JPH0815541B2 - 制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法 - Google Patents
制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法Info
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- JPH0815541B2 JPH0815541B2 JP63156584A JP15658488A JPH0815541B2 JP H0815541 B2 JPH0815541 B2 JP H0815541B2 JP 63156584 A JP63156584 A JP 63156584A JP 15658488 A JP15658488 A JP 15658488A JP H0815541 B2 JPH0815541 B2 JP H0815541B2
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- valve
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/002—Component parts of these vessels not mentioned in B01J3/004, B01J3/006, B01J3/02 - B01J3/08; Measures taken in conjunction with the process to be carried out, e.g. safety measures
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 減圧状態の減圧室に気体を流入して大気圧にする機器
及び減圧室のリーク方法に関し、減圧室に流入させる流
入気体の流入速度を減速し、減圧室の室内圧が大気圧に
到達するまでの流入に要する時間を短縮させて、減圧室
内のパーティクルの浮遊を防止することが可能な制御機
能付きバルブ及び減圧室のリーク方法の提供を目的と
し、 流入気体の入口及び出口を備えた流路と、この流路に
おける流入気体の流入量を規制する弁体と、供給される
駆動気体と内蔵する弾性体の加勢力との圧力差によりこ
の弁体の開放状態を制御する手段とを具備するように構
成する。
及び減圧室のリーク方法に関し、減圧室に流入させる流
入気体の流入速度を減速し、減圧室の室内圧が大気圧に
到達するまでの流入に要する時間を短縮させて、減圧室
内のパーティクルの浮遊を防止することが可能な制御機
能付きバルブ及び減圧室のリーク方法の提供を目的と
し、 流入気体の入口及び出口を備えた流路と、この流路に
おける流入気体の流入量を規制する弁体と、供給される
駆動気体と内蔵する弾性体の加勢力との圧力差によりこ
の弁体の開放状態を制御する手段とを具備するように構
成する。
本発明は、真空を利用する装置に係り、特に減圧状態
の減圧室に気体を流入して大気圧にする機器及び減圧室
のリーク方法に関するものである。
の減圧室に気体を流入して大気圧にする機器及び減圧室
のリーク方法に関するものである。
近年、真空を利用する装置において、減圧状態の減圧
室に気体を流入して大気圧にする場合に、この減圧室に
流入する気体により減圧室内のパーティクルが室内に浮
遊し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着し、製
品の品質を劣化させる障害が発生している。
室に気体を流入して大気圧にする場合に、この減圧室に
流入する気体により減圧室内のパーティクルが室内に浮
遊し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着し、製
品の品質を劣化させる障害が発生している。
以上のような状況から減圧室に流入する気体により減
圧室内のパーティクルが室内に浮遊しないように、減圧
室に気体を流入させることが可能な機器及び方法が要望
されている。
圧室内のパーティクルが室内に浮遊しないように、減圧
室に気体を流入させることが可能な機器及び方法が要望
されている。
従来の減圧室に気体を流入させるのに用いる機器及び
方法について第３図〜第４図及び第６図により説明す
る。
方法について第３図〜第４図及び第６図により説明す
る。
第６図は従来の真空を用いる装置の減圧室のリーク方
法を説明する図である。
法を説明する図である。
図において、減圧状態にある減圧室10を大気圧にする
場合は、排気側のバルブ１を閉じて気体流入側にバルブ
19を駆動エアにより開くと、非常に圧力の高い流入気体
が減圧室10内に流入する。
場合は、排気側のバルブ１を閉じて気体流入側にバルブ
19を駆動エアにより開くと、非常に圧力の高い流入気体
が減圧室10内に流入する。
このようにして気体を減圧室10内に流入すると、第４
図に点線で示すように、非常に大きな流速で流入気体が
減圧室10に流入し、第３図に点線で示すように、減圧室
10の室内圧が急激に上昇して真空度が低下し、減圧室10
内の多量のパーティクルが浮遊し、減圧室10内の処理済
の製品の表面に付着し、製品の品質を劣化させ、製品歩
留りを低下させている。
図に点線で示すように、非常に大きな流速で流入気体が
減圧室10に流入し、第３図に点線で示すように、減圧室
10の室内圧が急激に上昇して真空度が低下し、減圧室10
内の多量のパーティクルが浮遊し、減圧室10内の処理済
の製品の表面に付着し、製品の品質を劣化させ、製品歩
留りを低下させている。
このような状態になるのを防止する方法として、第６
図に示すように流入気体の最大流量を制限するために流
量の微量調整が可能なニードルバルブ20をバルブ19の近
傍に設け、減圧室10内に流入する気体の流入を絞るとい
う方法、或いは更にフィルタ21を設けて流入を絞るとい
う方法を採用している。
図に示すように流入気体の最大流量を制限するために流
量の微量調整が可能なニードルバルブ20をバルブ19の近
傍に設け、減圧室10内に流入する気体の流入を絞るとい
う方法、或いは更にフィルタ21を設けて流入を絞るとい
う方法を採用している。
この場合は、第４図に一点鎖線にて示すような小さな
流速で流入するが、減圧室10の室内圧を大気圧にするた
めには第３図に一点鎖線にて示すように長時間が必要で
ある。
流速で流入するが、減圧室10の室内圧を大気圧にするた
めには第３図に一点鎖線にて示すように長時間が必要で
ある。
以上説明の従来の減圧室に気体を流入させるのに用い
る機器及び方法ににおいては、気体の流量が絞られてい
ない場合には、第４図の点線で示す流速の曲線の時間が
０に近い時点で、減圧室に流入する流入気体の流速が急
激に早くなるので、減圧室内のパーティクルが室内に浮
遊し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着すると
いう問題点があり、減圧室内のパーティクルが浮遊しな
いように流入気体の流量を非常に小さく設定して減圧室
への流体の流入を行う場合には、流速は第４図の一点鎖
線で示す曲線のように推移し、減圧室内圧を大気圧にす
るのに第３図に一点鎖線にて示すように非常に長時間を
必要とし、実用に供することが出来ないという問題があ
り、流入側のバルブにパルスモータを用いた電動式バル
ブが採用される場合があるが、コスト或いは設置に要す
るスペース等に問題があり、既存設備への導入が困難で
あるという問題点があった。
る機器及び方法ににおいては、気体の流量が絞られてい
ない場合には、第４図の点線で示す流速の曲線の時間が
０に近い時点で、減圧室に流入する流入気体の流速が急
激に早くなるので、減圧室内のパーティクルが室内に浮
遊し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着すると
いう問題点があり、減圧室内のパーティクルが浮遊しな
いように流入気体の流量を非常に小さく設定して減圧室
への流体の流入を行う場合には、流速は第４図の一点鎖
線で示す曲線のように推移し、減圧室内圧を大気圧にす
るのに第３図に一点鎖線にて示すように非常に長時間を
必要とし、実用に供することが出来ないという問題があ
り、流入側のバルブにパルスモータを用いた電動式バル
ブが採用される場合があるが、コスト或いは設置に要す
るスペース等に問題があり、既存設備への導入が困難で
あるという問題点があった。
本発明は以上のような状況から減圧室に流入させる流
入気体の流入速度を減速し、減圧室内のパーティクルの
浮遊を防止するとともに、大気圧に到達する時間を短縮
させることが可能な制御機能付きバルブ及び減圧室のリ
ーク方法の提供を目的としたものである。
入気体の流入速度を減速し、減圧室内のパーティクルの
浮遊を防止するとともに、大気圧に到達する時間を短縮
させることが可能な制御機能付きバルブ及び減圧室のリ
ーク方法の提供を目的としたものである。
本発明の制御機能付きバルブは、流入気体の入口及び
出口を備えた流路と、この流路における該流入気体の流
入量を規制する弁体と、供給される駆動気体と内蔵する
弾性体の加勢力との圧力差により該弁体の開放状態を制
御する手段とを具備するように構成する。
出口を備えた流路と、この流路における該流入気体の流
入量を規制する弁体と、供給される駆動気体と内蔵する
弾性体の加勢力との圧力差により該弁体の開放状態を制
御する手段とを具備するように構成する。
本発明の減圧室のリーク方法は、制御機能付きバルブ
によりこの弁体の開放状態を制御し、この減圧室への流
入気体の流入速度を制御するように構成する。
によりこの弁体の開放状態を制御し、この減圧室への流
入気体の流入速度を制御するように構成する。
流入気体によりパーティクルが浮遊するか否かを決め
るのは、パーティクルの付着力をρ，流入気体の圧力を
p,パーティクルと気体分子との衝突確立をλとすると、
ρ＞ｐλの条件を満足する場合には、パーティクルの浮
遊が発生しない。
るのは、パーティクルの付着力をρ，流入気体の圧力を
p,パーティクルと気体分子との衝突確立をλとすると、
ρ＞ｐλの条件を満足する場合には、パーティクルの浮
遊が発生しない。
この条件を流入気体の流入開始時より流入完了まで持
続させることが必要である。
続させることが必要である。
即ち、減圧室の室内圧が低く、パーティクルと気体分
子との衝突確率λが大きな間は流入気体の流入速度を減
速しておき、減圧室の室内圧が高くなるに従ってパーテ
ィクルと気体分子との衝突確率λが小さくなれば、流入
気体の流量を多くして減圧室の室内圧を高くしてもパー
ティクルの浮遊は生じない。
子との衝突確率λが大きな間は流入気体の流入速度を減
速しておき、減圧室の室内圧が高くなるに従ってパーテ
ィクルと気体分子との衝突確率λが小さくなれば、流入
気体の流量を多くして減圧室の室内圧を高くしてもパー
ティクルの浮遊は生じない。
本発明においては、第１図或いは第５図に示すような
制御機能付きバルブを用いるので、減圧室のリークに際
してその弁体の動作を流入気体の流入速度を減速するよ
うに制御し、その弁体の開放状態を上記の条件に適合す
るように行うので、減圧室への流入気体の流速は第４図
に実線にて示すように推移し、減圧室の室内圧は第３図
に実線にて示すように推移する。
制御機能付きバルブを用いるので、減圧室のリークに際
してその弁体の動作を流入気体の流入速度を減速するよ
うに制御し、その弁体の開放状態を上記の条件に適合す
るように行うので、減圧室への流入気体の流速は第４図
に実線にて示すように推移し、減圧室の室内圧は第３図
に実線にて示すように推移する。
このように減圧室への流入気体の流入速度を減速する
ことにより、減圧室の室内圧を制御することができ、減
圧室内におけるパーティクルの浮遊を防止することが可
能となる。
ことにより、減圧室の室内圧を制御することができ、減
圧室内におけるパーティクルの浮遊を防止することが可
能となる。
以下第１図〜第４図について本発明の一実施例を、第
５図について本発明の他の実施例を説明する。
５図について本発明の他の実施例を説明する。
第１図は本発明による一実施例の制御機能付きバルブ
の構造を示す図であり、第２図は本発明による一実施例
の減圧室のリーク方法を説明する図である。
の構造を示す図であり、第２図は本発明による一実施例
の減圧室のリーク方法を説明する図である。
第１図および第２図において、駆動エアが供給されて
いない場合には、弁体２はスプリング５の圧力により弁
座１に押しつけられてこの制御機能付きバルブは流入気
体が減圧室10に流入しないように遮断している。
いない場合には、弁体２はスプリング５の圧力により弁
座１に押しつけられてこの制御機能付きバルブは流入気
体が減圧室10に流入しないように遮断している。
減圧室10に流入気体を流入させようとする場合には、
まず三方切換弁９に通電して作動させ、駆動エアをニー
ドルバルブ７を通してシリンダ３のスプリング５を収容
していないピストン４の下部の部分に流入させる。
まず三方切換弁９に通電して作動させ、駆動エアをニー
ドルバルブ７を通してシリンダ３のスプリング５を収容
していないピストン４の下部の部分に流入させる。
この駆動エアの圧力は徐々に高くなりピストン４を押
し上げる。このピストン４の動作に伴いピストン４に連
結されている弁体２も徐々に押し上げられて弁座１から
離れ、その間に隙間が生じる。
し上げる。このピストン４の動作に伴いピストン４に連
結されている弁体２も徐々に押し上げられて弁座１から
離れ、その間に隙間が生じる。
このように弁体２と弁座１の隙間が徐々に変化するの
で、流入気体の減圧室10への良好な流入が可能となる。
で、流入気体の減圧室10への良好な流入が可能となる。
流入気体の流入を停止する場合は、三方切換弁９への
通電を停止すると、シリンダ３のピストン４の下部に供
給されていた駆動エアは直ちに逆止弁８を通って三方切
換弁９の排気口から排出される。
通電を停止すると、シリンダ３のピストン４の下部に供
給されていた駆動エアは直ちに逆止弁８を通って三方切
換弁９の排気口から排出される。
このように弁座１と弁体２の隙間が徐々に大きくなる
と、減圧室10の室内圧は第３図に実線にて示すように変
化し、流入気体の流速は第４図に実線にて示すように変
化する。
と、減圧室10の室内圧は第３図に実線にて示すように変
化し、流入気体の流速は第４図に実線にて示すように変
化する。
第３図に時間の経過に伴う減圧室10の室内圧の変化を
示している。
示している。
本発明による一実施例の減圧室10の室内圧は第３図に
実線にて示すようになり、流入する流入気体に何ら対策
を講じない点線にて示す場合と、減圧室10の室内圧が大
気圧に到達する時間はほぼ同じであるが、流入気体の流
入の初期の室内圧の上昇が非常に緩やかである。
実線にて示すようになり、流入する流入気体に何ら対策
を講じない点線にて示す場合と、減圧室10の室内圧が大
気圧に到達する時間はほぼ同じであるが、流入気体の流
入の初期の室内圧の上昇が非常に緩やかである。
したがって、第４図に示す本発明による一実施例の減
圧室10内に流入する実線にて示す流入気体の総量は、流
入する流入気体に何ら対策を講じない点線にて示す場合
或いは流入する流入気体の流量を絞った一点鎖線にて示
す場合の総量と同量であるが、本発明による一実施例の
実線の場合はリークに要する時間の等しい点線の場合と
比較すると、流入気体の流入の初期の流速が非常に小さ
いので、減圧室10内のパーティクルを浮遊させることが
なくなる。
圧室10内に流入する実線にて示す流入気体の総量は、流
入する流入気体に何ら対策を講じない点線にて示す場合
或いは流入する流入気体の流量を絞った一点鎖線にて示
す場合の総量と同量であるが、本発明による一実施例の
実線の場合はリークに要する時間の等しい点線の場合と
比較すると、流入気体の流入の初期の流速が非常に小さ
いので、減圧室10内のパーティクルを浮遊させることが
なくなる。
第５図に本発明による他の実施例の制御機能付きバル
ブの構造図を示す。
ブの構造図を示す。
この実施例は上記の一実施例の弁体２の油圧制御器６
の軸に接続し、弁体２の動作に制御を加えて更に弁体２
が円滑に移動するようにしている。
の軸に接続し、弁体２の動作に制御を加えて更に弁体２
が円滑に移動するようにしている。
以上の説明から明らかなように本発明によれば簡単な
構造の制御機能付きバルブを、減圧室に流入させる流入
気体の配管に接続して配設するので、減圧室の室内圧を
急激に上昇させないようにすることができ、流入の初期
の流入気体の流速が低いにもかかわらず、初期の流入気
体の流速が高い場合と同じ短時間に流入気体を減圧室に
流入させることが可能となり、減圧室内部でのパーティ
クルの浮遊を防止することが可能となる等の利点があ
り、著しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待できる
工業的には極めて有用なものである。
構造の制御機能付きバルブを、減圧室に流入させる流入
気体の配管に接続して配設するので、減圧室の室内圧を
急激に上昇させないようにすることができ、流入の初期
の流入気体の流速が低いにもかかわらず、初期の流入気
体の流速が高い場合と同じ短時間に流入気体を減圧室に
流入させることが可能となり、減圧室内部でのパーティ
クルの浮遊を防止することが可能となる等の利点があ
り、著しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待できる
工業的には極めて有用なものである。
第１図は本発明による一実施例の制御機能付きバルブの
構造を示す側断面図、 第２図は本発明による一実施例の減圧室のリーク方法を
説明する図、 第３図は減圧室の室内圧の推移を示す図、 第４図は流入する流入気体の流速の推移を示す図、 第５図は本発明による他の実施例の自己機能付きバルブ
の構造を示す側断面図、 第６図は従来の減圧室のリーク方法を説明する図、 である。 図において、 １は弁座、 ２は弁体、 ３はシリンダ、 ４はピストン、 ５はスプリング、 ６は油圧制御器、 ７はニードルバルブ、 ８は逆止弁、 ９は三方切換弁、 10は減圧室、 を示す。
構造を示す側断面図、 第２図は本発明による一実施例の減圧室のリーク方法を
説明する図、 第３図は減圧室の室内圧の推移を示す図、 第４図は流入する流入気体の流速の推移を示す図、 第５図は本発明による他の実施例の自己機能付きバルブ
の構造を示す側断面図、 第６図は従来の減圧室のリーク方法を説明する図、 である。 図において、 １は弁座、 ２は弁体、 ３はシリンダ、 ４はピストン、 ５はスプリング、 ６は油圧制御器、 ７はニードルバルブ、 ８は逆止弁、 ９は三方切換弁、 10は減圧室、 を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 優 福島県会津若松市門田町工業団地４番地 株式会社富士通東北エレクトロニクス内 (56)参考文献 特開 昭61−6472（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】流入気体の入口及び出口を備えた流路と、 該流路における該流入気体の流入量を規制する弁体と、 供給される駆動気体と内蔵する弾性体の加勢力との圧力
差により該弁体の開放状態を制御する手段と、 を具備することを特徴とする制御機能付きバルブ。 - 【請求項２】請求項１記載の制御機能付きバルブにより
前記弁体の開放状態を制御し、前記減圧室への前記流入
気体の流入速度を制御することを特徴とする減圧室のリ
ーク方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156584A JPH0815541B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156584A JPH0815541B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026834A JPH026834A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH0815541B2 true JPH0815541B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=15630960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63156584A Expired - Fee Related JPH0815541B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815541B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002361118A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-17 | Rita System Kk | 塗料供給用流量調節弁 |
| JP4923969B2 (ja) * | 2006-11-16 | 2012-04-25 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池システム |
| JP5040411B2 (ja) | 2007-04-18 | 2012-10-03 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池システム |
| JP5248629B2 (ja) | 2008-01-25 | 2013-07-31 | アライアンス フォー サステイナブル エナジー リミテッド ライアビリティ カンパニー | 除湿のために、膜に含有された液体乾燥剤を用いる間接蒸発冷却器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS616472A (ja) * | 1984-06-20 | 1986-01-13 | Hitachi Ltd | リ−ク装置 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP63156584A patent/JPH0815541B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH026834A (ja) | 1990-01-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |