JPH026836A - スローベント用バルブ及びその制御方法 - Google Patents
スローベント用バルブ及びその制御方法Info
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- JPH026836A JPH026836A JP15658688A JP15658688A JPH026836A JP H026836 A JPH026836 A JP H026836A JP 15658688 A JP15658688 A JP 15658688A JP 15658688 A JP15658688 A JP 15658688A JP H026836 A JPH026836 A JP H026836A
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- gas
- valve
- pressure vessel
- pressure
- valve bodies
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/002—Component parts of these vessels not mentioned in B01J3/004, B01J3/006, B01J3/02 - B01J3/08; Measures taken in conjunction with the process to be carried out, e.g. safety measures
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔（既 要〕
減圧状態の減圧室に気体を流入して大気圧にする機器及
びその制御方法に関し、 減圧室に流入させる気体の流量を可変にして大気圧に到
達する時間を短縮し、減圧室内でのパーティクルの浮遊
を防止することが可能な、スローベント用バルブ及びそ
の制御方法の提供を目的とし、 減圧室に気体を流入させるのに用いるバルブであって、
流入気体を一時収容する圧力容器と、該圧力容器の前記
流入気体の流入側及び流出側に配設した、前記圧力容器
と外部とを遮断する複数の弁体と、該複数の弁体の開閉
を任意に制御する制御装置とを具備するよう構成する。
びその制御方法に関し、 減圧室に流入させる気体の流量を可変にして大気圧に到
達する時間を短縮し、減圧室内でのパーティクルの浮遊
を防止することが可能な、スローベント用バルブ及びそ
の制御方法の提供を目的とし、 減圧室に気体を流入させるのに用いるバルブであって、
流入気体を一時収容する圧力容器と、該圧力容器の前記
流入気体の流入側及び流出側に配設した、前記圧力容器
と外部とを遮断する複数の弁体と、該複数の弁体の開閉
を任意に制御する制御装置とを具備するよう構成する。
本発明は、真空を利用する装置に係り、特に減圧状態の
減圧室に気体を流入して大気圧にする機器及びその制御
方法に関するものである。
減圧室に気体を流入して大気圧にする機器及びその制御
方法に関するものである。
近年、真空を利用する装置において、減圧状態の減圧室
に気体を流入して大気圧にする場合に、この減圧室に流
入する気体により減圧室内のパーティクルが室内に浮遊
し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着し、製品
の品質を劣化させる障害が発生している。
に気体を流入して大気圧にする場合に、この減圧室に流
入する気体により減圧室内のパーティクルが室内に浮遊
し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着し、製品
の品質を劣化させる障害が発生している。
以上のような状況から減圧室に流入する気体により減圧
室内のパーティクルが室内に浮遊しないように、減圧室
に気体を流入させることが可能な機器及び方法が要望さ
れている。
室内のパーティクルが室内に浮遊しないように、減圧室
に気体を流入させることが可能な機器及び方法が要望さ
れている。
従来の減圧室に気体を流入させるのに用いる機器及び方
法について第６図〜第８図により説明する。
法について第６図〜第８図により説明する。
第６図は従来の真空を用いる装置の構成図である。図に
おいて、減圧状態にある減圧室１６を大気圧にする場合
は、排気側のバルブ１８を閉じて気体流入側のバルブ１
７を開けると、非常に圧力の高い気体が減圧室１６内に
流入する。
おいて、減圧状態にある減圧室１６を大気圧にする場合
は、排気側のバルブ１８を閉じて気体流入側のバルブ１
７を開けると、非常に圧力の高い気体が減圧室１６内に
流入する。
このようにして気体を減圧室１６内に流入すると、減圧
室１６内の多量のパーティクルが浮遊し、減圧室１６内
の処理済の製品の表面に付着し、製品の品質を低下させ
、製品歩留りを低下させている。
室１６内の多量のパーティクルが浮遊し、減圧室１６内
の処理済の製品の表面に付着し、製品の品質を低下させ
、製品歩留りを低下させている。
このような状態になるのを防止する方法として、流入気
体の最大流量を制限するために配管内の気体の流路を絞
るように、配管内に第７図に示すような絞り孔１９ａを
有するレストリクター１９を設けたり、或いは流量の微
量調整が可能なニードルバルブをバルブ１７の近傍に設
け、減圧室１６内に流入する気体の流量を絞るという方
法を採用している。
体の最大流量を制限するために配管内の気体の流路を絞
るように、配管内に第７図に示すような絞り孔１９ａを
有するレストリクター１９を設けたり、或いは流量の微
量調整が可能なニードルバルブをバルブ１７の近傍に設
け、減圧室１６内に流入する気体の流量を絞るという方
法を採用している。
このような方法でベントを行った場合の減圧室１６の内
圧ｐ、が時間の経過に従って大気圧Ｐ。に変化する状況
を第８図に示す。
圧ｐ、が時間の経過に従って大気圧Ｐ。に変化する状況
を第８図に示す。
図において、流体圧力とは流入気体の分子がパーティク
ルとの衝突によってパーティクルに与える運動エネルギ
ーをさしている。
ルとの衝突によってパーティクルに与える運動エネルギ
ーをさしている。
気体中を飛びまわる分子の平均速度は、気体の種類と温
度を特定した場合は一定と考えられるので、気体の分子
相互或いは気体の分子とパーティクルとの衝突を考えた
場合、問題となるのは流入気体分子とパーティクルとが
衝突する確率であると考えられる。
度を特定した場合は一定と考えられるので、気体の分子
相互或いは気体の分子とパーティクルとの衝突を考えた
場合、問題となるのは流入気体分子とパーティクルとが
衝突する確率であると考えられる。
つまり減圧状態で気体分子が他の分子に衝突せずに移動
可能な距離（この距離を平均自由行程と称する）は数ｍ
７秒、また、大気圧中での平均自由行程は数ｃｒ−／秒
となり、減圧状態が大気圧に近づくにつれて、分子が他
の分子に衝突せずに移動できる距離は小さくなります。
可能な距離（この距離を平均自由行程と称する）は数ｍ
７秒、また、大気圧中での平均自由行程は数ｃｒ−／秒
となり、減圧状態が大気圧に近づくにつれて、分子が他
の分子に衝突せずに移動できる距離は小さくなります。
別の表現をすれば、室内圧が最低の減圧状態にある場合
には、流入気体が他の分子に妨げられずにパーティクル
と衝突する確率は最大で、大気圧に近すけば近ずくほど
パーティクルと衝突する確率は低くなると考えられます
。
には、流入気体が他の分子に妨げられずにパーティクル
と衝突する確率は最大で、大気圧に近すけば近ずくほど
パーティクルと衝突する確率は低くなると考えられます
。
以上説明の従来の減圧室に気体を流入させるのに用いる
機器及び方法においては、気体の流路が絞られていない
場合には、第８図の流体圧力の曲線の時間が０に近い時
点で、減圧室に流入する気体により減圧室内のパーティ
クルが室内に浮遊し、この減圧室内で処理した製品の表
面に付着するという問題点があり、減圧室内のパーティ
クルが浮遊しないように気体の流路を終始一定に絞ると
、減圧室内圧を大気圧にするのに非常に長時間を必要と
し、実用に供することが出来ないという問題点があった
。
機器及び方法においては、気体の流路が絞られていない
場合には、第８図の流体圧力の曲線の時間が０に近い時
点で、減圧室に流入する気体により減圧室内のパーティ
クルが室内に浮遊し、この減圧室内で処理した製品の表
面に付着するという問題点があり、減圧室内のパーティ
クルが浮遊しないように気体の流路を終始一定に絞ると
、減圧室内圧を大気圧にするのに非常に長時間を必要と
し、実用に供することが出来ないという問題点があった
。
本発明は以上のような状況から減圧室に流入させる気体
の流量を可変にして大気圧に到達する時間を短縮し、減
圧室内でのパーティクルの浮遊を防止することが可能な
、スローベント用パルプへびその制御方法の提供を目的
としたものである。
の流量を可変にして大気圧に到達する時間を短縮し、減
圧室内でのパーティクルの浮遊を防止することが可能な
、スローベント用パルプへびその制御方法の提供を目的
としたものである。
上記問題点は、減圧室に気体を流入させるのに用いるバ
ルブであって、流入気体を一時収容する圧力容器と、こ
の圧力容器の流入気体の流入側及び流出側に配設した、
この圧力容器と外部とを遮断する複数の弁体と、この複
数の弁体の開閉を任意に制御する制御装置とを具備する
本発明によるスローベント用バルブ及びその制御方法に
よって解決される。
ルブであって、流入気体を一時収容する圧力容器と、こ
の圧力容器の流入気体の流入側及び流出側に配設した、
この圧力容器と外部とを遮断する複数の弁体と、この複
数の弁体の開閉を任意に制御する制御装置とを具備する
本発明によるスローベント用バルブ及びその制御方法に
よって解決される。
即ち本発明においては、第１図に示す気体の流入側の弁
体２と流出側の弁体３の開閉を、制御装置によってつぎ
の五つの基本動作パターンＡ−Ｅの内の、Ｂ−Ｅの四つ
の基本動作パターンを組み合わせた第２図に示すタイミ
ングチャートの１サイクルの動作の、単位時間当たりの
回数を増減させたり、弁体２及び弁体３の開閉のタイミ
ングを変えたりすることにより、圧力容器内に流入する
気体の量を制御して減圧室内に流入する気体の壇を制限
し、減圧室内におけるパーティクルの浮遊を防止するこ
とが可能となる。
体２と流出側の弁体３の開閉を、制御装置によってつぎ
の五つの基本動作パターンＡ−Ｅの内の、Ｂ−Ｅの四つ
の基本動作パターンを組み合わせた第２図に示すタイミ
ングチャートの１サイクルの動作の、単位時間当たりの
回数を増減させたり、弁体２及び弁体３の開閉のタイミ
ングを変えたりすることにより、圧力容器内に流入する
気体の量を制御して減圧室内に流入する気体の壇を制限
し、減圧室内におけるパーティクルの浮遊を防止するこ
とが可能となる。
Ａ、弁体２及び弁体３の両方を閉じる。
Ｂ、弁体２を開き、圧力容器４内に気体を流入させる。
Ｃ０弁体２を閉じる。
Ｄ、弁体２を閉じて圧力容器４を流入気体と完全に遮断
した状態で、弁体３を開く。
した状態で、弁体３を開く。
Ｅ、圧力容器４内の気体が減圧室６に完全に流入した後
、弁体３を閉じる。
、弁体３を閉じる。
このように、圧力容器４に流入する気体の量を時間の経
過に従って増加していくことにより、減圧室内における
パーティクルの浮遊を防止しながら、減圧室が大気圧に
到達する時間を従来の終始一定の絞りにより行う方法に
比して、短縮することが可能となる。
過に従って増加していくことにより、減圧室内における
パーティクルの浮遊を防止しながら、減圧室が大気圧に
到達する時間を従来の終始一定の絞りにより行う方法に
比して、短縮することが可能となる。
以下第１図及び第３図〜第５図について本発明の一実施
例を説明する。
例を説明する。
第３図は本発明による一実施例の構成図を示す図であり
、気体の流入側のバルブ７と減圧室６との間に本発明の
スローベント用バルブを配設しており、真空計１０及び
記録計１１はバルブ９を介して減圧室６と接続され、減
圧室６内の状況を指示或いは記録できるようになってい
る。
、気体の流入側のバルブ７と減圧室６との間に本発明の
スローベント用バルブを配設しており、真空計１０及び
記録計１１はバルブ９を介して減圧室６と接続され、減
圧室６内の状況を指示或いは記録できるようになってい
る。
第１図に要部詳細を示すこのスローベント用バルブの弁
体２及び弁体３としては、電磁方式により駆動されるも
のを用いた。これらの弁体のタイミング制御は制御装置
５により行っている。
体２及び弁体３としては、電磁方式により駆動されるも
のを用いた。これらの弁体のタイミング制御は制御装置
５により行っている。
本発明の一実施例のスローベント用バルブの弁体２及び
弁体３のタイミングチャートを第４図に、流入気体の圧
力変化を第５図に示す。
弁体３のタイミングチャートを第４図に、流入気体の圧
力変化を第５図に示す。
第４図のタイミングチャートに示すように、弁体のタイ
ミングは大別して３種類に分類できる。
ミングは大別して３種類に分類できる。
Ｔｙｐｅｌ：弁体２及び弁体３の開閉タイミングはΔｔ
、のアイソレートタイムで区切られ、各々の弁体の開放
状態は完全に独立している。
、のアイソレートタイムで区切られ、各々の弁体の開放
状態は完全に独立している。
Ｔｙｐｅ２：弁体２及び弁体３の開閉タイミングはΔ１
．のオーバーランブタイムで同期しながら開閉する。
．のオーバーランブタイムで同期しながら開閉する。
Ｔｙｐｅ３：弁体２及び弁体３が同時に開閉する。
これらの開閉パターンを時間で制御し、Ｔｙｐｅ ｔ−
＋Ｔｙｐ ｅ ２−Ｔｙｐ ｅ ３と移っていっても良
い、また、ＴｙｐｅｌのΔｔ１のアイソレートタイムを
変化させて次第に短くし、弁体２及び弁体３のタイミン
グを非同期−半同期一同朋と変化する一連の動作にして
も良い。
＋Ｔｙｐ ｅ ２−Ｔｙｐ ｅ ３と移っていっても良
い、また、ＴｙｐｅｌのΔｔ１のアイソレートタイムを
変化させて次第に短くし、弁体２及び弁体３のタイミン
グを非同期−半同期一同朋と変化する一連の動作にして
も良い。
なお、弁体の駆動方式としては、上記の電磁方式の他に
空圧方式を用いることも可能である。
空圧方式を用いることも可能である。
また、スローベント用バルブ内の圧力容器４の容積を弁
座ｌの一部をねじ込み構造にし、圧力容器４の容積を変
化させることを可能にし、減圧室６の容積に適合させる
ことも可能である。
座ｌの一部をねじ込み構造にし、圧力容器４の容積を変
化させることを可能にし、減圧室６の容積に適合させる
ことも可能である。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば筒車な
構成の複数の弁体と圧力容器とを有するスローベント用
バルブを設けることにより、減圧室内部におけるパーテ
ィクルの製品の表面への付着を、従来の付着を１００と
すると２に減少させることが可能となり、製品の品質を
著しく向上させることが可能となる等の利点があり、著
しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待でき工業的に
は極めて有用なものである。
構成の複数の弁体と圧力容器とを有するスローベント用
バルブを設けることにより、減圧室内部におけるパーテ
ィクルの製品の表面への付着を、従来の付着を１００と
すると２に減少させることが可能となり、製品の品質を
著しく向上させることが可能となる等の利点があり、著
しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待でき工業的に
は極めて有用なものである。
第１図は本発明のスローベント用バルブの要部詳細図、
第２図は本発明のスローベント用バルブの作動タイミン
グチャート、 第３図は本発明による一実施例の構成図、第４図は本発
明による一実施例のスローベント用バルブのタイミング
チャート、 第５図は本発明による一実施例の特性を示す図、第６図
は従来の真空を用いる装置の構成図、第７図はレストリ
クターを示す図、 第８図は従来の方法でベントした場合の特性を示す図、 である。 図において、 １は弁座、 ２は弁体、 ３は弁体、 ４は圧力容器、 ５は制御装置、 ６は減圧室、 ７はハ“ルブ、 ８はバルブ、 ９はパルプ、 １０は真空計、 １１は記録計、 本発明のスローベント用バルブの要部詳ｌＩ図第１図 本発明による一実施例の構成図 第３図 時１ＪＩｔ 本発明のスローベント用バルブの作動タイミングチャー
ト第 ２− Δ仁。 ΔＬゆ 本発明による一実施例のスローベント用バルブのタイミ
ングチャート第４図 Ｏ 時間 本発明による一実施例の特性を示す図 書 図 従来の真空を用いる装置の構成図 （ａｌ 平 面 図 （ｂｌ 側断面図 レストリクターを示す図 第 図 時間 従来の方法でベントした場合の特性を示す２舅 関
グチャート、 第３図は本発明による一実施例の構成図、第４図は本発
明による一実施例のスローベント用バルブのタイミング
チャート、 第５図は本発明による一実施例の特性を示す図、第６図
は従来の真空を用いる装置の構成図、第７図はレストリ
クターを示す図、 第８図は従来の方法でベントした場合の特性を示す図、 である。 図において、 １は弁座、 ２は弁体、 ３は弁体、 ４は圧力容器、 ５は制御装置、 ６は減圧室、 ７はハ“ルブ、 ８はバルブ、 ９はパルプ、 １０は真空計、 １１は記録計、 本発明のスローベント用バルブの要部詳ｌＩ図第１図 本発明による一実施例の構成図 第３図 時１ＪＩｔ 本発明のスローベント用バルブの作動タイミングチャー
ト第 ２− Δ仁。 ΔＬゆ 本発明による一実施例のスローベント用バルブのタイミ
ングチャート第４図 Ｏ 時間 本発明による一実施例の特性を示す図 書 図 従来の真空を用いる装置の構成図 （ａｌ 平 面 図 （ｂｌ 側断面図 レストリクターを示す図 第 図 時間 従来の方法でベントした場合の特性を示す２舅 関
Claims (2)
- （１）減圧室（６）に気体を流入させるのに用いるバル
ブであって、 流入気体を一時収容する圧力容器（４）と、該圧力容器
（４）の前記流入気体の流入側及び流出側に配設した、
前記圧力容器（４）と外部とを遮断する複数の弁体（２
、３）と、該複数の弁体（２、３）の開閉を任意に制御
する制御装置（５）と、 を具備することを特徴とするスローベント用バルブ。 - （２）請求項１記載のスローベント用バルブの前記制御
装置（５）により前記複数の弁体（２、３）の開閉を制
御し、気体流入時の塵埃の浮動を抑制することを特徴と
するスローベント用バルブの制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156586A JPH0815543B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | スローベント用バルブ及びその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156586A JPH0815543B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | スローベント用バルブ及びその制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026836A true JPH026836A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH0815543B2 JPH0815543B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=15631003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63156586A Expired - Fee Related JPH0815543B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | スローベント用バルブ及びその制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815543B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6236737A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-17 | Canon Inc | 光学系駆動装置 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP63156586A patent/JPH0815543B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6236737A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-17 | Canon Inc | 光学系駆動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0815543B2 (ja) | 1996-02-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |