、透明体に対する対象物の位置決め状態を確
認するための装置およびこれを用いた組立装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】上記LCDは、図8(A)に示すよう
に、ガラス製のLCD用パネル9の画面部分9aの周囲
に形成された周囲部(以下、パネル周囲部という)9b
の上面にICチップ10を圧着接合して組み立てられ
る。ICチップ10の下面には多数のバンプ(接点)が
きわめて小さなピッチ(例えば、50μm)で形成され
ており、これに対応してパネル周囲部9bの上面にも多
数の配線パターンが狭ピッチで印刷されている。このた
め、両者を接合するときは、各バンプの位置と各配線パ
ターンの位置とが合うように正確な位置決めが必要とな
る。
に、ガラス製のLCD用パネル9の画面部分9aの周囲
に形成された周囲部(以下、パネル周囲部という)9b
の上面にICチップ10を圧着接合して組み立てられ
る。ICチップ10の下面には多数のバンプ(接点)が
きわめて小さなピッチ(例えば、50μm)で形成され
ており、これに対応してパネル周囲部9bの上面にも多
数の配線パターンが狭ピッチで印刷されている。このた
め、両者を接合するときは、各バンプの位置と各配線パ
ターンの位置とが合うように正確な位置決めが必要とな
る。
【0003】ところで、このような組立作業については
自動化が進められており、図8(B),(C)に示すよ
うな自動組立装置100が用いられる。この組立装置
は、LCD用パネル9を載置固定するためのセット台1
02と、セット台102の上方にてICチップ10を吸
着するヒーターチップ107とから構成される。この組
立装置100では、図8(B)に示すように、まずセッ
ト台102とヒーターチップ107の間に上下両方向の
視野を有する上下視野顕微鏡106が挿入される。この
顕微鏡106によって撮影された配線パターンとバンプ
の合成(重ね合わせ)画像は、モニタMに表示される。
作業者はこの表示を見てLCD用パネルとICチップの
位置ずれを確認することができ、この位置ずれがなくな
るようにセット台102の位置(X,Y,θ)を調整す
る。こうしてLCD用パネル9の上方にて位置決めされ
たICチップ10は、図8(C)に示すように下動した
ヒーターチップ107によってパネル周囲部9bに押し
付けられて加熱され、各バンプBが各配線パターンPに
接合される。
自動化が進められており、図8(B),(C)に示すよ
うな自動組立装置100が用いられる。この組立装置
は、LCD用パネル9を載置固定するためのセット台1
02と、セット台102の上方にてICチップ10を吸
着するヒーターチップ107とから構成される。この組
立装置100では、図8(B)に示すように、まずセッ
ト台102とヒーターチップ107の間に上下両方向の
視野を有する上下視野顕微鏡106が挿入される。この
顕微鏡106によって撮影された配線パターンとバンプ
の合成(重ね合わせ)画像は、モニタMに表示される。
作業者はこの表示を見てLCD用パネルとICチップの
位置ずれを確認することができ、この位置ずれがなくな
るようにセット台102の位置(X,Y,θ)を調整す
る。こうしてLCD用パネル9の上方にて位置決めされ
たICチップ10は、図8(C)に示すように下動した
ヒーターチップ107によってパネル周囲部9bに押し
付けられて加熱され、各バンプBが各配線パターンPに
接合される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
組立装置では、上下視野顕微鏡自体が正確に位置決め確
認を行うための設置位置からずれていたり、上下視野顕
微鏡の上下方向軸が傾いていたりしている場合が考えら
れ、位置決め精度についての信頼性に欠けるという問題
がある。なお、ICチップ下動後に、顕微鏡(下方視野
のもの)を再度用いて、ICチップの上面側から接合完
了後の位置決め確認を行うことも考えられるが、バンプ
と配線パターンの接合状態が直接見れるわけではないの
でさほど信頼性向上には役立たない。
組立装置では、上下視野顕微鏡自体が正確に位置決め確
認を行うための設置位置からずれていたり、上下視野顕
微鏡の上下方向軸が傾いていたりしている場合が考えら
れ、位置決め精度についての信頼性に欠けるという問題
がある。なお、ICチップ下動後に、顕微鏡(下方視野
のもの)を再度用いて、ICチップの上面側から接合完
了後の位置決め確認を行うことも考えられるが、バンプ
と配線パターンの接合状態が直接見れるわけではないの
でさほど信頼性向上には役立たない。
【0005】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであり、透明体(LCD用パネル)と対象物(IC
チップ)との位置決め精度の確認を容易に行えるように
した位置決め確認装置およびこれを用いた組立装置を提
供することを目的とする。
ものであり、透明体(LCD用パネル)と対象物(IC
チップ)との位置決め精度の確認を容易に行えるように
した位置決め確認装置およびこれを用いた組立装置を提
供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の位置決め確認装置は、セット台に載置固
定された透明体(LCD用パネル)の上面に対する対象
物(電子部品)の位置決め状態を、撮影手段によって撮
影した画像により確認できるようにしたものであり、透
明な材料により形成したセット台又は上下方向に貫通す
る貫通穴を形成したセット台を用い、撮影手段によって
セット台の下側から、透明なセット台又は上記貫通穴お
よび透明体を通して対象物を撮影するように構成され
る。
めに、本発明の位置決め確認装置は、セット台に載置固
定された透明体(LCD用パネル)の上面に対する対象
物(電子部品)の位置決め状態を、撮影手段によって撮
影した画像により確認できるようにしたものであり、透
明な材料により形成したセット台又は上下方向に貫通す
る貫通穴を形成したセット台を用い、撮影手段によって
セット台の下側から、透明なセット台又は上記貫通穴お
よび透明体を通して対象物を撮影するように構成され
る。
【0007】また、本発明の組立装置は、上記のような
セット台と、このセット台に載置固定された透明体の上
面に対象物を移動させて取り付ける取付手段と、取付手
段によって対象物が透明体の上面に移動されたときに、
セット台の下側から透明なセット台又は貫通穴および透
明体を通して対象物を撮影し、撮影画像によりこれらの
位置決め状態の確認を行わせる位置決め確認手段とから
構成される。そして、この組立装置では、位置決め確認
手段により上記位置決め状態が確認してから対象物の透
明体への取付けを行うことができるようにしている。
セット台と、このセット台に載置固定された透明体の上
面に対象物を移動させて取り付ける取付手段と、取付手
段によって対象物が透明体の上面に移動されたときに、
セット台の下側から透明なセット台又は貫通穴および透
明体を通して対象物を撮影し、撮影画像によりこれらの
位置決め状態の確認を行わせる位置決め確認手段とから
構成される。そして、この組立装置では、位置決め確認
手段により上記位置決め状態が確認してから対象物の透
明体への取付けを行うことができるようにしている。
【0008】
【作用】上記のような位置決め確認装置では、撮影手段
が透明体の下側(裏側)から透明体と対象物の位置ずれ
状況(方向や量)を直接撮影し、画像として表示する。
このため、この位置決め確認手段を備えた組立装置にお
いて、このような位置決め確認を行った上で上下視野顕
微鏡の位置調整等を行うようにすれば、組立装置の精度
確認を容易且つ正確に行うことができる。
が透明体の下側(裏側)から透明体と対象物の位置ずれ
状況(方向や量)を直接撮影し、画像として表示する。
このため、この位置決め確認手段を備えた組立装置にお
いて、このような位置決め確認を行った上で上下視野顕
微鏡の位置調整等を行うようにすれば、組立装置の精度
確認を容易且つ正確に行うことができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の好ましい実施例について図面
を参照しながら説明する。図1には、本発明に係る位置
決め確認装置を示している。この位置決め確認装置1は
LCDの組立装置の一部に組み込まれており、LCDセ
ット台2と、セット台位置調整装置3と、下部顕微鏡4
と、テレビモニタMとから構成される。
を参照しながら説明する。図1には、本発明に係る位置
決め確認装置を示している。この位置決め確認装置1は
LCDの組立装置の一部に組み込まれており、LCDセ
ット台2と、セット台位置調整装置3と、下部顕微鏡4
と、テレビモニタMとから構成される。
【0010】LCDセット台2は、図2(A),(B)
にも示すように、石英ガラス等の透明な材料により矩形
板状に形成されている。このようなLCDセット台2に
は、LCD用パネル9が載置される。なお、このLCD
用パネル9は、図8(A)で示したものと同じものであ
り、画面部分9aとL字形状の周囲部9bとを有する。
なお、LCD用パネル9は空気負圧を利用してセット台
2を吸着固定することができる。
にも示すように、石英ガラス等の透明な材料により矩形
板状に形成されている。このようなLCDセット台2に
は、LCD用パネル9が載置される。なお、このLCD
用パネル9は、図8(A)で示したものと同じものであ
り、画面部分9aとL字形状の周囲部9bとを有する。
なお、LCD用パネル9は空気負圧を利用してセット台
2を吸着固定することができる。
【0011】セット台位置調整装置3は、図1に示すよ
うに、上部にLCDセット台2が載置固定される圧着テ
ーブル31と、この圧着テーブル31を水平旋回させる
旋回テーブル32と、旋回テーブル32を前後(Y)方
向に移動させるY軸テーブル33と、このY軸テーブル
33を左右(X)方向に移動させるX軸テーブル34と
から構成される。圧着テーブル31は、図2(A)に詳
しく示すように、中空円柱形状に形成されて上面に円形
の矩形の開口部31a(図2(B)参照)を有する胴部
31bと、この開口部31aを塞ぐように胴部31bの
上面に取り付けられた固定板31cとから構成されてい
る。図2(B)に示すように、固定板31cの下側(図
1でいう手前側)と右側には、固定板31cの側端に沿
って延びる貫通孔(覗き穴)31dが形成されている。
なお、覗き穴31dは開口部31aの内側に位置する。
うに、上部にLCDセット台2が載置固定される圧着テ
ーブル31と、この圧着テーブル31を水平旋回させる
旋回テーブル32と、旋回テーブル32を前後(Y)方
向に移動させるY軸テーブル33と、このY軸テーブル
33を左右(X)方向に移動させるX軸テーブル34と
から構成される。圧着テーブル31は、図2(A)に詳
しく示すように、中空円柱形状に形成されて上面に円形
の矩形の開口部31a(図2(B)参照)を有する胴部
31bと、この開口部31aを塞ぐように胴部31bの
上面に取り付けられた固定板31cとから構成されてい
る。図2(B)に示すように、固定板31cの下側(図
1でいう手前側)と右側には、固定板31cの側端に沿
って延びる貫通孔(覗き穴)31dが形成されている。
なお、覗き穴31dは開口部31aの内側に位置する。
【0012】このように形成された固定板31cの上面
には、図2(A)に示すように、上述したLCDセット
台2が載置される。この状態でLCDセット台2は固定
板31c(圧着テーブル31)に固定される。この際、
覗き穴31d の上方にはLCDセット台2に固定され
たLCD用パネル9の周囲部9bが位置する。また、胴
部31bの左側面には、後述する下部顕微鏡8が挿入で
きるカメラ挿入穴31eが形成されている。なお、図2
(B)に示すように、カメラ挿入穴31eの幅は、セッ
ト台2に固定されたパネル9の幅より若干大きい。
には、図2(A)に示すように、上述したLCDセット
台2が載置される。この状態でLCDセット台2は固定
板31c(圧着テーブル31)に固定される。この際、
覗き穴31d の上方にはLCDセット台2に固定され
たLCD用パネル9の周囲部9bが位置する。また、胴
部31bの左側面には、後述する下部顕微鏡8が挿入で
きるカメラ挿入穴31eが形成されている。なお、図2
(B)に示すように、カメラ挿入穴31eの幅は、セッ
ト台2に固定されたパネル9の幅より若干大きい。
【0013】下部顕微鏡4は、図1に示すように、セッ
ト台位置調整装置3の左方に配置されている。この下部
顕微鏡4は、基台41を左右(X)方向に移動させる移
動テーブル40と、レンズ42aを右方に延ばして基台
41の上面に取り付けられたテレビカメラ42と、基台
41におけるレンズ42aの右方に取り付けられた挿入
鏡43とから構成されている。テレビカメラ42は、白
黒タイプのCCDカメラであり、また、レンズ42aは
約50〜200倍の間で倍率の調整が可能である。挿入
鏡43は、図3に詳しく示すように、円筒状のカバー4
3aと、このカバー43aの先端に左上45度の方向を
向いて取り付けられたミラー(普通の鏡)44とから構
成される。カバー43aにおけるミラー44の上方には
開口部43bが形成されている。このため、開口部43
bを通って上方から入射した光L4はミラー44にて左
方に反射し、レンズ42aに入射する。なお、移動テー
ブル40の作動により、挿入鏡43は圧着テーブル31
に形成されたカメラ挿入穴31eを通って、圧着テーブ
ル31内に入ったり出たりすることができる。
ト台位置調整装置3の左方に配置されている。この下部
顕微鏡4は、基台41を左右(X)方向に移動させる移
動テーブル40と、レンズ42aを右方に延ばして基台
41の上面に取り付けられたテレビカメラ42と、基台
41におけるレンズ42aの右方に取り付けられた挿入
鏡43とから構成されている。テレビカメラ42は、白
黒タイプのCCDカメラであり、また、レンズ42aは
約50〜200倍の間で倍率の調整が可能である。挿入
鏡43は、図3に詳しく示すように、円筒状のカバー4
3aと、このカバー43aの先端に左上45度の方向を
向いて取り付けられたミラー(普通の鏡)44とから構
成される。カバー43aにおけるミラー44の上方には
開口部43bが形成されている。このため、開口部43
bを通って上方から入射した光L4はミラー44にて左
方に反射し、レンズ42aに入射する。なお、移動テー
ブル40の作動により、挿入鏡43は圧着テーブル31
に形成されたカメラ挿入穴31eを通って、圧着テーブ
ル31内に入ったり出たりすることができる。
【0014】テレビモニタMは9インチ前後の白黒テレ
ビであり、下部顕微鏡7により撮影された拡大画像およ
び後述する上下視野顕微鏡6により撮影された拡大画像
を選択的に表示する。
ビであり、下部顕微鏡7により撮影された拡大画像およ
び後述する上下視野顕微鏡6により撮影された拡大画像
を選択的に表示する。
【0015】そして組立装置には、このように構成され
る位置決め確認装置に加えて、上下視野顕微鏡6とヒー
タープレス7とが備えられている。上下視野顕微鏡6
は、図4に示すように2台のテレビカメラ62と、ビー
ムスプリッター63とから構成される。テレビカメラ6
2は、下部顕微鏡7に用いられているものと同じ白黒タ
イプのCCDカメラであり、また、レンズ62aは約5
0〜200倍の間で倍率の調整が可能である。
る位置決め確認装置に加えて、上下視野顕微鏡6とヒー
タープレス7とが備えられている。上下視野顕微鏡6
は、図4に示すように2台のテレビカメラ62と、ビー
ムスプリッター63とから構成される。テレビカメラ6
2は、下部顕微鏡7に用いられているものと同じ白黒タ
イプのCCDカメラであり、また、レンズ62aは約5
0〜200倍の間で倍率の調整が可能である。
【0016】ビームスプリッター63は、十字形状に形
成された本体カバーを有する。この本体カバーは、縦方
向に延びて上下端が開口した第1カバー部64aと、左
右方向に延びて後面両端が開口した第2カバー部64b
とからなる。なお、図示はしないが、第1カバー部64
aと第2カバー部64bとが合わさった部分は互いに開
口しており、これらの内部空間は連通している。また、
ビームスプリッター63は、図5に詳しく示すように、
本体カバー内の所定位置に配置されたミラー65〜68
を有する。第1カバー部64aの上下方向中央部には、
第1ミラー65が配置されている。この第1ミラー65
は後方斜め下45度の方向を向いている。この第1ミラ
ー65はいわゆるハーフミラーであり、入射した光束の
一部を反射し残りを透過させるという性質を有する。ま
た、第1カバー部64aの上下方向中央部には、第1ミ
ラー65の下端部と同じ位置から垂直に立ち上がって後
方を向いた第2ミラー(普通の鏡)66が配置されてい
る。
成された本体カバーを有する。この本体カバーは、縦方
向に延びて上下端が開口した第1カバー部64aと、左
右方向に延びて後面両端が開口した第2カバー部64b
とからなる。なお、図示はしないが、第1カバー部64
aと第2カバー部64bとが合わさった部分は互いに開
口しており、これらの内部空間は連通している。また、
ビームスプリッター63は、図5に詳しく示すように、
本体カバー内の所定位置に配置されたミラー65〜68
を有する。第1カバー部64aの上下方向中央部には、
第1ミラー65が配置されている。この第1ミラー65
は後方斜め下45度の方向を向いている。この第1ミラ
ー65はいわゆるハーフミラーであり、入射した光束の
一部を反射し残りを透過させるという性質を有する。ま
た、第1カバー部64aの上下方向中央部には、第1ミ
ラー65の下端部と同じ位置から垂直に立ち上がって後
方を向いた第2ミラー(普通の鏡)66が配置されてい
る。
【0017】一方、第2カバー部64bの左右方向中央
部には、2枚の第3ミラー(普通の鏡)67,67が配
置されている。これら第3ミラー67,67はそれぞ
れ、中央を境にして前方外向きで斜め45度の方向を向
いている。さらに、第2カバー部64bの左右方向両端
部にはそれぞれ第4ミラー(普通の鏡)68,68が配
置されている。これら第4ミラー68,68はそれぞれ
後方内向きで斜め45度の方向を向いている。
部には、2枚の第3ミラー(普通の鏡)67,67が配
置されている。これら第3ミラー67,67はそれぞ
れ、中央を境にして前方外向きで斜め45度の方向を向
いている。さらに、第2カバー部64bの左右方向両端
部にはそれぞれ第4ミラー(普通の鏡)68,68が配
置されている。これら第4ミラー68,68はそれぞれ
後方内向きで斜め45度の方向を向いている。
【0018】このように構成されたビームスプリッター
63では、第1カバー部64aの下端開口から第1ミラ
ー65の下面に入射した光の一部(L1,L1′)は後
方に反射する。この反射光(L2,L2′)は、第3ミ
ラー67にて反射し、左又は右方向に進む。さらにこの
反射光(L3,L3′)は、第4ミラー68にて反射し
て後方に進み、テレビカメラ62のレンズ62a,62
aに入射する(即ち、各第4ミラー68に写った像が各
テレビカメラ62に撮影される)。一方、第1カバー部
64aの上端開口から第1ミラー65の上面に入射した
光の一部(L4,L4′)は前方に反射する。この反射
光は第2ミラー66にて反射し後方に進む。そして、こ
の反射光の一部(L5,L5′)は、第1ミラー65を
通過して後方に進み、第3ミラー67および第4ミラー
68にて反射して(L6,L6′)、レンズ62a,6
2aに入射する。このため、第1カバー部64aの上下
に対象物が存在すれば、これら対象物の左右半分ずつの
像がそれぞれ重なった状態で各テレビカメラ62に撮影
される。
63では、第1カバー部64aの下端開口から第1ミラ
ー65の下面に入射した光の一部(L1,L1′)は後
方に反射する。この反射光(L2,L2′)は、第3ミ
ラー67にて反射し、左又は右方向に進む。さらにこの
反射光(L3,L3′)は、第4ミラー68にて反射し
て後方に進み、テレビカメラ62のレンズ62a,62
aに入射する(即ち、各第4ミラー68に写った像が各
テレビカメラ62に撮影される)。一方、第1カバー部
64aの上端開口から第1ミラー65の上面に入射した
光の一部(L4,L4′)は前方に反射する。この反射
光は第2ミラー66にて反射し後方に進む。そして、こ
の反射光の一部(L5,L5′)は、第1ミラー65を
通過して後方に進み、第3ミラー67および第4ミラー
68にて反射して(L6,L6′)、レンズ62a,6
2aに入射する。このため、第1カバー部64aの上下
に対象物が存在すれば、これら対象物の左右半分ずつの
像がそれぞれ重なった状態で各テレビカメラ62に撮影
される。
【0019】ヒータープレス7は、図1に示すように、
セット台位置調整装置3の上方に配置され、組立装置の
フレーム(図示せず)に固定された本体カバー71を有
して構成される。ヒータープレス7は、図示しないパル
スヒータにより加熱されるヒーターチップ74を下端部
に上下移動自在に備えている。ヒーターチップ74に
は、図6に示すように、空気負圧を利用してICチップ
10を吸着することができる。なお、ICチップ10
は、図6に示すチップ供給装置5のトレー51上に載せ
られてヒーターチップ74の下方に搬送される。
セット台位置調整装置3の上方に配置され、組立装置の
フレーム(図示せず)に固定された本体カバー71を有
して構成される。ヒータープレス7は、図示しないパル
スヒータにより加熱されるヒーターチップ74を下端部
に上下移動自在に備えている。ヒーターチップ74に
は、図6に示すように、空気負圧を利用してICチップ
10を吸着することができる。なお、ICチップ10
は、図6に示すチップ供給装置5のトレー51上に載せ
られてヒーターチップ74の下方に搬送される。
【0020】次に、このように構成された組立装置の初
期設定作業、即ち、精度出し作業について説明する。ま
ず、図7(A)に示すように、ICチップ10を吸着さ
せたヒータープレス7を下動させ、セット台2に固定さ
れたLCD用バネル9の周囲部9bにICチップ10を
接近させる。一方、下部顕微鏡4を右動(前進)させて
挿入鏡43を圧着テーブル31内に挿入させる。このと
き、挿入鏡43の開口部43bを覗き窓31dの真下ま
で移動させる。これにより、ミラー44には、覗き窓3
1dおよび透明なセット台2を通してバンプBおよび配
線パターンPを裏側から見た像が写る。これをテレビカ
メラ42によって撮影してテレビモニタMに表示すれ
ば、図7(B)に示すように、バンプBと配線パターン
Pとの位置ずれの有無を確認することができる。位置ず
れがあるときは、セット台位置調整装置3を作動させて
LCD用パネル9を移動させ、位置ずれをなくす。
期設定作業、即ち、精度出し作業について説明する。ま
ず、図7(A)に示すように、ICチップ10を吸着さ
せたヒータープレス7を下動させ、セット台2に固定さ
れたLCD用バネル9の周囲部9bにICチップ10を
接近させる。一方、下部顕微鏡4を右動(前進)させて
挿入鏡43を圧着テーブル31内に挿入させる。このと
き、挿入鏡43の開口部43bを覗き窓31dの真下ま
で移動させる。これにより、ミラー44には、覗き窓3
1dおよび透明なセット台2を通してバンプBおよび配
線パターンPを裏側から見た像が写る。これをテレビカ
メラ42によって撮影してテレビモニタMに表示すれ
ば、図7(B)に示すように、バンプBと配線パターン
Pとの位置ずれの有無を確認することができる。位置ず
れがあるときは、セット台位置調整装置3を作動させて
LCD用パネル9を移動させ、位置ずれをなくす。
【0021】次に、ヒータープレス7を上動させるとと
もに、上下視野顕微鏡6を前進させ、図4(A)に示す
ように、ビームスプリッター63における第1カバー部
64aの上下開口をそれぞれICチップ10の下面とパ
ネル周囲部9bに対向させる。これにより、ICチップ
10およびパネル周囲部9bが互いに重なった像が各テ
レビカメラ62によって撮影され、バンプBと配線パタ
ーンPの拡大合成画像が、図4(B)に示すようにテレ
ビモニタMに表示される。なお、図4(B)中左側に示
したモニタ画像は、図4(C)に示す配線パターンP中
の左下の視野F1に対応するものであり、右側に示した
モニタ画像は右上の視野F2に対応するものである。
もに、上下視野顕微鏡6を前進させ、図4(A)に示す
ように、ビームスプリッター63における第1カバー部
64aの上下開口をそれぞれICチップ10の下面とパ
ネル周囲部9bに対向させる。これにより、ICチップ
10およびパネル周囲部9bが互いに重なった像が各テ
レビカメラ62によって撮影され、バンプBと配線パタ
ーンPの拡大合成画像が、図4(B)に示すようにテレ
ビモニタMに表示される。なお、図4(B)中左側に示
したモニタ画像は、図4(C)に示す配線パターンP中
の左下の視野F1に対応するものであり、右側に示した
モニタ画像は右上の視野F2に対応するものである。
【0022】そして、これらモニタ画像中の配線パター
ンPの画像とバンプBの画像とがずれているときは、上
下視野顕微鏡6自体に位置ずれ又は上下方向軸の傾きが
あると判断できるので、配線パターンPの画像とバンプ
Bの画像とが重なるように上下視野顕微鏡6の位置等を
修正する。こうして組立装置の精度出しを容易且つ正確
に行うことができる。
ンPの画像とバンプBの画像とがずれているときは、上
下視野顕微鏡6自体に位置ずれ又は上下方向軸の傾きが
あると判断できるので、配線パターンPの画像とバンプ
Bの画像とが重なるように上下視野顕微鏡6の位置等を
修正する。こうして組立装置の精度出しを容易且つ正確
に行うことができる。
【0023】組立装置の精度出しが終了した後は、まず
上下視野顕微鏡6を用いてパネル周囲部9bとICチッ
プ10の間の位置決め確認を行い、その後、ヒータープ
レス7を加熱および下動させてICチップ10をパネル
周囲部9bに圧着し、LCDの組立てが行われる。
上下視野顕微鏡6を用いてパネル周囲部9bとICチッ
プ10の間の位置決め確認を行い、その後、ヒータープ
レス7を加熱および下動させてICチップ10をパネル
周囲部9bに圧着し、LCDの組立てが行われる。
【0024】なお、上記実施例では、LCD用パネルに
対してICチップの圧着を行う組立装置について説明し
たが、本発明の組立装置は、例えば、プリント配線板に
対するICチップの取付けを行うものであってもよい。
また、上記実施例では、透明な材料により形成されたセ
ット台を用いたが、不透明な材料を用いて、図2等に示
す覗き穴31dに重なるような貫通穴を形成したセット
台を用いることもできる。この場合は、貫通穴と透明体
を通して対象物を撮影することができるので、透明なセ
ット台を用いた場合と同様な効果を得ることができる。
対してICチップの圧着を行う組立装置について説明し
たが、本発明の組立装置は、例えば、プリント配線板に
対するICチップの取付けを行うものであってもよい。
また、上記実施例では、透明な材料により形成されたセ
ット台を用いたが、不透明な材料を用いて、図2等に示
す覗き穴31dに重なるような貫通穴を形成したセット
台を用いることもできる。この場合は、貫通穴と透明体
を通して対象物を撮影することができるので、透明なセ
ット台を用いた場合と同様な効果を得ることができる。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように本発明の位置決め確
認装置では、透明体の下側(裏側)からこの透明体と対
象物とを撮影する。このため、両者の位置ずれ状況を撮
影画像から直接判断することができる。したがって、こ
の位置決め確認装置を用いた組立装置においては、初期
設定時等において精度確認を容易かつ正確に行うことが
できる。
認装置では、透明体の下側(裏側)からこの透明体と対
象物とを撮影する。このため、両者の位置ずれ状況を撮
影画像から直接判断することができる。したがって、こ
の位置決め確認装置を用いた組立装置においては、初期
設定時等において精度確認を容易かつ正確に行うことが
できる。
【図1】本発明に係る位置決め確認装置およびこれを用
いた組立装置を示した斜視図である。
いた組立装置を示した斜視図である。
【図2】上記組立装置を構成する圧着テーブルの側面断
面図および平面図である。
面図および平面図である。
【図3】上記位置決め確認装置を構成する下部顕微鏡の
部分側面図である。
部分側面図である。
【図4】上記組立装置を構成する上下視野顕微鏡の作動
説明図である。
説明図である。
【図5】上記上下視野顕微鏡の部分斜視図である。
【図6】上記組立装置を構成するヒータープレスおよび
チップ供給装置を示す概念図である。
チップ供給装置を示す概念図である。
【図7】上記位置決め確認装置の作動説明図である。
【図8】LCD用パネルの斜視図と従来の自動組立装置
の作動説明図である。
の作動説明図である。
2,102 セット台 6,106 上下視野顕微鏡 7 下部顕微鏡 9 LCD用パネル 10 ICチップ B バンプ P 配線パターン
Claims (4)
- 【請求項1】 セット台に載置固定された透明体の上面
に対する対象物の位置決め状態を、撮影手段によって撮
影した画像により確認できるようにした位置決め確認装
置であって、 前記セット台は透明な材料により形成されており、 前記撮影手段は、前記セット台の下側からこのセット台
および前記透明体を通して前記対象物を撮影することを
特徴とする位置決め確認装置。 - 【請求項2】 セット台に載置固定された透明体の上面
に対する対象物の位置決め状態を、撮影手段によって撮
影した画像により確認できるようにした位置決め確認装
置であって、 前記セット台には上下方向に貫通する貫通穴が形成され
ており、 前記撮影手段は、前記セット台の下側から前記貫通穴お
よび前記透明体を通して前記対象物を撮影することを特
徴とする位置決め確認装置。 - 【請求項3】 透明な材料により形成されたセット台
と、 このセット台に載置固定された透明体の上面に、対象物
を移動させて取り付ける取付手段と、 前記取付手段によって前記対象物が前記透明体の上面に
移動されたときに、前記セット台の下側からこのセット
台および前記透明体を通して前記対象物を撮影し、撮影
画像によって前記位置決め状態の確認を行わせる位置決
め確認手段とからなり、 この位置決め確認手段により前記位置決め状態を確認し
た後、前記取付手段による前記対象物の前記透明体への
取付を行うようにしたことを特徴とする組立装置。 - 【請求項4】 上下方向に貫通する貫通穴を形成したセ
ット台と、 このセット台に載置固定された透明体の上面に、対象物
を移動させて取り付ける取付手段と、 前記取付手段によって前記対象物が前記透明体の上面に
移動されたときに、前記セット台の下側から前記貫通穴
および前記透明体を通して前記対象物を撮影し、撮影画
像によって前記位置決め状態の確認を行わせる位置決め
確認手段とからなり、 この位置決め確認手段により前記位置決め状態を確認し
た後、前記取付手段による前記対象物の前記透明体への
取付を行うようにしたことを特徴とする組立装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15537794A JPH081450A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 位置決め確認装置およびこれを用いた組立装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15537794A JPH081450A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 位置決め確認装置およびこれを用いた組立装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH081450A true JPH081450A (ja) | 1996-01-09 |
Family
ID=15604616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15537794A Pending JPH081450A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 位置決め確認装置およびこれを用いた組立装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081450A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011066189A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Panasonic Corp | 部品圧着装置 |
| JP2020006496A (ja) * | 2018-07-12 | 2020-01-16 | Dmg森精機株式会社 | 工作機械 |
| CN116833713A (zh) * | 2023-09-01 | 2023-10-03 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 | 组装装置的组装方法 |
| CN116852068A (zh) * | 2023-09-01 | 2023-10-10 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 | 组装装置 |
| KR102660323B1 (ko) * | 2024-01-02 | 2024-04-24 | 주식회사 대양알루미늄 | 선박용 알루미늄 환창 수밀성 강화 및 생산성 향상을 위한 하부 흡착 방식의 조립체 자동조립 장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63109923A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-14 | Hitachi Ltd | 部品位置補正認識機構 |
-
1994
- 1994-06-14 JP JP15537794A patent/JPH081450A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63109923A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-14 | Hitachi Ltd | 部品位置補正認識機構 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011066189A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Panasonic Corp | 部品圧着装置 |
| JP2020006496A (ja) * | 2018-07-12 | 2020-01-16 | Dmg森精機株式会社 | 工作機械 |
| CN116833713A (zh) * | 2023-09-01 | 2023-10-03 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 | 组装装置的组装方法 |
| CN116852068A (zh) * | 2023-09-01 | 2023-10-10 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 | 组装装置 |
| CN116852068B (zh) * | 2023-09-01 | 2023-11-10 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 | 组装装置 |
| CN116833713B (zh) * | 2023-09-01 | 2023-11-14 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 | 组装装置的组装方法 |
| KR102660323B1 (ko) * | 2024-01-02 | 2024-04-24 | 주식회사 대양알루미늄 | 선박용 알루미늄 환창 수밀성 강화 및 생산성 향상을 위한 하부 흡착 방식의 조립체 자동조립 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100758811B1 (ko) | 발광소자의 장착방법 및 장착장치 | |
| JP2008270649A (ja) | 表面実装機、及び、そのカメラ位置補正方法 | |
| JPH07115300A (ja) | 電子部品位置決め装置 | |
| WO2001044850A9 (en) | Lens alignment system for solid state imager | |
| JP2789387B2 (ja) | ボンディング装置 | |
| JPH081450A (ja) | 位置決め確認装置およびこれを用いた組立装置 | |
| US5519535A (en) | Precision placement apparatus having liquid crystal shuttered dual prism probe | |
| JP4194449B2 (ja) | 固体撮像素子の保持構造 | |
| JP4065805B2 (ja) | 撮像装置 | |
| JP4048897B2 (ja) | 電子部品位置合わせ方法及びその装置 | |
| JP5158895B2 (ja) | 撮像装置 | |
| JP3639828B2 (ja) | Lcd検査プローブの位置合わせ方法及び装置 | |
| JP3254956B2 (ja) | ボンディング方法 | |
| JP4926075B2 (ja) | Tcpハンドリング装置およびtcpハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法 | |
| JPH08162503A (ja) | 電子部品の位置合わせ方法及びその装置 | |
| JP2000315638A (ja) | アライメント方法とその装置 | |
| JPH0122298Y2 (ja) | ||
| JP2002031787A (ja) | 光変調装置の位置調整装置および調整方法 | |
| JP4371236B2 (ja) | アライメント用光学系及び半導体装置の搭載装置 | |
| JP2003316031A (ja) | 基準部形成装置 | |
| JP2002207251A (ja) | 光変調装置の位置調整装置、光変調装置の位置調整方法、および初期位置調整治具 | |
| JP2005019873A (ja) | 駆動素子のボンディング方法 | |
| JP2004022881A (ja) | 部品位置合わせ方法およびその装置 | |
| JP3716745B2 (ja) | 光変調装置の位置調整装置 | |
| JPH085317A (ja) | 位置決め確認装置およびこれを用いた位置決め制御装置 |