JPH0815543B2 - スローベント用バルブ及びその制御方法 - Google Patents
スローベント用バルブ及びその制御方法Info
- Publication number
- JPH0815543B2 JPH0815543B2 JP63156586A JP15658688A JPH0815543B2 JP H0815543 B2 JPH0815543 B2 JP H0815543B2 JP 63156586 A JP63156586 A JP 63156586A JP 15658688 A JP15658688 A JP 15658688A JP H0815543 B2 JPH0815543 B2 JP H0815543B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- decompression chamber
- gas
- valve
- valve body
- closing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/002—Component parts of these vessels not mentioned in B01J3/004, B01J3/006, B01J3/02 - B01J3/08; Measures taken in conjunction with the process to be carried out, e.g. safety measures
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 減圧状態の減圧室に気体を流入して大気圧にする機器
及びその制御方法に関し、 減圧室に流入させる気体の流量を可変にして大気圧に
到達する時間を短縮し、減圧室内でのパーティクルの浮
遊を防止することが可能な、スローベント用バルブ及び
その制御方法の提供を目的とし、 減圧室に流入する気体の流量を制御するのに用いるバ
ルブであって、流入気体を一時収容する圧力容器と、こ
の圧力容器と気体流入側との間に設けた流入側の弁体
と、この圧力容器とこの減圧室との間に設けた流出側の
弁体と、この流入側の弁体の開閉と、この流出側の弁体
の開閉とを個々に独立して制御する制御装置とを具備す
るように構成する。
及びその制御方法に関し、 減圧室に流入させる気体の流量を可変にして大気圧に
到達する時間を短縮し、減圧室内でのパーティクルの浮
遊を防止することが可能な、スローベント用バルブ及び
その制御方法の提供を目的とし、 減圧室に流入する気体の流量を制御するのに用いるバ
ルブであって、流入気体を一時収容する圧力容器と、こ
の圧力容器と気体流入側との間に設けた流入側の弁体
と、この圧力容器とこの減圧室との間に設けた流出側の
弁体と、この流入側の弁体の開閉と、この流出側の弁体
の開閉とを個々に独立して制御する制御装置とを具備す
るように構成する。
本発明は、真空を利用する装置に係り、特に減圧状態
の減圧室に気体を流入して大気圧にする機器及びその制
御方法に関するものである。
の減圧室に気体を流入して大気圧にする機器及びその制
御方法に関するものである。
近年、真空を利用する装置において、減圧状態の減圧
室に気体を流入して大気圧にする場合に、この減圧室に
流入する気体により減圧室内のパーティクルが室内に浮
遊し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着し、製
品の品質を劣化させる障害が発生している。
室に気体を流入して大気圧にする場合に、この減圧室に
流入する気体により減圧室内のパーティクルが室内に浮
遊し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着し、製
品の品質を劣化させる障害が発生している。
以上のような状況から減圧室に流入する気体により減
圧室内のパーティクルが室内に浮遊しないように、減圧
室に気体を流入させることが可能な機器及び方法が要望
されている。
圧室内のパーティクルが室内に浮遊しないように、減圧
室に気体を流入させることが可能な機器及び方法が要望
されている。
従来の減圧室に気体を流入させるのに用いる機器及び
方法について第６図〜第８図により説明する。
方法について第６図〜第８図により説明する。
第６図は従来の真空を用いる装置の構成図である。図
において、減圧状態にある減圧室16を大気圧にする場合
は、排気側のバルブ18を閉じて気体流入側のバルブ17を
開けると、減圧室16の室内圧と外気の圧力との圧力差に
より、流速の速い気流が生じて減圧室16内に外気が流入
する。
において、減圧状態にある減圧室16を大気圧にする場合
は、排気側のバルブ18を閉じて気体流入側のバルブ17を
開けると、減圧室16の室内圧と外気の圧力との圧力差に
より、流速の速い気流が生じて減圧室16内に外気が流入
する。
このようにして気体を減圧室16内に流入すると、減圧
室16内の多量のパーティクルが浮遊し、減圧室16内の処
理済の製品の表面に付着し、製品の品質を低下させ、製
品歩留りを低下させている。
室16内の多量のパーティクルが浮遊し、減圧室16内の処
理済の製品の表面に付着し、製品の品質を低下させ、製
品歩留りを低下させている。
このような状態になるのを防止する方法として、流入
気体の最大流量を制限するために配管内の気体の流路を
絞るように、配管内に第７図に示すような絞り孔19aを
有するレストリクター19を設けたり、或いは流量の微量
調整が可能なニードルバルブをバルブ17の近傍に設け、
減圧室16内に流入する気体の流量を絞るという方法を採
用している。
気体の最大流量を制限するために配管内の気体の流路を
絞るように、配管内に第７図に示すような絞り孔19aを
有するレストリクター19を設けたり、或いは流量の微量
調整が可能なニードルバルブをバルブ17の近傍に設け、
減圧室16内に流入する気体の流量を絞るという方法を採
用している。
このような方法でベントを行った場合の減圧室16の内
圧P1が時間の経過に従って大気圧P0に変化する状況を第
８図に示す。
圧P1が時間の経過に従って大気圧P0に変化する状況を第
８図に示す。
図において、流体圧力とは流入気体の分子がパーティ
クルとの衝突によってパーティクルに与える運動エネル
ギーをさしている。
クルとの衝突によってパーティクルに与える運動エネル
ギーをさしている。
気体中に飛びまわる分子の平均速度は、気体の種類と
温度を特定した場合は一定と考えられるので、気体の分
子相互或いは気体の分子とパーティクルとの衝突を考え
た場合、問題となるのは流入気体分子とパーティクルと
が衝突する確率であると考えられる。
温度を特定した場合は一定と考えられるので、気体の分
子相互或いは気体の分子とパーティクルとの衝突を考え
た場合、問題となるのは流入気体分子とパーティクルと
が衝突する確率であると考えられる。
つまり減圧状態で気体分子が他の分子に衝突せずに移
動可能な距離（この距離を平均自由行程と称する）は数
m/秒、また、大気圧中での平均自由行程は数m/秒とな
り、減圧状態が大気圧に近づくにつれて、分子が他の分
子に衝突せずに移動できる距離は小さくなります。
動可能な距離（この距離を平均自由行程と称する）は数
m/秒、また、大気圧中での平均自由行程は数m/秒とな
り、減圧状態が大気圧に近づくにつれて、分子が他の分
子に衝突せずに移動できる距離は小さくなります。
別の表現をすれば、室内圧が最低の減圧状態にある場
合には、流入気体が他の分子に妨げられずにパーティク
ルと衝突する確率は最大で、大気圧に近ずけば近ずくほ
どパーティクルと衝突する確率は低くなると考えられま
す。
合には、流入気体が他の分子に妨げられずにパーティク
ルと衝突する確率は最大で、大気圧に近ずけば近ずくほ
どパーティクルと衝突する確率は低くなると考えられま
す。
以上説明の従来の減圧室に気体を流入させるのに用い
る機器及び方法においては、気体の流路が絞られていな
い場合には、第８図の流体圧力の曲線の時間が０に近い
時点で、減圧室に流入する気体により減圧室内のパーテ
ィクルが室内に浮遊し、この減圧室内で処理した製品の
表面に付着するという問題点があり、減圧室内のパーテ
ィクルが浮遊しないように気体の流路を終始一定に絞る
と、減圧室内圧を大気圧にするのに非常に長時間を必要
とし、実用に供することが出来ないという問題点があっ
た。
る機器及び方法においては、気体の流路が絞られていな
い場合には、第８図の流体圧力の曲線の時間が０に近い
時点で、減圧室に流入する気体により減圧室内のパーテ
ィクルが室内に浮遊し、この減圧室内で処理した製品の
表面に付着するという問題点があり、減圧室内のパーテ
ィクルが浮遊しないように気体の流路を終始一定に絞る
と、減圧室内圧を大気圧にするのに非常に長時間を必要
とし、実用に供することが出来ないという問題点があっ
た。
本発明は以上のような状況から減圧室に流入させる気
体の流量を可変にして大気圧に到達する時間を短縮し、
減圧室内でのパーティクルの浮遊を防止することが可能
な、スローベント用バルブ及びその制御方法の提供を目
的としたものである。
体の流量を可変にして大気圧に到達する時間を短縮し、
減圧室内でのパーティクルの浮遊を防止することが可能
な、スローベント用バルブ及びその制御方法の提供を目
的としたものである。
本発明のスローベント用バルブは、減圧室に流入する
気体の流量を制御するのに用いるバルブであって、流入
気体を一時収容する圧力容器と、この圧力容器と気体流
入側との間に設けた流入側の弁体と、この圧力容器とこ
の減圧室との間に設けた流出側の弁体と、この流入側の
弁体の開閉とこの流出側の弁体の開閉とを個々に独立し
て制御する制御装置とを具備するように構成し、本発明
のスローベント用バルブの制御方法は、上記の制御装置
により、この流入側の弁体と開閉とこの流出側の弁体の
開閉とを個々に独立して制御することにより、この減圧
室に流入する気体の流量を調節し、気体流入時の塵埃の
浮動を抑制するように構成する。
気体の流量を制御するのに用いるバルブであって、流入
気体を一時収容する圧力容器と、この圧力容器と気体流
入側との間に設けた流入側の弁体と、この圧力容器とこ
の減圧室との間に設けた流出側の弁体と、この流入側の
弁体の開閉とこの流出側の弁体の開閉とを個々に独立し
て制御する制御装置とを具備するように構成し、本発明
のスローベント用バルブの制御方法は、上記の制御装置
により、この流入側の弁体と開閉とこの流出側の弁体の
開閉とを個々に独立して制御することにより、この減圧
室に流入する気体の流量を調節し、気体流入時の塵埃の
浮動を抑制するように構成する。
即ち本発明においては、第１図に示す気体の流入側の
弁体２と流出側の弁体３の開閉を、制御装置によってつ
ぎの五つの基本動作パターンＡ〜Ｅの内の、Ｂ〜Ｅの四
つの基本動作パターンを組み合わせた第２図に示すタイ
ミングチャートの１サイクルの動作の、単位時間当たり
の回数を増減させたり、弁体２及び弁体３の開閉のタイ
ミングを変えたりすることにより、圧力容器内に流入す
る気体の量を制御して減圧室内に流入する気体の量を制
限し、減圧室内におけるパーティクルの浮遊を防止する
ことが可能となる。
弁体２と流出側の弁体３の開閉を、制御装置によってつ
ぎの五つの基本動作パターンＡ〜Ｅの内の、Ｂ〜Ｅの四
つの基本動作パターンを組み合わせた第２図に示すタイ
ミングチャートの１サイクルの動作の、単位時間当たり
の回数を増減させたり、弁体２及び弁体３の開閉のタイ
ミングを変えたりすることにより、圧力容器内に流入す
る気体の量を制御して減圧室内に流入する気体の量を制
限し、減圧室内におけるパーティクルの浮遊を防止する
ことが可能となる。
A.弁体２及び弁体３の両方を閉じる。
B.弁体２を開き、圧力容器４内に気体を流入させる。
C.弁体２を閉じる。
D.弁体２を閉じて圧力容器４を流入気体と完全に遮断し
た状態で、弁体３を開く。
た状態で、弁体３を開く。
E.圧力容器４内の気体が減圧室６に完全に流入した後、
弁体３を閉じる。
弁体３を閉じる。
このように、圧力容器４に流入する気体の量を時間の
経過に従って増加していくことにより、減圧室内におけ
るパーティクルの浮遊を防止しながら、減圧室が大気圧
に到達する時間を従来の終始一定の絞りにより行う方法
に比して、短縮することが可能となる。
経過に従って増加していくことにより、減圧室内におけ
るパーティクルの浮遊を防止しながら、減圧室が大気圧
に到達する時間を従来の終始一定の絞りにより行う方法
に比して、短縮することが可能となる。
以下第１図及び第３図〜第５図について本発明の一実
施例を説明する。
施例を説明する。
第３図は本発明による一実施例の構成図を示す図であ
り、気体の流入側のバルブ７と減圧室６との間に本発明
のスローベント用バルブを配設しており、真空計10及び
記録計11はバルブ９を介して減圧室６と接続され、減圧
室６内の状況を指示或いは記録できるようになってい
る。
り、気体の流入側のバルブ７と減圧室６との間に本発明
のスローベント用バルブを配設しており、真空計10及び
記録計11はバルブ９を介して減圧室６と接続され、減圧
室６内の状況を指示或いは記録できるようになってい
る。
第１図に要部詳細を示すこのスローベント用バルブの
弁体２及び弁体３としては、電磁方式により駆動される
ものを用いた。これらの弁体のタイミング制御は制御装
置５により行っている。
弁体２及び弁体３としては、電磁方式により駆動される
ものを用いた。これらの弁体のタイミング制御は制御装
置５により行っている。
本発明の一実施例のスローベント用バルブの弁体２及
び弁体３のタイミングチャートを第４図に、流入気体の
圧力変化を第５図に示す。
び弁体３のタイミングチャートを第４図に、流入気体の
圧力変化を第５図に示す。
第４図のタイミングチャートに示すように、弁体のタ
イミングは大別して３種類に分類できる。
イミングは大別して３種類に分類できる。
Type1:弁体２及び弁体３の開閉タイミングはΔtiのアイ
ソレートタイムで区切られ、各々の弁体の開放状態は完
全に独立している。
ソレートタイムで区切られ、各々の弁体の開放状態は完
全に独立している。
Type2:弁体２及び弁体３の開閉タイミングはΔtoのオー
バーラップタイムで同期しながら開閉する。
バーラップタイムで同期しながら開閉する。
Type3:弁体２及び弁体３が同時に開閉する。
これらの開閉パターンを時間で制御し、Type1→Type2
→Type3と移っていっても良い。また、Type1のΔtiのア
イソレートタイムを変化させて次第に短くし、弁体２及
び弁体３のタイミングを非同期→半同期→同期と変化す
る一連の動作にしても良い。
→Type3と移っていっても良い。また、Type1のΔtiのア
イソレートタイムを変化させて次第に短くし、弁体２及
び弁体３のタイミングを非同期→半同期→同期と変化す
る一連の動作にしても良い。
なお、弁体の駆動方式としては、上記の電磁方式の他
に空圧方式を用いることも可能である。
に空圧方式を用いることも可能である。
また、スローベント用バルブ内の圧力容器４の容積を
弁座１の一部をねじ込み構造にし、圧力容器４の容積を
変化させることを可能にし、減圧室６の容積に適合させ
ることも可能である。
弁座１の一部をねじ込み構造にし、圧力容器４の容積を
変化させることを可能にし、減圧室６の容積に適合させ
ることも可能である。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば簡単
な構成の複数の弁体と圧力容器とを有するスローベント
用バルブを設けることにより、減圧室内部におけるパー
ティクルの製品の表面への付着を、従来の付着を100と
すると２に減少させることが可能となり、製品の品質を
著しく向上させることが可能となる等の利点があり、著
しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待でき工業的に
は極めて有用なものである。
な構成の複数の弁体と圧力容器とを有するスローベント
用バルブを設けることにより、減圧室内部におけるパー
ティクルの製品の表面への付着を、従来の付着を100と
すると２に減少させることが可能となり、製品の品質を
著しく向上させることが可能となる等の利点があり、著
しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待でき工業的に
は極めて有用なものである。
第１図は本発明のスローベント用バルブの要部詳細図、 第２図は本発明のスローベント用バルブの作動タイミン
グチャート、 第３図は本発明による一実施例の構成図、 第４図は本発明による一実施例のスローベント用バルブ
のタイミングチャート、 第５図は本発明による一実施例の特性を示す図、 第６図は従来の真空を用いる装置の構成図、 第７図はレストリクターを示す図、 第８図は従来の方法でベントした場合の特性を示す図、 である。 図において、 １は弁座、 ２は弁体、 ３は弁体、 ４は圧力容器、 ５は制御装置、 ６は減圧室、 ７はバルブ、 ８はバルブ、 ９はバルブ、 10は真空計、 11は記録計、 を示す。
グチャート、 第３図は本発明による一実施例の構成図、 第４図は本発明による一実施例のスローベント用バルブ
のタイミングチャート、 第５図は本発明による一実施例の特性を示す図、 第６図は従来の真空を用いる装置の構成図、 第７図はレストリクターを示す図、 第８図は従来の方法でベントした場合の特性を示す図、 である。 図において、 １は弁座、 ２は弁体、 ３は弁体、 ４は圧力容器、 ５は制御装置、 ６は減圧室、 ７はバルブ、 ８はバルブ、 ９はバルブ、 10は真空計、 11は記録計、 を示す。
Claims (2)
- 【請求項１】減圧室に流入する気体の流量を制御するの
に用いるバルブであって、 流入気体を一時収容する圧力容器と、 該圧力容器と気体流入側との間に設けた流入側の弁体
と、 該圧力容器と前記減圧室との間に設けた流出側の弁体
と、 前記流入側の弁体の開閉と前記流出側の弁体の開閉とを
個々に独立して制御する制御装置と、 を具備することを特徴とするスローベント用バルブ。 - 【請求項２】請求項１記載のスローベント用バルブの前
記制御装置により、前記流入側の弁体の開閉と前記流出
側の弁体の開閉とを個々に独立して制御することによ
り、前記減圧室に流入する気体の流量を調節し、気体流
入時の塵埃の浮動を抑制することを特徴とするスローベ
ント用バルブの制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156586A JPH0815543B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | スローベント用バルブ及びその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156586A JPH0815543B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | スローベント用バルブ及びその制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026836A JPH026836A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH0815543B2 true JPH0815543B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=15631003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63156586A Expired - Fee Related JPH0815543B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | スローベント用バルブ及びその制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815543B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6236737A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-17 | Canon Inc | 光学系駆動装置 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP63156586A patent/JPH0815543B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH026836A (ja) | 1990-01-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3924386B2 (ja) | 流量制御システム | |
| CA1043585A (en) | Method and apparatus for cleaning fabric filters of bag type or the like | |
| US4320696A (en) | Air outlet | |
| JPH03172688A (ja) | バルブ | |
| GB9024772D0 (en) | Flow rate control valve | |
| US4836233A (en) | Method and apparatus for venting vacuum processing equipment | |
| JPH01296064A (ja) | 温度膨脹弁 | |
| WO2002049828A3 (en) | Internal bubble cooling control system and method | |
| JPH0815543B2 (ja) | スローベント用バルブ及びその制御方法 | |
| JPS56146083A (en) | Vacuum exhaust system | |
| CN103629422B (zh) | 抽真空换气用压差缓冲阀 | |
| EP0042209A3 (en) | Gas discharge device for generating acoustic pulses | |
| JPH07218380A (ja) | 重ピストン駆動型衝撃風洞およびその制御方法 | |
| JPS6328875A (ja) | ガス導入方法 | |
| JPS57190769A (en) | Dropping device for molten solder | |
| CA1152479A (en) | Fluid flow control valve and actuator therefor | |
| JP2006526501A (ja) | 圧力スイング吸着システムにおける流動制御 | |
| JP2001041105A (ja) | ロケットエンジンの燃焼ガス制御装置 | |
| US20020139949A1 (en) | Precision controlled fast valve | |
| GB1479167A (en) | Thrust reverser control device | |
| US20220357102A1 (en) | Method and apparatus for forming solid carbon dioxide | |
| JPS60216857A (ja) | 流体の噴射ノズル | |
| US4263941A (en) | Sequential inhibitor (NOT) fluid logic device | |
| SU1702116A1 (ru) | Вентил торна установка | |
| JPS61234924A (ja) | 真空パ−ジ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |