JPH0815526B2 - Ｈｅｐａフイルタの静電気除去構造 - Google Patents
Ｈｅｐａフイルタの静電気除去構造Info
- Publication number
- JPH0815526B2 JPH0815526B2 JP62044573A JP4457387A JPH0815526B2 JP H0815526 B2 JPH0815526 B2 JP H0815526B2 JP 62044573 A JP62044573 A JP 62044573A JP 4457387 A JP4457387 A JP 4457387A JP H0815526 B2 JPH0815526 B2 JP H0815526B2
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- Japan
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- hepa filter
- static electricity
- filter
- electricity removing
- hepa
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフィルタの静電気除去構造、特に、HEPAフィ
ルタ（High Efficiency Particulate Air Fiter）の静
電気除去構造に関するものである。
ルタ（High Efficiency Particulate Air Fiter）の静
電気除去構造に関するものである。
一般に、HEPAフィルタは極めて高い捕集性能を持つフ
ィルタとして良く知られており、微粉末を取り扱う様々
な技術分野、たとえば薬品の製造工程や半導体製造用の
クリーンルームなどの技術分野において利用されてい
る。
ィルタとして良く知られており、微粉末を取り扱う様々
な技術分野、たとえば薬品の製造工程や半導体製造用の
クリーンルームなどの技術分野において利用されてい
る。
ところが、通常のHEPAフィルタは捕集性能が高い反
面、その厚みが相当大きくなるため、捕集後のクリー・
アップが困難であり、使い捨てにせざるを得ない。特
に、ダスト濃度の高い場所でHEPAフィルタを使用しよう
とすると、そのライフタイムが短くなり、使用に不適で
あるなどの問題がある。
面、その厚みが相当大きくなるため、捕集後のクリー・
アップが困難であり、使い捨てにせざるを得ない。特
に、ダスト濃度の高い場所でHEPAフィルタを使用しよう
とすると、そのライフタイムが短くなり、使用に不適で
あるなどの問題がある。
特に、HEPAフィルタでたとえば金属の微粉、硫黄粉、
複写機用トナー、さらには小麦粉の如き有機物の微粉な
どを捕集して行き過程で粉末との摩擦などの起因して過
大な静電気がHEPAフィルタに蓄積され、火花によ粉塵爆
発を起こす危険性がある。
複写機用トナー、さらには小麦粉の如き有機物の微粉な
どを捕集して行き過程で粉末との摩擦などの起因して過
大な静電気がHEPAフィルタに蓄積され、火花によ粉塵爆
発を起こす危険性がある。
しかしながら、通常のHEPAフィルタには静電気除去対
策は施されておらず、静電気の帯電による爆発の危険性
は未解決のままであることを本発明者は見い出した。
策は施されておらず、静電気の帯電による爆発の危険性
は未解決のままであることを本発明者は見い出した。
本発明の目的は、静電気の帯電による爆発の危険性を
回避できるHEPAフィルタの静電気除去構造を提供するこ
とにある。
回避できるHEPAフィルタの静電気除去構造を提供するこ
とにある。
本発明のHEPAフィルタの静電気除去構造は、HEPAフィ
ルタに向けて圧縮空気を噴出して付着物を除去するクリ
ーニングユニットを備え、フィルタエレメントを互いに
離間させるセパレータどうしを導電手段で互いに接続し
てアースさせると共に、この導電手段を可撓性材料によ
り構成したものである。
ルタに向けて圧縮空気を噴出して付着物を除去するクリ
ーニングユニットを備え、フィルタエレメントを互いに
離間させるセパレータどうしを導電手段で互いに接続し
てアースさせると共に、この導電手段を可撓性材料によ
り構成したものである。
上記した手段によれば、HEPAフィルタに帯電しようと
する静電気はセパレータから各セパレータどうしを互い
に接続する導電手段を介してアースに放出されるので、
HEPAフィルタに過大な静電気が蓄積されることがなく、
静電気による粉塵爆発の危険性等の不具合を回避するこ
とが可能となる。
する静電気はセパレータから各セパレータどうしを互い
に接続する導電手段を介してアースに放出されるので、
HEPAフィルタに過大な静電気が蓄積されることがなく、
静電気による粉塵爆発の危険性等の不具合を回避するこ
とが可能となる。
第１図は本発明によるHEPAフィルタの静電気除去構造
の一実施例の拡大部分平面図、第２図はその部分側面
図、第３図は本発明のHEPAフィルタを装着できる集塵装
置の一部切欠平面図、第４図はその一部切欠正面図、第
５図はその一部切欠側面図である。
の一実施例の拡大部分平面図、第２図はその部分側面
図、第３図は本発明のHEPAフィルタを装着できる集塵装
置の一部切欠平面図、第４図はその一部切欠正面図、第
５図はその一部切欠側面図である。
この実施例において、HEPAフィルタＦは集塵装置１の
上部のフィルタハウジング２内に４個装着されている。
上部のフィルタハウジング２内に４個装着されている。
この集塵装置１は、フィルタハウジング２等を支持す
る架台３と、図示しないい真空ポンプ等の吸引手段によ
り原料が吸収されるホッパ４と、このホッパ４への原料
吸入口５と、捕集物の収容のための容器６と、HEPAフィ
ルタＦの支持用のフィルタベース７と、HEPAフィルタＦ
を着脱可能に固定するフィルタ着脱具８と、HEPAフィル
タＦに向けて圧縮空気を噴出して付着物を除去するクリ
ーニングユニット９と、ハウジングドア10と、圧力計11
と、HEPAフィルタＦで捕集物を捕集されたガスが排出さ
れる排気口12とからなる。
る架台３と、図示しないい真空ポンプ等の吸引手段によ
り原料が吸収されるホッパ４と、このホッパ４への原料
吸入口５と、捕集物の収容のための容器６と、HEPAフィ
ルタＦの支持用のフィルタベース７と、HEPAフィルタＦ
を着脱可能に固定するフィルタ着脱具８と、HEPAフィル
タＦに向けて圧縮空気を噴出して付着物を除去するクリ
ーニングユニット９と、ハウジングドア10と、圧力計11
と、HEPAフィルタＦで捕集物を捕集されたガスが排出さ
れる排気口12とからなる。
本実施例のHEPAフィルタＦは、たとえばガラス繊維と
通気性樹脂フィルタまたは樹脂繊維、特に非粘着性樹脂
繊維の不織布等の積層物を上下方向に襞状に構成した襞
状構造のフィルタエレメント13よりなり、第２図で見て
下方から上方に通過するガスの中に含まれる微粉等の捕
集物を捕集する。このHEPAフィルタＦのフィルタエレメ
ント13の各襞状部どうしを互いに離間状態に保持するた
め、金属板の屈曲構造よりなる複数枚のセパレータ14が
フィルタエレレント13の各空間内に上下方向に挿入さ
れ、その両端は固定剤15により金属製のフィルタケーシ
ング16に固定されている。
通気性樹脂フィルタまたは樹脂繊維、特に非粘着性樹脂
繊維の不織布等の積層物を上下方向に襞状に構成した襞
状構造のフィルタエレメント13よりなり、第２図で見て
下方から上方に通過するガスの中に含まれる微粉等の捕
集物を捕集する。このHEPAフィルタＦのフィルタエレメ
ント13の各襞状部どうしを互いに離間状態に保持するた
め、金属板の屈曲構造よりなる複数枚のセパレータ14が
フィルタエレレント13の各空間内に上下方向に挿入さ
れ、その両端は固定剤15により金属製のフィルタケーシ
ング16に固定されている。
このHEPAフィルタＦの各セパレータ14どうしはこのま
までは互いに離間された状態であるが、本実施例では、
各セパレータ14の上端および下端を互いに横断する方向
（第１図および第２図の左右方向）の２ヶ所に下撓性か
つ導電性の物質よりなる導電手段17を設け、各セパレー
タ14どうしを互いに導電接続している。
までは互いに離間された状態であるが、本実施例では、
各セパレータ14の上端および下端を互いに横断する方向
（第１図および第２図の左右方向）の２ヶ所に下撓性か
つ導電性の物質よりなる導電手段17を設け、各セパレー
タ14どうしを互いに導電接続している。
また、導電手段17の両端はHEPAフィルタＦのフィルタ
ケーシング16に導電接続されている。そして、フィルタ
ケーシング16はフィルタベース７および架台３等の装置
構成部材あるいは特別なアース配線18（第１図）等を介
してもしくは直接的にアース19に接続されている。
ケーシング16に導電接続されている。そして、フィルタ
ケーシング16はフィルタベース７および架台３等の装置
構成部材あるいは特別なアース配線18（第１図）等を介
してもしくは直接的にアース19に接続されている。
したがって、本実施例においては、HEPAフィルタＦの
フィルタエレメント13を離間させるセパレータ14は導電
手段17等を介してアース19に導電接続されている。
フィルタエレメント13を離間させるセパレータ14は導電
手段17等を介してアース19に導電接続されている。
次に、本実施例の作用について説明する。
まず、捕集されるべき微粉を含んだガスは、図示しな
い真空ポンプ等の吸引手段の吸引力により原料吸入口５
からホッパ４内に吸入され、該ホッパ４からその上方に
吸引される。
い真空ポンプ等の吸引手段の吸引力により原料吸入口５
からホッパ４内に吸入され、該ホッパ４からその上方に
吸引される。
次いで、ガスはホッパ４の上方のHEPAフィルタＦに到
達し、該HEPAフィルタＦを通過して該ガス中の微粉等が
捕集された後、清浄状態のガスのみが排気口12から集塵
装置１の外部に排出される。
達し、該HEPAフィルタＦを通過して該ガス中の微粉等が
捕集された後、清浄状態のガスのみが排気口12から集塵
装置１の外部に排出される。
HEPAフィルタＦで捕集された微粉等はクリーニングユ
ニット９で該HEPAフィルタＦの上方側から圧縮空気を噴
出することにより該HEPAフィルタＦから落下し、ホッパ
４内を経て容器６の中に集められる。容器６の微粉等の
捕集物は必要に応じて適宜外部に回収される。
ニット９で該HEPAフィルタＦの上方側から圧縮空気を噴
出することにより該HEPAフィルタＦから落下し、ホッパ
４内を経て容器６の中に集められる。容器６の微粉等の
捕集物は必要に応じて適宜外部に回収される。
上記の捕集工程において、HEPAフィルタＦには、摩擦
等により発生して微粉に帯電していた静電気が過大に蓄
積され、粉塵爆発等の原因となるおそれがある。それに
ついて、本実施例では、フィルタエレメント13の襞状部
分を互いに離間させているセパレータ14どうしが導電手
段17で互いに導電接続され、かつ該導電手段17からフィ
ルタケーシング16およびアース配線18を経てアース19に
導電接続されている。
等により発生して微粉に帯電していた静電気が過大に蓄
積され、粉塵爆発等の原因となるおそれがある。それに
ついて、本実施例では、フィルタエレメント13の襞状部
分を互いに離間させているセパレータ14どうしが導電手
段17で互いに導電接続され、かつ該導電手段17からフィ
ルタケーシング16およびアース配線18を経てアース19に
導電接続されている。
したがって、本実施例においては、HEPAフィルタＦに
帯電しようとする静電気は各セパレータ14から導電手段
17、フィルタケーシング16およびアース配線18を経てア
ース19に導かれ、放電される。
帯電しようとする静電気は各セパレータ14から導電手段
17、フィルタケーシング16およびアース配線18を経てア
ース19に導かれ、放電される。
その結果、本実施例の集塵装置１では、HEPAフィルタ
Ｆに過大な静電気が蓄積されて粉塵爆発を起こす危険性
を排除できる。
Ｆに過大な静電気が蓄積されて粉塵爆発を起こす危険性
を排除できる。
なお、本実施例における導電手段17としては、導電材
料の粉末を混入した合成樹脂またはゴムよりなるもの、
あるいは金属の細線からなる綿状物を充填した物質より
なるもの、さらには金属線や金属板、金属棒等、導電体
であれば様々なものを使用できる。特に、導電手段17が
可撓性を有する材料で構成されることにより、セパレー
タ14の振動性が失われないので、該セパレータ14として
の本来の機能が損なわれないという利点が得られる。
料の粉末を混入した合成樹脂またはゴムよりなるもの、
あるいは金属の細線からなる綿状物を充填した物質より
なるもの、さらには金属線や金属板、金属棒等、導電体
であれば様々なものを使用できる。特に、導電手段17が
可撓性を有する材料で構成されることにより、セパレー
タ14の振動性が失われないので、該セパレータ14として
の本来の機能が損なわれないという利点が得られる。
なお、本実施例は前記実施例に限定されるものではな
く、他の様々な変形が可能である。
く、他の様々な変形が可能である。
たとえば、導電手段17の構造、配線および個数や、該
導電手段17からのアース接続のとり方、フィルタエレメ
ント13の構造、材料等でも前記実施例以外のものとする
ことができる。フィルタエレメント13はガラス繊維また
は樹脂繊維もしくは通気性樹脂フィルムの積層物の他
に、それらの単層物、さらにはそれら以外の各種の材料
で作ることができる。
導電手段17からのアース接続のとり方、フィルタエレメ
ント13の構造、材料等でも前記実施例以外のものとする
ことができる。フィルタエレメント13はガラス繊維また
は樹脂繊維もしくは通気性樹脂フィルムの積層物の他
に、それらの単層物、さらにはそれら以外の各種の材料
で作ることができる。
また、本発明は不要な粉塵等な捕集の他に、たとえば
粉砕機で粉砕された微粉化製品の回収等にも利用でき
る。
粉砕機で粉砕された微粉化製品の回収等にも利用でき
る。
本発明によれば、フィルタエレメントと、このフィル
タエレメントを互いに離間させるセパレータとを備えた
HEPAフィルタの静電気除去構造であって、前記セパレー
タどうしを導電手段で互いに接続してアースしたことに
より、HEPAフィルタに帯電しようとする静電気が導電手
段によってアースされるので、HEPAフィルタに過大な静
電気が蓄積されて粉塵爆発を起こす危険性を排除でき
る。また、導電手段が可撓性を有する材料で構成される
ことにより、セパレータの振動性が失われないので、セ
パレータとしての本来の機能が損なわれない。
タエレメントを互いに離間させるセパレータとを備えた
HEPAフィルタの静電気除去構造であって、前記セパレー
タどうしを導電手段で互いに接続してアースしたことに
より、HEPAフィルタに帯電しようとする静電気が導電手
段によってアースされるので、HEPAフィルタに過大な静
電気が蓄積されて粉塵爆発を起こす危険性を排除でき
る。また、導電手段が可撓性を有する材料で構成される
ことにより、セパレータの振動性が失われないので、セ
パレータとしての本来の機能が損なわれない。
第１図は本発明によるHEPAフィルタの静電気除去構造の
一実施例の拡大部分平面図、第２図はその部分側面図、
第３図は本発明のHEPAフィルタを装着できる集塵装置の
一部切欠平面図、第４図はその一部切欠正面図、第５図
はその一部切欠側面図である。 １……集塵装置、 ２……フィルタハウジング、 ３……架台、 ４……ホッパ、 ５……原料吸入口、 ６……容器、 ７……フィルタベース、 ８……フィルタ着脱具、 ９……クリーニングユニット、 10……ハウジングドア、 11……圧力計、 12……排気口、 13……フィルタエレメント、 14……セパレータ、 15……固定剤、 16……フィルタケーシング、 17……導電手段、 18……アース配線、 19……アース、 Ｆ……HEPAフィルタ。
一実施例の拡大部分平面図、第２図はその部分側面図、
第３図は本発明のHEPAフィルタを装着できる集塵装置の
一部切欠平面図、第４図はその一部切欠正面図、第５図
はその一部切欠側面図である。 １……集塵装置、 ２……フィルタハウジング、 ３……架台、 ４……ホッパ、 ５……原料吸入口、 ６……容器、 ７……フィルタベース、 ８……フィルタ着脱具、 ９……クリーニングユニット、 10……ハウジングドア、 11……圧力計、 12……排気口、 13……フィルタエレメント、 14……セパレータ、 15……固定剤、 16……フィルタケーシング、 17……導電手段、 18……アース配線、 19……アース、 Ｆ……HEPAフィルタ。
Claims (8)
- 【請求項１】フィルタエレメントと、このフィルタエレ
メントを互いに離間させるセパレータとを備えたHEPAフ
ィルタの静電気除去構造であって、前記HEPAフィルタに
向けて圧縮空気を噴出して付着物を除去するクリーニン
グユニットを備え、前記セパレータどうしを導電手段で
互いに接続してアースすると共に、前記導電手段を可撓
性材料により構成したことを特徴とするHEPAフィルタの
静電気除去構造。 - 【請求項２】前記導電手段が、導電材料の粉末を混入し
た合成樹脂またはゴムよりなることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のHEPAフィルタの静電気除去構造。 - 【請求項３】前記導電手段が、金属の細線からなる線状
物を充填した物質よりなることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のHEPAフィルタの静電気除去構造。 - 【請求項４】前記フィルタエレメントが、ガラス繊維ま
たは樹脂繊維あるいは通気性樹脂フイルム等の単層もし
くは積層物の襞状構造よりなり、該襞状構造の各部分が
前記セパレータによって離間されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のHEPAフィルタの静電気除
去構造。 - 【請求項５】前記樹脂繊維が非粘着性樹脂よりなること
を特徴とする特許請求の範囲第４項記載のHEPAフィルタ
の静電気除去構造。 - 【請求項６】前記セパレータが直接アースに接続されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のHEPA
フィルタの静電気除去構造。 - 【請求項７】前記セパレータの端部を固定するフィルタ
ケーシングがアースに接続されていることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のHEPAフィルタの静電気除去
構造。 - 【請求項８】前記HEPAフィルタを装着した装置の一部が
アースに接続されていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のHEPAフィルタの静電気除去構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62044573A JPH0815526B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ｈｅｐａフイルタの静電気除去構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62044573A JPH0815526B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ｈｅｐａフイルタの静電気除去構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63209723A JPS63209723A (ja) | 1988-08-31 |
| JPH0815526B2 true JPH0815526B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=12695245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62044573A Expired - Fee Related JPH0815526B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ｈｅｐａフイルタの静電気除去構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815526B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1973629B1 (en) * | 2006-01-12 | 2013-11-06 | Camfil Ab | Cleanable dust filter comprising a zigzag pleated filter pack |
| JP5104530B2 (ja) * | 2008-05-08 | 2012-12-19 | 日立工機株式会社 | 遠心機 |
| JP2010240571A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Kuraray Co Ltd | フィルタユニットおよび気体浄化システム |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57181327U (ja) * | 1981-05-13 | 1982-11-17 |
-
1987
- 1987-02-27 JP JP62044573A patent/JPH0815526B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63209723A (ja) | 1988-08-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |