JPS63209723A - Ｈｅｐａフィルタの静電気除去構造 - Google Patents
Ｈｅｐａフィルタの静電気除去構造Info
- Publication number
- JPS63209723A JPS63209723A JP4457387A JP4457387A JPS63209723A JP S63209723 A JPS63209723 A JP S63209723A JP 4457387 A JP4457387 A JP 4457387A JP 4457387 A JP4457387 A JP 4457387A JP S63209723 A JPS63209723 A JP S63209723A
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- Japan
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- static electricity
- filter
- hepa filter
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- electricity removal
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はフィルタの静電気除去構造、特に、ＨＥＰＡフ
ィルタ （）Ｉｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒ
ｔｉｃｕｌａｔｅ＾ｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ ）の静電気除
去構造に関するものである。
ィルタ （）Ｉｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒ
ｔｉｃｕｌａｔｅ＾ｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ ）の静電気除
去構造に関するものである。
一般に、ＨＥＰＡフィルタは極めて高い捕集性能を持つ
フィルタとして良く知られており、微粉末を取り扱う様
々な技術分野、たとえば薬品の製造工程や半導体製造用
のクリーンルームなどの技術分野において利用されてい
る。
フィルタとして良く知られており、微粉末を取り扱う様
々な技術分野、たとえば薬品の製造工程や半導体製造用
のクリーンルームなどの技術分野において利用されてい
る。
ところが、通常のＨＥＰＡフィルタは捕集性能が高い反
面、その厚みが相当大きくなるため、捕集機のクリーン
・アップが困難であり、使い捨てにせざるを得ない。特
に、ダスト濃度の高い場所でＨＥＰＡフィルタを使用し
ようとすると、そのライフタイムが短くなり、使用に不
適であるなどの問題がある。
面、その厚みが相当大きくなるため、捕集機のクリーン
・アップが困難であり、使い捨てにせざるを得ない。特
に、ダスト濃度の高い場所でＨＥＰＡフィルタを使用し
ようとすると、そのライフタイムが短くなり、使用に不
適であるなどの問題がある。
特に、ＨＥＰΔフィルタでたとえば金属の微粉、硫黄粉
、複写機用トナー、さらには小麦粉の如き有機物の微粉
などを捕集して行く過程で粉末との摩擦などに起因して
過大な静電気がＨＥＰＡフィルタに蓄積され、火花によ
り粉塵爆発を起こす危険性がある。
、複写機用トナー、さらには小麦粉の如き有機物の微粉
などを捕集して行く過程で粉末との摩擦などに起因して
過大な静電気がＨＥＰＡフィルタに蓄積され、火花によ
り粉塵爆発を起こす危険性がある。
しかしながら、通常のＨＥＰＡフィルタには静電気除去
対策は施されておらず、静電気の帯電による爆発の危険
性は未解決のままであることを本発明者は見い出した。
対策は施されておらず、静電気の帯電による爆発の危険
性は未解決のままであることを本発明者は見い出した。
本発明の目的は、静電気の帯電による爆発の危険性を回
避できるＨＥＰＡフィルタの静電気除去構造を提供する
ことにある。
避できるＨＥＰＡフィルタの静電気除去構造を提供する
ことにある。
本発明のＨＥＰＡフィルタの静電気除去構造は、フィル
タエレメントを互いに離間させるセパレータどうしを導
電手段で互いに接続してアースさせたものである。
タエレメントを互いに離間させるセパレータどうしを導
電手段で互いに接続してアースさせたものである。
上記した手段によれば、ＨＥＰＡフィルタに帯電しよう
とする静電気はセパレータから各セパレータどうしを互
いに接続する導電手段を介してアースに放出されるので
、ＨＥＰＡフィルタに過大な静電気が蓄積されることが
なく、静電気による粉塵爆発の危険性等の不具合を回避
することが可能となる。
とする静電気はセパレータから各セパレータどうしを互
いに接続する導電手段を介してアースに放出されるので
、ＨＥＰＡフィルタに過大な静電気が蓄積されることが
なく、静電気による粉塵爆発の危険性等の不具合を回避
することが可能となる。
第１図は本発明によるＨＥＰＡフィルタの静電気除去構
造の一実施例の拡大部分平面図、第２図はその部分側面
図、第３図は本発明のＨＥＰＡフィルタを装着できる集
塵装置の一部切欠平面図、第４図はその一部切欠正面図
、第５図はその一部切欠側面図である。
造の一実施例の拡大部分平面図、第２図はその部分側面
図、第３図は本発明のＨＥＰＡフィルタを装着できる集
塵装置の一部切欠平面図、第４図はその一部切欠正面図
、第５図はその一部切欠側面図である。
この実施例において、ＨＥＰＡフィルタＦは集塵装置１
の上部のフィルタハウジング２内に４個装着されている
。
の上部のフィルタハウジング２内に４個装着されている
。
この集塵装置１は、フィルタハウジング２等を支持する
架台３と、図示しない真空ポンプ等の吸引手段により原
料が吸入されるホッパ４と、このホッパ４への原料吸入
口５と、捕集物の収容のための容器６と、ＨＥＰΔフィ
ルタＦの支持用のフィルタベース７と、ＨＥＰＡフィル
タＦを着脱可能に固定するフィルタ着脱具８と、ＨＥＰ
ＡフィルタＦに向けて圧縮空気を噴出して付着物を除去
するクリーニングユニット９と、ハウジングドア１０と
、圧力計１１と、ＨＥＰＡフィルタＦで捕集物を捕集さ
れたガスが排出される排気口１２とからなる。
架台３と、図示しない真空ポンプ等の吸引手段により原
料が吸入されるホッパ４と、このホッパ４への原料吸入
口５と、捕集物の収容のための容器６と、ＨＥＰΔフィ
ルタＦの支持用のフィルタベース７と、ＨＥＰＡフィル
タＦを着脱可能に固定するフィルタ着脱具８と、ＨＥＰ
ＡフィルタＦに向けて圧縮空気を噴出して付着物を除去
するクリーニングユニット９と、ハウジングドア１０と
、圧力計１１と、ＨＥＰＡフィルタＦで捕集物を捕集さ
れたガスが排出される排気口１２とからなる。
本実施例のＨＥＰＡフィルタＦは、たとえばガラス繊維
と通気性樹脂フィルムまたは樹脂繊維、特に非粘着性樹
脂繊維の不織布等の積層物を上下方向に襞状に構成した
襞状構造のフィルタエレメント１３よりなり、第２図で
見て下方から上方に通過するガスの中に含まれる微粉等
の捕集物を捕集する。このＨＥＰＡフィルタＦのフィル
タエレメント１３の各襞状部どうしを互いに離間状態に
保持するため、金属板の屈曲構造よりなる複数枚のセパ
レータ１４がフィルタエレメント１３の各空間内に上下
方向に挿入され、その両端は固定剤１５により金属製の
フィルタケーシング１６に固定されている。
と通気性樹脂フィルムまたは樹脂繊維、特に非粘着性樹
脂繊維の不織布等の積層物を上下方向に襞状に構成した
襞状構造のフィルタエレメント１３よりなり、第２図で
見て下方から上方に通過するガスの中に含まれる微粉等
の捕集物を捕集する。このＨＥＰＡフィルタＦのフィル
タエレメント１３の各襞状部どうしを互いに離間状態に
保持するため、金属板の屈曲構造よりなる複数枚のセパ
レータ１４がフィルタエレメント１３の各空間内に上下
方向に挿入され、その両端は固定剤１５により金属製の
フィルタケーシング１６に固定されている。
このＨＥＰＡフィルタＦの各セパレータ１４どうしはこ
のままでは互いに離間された状態であるが、本実施例で
は、各セパレータ１４の上端および下端を互いに横断す
る方向（第１図および第２図の左右方向）の２ケ所に可
撓性かつ導電性の物質よりなる導電手段１７を設け、各
セパレータ１４どうしを互いに導電接続している。
のままでは互いに離間された状態であるが、本実施例で
は、各セパレータ１４の上端および下端を互いに横断す
る方向（第１図および第２図の左右方向）の２ケ所に可
撓性かつ導電性の物質よりなる導電手段１７を設け、各
セパレータ１４どうしを互いに導電接続している。
また、導電手段１７の両端はＨＥＰＡフィルタＦのフィ
ルタケーシング１６に導電接続されている。そして、フ
ィルタケーシング１６はフィルタベース７および架台３
等の装置構成部材あるいは特別なアース配線１８（第１
図）等を介してもしくは直接的にアース１９に接続され
ている。
ルタケーシング１６に導電接続されている。そして、フ
ィルタケーシング１６はフィルタベース７および架台３
等の装置構成部材あるいは特別なアース配線１８（第１
図）等を介してもしくは直接的にアース１９に接続され
ている。
したがって、本実施例においては、ＨＥＰＡフィルタＦ
のフィルタエレメント１３を離間させるセパレータ１４
は導電手段１７等を介してアース１９に導電接続されて
いる。
のフィルタエレメント１３を離間させるセパレータ１４
は導電手段１７等を介してアース１９に導電接続されて
いる。
次に、本実施例の作用について説明する。
まず、捕集されるべき微粉を含んだガスは、図示しない
真空ポンプ等の吸引手段の吸引力により原料吸入口５か
らホッパ４内に吸入され、該ホッパ４からその上方に吸
引される。
真空ポンプ等の吸引手段の吸引力により原料吸入口５か
らホッパ４内に吸入され、該ホッパ４からその上方に吸
引される。
次いで、ガスはホッパ４の上方のＨＥＰＡフィルタＦに
到達し、該ＨＥＰＡフィルタＦを通過して該ガス中の微
粉等が捕集された後、清浄状態のガスのみが排気口１２
から集塵装置１の外部に排出される。
到達し、該ＨＥＰＡフィルタＦを通過して該ガス中の微
粉等が捕集された後、清浄状態のガスのみが排気口１２
から集塵装置１の外部に排出される。
ＨＥＰＡフィルタＦで捕集された微粉等はクリーニング
ユニット９で該ＨＥＰＡフィルタＦの上方側から圧縮空
気を噴出することにより該ＨＥＰＡフィルタＦから落下
し、ホッパ４内を経て容器６の中に集められる。容器６
の微粉等の捕集物は必要に応じて適宜外部に回収される
。
ユニット９で該ＨＥＰＡフィルタＦの上方側から圧縮空
気を噴出することにより該ＨＥＰＡフィルタＦから落下
し、ホッパ４内を経て容器６の中に集められる。容器６
の微粉等の捕集物は必要に応じて適宜外部に回収される
。
上記の捕集工程において、ＨＥＰＡフィルタＦには、摩
擦等により発生して微粉に帯電していた静電気が過大に
蓄積され、粉塵爆発等の原因となるおそれがある。それ
について、本実施例では、フィルタエレメント１３の襞
状部分を互いに離間させているセパレータ１４どうしが
導電手段１７で互いに導電接続され、かつ該導電手段１
７からフィルタケーシング１６およびアース配線１８を
経てアース１９に導電接続されている。
擦等により発生して微粉に帯電していた静電気が過大に
蓄積され、粉塵爆発等の原因となるおそれがある。それ
について、本実施例では、フィルタエレメント１３の襞
状部分を互いに離間させているセパレータ１４どうしが
導電手段１７で互いに導電接続され、かつ該導電手段１
７からフィルタケーシング１６およびアース配線１８を
経てアース１９に導電接続されている。
したがって、本実施例においては、ＨＥＰＡフィルタＦ
に帯電しようとする静電気は各セパレータ１４から導電
手段１７、フィルタケーシング１６およびアース配線１
８を経てアース１９に導かれ、放電される。
に帯電しようとする静電気は各セパレータ１４から導電
手段１７、フィルタケーシング１６およびアース配線１
８を経てアース１９に導かれ、放電される。
その結果、本実施例の集塵装置１では、ＨＥＰＡフィル
タＦに過大な静電気が蓄積されて粉塵爆発を起こす危険
性を排除できる。
タＦに過大な静電気が蓄積されて粉塵爆発を起こす危険
性を排除できる。
なお、本実施例における導電手段１７としては、導電材
料の粉末を混入した合成樹脂またはゴムよりなるもの、
あるいは金属の細線からなる綿状物を充填した物質より
なるもの、さらには金属線や金属板、金属棒等、導電体
であれば様々なものを使用できる。特に、導電手段１７
が可撓性を有する材料で構成されることにより、セパレ
ータ１４の振動性が失われないので、該セパレータ１４
としての本来の機能が損なわれないという利点が得られ
る。
料の粉末を混入した合成樹脂またはゴムよりなるもの、
あるいは金属の細線からなる綿状物を充填した物質より
なるもの、さらには金属線や金属板、金属棒等、導電体
であれば様々なものを使用できる。特に、導電手段１７
が可撓性を有する材料で構成されることにより、セパレ
ータ１４の振動性が失われないので、該セパレータ１４
としての本来の機能が損なわれないという利点が得られ
る。
なお、本実施例は前記実施例に限定されるものではなく
、他の様々な変形が可能である。
、他の様々な変形が可能である。
たとえば、導電手段１７の構造、配線および個数や、該
導電手段１７からのアース接続のとり方、フィルタエレ
メント１３の構造、材料等でも前記実施例以外のものと
することができる。フィルタエレメント１３はガラス繊
維または樹脂繊維もしくは通気性樹脂フィルムの積層物
の他に、それらの単層物、さらにはそれら以外の各種の
材料で作ることができる。
導電手段１７からのアース接続のとり方、フィルタエレ
メント１３の構造、材料等でも前記実施例以外のものと
することができる。フィルタエレメント１３はガラス繊
維または樹脂繊維もしくは通気性樹脂フィルムの積層物
の他に、それらの単層物、さらにはそれら以外の各種の
材料で作ることができる。
また、本発明は不要な粉塵笠な捕集の他に、たとえば粉
砕機で粉砕された微粉化製品の回収等にも利用できる。
砕機で粉砕された微粉化製品の回収等にも利用できる。
本発明によれば、フィルタエレメントと、このフィルタ
エレメントを互いに離間させるセパレータとを備えたＨ
ＥＰＡフィルタの静電気除去構造であって、前記セパレ
ータどうしを導電手段で互いに接続してアースしたこと
により、ＨＥＰＡフィルタに帯電しようとする静電気が
導電手段によ −ってアースされるので、ＨＥＰＡフ
ィルタに過大な静電気が蓄積されて粉塵爆発を起こす危
険性を排除できる。
エレメントを互いに離間させるセパレータとを備えたＨ
ＥＰＡフィルタの静電気除去構造であって、前記セパレ
ータどうしを導電手段で互いに接続してアースしたこと
により、ＨＥＰＡフィルタに帯電しようとする静電気が
導電手段によ −ってアースされるので、ＨＥＰＡフ
ィルタに過大な静電気が蓄積されて粉塵爆発を起こす危
険性を排除できる。
第１図は本発明によるＨＥＰＡフィルタの静電気除去構
造の一実施例の拡大部分平面図、第２図はその部分側面
図、第３図は本発明のＨＥＰＡフィルタを装着できる集
塵装置の一部切欠平面図、第４図はその一部切欠側面図
、第５図はその一部切欠側面図である。 ■・・・集塵装置、 ２・・・フィルタハウジング、 ３・・・架台、 ４・・・ホッパ、 ５・・・原料吸入口、 ６・・・容器、 ７・・・フィルタベース、 ８・・・フィルタ着脱具、 ９・・・クリーニングユニット、 １０・・・ハウジングドア、 １１・・・圧力計、 １２・・・排気口、 １３− ｌ ｌフィルタエレメント、 １４・・・セパレータ、 １５・・・固定剤、 １６・・・プイルタケーシング、 １７・・・導電手段、 １８・・・アース配線、 １９・・・アース、 Ｆ・・・ＨＥＰＡフィルタ。 特許出願人 フロイント産業株式会社代理人 弁理士
筒 井 大 相 同 弁理士 松 倉 秀 実第１図 第２図
造の一実施例の拡大部分平面図、第２図はその部分側面
図、第３図は本発明のＨＥＰＡフィルタを装着できる集
塵装置の一部切欠平面図、第４図はその一部切欠側面図
、第５図はその一部切欠側面図である。 ■・・・集塵装置、 ２・・・フィルタハウジング、 ３・・・架台、 ４・・・ホッパ、 ５・・・原料吸入口、 ６・・・容器、 ７・・・フィルタベース、 ８・・・フィルタ着脱具、 ９・・・クリーニングユニット、 １０・・・ハウジングドア、 １１・・・圧力計、 １２・・・排気口、 １３− ｌ ｌフィルタエレメント、 １４・・・セパレータ、 １５・・・固定剤、 １６・・・プイルタケーシング、 １７・・・導電手段、 １８・・・アース配線、 １９・・・アース、 Ｆ・・・ＨＥＰＡフィルタ。 特許出願人 フロイント産業株式会社代理人 弁理士
筒 井 大 相 同 弁理士 松 倉 秀 実第１図 第２図
Claims (8)
- （１）、フィルタエレメントと、このフィルタエレメン
トを互いに離間させるセパレータとを備えたＨＥＰＡフ
ィルタの静電気除去構造であって、前記セパレータどう
しを導電手段で互いに接続してアースしたことを特徴と
するＨＥＰＡフィルタの静電気除去構造。 - （２）、前記導電手段が、導電材料の粉末を混入した合
成樹脂またはゴムよりなることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のＨＥＰＡフィルタの静電気除去構造。 - （３）、前記導電手段が、金属の細線からなる綿状物を
充填した物質よりなることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のＨＥＰＡフィルタの静電気除去構造。 - （４）、前記フィルタエレメントが、ガラス繊維または
樹脂繊維あるいは通気性樹脂フィルム等の単層もしくは
積層物の襞状構造よりなり、該襞状構造の各部分が前記
セパレータによって離間されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のＨＥＰＡフィルタの静電気除
去構造。 - （５）、前記樹脂繊維が非粘着性樹脂よりなることを特
徴とする特許請求の範囲第４項記載のＨＥＰＡフィルタ
の静電気除去構造。 - （６）、前記セパレータが直接アースに接続されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＨＥＰＡ
フィルタの静電気除去構造。 - （７）、前記セパレータの端部を固定するフィルタケー
シングがアースに接続されていることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のＨＥＰＡフィルタの静電気除去
構造。 - （８）、前記ＨＥＰＡフィルタを装着した装置の一部が
アースに接続されていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のＨＥＰＡフィルタの静電気除去構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62044573A JPH0815526B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ｈｅｐａフイルタの静電気除去構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62044573A JPH0815526B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ｈｅｐａフイルタの静電気除去構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63209723A true JPS63209723A (ja) | 1988-08-31 |
| JPH0815526B2 JPH0815526B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=12695245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62044573A Expired - Fee Related JPH0815526B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ｈｅｐａフイルタの静電気除去構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815526B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007081245A1 (en) | 2006-01-12 | 2007-07-19 | Camfil Ab | Cleanable dust filter comprising a zigzag pleated filter pack |
| JP2009268980A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Hitachi Koki Co Ltd | 遠心機 |
| JP2010240571A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Kuraray Co Ltd | フィルタユニットおよび気体浄化システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57181327U (ja) * | 1981-05-13 | 1982-11-17 |
-
1987
- 1987-02-27 JP JP62044573A patent/JPH0815526B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57181327U (ja) * | 1981-05-13 | 1982-11-17 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007081245A1 (en) | 2006-01-12 | 2007-07-19 | Camfil Ab | Cleanable dust filter comprising a zigzag pleated filter pack |
| EP1973629A4 (en) * | 2006-01-12 | 2011-12-07 | Camfil Ab | CLEANABLE DUST FILTER WITH A ZIGZAG FOLDED FILTER PACK |
| JP2009268980A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Hitachi Koki Co Ltd | 遠心機 |
| JP2010240571A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Kuraray Co Ltd | フィルタユニットおよび気体浄化システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0815526B2 (ja) | 1996-02-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |