JPH02133885A - パターン検査方法 - Google Patents
パターン検査方法Info
- Publication number
- JPH02133885A JPH02133885A JP63288165A JP28816588A JPH02133885A JP H02133885 A JPH02133885 A JP H02133885A JP 63288165 A JP63288165 A JP 63288165A JP 28816588 A JP28816588 A JP 28816588A JP H02133885 A JPH02133885 A JP H02133885A
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- JP
- Japan
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- density gradient
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- Granted
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は印刷回路板の外観目視検査を自動化するパター
ン検査方法に関するものである。
ン検査方法に関するものである。
［従来の技術］
従来特開昭６３−１５３８０号に見られるように２値化
像又は濃淡画像上において、繰り返されるパターンの各
々に、予め設定した位置でパターンのアドレスを測定し
、繰り返しパターンの平均的な位置や、揃い具合を検査
する方法がある。
像又は濃淡画像上において、繰り返されるパターンの各
々に、予め設定した位置でパターンのアドレスを測定し
、繰り返しパターンの平均的な位置や、揃い具合を検査
する方法がある。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら従来方法は個別のパターン毎に測、定位置
を予め設定しなければならないため、複数のパターンが
存在するときには、設定作業が煩雑となるという問題が
ある。またワークセット時のずれや、パターン自体の変
形による位置ずれが生じると、本来の測定位置からずれ
たところを測定し、正しい測定結果が得られなかった。
を予め設定しなければならないため、複数のパターンが
存在するときには、設定作業が煩雑となるという問題が
ある。またワークセット時のずれや、パターン自体の変
形による位置ずれが生じると、本来の測定位置からずれ
たところを測定し、正しい測定結果が得られなかった。
本発明は上述の問題点に鑑みて為されたもので、その目
的とするところは事前の煩雑なデータ設定作業が不要で
、画像の位置ずれの有無にかかわらず正しくパターン検
査が行えるパターン検査方法を提供するにある。
的とするところは事前の煩雑なデータ設定作業が不要で
、画像の位置ずれの有無にかかわらず正しくパターン検
査が行えるパターン検査方法を提供するにある。
［課題を解決するための手段］
本発明は繰り返し形状のパターンからなる濃淡画像を、
微分細線化してエツジ画像を求め、このエツジ画像の任
意の箇所に於ける濃度勾配の方向コードを、Ｘ軸方向、
又はＹ軸方向へ投影して、方向コードのヒストグラムを
求めことを特徴とするものである。
微分細線化してエツジ画像を求め、このエツジ画像の任
意の箇所に於ける濃度勾配の方向コードを、Ｘ軸方向、
又はＹ軸方向へ投影して、方向コードのヒストグラムを
求めことを特徴とするものである。
［作用］
而して本発明方法は事前にどの方向の方向コードに着目
するかということと、Ｘ軸、Ｙ軸どちらの軸へ投影させ
るかを決める。
するかということと、Ｘ軸、Ｙ軸どちらの軸へ投影させ
るかを決める。
次いで投影されて得た方向コードのヒストグラムを求め
、このヒストグラムにより検出判定を行うのである。か
ように本発明方法によれば事前の設定作業が簡便で、し
かも個々のパターンずれによる測定ミスが発生すること
がないのである。
、このヒストグラムにより検出判定を行うのである。か
ように本発明方法によれば事前の設定作業が簡便で、し
かも個々のパターンずれによる測定ミスが発生すること
がないのである。
［実施例コ
以下本発明を実施例によって説明する。
第１図は本発明方法を用いたパターン検査装置の実施例
構成を示しており、この実施例では印刷回路板１上方か
らＴＶカメラ２により撮像して得られる映像信号を、Ａ
／Ｄ変換器３を通してデジタル信号に変換する。
構成を示しており、この実施例では印刷回路板１上方か
らＴＶカメラ２により撮像して得られる映像信号を、Ａ
／Ｄ変換器３を通してデジタル信号に変換する。
デジタル変換した信号を微分回路４によって微分し、濃
度勾配を表す微分の絶対値と、濃度勾配の方向を表す方
向コードとを得る。得られた微分の絶対値は２値化処理
回路５にてパターンの形状を表すように２値化し、更に
細線化処理回路６で細線化処理を施し、エツジ画像デー
タを得る。この細線化処理回路６で得られたエツジ画像
データをフレームメモリ７に書き込む。
度勾配を表す微分の絶対値と、濃度勾配の方向を表す方
向コードとを得る。得られた微分の絶対値は２値化処理
回路５にてパターンの形状を表すように２値化し、更に
細線化処理回路６で細線化処理を施し、エツジ画像デー
タを得る。この細線化処理回路６で得られたエツジ画像
データをフレームメモリ７に書き込む。
また方向コードは方向コードメモリ８に格納される。
上記のエツジ画像は第２図（ａ）に示されるようにパタ
ーンの形状を良く表したものとなる。ここで第２図（ａ
）において回路パターンＰの先端の矢印は方向コードの
向きを示し、パターン形状の一部を示すものである。
ーンの形状を良く表したものとなる。ここで第２図（ａ
）において回路パターンＰの先端の矢印は方向コードの
向きを示し、パターン形状の一部を示すものである。
次に判定処理部９における方向コードヒストグラムの作
成方法を第２図〜第４図に基づいて説明する。
成方法を第２図〜第４図に基づいて説明する。
まず得られた画像上において着目するパターンの部分を
決定する０例えば、画像のＸ軸方向のずれを知りたいと
すれば回路パターンＰの先端に着目する。
決定する０例えば、画像のＸ軸方向のずれを知りたいと
すれば回路パターンＰの先端に着目する。
次いで着目する部分の方向コードを調べ、その着目する
部分の方向コードのみを、得たい情報を良く表わす軸方
向へ投影する。第２図（ａ）において、Ｘ軸方向の位置
ずれを知りたいとすると、回路パターンＰの先端の方向
コードをＸ軸方向へ投影する。この投影により得られた
コードヒストグラムが第２図（ｂ）である。
部分の方向コードのみを、得たい情報を良く表わす軸方
向へ投影する。第２図（ａ）において、Ｘ軸方向の位置
ずれを知りたいとすると、回路パターンＰの先端の方向
コードをＸ軸方向へ投影する。この投影により得られた
コードヒストグラムが第２図（ｂ）である。
第４図はこの投影処理の流れを示す、フレームメモリ７
上のエツジ画像を走査し、エツジ画像を検出したらエツ
ジ画像上のアドレスに対応する方向コードメモリ８上の
方向コード値を参照し、着目する方向コードであればヒ
ストグラムに加算する。
上のエツジ画像を走査し、エツジ画像を検出したらエツ
ジ画像上のアドレスに対応する方向コードメモリ８上の
方向コード値を参照し、着目する方向コードであればヒ
ストグラムに加算する。
方向コードのヒストグラムが得られたら、このヒストグ
ラムの中央値、分布の幅等の統計量を計算する。これら
の統計量より回路パターンＰの検査を行う。
ラムの中央値、分布の幅等の統計量を計算する。これら
の統計量より回路パターンＰの検査を行う。
例えば、中央値からは、第２図（ｂ）に示すように、回
路パターンＰのＸ軸方向の位置が得られ、分布の幅から
は例えば第３図（ｂ）に示すような分布の幅であれば第
３図（ａ）に示すように回路パターンＰの先端が一直線
上に整列されていないことが分かる。即ち分布の幅で回
路パターンＰの先端の整列度合を検査することができる
のである。
路パターンＰのＸ軸方向の位置が得られ、分布の幅から
は例えば第３図（ｂ）に示すような分布の幅であれば第
３図（ａ）に示すように回路パターンＰの先端が一直線
上に整列されていないことが分かる。即ち分布の幅で回
路パターンＰの先端の整列度合を検査することができる
のである。
［発明の効果］
本発明は繰り返し形状のパターンからなる濃淡画像を、
微分細線化してエツジ画像を求め、このエツジ画像の任
意の箇所に於ける濃度勾配の方向コードを、Ｘ軸方向、
又はＹ軸方向へ投影して、方向コードのヒストグラムを
求めるから、事前の煩雑なデータ設定作業が不要となり
、しかも画像の位置ずれの有無に拘らず正しくパターン
の測定が行えるという効果を奏する。
微分細線化してエツジ画像を求め、このエツジ画像の任
意の箇所に於ける濃度勾配の方向コードを、Ｘ軸方向、
又はＹ軸方向へ投影して、方向コードのヒストグラムを
求めるから、事前の煩雑なデータ設定作業が不要となり
、しかも画像の位置ずれの有無に拘らず正しくパターン
の測定が行えるという効果を奏する。
第１図は本発明方法を用いた実施例のシステム構成図、
第２図（ａ）は同上によって得たエツジ画像の側口、第
２図（ｂ）は同上によって得た第２図（ａ）の方向コー
ドヒストグラムの側口、第３図（ａ）は同上によって得
たエツジ画像の別の側口、第３図（ｂ）は同上によって
得た第３図（ａ）の方向コードヒストグラムの側口、第
４図は同上の投影処理のフローチャートである。 １は印刷回路板、２はＴＶカメラ、３はＡ／Ｄ変換器、
４は微分回路、５は２値化処理回路、６は細線化処理回
路、７はフレームメモリ、８は方向コードメモリ、９は
判定処理部、Ｐは回路パターンである。 代理人 弁理士 石 １）長 七 第４図 手続補正書く自発）
第２図（ａ）は同上によって得たエツジ画像の側口、第
２図（ｂ）は同上によって得た第２図（ａ）の方向コー
ドヒストグラムの側口、第３図（ａ）は同上によって得
たエツジ画像の別の側口、第３図（ｂ）は同上によって
得た第３図（ａ）の方向コードヒストグラムの側口、第
４図は同上の投影処理のフローチャートである。 １は印刷回路板、２はＴＶカメラ、３はＡ／Ｄ変換器、
４は微分回路、５は２値化処理回路、６は細線化処理回
路、７はフレームメモリ、８は方向コードメモリ、９は
判定処理部、Ｐは回路パターンである。 代理人 弁理士 石 １）長 七 第４図 手続補正書く自発）
Claims (1)
- （１）繰り返し形状のパターンからなる濃淡画像を、微
分細線化してエッジ画像を求め、このエッジ画像の任意
の箇所に於ける濃度勾配の方向コードを、Ｘ軸方向、又
はＹ軸方向へ投影して、方向コードのヒストグラムを求
めて成ることを特徴とするパターン検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63288165A JPH0814847B2 (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | パターン検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63288165A JPH0814847B2 (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | パターン検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02133885A true JPH02133885A (ja) | 1990-05-23 |
| JPH0814847B2 JPH0814847B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=17726650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63288165A Expired - Lifetime JPH0814847B2 (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | パターン検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814847B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0535610A3 (ja) * | 1991-09-30 | 1994-08-31 | Ezel Inc | |
| WO2010004914A1 (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-14 | 株式会社メガトレード | 致命傷の検出方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61877A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-06 | Amada Co Ltd | 形状認識装置 |
-
1988
- 1988-11-15 JP JP63288165A patent/JPH0814847B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61877A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-06 | Amada Co Ltd | 形状認識装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0535610A3 (ja) * | 1991-09-30 | 1994-08-31 | Ezel Inc | |
| WO2010004914A1 (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-14 | 株式会社メガトレード | 致命傷の検出方法 |
| JP2010019730A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Mega Trade:Kk | 致命傷の検出方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0814847B2 (ja) | 1996-02-14 |
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