JPH0814847B2 - パターン検査方法 - Google Patents
パターン検査方法Info
- Publication number
- JPH0814847B2 JPH0814847B2 JP63288165A JP28816588A JPH0814847B2 JP H0814847 B2 JPH0814847 B2 JP H0814847B2 JP 63288165 A JP63288165 A JP 63288165A JP 28816588 A JP28816588 A JP 28816588A JP H0814847 B2 JPH0814847 B2 JP H0814847B2
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Links
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は印刷回路板の外観目視検査を自動化するパタ
ーン検査方法に関するものである。
ーン検査方法に関するものである。
［従来の技術］ 従来特開昭63-15380号に見られるように２値化像又は
濃淡画像上において、繰り返されるパターンの各々に、
予め設定した位置でパターンのアドレスを測定し、繰り
返しパターンの平均的な位置や、揃い具合を検査する方
法がある。
濃淡画像上において、繰り返されるパターンの各々に、
予め設定した位置でパターンのアドレスを測定し、繰り
返しパターンの平均的な位置や、揃い具合を検査する方
法がある。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら従来方法は個別のパターン毎に測定位置
を予め設定しなければならないため、複数のパターンが
存在するときには、設定作業が煩雑になるという問題が
ある。またワークセット時のずれや、パターン自体の変
形による位置ずれが生じると、本来の測定位置からずれ
たところを測定し、正しい測定結果が得られなかった。
を予め設定しなければならないため、複数のパターンが
存在するときには、設定作業が煩雑になるという問題が
ある。またワークセット時のずれや、パターン自体の変
形による位置ずれが生じると、本来の測定位置からずれ
たところを測定し、正しい測定結果が得られなかった。
本発明は上述の問題点に鑑みて為されたもので、その
目的とするところは事前の煩雑なデータ設定作業が不要
で、画像の位置ずれの有無にかかわらず正しくパターン
検査が行えるパターン検査方法を提供するにある。
目的とするところは事前の煩雑なデータ設定作業が不要
で、画像の位置ずれの有無にかかわらず正しくパターン
検査が行えるパターン検査方法を提供するにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、繰り返し形状のパターンからなる濃淡画像
を、微分細線化してエッジ画像を求め、このエッジ画像
の着目するパターンの部分における濃度勾配の方向コー
ドをＸ軸方向、又はＹ軸方向に投影して求めて各方向コ
ード値をメモリし、このメモリした方向コード値を参照
して着目する方向コード値のみを加算してヒストグラム
を求めることを特徴とするものである。
を、微分細線化してエッジ画像を求め、このエッジ画像
の着目するパターンの部分における濃度勾配の方向コー
ドをＸ軸方向、又はＹ軸方向に投影して求めて各方向コ
ード値をメモリし、このメモリした方向コード値を参照
して着目する方向コード値のみを加算してヒストグラム
を求めることを特徴とするものである。
而して本発明によれば、繰り返し形状のパターンから
なる濃淡画像を、微分細線化してエッジ画像を求め、こ
のエッジ画像の着目するパターンの部分における濃度勾
配の方向コードをＸ軸方向、又はＹ軸方向に投影して求
めて各方向コード値をメモリし、このメモリした方向コ
ード値を参照して着目する方向コード値のみを加算して
ヒストグラムを求めるので、統計量の値より検査を行う
こととなって、個々のパターン形状を認識する方法のよ
うな煩雑なデータ設定が不要となり、また個々のパター
ン形状を認識しないため、個々のパターンずれによる測
定ミスを発生することがない。
なる濃淡画像を、微分細線化してエッジ画像を求め、こ
のエッジ画像の着目するパターンの部分における濃度勾
配の方向コードをＸ軸方向、又はＹ軸方向に投影して求
めて各方向コード値をメモリし、このメモリした方向コ
ード値を参照して着目する方向コード値のみを加算して
ヒストグラムを求めるので、統計量の値より検査を行う
こととなって、個々のパターン形状を認識する方法のよ
うな煩雑なデータ設定が不要となり、また個々のパター
ン形状を認識しないため、個々のパターンずれによる測
定ミスを発生することがない。
以下本発明を実施例によって説明する。
第１図は本発明方法を用いたパターン検査装置の実施
例構成を示しており、この実施例では印刷回路板１上方
からTVカメラ２により撮像して得られる映像信号を、A/
D変換器３を通してデジタル信号に変換する。
例構成を示しており、この実施例では印刷回路板１上方
からTVカメラ２により撮像して得られる映像信号を、A/
D変換器３を通してデジタル信号に変換する。
デジタル変換した信号を微分回路４によって微分し、
濃度勾配を表す微分の絶対値と、濃度勾配の方向を表す
方向コードとを得る。得られた微分の絶対値は２値化処
理回路５にてパターンの形状を表すように２値化し、更
に細線化処理回路６で細線化処理を施し、エッジ画像デ
ータを得る。この細線化処理回路６で得られたエッジ画
像データをフレームメモリ７に書き込む。
濃度勾配を表す微分の絶対値と、濃度勾配の方向を表す
方向コードとを得る。得られた微分の絶対値は２値化処
理回路５にてパターンの形状を表すように２値化し、更
に細線化処理回路６で細線化処理を施し、エッジ画像デ
ータを得る。この細線化処理回路６で得られたエッジ画
像データをフレームメモリ７に書き込む。
また方向コードは方向コードメモリ８に格納される。
上記のエッジ画像は第２図（ａ）に示されるようにパ
ターンの形状を良く表したものとなる。ここで第２図
（ａ）において回路パターンＰの先端の矢印は方向コー
ドの向きを示し、パターン形状の一部を示すものであ
る。
ターンの形状を良く表したものとなる。ここで第２図
（ａ）において回路パターンＰの先端の矢印は方向コー
ドの向きを示し、パターン形状の一部を示すものであ
る。
次に判定処理部９における方向コードヒストグラムの
作成方法を第２図〜第４図に基づいて説明する。
作成方法を第２図〜第４図に基づいて説明する。
まず得られた画像上において着目するパターンの部分
を決定する。例えば、画像のＸ軸方向のずれを知りたい
とすれば回路パターンＰの先端に着目する。
を決定する。例えば、画像のＸ軸方向のずれを知りたい
とすれば回路パターンＰの先端に着目する。
次いで着目する部分の方向コードを調べ、その着目す
る部分の方向コードのみを、得たい情報を良く表わす軸
方向へ投影する。第２図（ａ）において、Ｘ軸方向の位
置ずれを知りたいとすると、回路パターンＰの先端の方
向コードをＸ軸方向へ投影する。この投影により得られ
たコードヒストグラムが第２図（ｂ）である。
る部分の方向コードのみを、得たい情報を良く表わす軸
方向へ投影する。第２図（ａ）において、Ｘ軸方向の位
置ずれを知りたいとすると、回路パターンＰの先端の方
向コードをＸ軸方向へ投影する。この投影により得られ
たコードヒストグラムが第２図（ｂ）である。
第４図はこの投影処理の流れを示す。フレームメモリ
７上のエッジ画像を走査し、エッジ画像を検出したらエ
ッジ画像上のアドレスに対応する方向コードメモリ８上
の方向コード値を参照し、着目する方向コードであれば
ヒストグラムに加算する。
７上のエッジ画像を走査し、エッジ画像を検出したらエ
ッジ画像上のアドレスに対応する方向コードメモリ８上
の方向コード値を参照し、着目する方向コードであれば
ヒストグラムに加算する。
方向コードのヒストグラムが得られたら、このヒスト
グラムの中央値、分布の幅等の統計量を計算する。これ
らの統計量より回路パターンＰの検査を行う。つまり予
め良品の回路パターンの方向コードのヒストグラム統計
量を登録しておき、上記のように計測により求めたヒス
トグラムの統計量と比較することにより回路パターンＰ
の検査が行えるのである。
グラムの中央値、分布の幅等の統計量を計算する。これ
らの統計量より回路パターンＰの検査を行う。つまり予
め良品の回路パターンの方向コードのヒストグラム統計
量を登録しておき、上記のように計測により求めたヒス
トグラムの統計量と比較することにより回路パターンＰ
の検査が行えるのである。
例えば、中央値からは、第２図（ｂ）に示すように、
回路パターンＰのＸ軸方向の位置が得られ、分布の幅か
らは例えば第３図（ｂ）に示すような分布の幅であれば
第３図（ａ）に示すように回路パターンＰの先端が一直
線上に整列されていないことが分かる。即ち分布の幅で
回路パターンＰの先端の整列度合を検査することができ
るのである。
回路パターンＰのＸ軸方向の位置が得られ、分布の幅か
らは例えば第３図（ｂ）に示すような分布の幅であれば
第３図（ａ）に示すように回路パターンＰの先端が一直
線上に整列されていないことが分かる。即ち分布の幅で
回路パターンＰの先端の整列度合を検査することができ
るのである。
本発明によれば、繰り返し形状のパターンからなる濃
淡画像を、微分細線化してエッジ画像を求め、このエッ
ジ画像の着目するパターンの部分における濃度勾配の方
向コードをＸ軸方向、又はＹ軸方向に投影して求めて各
方向コード値をメモリし、このメモリした方向コード値
を参照して着目する方向コード値のみを加算してヒスト
グラムを求めるので、統計量の値より検査を行うことと
なって、個々のパターン形状を認識する方法のような煩
雑なデータ設定が不要となり、また個々のパターン形状
を認識しないため、個々のパターンずれによる測定ミス
を発生することがなく、画像の位置ずれの右右にかかわ
らず、正しくパターンの測定が行えるという効果を奏す
る。
淡画像を、微分細線化してエッジ画像を求め、このエッ
ジ画像の着目するパターンの部分における濃度勾配の方
向コードをＸ軸方向、又はＹ軸方向に投影して求めて各
方向コード値をメモリし、このメモリした方向コード値
を参照して着目する方向コード値のみを加算してヒスト
グラムを求めるので、統計量の値より検査を行うことと
なって、個々のパターン形状を認識する方法のような煩
雑なデータ設定が不要となり、また個々のパターン形状
を認識しないため、個々のパターンずれによる測定ミス
を発生することがなく、画像の位置ずれの右右にかかわ
らず、正しくパターンの測定が行えるという効果を奏す
る。
第１図は本発明方法を用いた実施例のシステム構成図、
第２図（ａ）は同上によって得たエッジ画像の例図、第
２図（ｂ）は同上によって得た第２図（ａ）の方向コー
ドヒストグラムの例図、第３図（ａ）は同上によって得
たエッジ画像の別の例図、第３図（ｂ）は同上によって
得た第３図（ａ）の方向コードヒストグラムの例図、第
４図は同上の投影処理のフローチャートである。 １は印刷回路板、２はTVカメラ、３はA/D変換器、４は
微分回路、５は２値化処理回路、６は細線化処理回路、
７はフレームメモリ、８は方向コードメモリ、９は判定
処理部、Ｐは回路パターンである。
第２図（ａ）は同上によって得たエッジ画像の例図、第
２図（ｂ）は同上によって得た第２図（ａ）の方向コー
ドヒストグラムの例図、第３図（ａ）は同上によって得
たエッジ画像の別の例図、第３図（ｂ）は同上によって
得た第３図（ａ）の方向コードヒストグラムの例図、第
４図は同上の投影処理のフローチャートである。 １は印刷回路板、２はTVカメラ、３はA/D変換器、４は
微分回路、５は２値化処理回路、６は細線化処理回路、
７はフレームメモリ、８は方向コードメモリ、９は判定
処理部、Ｐは回路パターンである。
Claims (1)
- 【請求項１】繰り返し形状のパターンからなる濃淡画像
を、微分細線化してエッジ画像を求め、このエッジ画像
の着目するパターンの部分における濃度勾配の方向コー
ドをＸ軸方向、又はＹ軸方向に投影して求めて各方向コ
ード値をメモリし、このメモリした方向コード値を参照
して着目する方向コード値のみを加算してヒストグラム
を求めることを特徴とするパターン検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63288165A JPH0814847B2 (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | パターン検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63288165A JPH0814847B2 (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | パターン検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02133885A JPH02133885A (ja) | 1990-05-23 |
| JPH0814847B2 true JPH0814847B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=17726650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63288165A Expired - Lifetime JPH0814847B2 (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | パターン検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814847B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0592646A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-16 | Ezel Inc | 印刷物検査方法 |
| JP5435904B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2014-03-05 | 株式会社メガトレード | 致命傷の検出方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61877A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-06 | Amada Co Ltd | 形状認識装置 |
-
1988
- 1988-11-15 JP JP63288165A patent/JPH0814847B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02133885A (ja) | 1990-05-23 |
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