JPS616472A - リ−ク装置 - Google Patents
リ−ク装置Info
- Publication number
- JPS616472A JPS616472A JP12519184A JP12519184A JPS616472A JP S616472 A JPS616472 A JP S616472A JP 12519184 A JP12519184 A JP 12519184A JP 12519184 A JP12519184 A JP 12519184A JP S616472 A JPS616472 A JP S616472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- valve
- leak
- gas introduction
- little
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Self-Closing Valves And Venting Or Aerating Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、リーク装置に係り、特に真空容器のリークに
好適なリーク装置に関するものである。
好適なリーク装置に関するものである。
真空容器にリークガスを導入してリークする技術として
は、例えば、実開昭５８−１５０８３６号公報壷こ示す
ように、真空容器に連結されたり−クガス導入ラインに
設けられたバルブの開度な真空容器内の圧力により調節
して真空容器へリークガスを導入する技術が知られてい
る。
は、例えば、実開昭５８−１５０８３６号公報壷こ示す
ように、真空容器に連結されたり−クガス導入ラインに
設けられたバルブの開度な真空容器内の圧力により調節
して真空容器へリークガスを導入する技術が知られてい
る。
この技術では、真空容器のリーク初期時に多量のリーク
ガスが急激に真空容器内に導入されるため、真空容器内
で発塵するという問題があった。
ガスが急激に真空容器内に導入されるため、真空容器内
で発塵するという問題があった。
本発明の目的は、真空容器のリーク初期時にリークガス
を少量ずつ真空容器内に導入することで、−′
真空容器内での発塵な防止できるリーク装置を
提供することにある。
を少量ずつ真空容器内に導入することで、−′
真空容器内での発塵な防止できるリーク装置を
提供することにある。
本発明は、リーク装置を、真空容器のリーク孔と連通ず
る弁孔が穿設された弁体と、該弁体に気密に設けられた
弁箱と、弁孔に開口面積可変に挿入されオリフィス支持
体とベローズフランジとを介して弁箱に内設されたオリ
フィスと、ベローズフランジ内と連通し弁箱に連結され
たリークガス導入ラインと、該ラインから分岐してベロ
ーズフランジ外の弁箱内と連通可能に訳弁箱に連結され
たり−クガス導入分岐ラインと、開口面積を拡大可能に
弁体とオリフィス支持体との間に設けられた弾性体と、
リークガス導入分岐ラインよりベローズフランジ外の弁
箱内に導入されたリークカスを弁箱内から真空容器内に
少量ずつ導入するガス導入スリット若しくはガス導入孔
とで構成したことを特徴とするもので、真空容器のリー
ク初期時にリークガスを少量ずつ導入するようにしたも
のである。
る弁孔が穿設された弁体と、該弁体に気密に設けられた
弁箱と、弁孔に開口面積可変に挿入されオリフィス支持
体とベローズフランジとを介して弁箱に内設されたオリ
フィスと、ベローズフランジ内と連通し弁箱に連結され
たリークガス導入ラインと、該ラインから分岐してベロ
ーズフランジ外の弁箱内と連通可能に訳弁箱に連結され
たり−クガス導入分岐ラインと、開口面積を拡大可能に
弁体とオリフィス支持体との間に設けられた弾性体と、
リークガス導入分岐ラインよりベローズフランジ外の弁
箱内に導入されたリークカスを弁箱内から真空容器内に
少量ずつ導入するガス導入スリット若しくはガス導入孔
とで構成したことを特徴とするもので、真空容器のリー
ク初期時にリークガスを少量ずつ導入するようにしたも
のである。
本発明の一実施例を図面により説明する。
図面で、真空容器１０の側壁には、この場合、リーク孔
であり、また、弁孔でもある形状がロート状の孔加が穿
設されている。したがって、この場合は、真空容器１０
の側壁が弁体２１となり、弁体２１には、弁箱ｎが気密
に設けられている。形状が孔加と対応する形状、つまり
、円錐台形のオリフィスｎは、孔加に開口面積可変に挿
入されオリフィス支持体Ｕとベローズフランジｂとを介
して弁箱ρに内設されている。弁箱ηには、ベローズフ
ランジδ内、つまり、弁箱ｎの側壁とオリフィス支持体
列とベローズフランジδとで形成された空間Ａと連通し
てリークガス導入ラインにが連結され、リークガス導入
ラインがより分岐したリークガス導入分岐ラインｎが、
ベローズフランジδ外の弁箱ｎ内、つまり空間Ａと遮断
された空間Ｂに連通可能に連結されている。この場合、
リークガス導入分岐ラインｎには、バルブ公が設けられ
ると共にバルブ塾の後流側にはフィルター四が設けられ
ている。弁体２１とオリフィス支持体列との間には、開
口面積を拡大可能に弾性体、例えばコイルバネ（９）が
設けられている。リークガス導入分岐ラインｎより空間
Ｂに導入されたリークガスを空間Ｂから真空容器１０内
に少量ずつ導入する、この場合、ガス導入スリット３１
が、孔加と接触するオリフィスるの面に形成されている
。
であり、また、弁孔でもある形状がロート状の孔加が穿
設されている。したがって、この場合は、真空容器１０
の側壁が弁体２１となり、弁体２１には、弁箱ｎが気密
に設けられている。形状が孔加と対応する形状、つまり
、円錐台形のオリフィスｎは、孔加に開口面積可変に挿
入されオリフィス支持体Ｕとベローズフランジｂとを介
して弁箱ρに内設されている。弁箱ηには、ベローズフ
ランジδ内、つまり、弁箱ｎの側壁とオリフィス支持体
列とベローズフランジδとで形成された空間Ａと連通し
てリークガス導入ラインにが連結され、リークガス導入
ラインがより分岐したリークガス導入分岐ラインｎが、
ベローズフランジδ外の弁箱ｎ内、つまり空間Ａと遮断
された空間Ｂに連通可能に連結されている。この場合、
リークガス導入分岐ラインｎには、バルブ公が設けられ
ると共にバルブ塾の後流側にはフィルター四が設けられ
ている。弁体２１とオリフィス支持体列との間には、開
口面積を拡大可能に弾性体、例えばコイルバネ（９）が
設けられている。リークガス導入分岐ラインｎより空間
Ｂに導入されたリークガスを空間Ｂから真空容器１０内
に少量ずつ導入する、この場合、ガス導入スリット３１
が、孔加と接触するオリフィスるの面に形成されている
。
図面は、オリフィスＺが閉止され真空容器ｌＯ内が所定
真空圧力にある状態を示すもので、真空容器ｌＯは、こ
の状態から次のようにしてリークされる。
真空圧力にある状態を示すもので、真空容器ｌＯは、こ
の状態から次のようにしてリークされる。
図面で、バルブＺが開弁されると、リークガス導入ライ
ンがからリークガス導入分岐ラインかに分流されたリー
クガスは、フィルター四で清浄にされた後に空間Ｂに導
入される。空間Ｂに導入されたリークガスは、ガス導入
スリット３１を介して空間Ｂから真空容器１０内に少量
ずつ導入される。
ンがからリークガス導入分岐ラインかに分流されたリー
クガスは、フィルター四で清浄にされた後に空間Ｂに導
入される。空間Ｂに導入されたリークガスは、ガス導入
スリット３１を介して空間Ｂから真空容器１０内に少量
ずつ導入される。
これにより真空容器１０内の圧力は徐々に上昇するよう
になる。その後、空間Ａと空間Ｂとの圧力差によるオリ
フィスｎを孔加に押し付ける力がコイルバネ（資）のバ
ネ力よりも小さ曵なった時点で、この押し付は力とバ不
力との差力によりオリフィスｎは徐々に開けられ開口面
積が拡大する。この開口面積の拡大により空間Ｂより真
空容器ｌＯ内に導入されるリークガスの量が増加し、こ
れにより、真空容器１０内は速やかにリークされる。
になる。その後、空間Ａと空間Ｂとの圧力差によるオリ
フィスｎを孔加に押し付ける力がコイルバネ（資）のバ
ネ力よりも小さ曵なった時点で、この押し付は力とバ不
力との差力によりオリフィスｎは徐々に開けられ開口面
積が拡大する。この開口面積の拡大により空間Ｂより真
空容器ｌＯ内に導入されるリークガスの量が増加し、こ
れにより、真空容器１０内は速やかにリークされる。
本実施例のようなリーク装置では、次のような効果が得
られる。
られる。
（１）真空容器のリーク初期時にガス導入スリットを介
してリークガスを少量ずつ真空容器内に導入するので、
真空容器内の発塵を防止できる。
してリークガスを少量ずつ真空容器内に導入するので、
真空容器内の発塵を防止できる。
（２）リーク初期経過後、真空容器内に導入されるリー
クガスの量が増加するので、真空容器のリークに要する
時間を短縮できる。
クガスの量が増加するので、真空容器のリークに要する
時間を短縮できる。
なお、本実施例では、ガス導入スリットをオリフィスに
形成しているが、この他をこ、孔に形成するようにして
も良い。また、ガス導入孔を真空容器内と空間Ｂとを連
通させて他の部材に形成しても良い。
形成しているが、この他をこ、孔に形成するようにして
も良い。また、ガス導入孔を真空容器内と空間Ｂとを連
通させて他の部材に形成しても良い。
本発明は、以上説明したように、リーク装置を、真空容
器のリーク孔と連通する弁孔が穿設された弁体と、該弁
体に気密に設けられた弁箱と、弁孔に開口面積可変に挿
入されオリフィス支持体とべローズフランジとを介して
弁箱に内設されたオリフィスと、ベローズフランジ内と
連通し弁箱に連り 結されたり−若ガス導入ラインと、該ラインから、分岐
してベローズフランジ外の弁箱内と連通可能に該弁箱に
連結されたリークガス導入分岐ラインと、開口面積を拡
大可能に弁体とオリフィス支持体との間に設けられた弾
性体と、゛リークガス導入分岐ラインよりベローズフラ
ンジ外の弁箱内に導入されたリークガスを弁箱内から真
空容器内に少量ずつ導入するガス導入スリット若しくは
ガス導入孔とで構成したことで、真空容器のリーク初期
時にリークガスを少量ずつ真空容器内に導入できるので
、真空容器内での発塵な防止できるという効果がある。
器のリーク孔と連通する弁孔が穿設された弁体と、該弁
体に気密に設けられた弁箱と、弁孔に開口面積可変に挿
入されオリフィス支持体とべローズフランジとを介して
弁箱に内設されたオリフィスと、ベローズフランジ内と
連通し弁箱に連り 結されたり−若ガス導入ラインと、該ラインから、分岐
してベローズフランジ外の弁箱内と連通可能に該弁箱に
連結されたリークガス導入分岐ラインと、開口面積を拡
大可能に弁体とオリフィス支持体との間に設けられた弾
性体と、゛リークガス導入分岐ラインよりベローズフラ
ンジ外の弁箱内に導入されたリークガスを弁箱内から真
空容器内に少量ずつ導入するガス導入スリット若しくは
ガス導入孔とで構成したことで、真空容器のリーク初期
時にリークガスを少量ずつ真空容器内に導入できるので
、真空容器内での発塵な防止できるという効果がある。
図面は、本発明によるリーク装置の一実施例を示す断面
図である。
図である。
Claims (1)
- １、真空容器のリーク孔と連通する弁孔が穿設された弁
体と、該弁体に気密に設けられた弁箱と、前記弁孔に開
口面積可変に挿入されオリフィス支持体とベローズフラ
ンジとを介して前記弁箱に内設されたオリフィスと、前
記ベローズフランジ内と連通し前記弁箱に連結されたリ
ークガス導入ラインと、該ラインから分岐して前記ベロ
ーズフランジ外の前記弁箱内と連通可能に該弁箱に連結
されたリークガス導入分岐ラインと、前記開口面積を拡
大可能に前記弁体と前記オリフィス支持体との間に設け
られた弾性体と、前記リークガス導入分岐ラインより前
記ベローズフランジ外の前記弁箱内へ導入されたリース
ガスを該弁箱内から前記真空容器内に少量ずつ導入する
ガス導入スリット若しくはガス導入孔とで構成したこと
を特徴とするリーク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12519184A JPS616472A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | リ−ク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12519184A JPS616472A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | リ−ク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS616472A true JPS616472A (ja) | 1986-01-13 |
Family
ID=14904166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12519184A Pending JPS616472A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | リ−ク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS616472A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6370620A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-30 | Nec Corp | フリツプフロツプ |
| JPH026834A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Fujitsu Ltd | 制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法 |
-
1984
- 1984-06-20 JP JP12519184A patent/JPS616472A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6370620A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-30 | Nec Corp | フリツプフロツプ |
| JPH026834A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Fujitsu Ltd | 制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法 |
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