JPH08146108A - スクイッド素子センサーを用いた検査装置 - Google Patents
スクイッド素子センサーを用いた検査装置Info
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- JPH08146108A JPH08146108A JP6285356A JP28535694A JPH08146108A JP H08146108 A JPH08146108 A JP H08146108A JP 6285356 A JP6285356 A JP 6285356A JP 28535694 A JP28535694 A JP 28535694A JP H08146108 A JPH08146108 A JP H08146108A
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、脳から発生する微弱な脳磁波の検
出、あるいは材料の欠陥等の非破壊検査に使用されるス
クイッド素子センサーを用いた検査装置に関し、磁気シ
ールド用筒体の内側下面に、支持部材を容易，確実に固
定することを目的とする。 【構成】 水平配置される磁気シールド用筒体の内側下
面に支持部材を配置し、この支持部材にスクイッド素子
センサーが収容されるデュワー部を支持してなるスクイ
ッド素子センサーを用いた検査装置において、前記支持
部材に、この支持部材を前記磁気シールド用筒体の内側
下面に向けて押圧する非磁性体からなる押圧手段を設け
て構成する。また、前記押圧手段を、前記支持部材に、
支持リングを介して前記磁気シールド用筒体の内側上面
近傍に支持され、流体の流入により変形し前記内側上面
に押圧される可撓性チューブから構成する。
出、あるいは材料の欠陥等の非破壊検査に使用されるス
クイッド素子センサーを用いた検査装置に関し、磁気シ
ールド用筒体の内側下面に、支持部材を容易，確実に固
定することを目的とする。 【構成】 水平配置される磁気シールド用筒体の内側下
面に支持部材を配置し、この支持部材にスクイッド素子
センサーが収容されるデュワー部を支持してなるスクイ
ッド素子センサーを用いた検査装置において、前記支持
部材に、この支持部材を前記磁気シールド用筒体の内側
下面に向けて押圧する非磁性体からなる押圧手段を設け
て構成する。また、前記押圧手段を、前記支持部材に、
支持リングを介して前記磁気シールド用筒体の内側上面
近傍に支持され、流体の流入により変形し前記内側上面
に押圧される可撓性チューブから構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、脳から発生する微弱な
脳磁波の検出、あるいは材料の欠陥等の非破壊検査に使
用されるスクイッド素子センサーを用いた検査装置に関
する。
脳磁波の検出、あるいは材料の欠陥等の非破壊検査に使
用されるスクイッド素子センサーを用いた検査装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】近時、医療関係では、脳から発生する微
弱な脳磁波を検出し、脳卒中，てんかん等の病気の解明
を図ることが進められており、脳から発生する微弱な脳
磁波を検出するために、患者を磁気シールドルーム内に
収容し、例えば、液体ヘリウムを用いた超電導量子干渉
素子〔以下スクイッド（ＳＱＵＩＤ）素子という〕セン
サーにより、脳から発生する微弱な脳磁波を検出するこ
とが行われている。
弱な脳磁波を検出し、脳卒中，てんかん等の病気の解明
を図ることが進められており、脳から発生する微弱な脳
磁波を検出するために、患者を磁気シールドルーム内に
収容し、例えば、液体ヘリウムを用いた超電導量子干渉
素子〔以下スクイッド（ＳＱＵＩＤ）素子という〕セン
サーにより、脳から発生する微弱な脳磁波を検出するこ
とが行われている。
【０００３】また、近時、機械工学関係では、上述した
スクイッド素子センサーを用いた非破壊検査装置により
材料の欠陥等を非破壊で検査することが行われている。
図４は、このようなスクイッド素子センサーを用いた検
査装置を示すもので、この装置では、水平配置される円
筒状の磁気シールド用筒体１の内側下面に、支持部材３
が、磁気シールド用筒体１の軸長方向に移動自在に配置
されている。
スクイッド素子センサーを用いた非破壊検査装置により
材料の欠陥等を非破壊で検査することが行われている。
図４は、このようなスクイッド素子センサーを用いた検
査装置を示すもので、この装置では、水平配置される円
筒状の磁気シールド用筒体１の内側下面に、支持部材３
が、磁気シールド用筒体１の軸長方向に移動自在に配置
されている。
【０００４】そして、この支持部材３に逆台形状のスク
イッド架台５が支持されており、スクイッド架台５に
は、スクイッド素子センサーが収容されるデュワー部７
が、図の左右方向に移動自在に支持されている。このよ
うなスクイッド素子センサーを用いた検査装置では、デ
ュワー部７の下方に、人間の頭部を位置させた状態で、
デュワー部７を移動することにより脳から発生する微弱
な脳磁波の検出が行われる。
イッド架台５が支持されており、スクイッド架台５に
は、スクイッド素子センサーが収容されるデュワー部７
が、図の左右方向に移動自在に支持されている。このよ
うなスクイッド素子センサーを用いた検査装置では、デ
ュワー部７の下方に、人間の頭部を位置させた状態で、
デュワー部７を移動することにより脳から発生する微弱
な脳磁波の検出が行われる。
【０００５】また、デュワー部７の下方に、金属等の材
料を置いた状態でデュワー部７を移動することにより材
料の欠陥等の非破壊検査が行われる。
料を置いた状態でデュワー部７を移動することにより材
料の欠陥等の非破壊検査が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
スクイッド素子センサーを用いた検査装置では、磁気シ
ールド用筒体１に加工を施すと、磁気シールド性能が低
下するため、磁気シールド用筒体１の内側下面に、支持
部材３を充分に固定することが困難であり、支持部材３
が振動し易いという問題があった。
スクイッド素子センサーを用いた検査装置では、磁気シ
ールド用筒体１に加工を施すと、磁気シールド性能が低
下するため、磁気シールド用筒体１の内側下面に、支持
部材３を充分に固定することが困難であり、支持部材３
が振動し易いという問題があった。
【０００７】そして、このように支持部材３が振動する
と、その振動がスクイッド架台５において増幅され、デ
ュワー部７が大きく振動し、磁気シールド用筒体１内に
存在する磁界勾配により、デュワー部７内のスクイッド
素子センサーに磁気ノイズが検出され、精密な測定が困
難になる。また、デュワー部７を、例えば、図の右方向
に移動すると、重心の位置がＰ１からＰ２に変化するた
め、支持部材３が振動し、さらに、支持部材３に傾きが
生じ、精密な測定が困難になる。
と、その振動がスクイッド架台５において増幅され、デ
ュワー部７が大きく振動し、磁気シールド用筒体１内に
存在する磁界勾配により、デュワー部７内のスクイッド
素子センサーに磁気ノイズが検出され、精密な測定が困
難になる。また、デュワー部７を、例えば、図の右方向
に移動すると、重心の位置がＰ１からＰ２に変化するた
め、支持部材３が振動し、さらに、支持部材３に傾きが
生じ、精密な測定が困難になる。
【０００８】本発明は、かかる従来の問題を解決するた
めになされたもので、磁気シールド用筒体の内側下面
に、支持部材を容易，確実に固定することができるスク
イッド素子センサーを用いた検査装置を提供することを
目的とする。
めになされたもので、磁気シールド用筒体の内側下面
に、支持部材を容易，確実に固定することができるスク
イッド素子センサーを用いた検査装置を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１のスクイッド素
子センサーを用いた検査装置は、水平配置される磁気シ
ールド用筒体の内側下面に支持部材を配置し、この支持
部材にスクイッド素子センサーが収容されるデュワー部
を支持してなるスクイッド素子センサーを用いた検査装
置において、前記支持部材に、この支持部材を前記磁気
シールド用筒体の内側下面に向けて押圧する非磁性体か
らなる押圧手段を設けてなるものである。
子センサーを用いた検査装置は、水平配置される磁気シ
ールド用筒体の内側下面に支持部材を配置し、この支持
部材にスクイッド素子センサーが収容されるデュワー部
を支持してなるスクイッド素子センサーを用いた検査装
置において、前記支持部材に、この支持部材を前記磁気
シールド用筒体の内側下面に向けて押圧する非磁性体か
らなる押圧手段を設けてなるものである。
【００１０】請求項２のスクイッド素子センサーを用い
た検査装置は、請求項１において、前記押圧手段は、前
記支持部材に、支持リングを介して前記磁気シールド用
筒体の内側上面近傍に支持され、流体の流入により変形
し前記内側上面に押圧される可撓性チューブからなるも
のである。請求項３のスクイッド素子センサーを用いた
検査装置は、請求項１または２において、前記支持部材
にはテーブルが移動自在に支持されているものである。
た検査装置は、請求項１において、前記押圧手段は、前
記支持部材に、支持リングを介して前記磁気シールド用
筒体の内側上面近傍に支持され、流体の流入により変形
し前記内側上面に押圧される可撓性チューブからなるも
のである。請求項３のスクイッド素子センサーを用いた
検査装置は、請求項１または２において、前記支持部材
にはテーブルが移動自在に支持されているものである。
【００１１】
【作用】請求項１のスクイッド素子センサーを用いた検
査装置では、非磁性体からなる押圧手段により、支持部
材が、磁気シールド用筒体の内側下面に向けて押圧され
る。請求項２のスクイッド素子センサーを用いた検査装
置では、支持リングを介して磁気シールド用筒体の内側
上面近傍に支持される可撓性チューブに、気体，液体等
の流体を供給すると、可撓性チューブが変形し、可撓性
チューブが磁気シールド用筒体の内側上面に押圧され、
この反作用により、支持部材が、磁気シールド用筒体の
内側下面に向けて押圧される。
査装置では、非磁性体からなる押圧手段により、支持部
材が、磁気シールド用筒体の内側下面に向けて押圧され
る。請求項２のスクイッド素子センサーを用いた検査装
置では、支持リングを介して磁気シールド用筒体の内側
上面近傍に支持される可撓性チューブに、気体，液体等
の流体を供給すると、可撓性チューブが変形し、可撓性
チューブが磁気シールド用筒体の内側上面に押圧され、
この反作用により、支持部材が、磁気シールド用筒体の
内側下面に向けて押圧される。
【００１２】請求項３のスクイッド素子センサーを用い
た検査装置では、支持部材に移動自在に支持されるテー
ブルにより、被験体の移動が行われる。
た検査装置では、支持部材に移動自在に支持されるテー
ブルにより、被験体の移動が行われる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の詳細を図面に示す実施例につ
いて説明する。なお、この実施例のスクイッド素子セン
サーを用いた検査装置において使用される各構成部材
は、アルミニウム，真鍮，樹脂等の非磁性材料により形
成されている。
いて説明する。なお、この実施例のスクイッド素子セン
サーを用いた検査装置において使用される各構成部材
は、アルミニウム，真鍮，樹脂等の非磁性材料により形
成されている。
【００１４】図１および図２は、本発明のスクイッド素
子センサーを用いた検査装置の一実施例を示すもので、
符号１１は、水平配置される円筒状の磁気シールド用筒
体を示している。この磁気シールド用筒体１１は、超伝
導体円筒あるいは強磁性体パーマロイ円筒により形成さ
れている。
子センサーを用いた検査装置の一実施例を示すもので、
符号１１は、水平配置される円筒状の磁気シールド用筒
体を示している。この磁気シールド用筒体１１は、超伝
導体円筒あるいは強磁性体パーマロイ円筒により形成さ
れている。
【００１５】磁気シールド用筒体１１の内側下面には、
半円状の支持部材１３の外周が当接して配置されてい
る。支持部材１３の中央上方には、テーブル１５が配置
されている。このテーブル１５は、ベッド１７上に載置
され、微動送りハンドル１９を回動し、微動送り螺子２
１を回動することにより、図１の左右方向に移動され
る。
半円状の支持部材１３の外周が当接して配置されてい
る。支持部材１３の中央上方には、テーブル１５が配置
されている。このテーブル１５は、ベッド１７上に載置
され、微動送りハンドル１９を回動し、微動送り螺子２
１を回動することにより、図１の左右方向に移動され
る。
【００１６】ベッド１７は、ガイドベアリング２３を介
して支持部材１３の案内部２５に載置されている。そし
て、ベッド１７は、電気サーボモータ２７の回転によ
り、駆動送り台形螺子２９を回動することにより、磁気
シールド用筒体１１の軸長方向に沿って移動される。
して支持部材１３の案内部２５に載置されている。そし
て、ベッド１７は、電気サーボモータ２７の回転によ
り、駆動送り台形螺子２９を回動することにより、磁気
シールド用筒体１１の軸長方向に沿って移動される。
【００１７】テーブル１５の上方には、図示しないスク
イッド素子センサーが収容されるデュワー部３１が配置
されている。このデュワー部３１は、スクイッド架台３
３に支持されている。デュワー部３１は、樹脂ボール３
５を使用したベアリング３７を介して回動自在に支持さ
れ、また、案内部材３９を介して樹脂製のスライドレー
ル４１上を、図１の左右方向に移動自在とされている。
イッド素子センサーが収容されるデュワー部３１が配置
されている。このデュワー部３１は、スクイッド架台３
３に支持されている。デュワー部３１は、樹脂ボール３
５を使用したベアリング３７を介して回動自在に支持さ
れ、また、案内部材３９を介して樹脂製のスライドレー
ル４１上を、図１の左右方向に移動自在とされている。
【００１８】スクイッド架台３３の両側は、ガイドベア
リング４３を介して支持部材１３の両端に固定される案
内部材４５に載置されている。また、スクイッド架台３
３の両側には、ロッドレスシリンダ４７が配置され、ロ
ッドレスシリンダ４７の空気供給口４９に圧縮空気を供
給することにより、スクイッド架台３３が磁気シールド
用筒体１１の軸長方向に移動される。
リング４３を介して支持部材１３の両端に固定される案
内部材４５に載置されている。また、スクイッド架台３
３の両側には、ロッドレスシリンダ４７が配置され、ロ
ッドレスシリンダ４７の空気供給口４９に圧縮空気を供
給することにより、スクイッド架台３３が磁気シールド
用筒体１１の軸長方向に移動される。
【００１９】磁気シールド用筒体１１の上側半部には、
支持部材１３を磁気シールド用筒体１１の内側下面に向
けて押圧する非磁性体からなる押圧手段５１が配置され
ている。この押圧手段５１は、支持部材１３の両端に固
定される半円状の支持リング５３を有している。
支持部材１３を磁気シールド用筒体１１の内側下面に向
けて押圧する非磁性体からなる押圧手段５１が配置され
ている。この押圧手段５１は、支持部材１３の両端に固
定される半円状の支持リング５３を有している。
【００２０】支持リング５３は、図２に示すように、磁
気シールド用筒体１１の軸長方向の両側および中央の３
個所に配置されている。それぞれの支持リング５３に
は、上端を中心にして、例えば、１２０度の角度で、図
３に示すような凹部５３ａが形成されている。そして、
この凹部５３ａに、例えば、ゴムからなる可撓性チュー
ブ５５が収容されている。
気シールド用筒体１１の軸長方向の両側および中央の３
個所に配置されている。それぞれの支持リング５３に
は、上端を中心にして、例えば、１２０度の角度で、図
３に示すような凹部５３ａが形成されている。そして、
この凹部５３ａに、例えば、ゴムからなる可撓性チュー
ブ５５が収容されている。
【００２１】可撓性チューブ５５には、空気，窒素等の
気体を可撓性チューブ５５内に供給するためのエルボ５
７が配置されている。可撓性チューブ５５は、圧力を供
給しない状態では、中央が磁気シールド用筒体１１と反
対側に凹んで凹部５５ａが形成されており、空気，窒素
等の気体を供給すると、図３の鎖線のように変形し、磁
気シールド用筒体１１の内側上面に押圧される。
気体を可撓性チューブ５５内に供給するためのエルボ５
７が配置されている。可撓性チューブ５５は、圧力を供
給しない状態では、中央が磁気シールド用筒体１１と反
対側に凹んで凹部５５ａが形成されており、空気，窒素
等の気体を供給すると、図３の鎖線のように変形し、磁
気シールド用筒体１１の内側上面に押圧される。
【００２２】なお、図２において、符号５９は、液体ヘ
リウム等の充填のためにデュワー部３１を搬送する搬送
用台車を示しており、デュワー部３１の載置部６１が昇
降シリンダ６３により昇降自在とされている。上述した
スクイッド素子センサーを用いた検査装置では、例え
ば、図２に示したように、磁気遮蔽率の大きい磁気シー
ルド用筒体１１の奥部にデュワー部３１を位置させ、例
えば、デュワー部３１の下方に、人間の頭部を位置させ
た状態で、デュワー部３１を移動することにより脳から
発生する微弱な脳磁波の検出が行われる。
リウム等の充填のためにデュワー部３１を搬送する搬送
用台車を示しており、デュワー部３１の載置部６１が昇
降シリンダ６３により昇降自在とされている。上述した
スクイッド素子センサーを用いた検査装置では、例え
ば、図２に示したように、磁気遮蔽率の大きい磁気シー
ルド用筒体１１の奥部にデュワー部３１を位置させ、例
えば、デュワー部３１の下方に、人間の頭部を位置させ
た状態で、デュワー部３１を移動することにより脳から
発生する微弱な脳磁波の検出が行われる。
【００２３】また、デュワー部３１の下方に、テーブル
１５を位置させ、テーブル１５上に金属等の材料を置い
た状態でデュワー部３１を移動することにより材料の欠
陥，変態等の非破壊検査が行われる。そして、検査時に
は、図示しないボンベ内に収容される空気，窒素等の圧
力気体が、図示しないチューブを介して、エルボ５７か
ら可撓性チューブ５５内に供給され、図３に点線で示し
たように、可撓性チューブ５５が変形される。
１５を位置させ、テーブル１５上に金属等の材料を置い
た状態でデュワー部３１を移動することにより材料の欠
陥，変態等の非破壊検査が行われる。そして、検査時に
は、図示しないボンベ内に収容される空気，窒素等の圧
力気体が、図示しないチューブを介して、エルボ５７か
ら可撓性チューブ５５内に供給され、図３に点線で示し
たように、可撓性チューブ５５が変形される。
【００２４】この変形により、各支持リング５３に配置
される可撓性チューブ５５が磁気シールド用筒体１１の
内側上面に押圧され、この反作用の反力により、支持部
材１３が、磁気シールド用筒体１１の内側下面に向けて
押圧固定される。以上のように構成されたスクイッド素
子センサーを用いた検査装置では、支持リング５３を介
して磁気シールド用筒体１１の内側上面近傍に支持され
る可撓性チューブ５５に、圧力気体を供給すると、可撓
性チューブ５５が変形し、可撓性チューブ５５が磁気シ
ールド用筒体１１の内側上面に押圧され、この反力によ
り、支持部材１３が、磁気シールド用筒体１１の内側下
面に向けて押圧されるため、磁気シールド用筒体１１の
内側下面に、支持部材１３を容易，確実に固定すること
ができる。
される可撓性チューブ５５が磁気シールド用筒体１１の
内側上面に押圧され、この反作用の反力により、支持部
材１３が、磁気シールド用筒体１１の内側下面に向けて
押圧固定される。以上のように構成されたスクイッド素
子センサーを用いた検査装置では、支持リング５３を介
して磁気シールド用筒体１１の内側上面近傍に支持され
る可撓性チューブ５５に、圧力気体を供給すると、可撓
性チューブ５５が変形し、可撓性チューブ５５が磁気シ
ールド用筒体１１の内側上面に押圧され、この反力によ
り、支持部材１３が、磁気シールド用筒体１１の内側下
面に向けて押圧されるため、磁気シールド用筒体１１の
内側下面に、支持部材１３を容易，確実に固定すること
ができる。
【００２５】そして、この実施例では、圧力気体により
可撓性チューブ５５を変形させ、可撓性チューブ５５を
磁気シールド用筒体１１の内側上面に押圧し、この反力
により、支持部材１３を、磁気シールド用筒体１１の内
側下面に向けて押圧するようにしたので、磁気シールド
用筒体１１に加工を施すことなく、磁気シールド用筒体
１１の内側下面に、支持部材１３を容易，確実に固定す
ることが可能になり、磁気シールド性能が低下すること
を確実に防止することができる。
可撓性チューブ５５を変形させ、可撓性チューブ５５を
磁気シールド用筒体１１の内側上面に押圧し、この反力
により、支持部材１３を、磁気シールド用筒体１１の内
側下面に向けて押圧するようにしたので、磁気シールド
用筒体１１に加工を施すことなく、磁気シールド用筒体
１１の内側下面に、支持部材１３を容易，確実に固定す
ることが可能になり、磁気シールド性能が低下すること
を確実に防止することができる。
【００２６】また、磁気シールド用筒体１１の内側下面
に、支持部材１３を確実に固定することができるため、
支持部材１３の振動が殆どなくなり、精密な測定が可能
になる。さらに、デュワー部３１の移動により重心の位
置が変化した場合にも、支持部材１３に傾きが生じるこ
とがなくなり、精密な測定が可能になる。
に、支持部材１３を確実に固定することができるため、
支持部材１３の振動が殆どなくなり、精密な測定が可能
になる。さらに、デュワー部３１の移動により重心の位
置が変化した場合にも、支持部材１３に傾きが生じるこ
とがなくなり、精密な測定が可能になる。
【００２７】また、上述した検査装置では、支持部材１
３に移動自在に支持されるテーブル１５により、デュワ
ー部３１の下方に被験体を容易，確実に移動することが
できる。さらに、以上述べた実施例では、空気，窒素等
の圧力気体により可撓性チューブ５５を変形させるよう
にしたので、油圧等を使用する場合に比較して配管系を
容易に構成することが可能になり、また、可撓性チュー
ブ５５および配管系が油等により汚れることもない。
３に移動自在に支持されるテーブル１５により、デュワ
ー部３１の下方に被験体を容易，確実に移動することが
できる。さらに、以上述べた実施例では、空気，窒素等
の圧力気体により可撓性チューブ５５を変形させるよう
にしたので、油圧等を使用する場合に比較して配管系を
容易に構成することが可能になり、また、可撓性チュー
ブ５５および配管系が油等により汚れることもない。
【００２８】また、上述した実施例では、磁気シールド
用筒体１１を円筒状にしたので矩形状等の箱体に比較し
て高いシールド特性を得ることができる。さらに、磁気
シールド用筒体１１には、メタル材，磁束トラップする
超伝導材が配置されているが、本発明では、可撓性チュ
ーブ５５により磁気シールド用筒体１１の剛性を上げる
ことができ、磁気シールド用筒体１１の振動による磁気
ノイズの発生を防止することができる。
用筒体１１を円筒状にしたので矩形状等の箱体に比較し
て高いシールド特性を得ることができる。さらに、磁気
シールド用筒体１１には、メタル材，磁束トラップする
超伝導材が配置されているが、本発明では、可撓性チュ
ーブ５５により磁気シールド用筒体１１の剛性を上げる
ことができ、磁気シールド用筒体１１の振動による磁気
ノイズの発生を防止することができる。
【００２９】
【発明の効果】以上述べたように、請求項１のスクイッ
ド素子センサーを用いた検査装置では、押圧手段によ
り、支持部材が、磁気シールド用筒体の内側下面に向け
て押圧されるため、磁気シールド用筒体の内側下面に、
支持部材を容易，確実に固定することができ、デュワー
部の振動を小さく押さえることができる。
ド素子センサーを用いた検査装置では、押圧手段によ
り、支持部材が、磁気シールド用筒体の内側下面に向け
て押圧されるため、磁気シールド用筒体の内側下面に、
支持部材を容易，確実に固定することができ、デュワー
部の振動を小さく押さえることができる。
【００３０】また、押圧手段を非磁性体により形成した
ので、押圧手段により磁界が乱されることがない。請求
項２のスクイッド素子センサーを用いた検査装置では、
支持リングを介して磁気シールド用筒体の内側上面近傍
に支持される可撓性チューブに、気体，液体等の流体を
供給すると、可撓性チューブが変形し、可撓性チューブ
が磁気シールド用筒体の内側上面に押圧され、この反作
用により、支持部材が、磁気シールド用筒体の内側下面
に向けて押圧されるため、磁気シールド用筒体の内側下
面に、支持部材を容易，確実に固定することができる。
ので、押圧手段により磁界が乱されることがない。請求
項２のスクイッド素子センサーを用いた検査装置では、
支持リングを介して磁気シールド用筒体の内側上面近傍
に支持される可撓性チューブに、気体，液体等の流体を
供給すると、可撓性チューブが変形し、可撓性チューブ
が磁気シールド用筒体の内側上面に押圧され、この反作
用により、支持部材が、磁気シールド用筒体の内側下面
に向けて押圧されるため、磁気シールド用筒体の内側下
面に、支持部材を容易，確実に固定することができる。
【００３１】請求項３のスクイッド素子センサーを用い
た検査装置では、支持部材に移動自在に支持されるテー
ブルにより、デュワー部の下方に被験体を容易，確実に
移動することができるという利点がある。
た検査装置では、支持部材に移動自在に支持されるテー
ブルにより、デュワー部の下方に被験体を容易，確実に
移動することができるという利点がある。
【図１】本発明のスクイッド素子センサーを用いた検査
装置の一実施例を示す横断面図である。
装置の一実施例を示す横断面図である。
【図２】図１の検査装置を示す縦断面図である。
【図３】図１の検査装置の押圧手段を拡大して示す横断
面図である。
面図である。
【図４】従来の検査装置を示す横断面図である。
１１ 磁気シールド用筒体 １３ 支持部材 １５ テーブル ３１ デュワー部 ５１ 押圧手段 ５３ 支持リング ５５ 可撓性チューブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 39/22 ＺＡＡ Ｄ (72)発明者 亀井 義宜 東京都中央区銀座８丁目21番１号 株式会 社竹中工務店東京本店内 (72)発明者 倉田 勇雄 富山県婦負郡山田村清水1979
Claims (3)
- 【請求項１】 水平配置される磁気シールド用筒体の内
側下面に支持部材を配置し、この支持部材にスクイッド
素子センサーが収容されるデュワー部を支持してなるス
クイッド素子センサーを用いた検査装置において、 前記支持部材に、この支持部材を前記磁気シールド用筒
体の内側下面に向けて押圧する非磁性体からなる押圧手
段を設けてなることを特徴とするスクイッド素子センサ
ーを用いた検査装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のスクイッド素子センサー
を用いた検査装置において、 前記押圧手段は、前記支持部材に、支持リングを介して
前記磁気シールド用筒体の内側上面近傍に支持され、流
体の流入により変形し前記内側上面に押圧される可撓性
チューブからなることを特徴とするスクイッド素子セン
サーを用いた検査装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載のスクイッド素子
センサーを用いた検査装置において、 前記支持部材には、テーブルが移動自在に支持されてい
ることを特徴とするスクイッド素子センサーを用いた検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6285356A JPH08146108A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | スクイッド素子センサーを用いた検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6285356A JPH08146108A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | スクイッド素子センサーを用いた検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146108A true JPH08146108A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17690506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6285356A Pending JPH08146108A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | スクイッド素子センサーを用いた検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08146108A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005296669A (ja) * | 2005-06-03 | 2005-10-27 | Hitachi Ltd | 生体磁場計測装置 |
-
1994
- 1994-11-18 JP JP6285356A patent/JPH08146108A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005296669A (ja) * | 2005-06-03 | 2005-10-27 | Hitachi Ltd | 生体磁場計測装置 |
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