JPH0815544B2 - 真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、真空処理室に対して着脱自在に連設され、
有害な大気が真空処理室に侵入するのを防止できるよう
にした真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬
出装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来の真空処理装置は、真空処理室に真空ポンプ、電
源およびその他の付帯装置を備えた排気設備と、パージ
用ガスを導入するパージ用ガス導入設備とを接続し、こ
の真空処理室の側壁の開口部に真空バルブを設け、この
真空バルブを開けて、被処理物を真空処理室内に搬入し
たりあるいは真空処理室より搬出するように構成されて
いるが、真空バルブの開閉時に有害な大気が真空処理室
内に侵入するのを防止するために工夫がなされていなか
った。

［発明が解決しようとする問題点］ 従来の真空処理装置では、上記のように真空バルブの
開閉時に有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
するための工夫がさなれていないため、真空バルブを開
閉する際に、有害な大気が真空処理室内に侵入し、真空
処理室内の被処理物を酸化させ、被処理物に悪影響を与
える等の問題点を有していた。

本発明は、上記のような従来のもののもつ問題点を解
決して、有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
できると共に、種々の形状、重量の被処理物を取り扱う
ことのできる真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬
入・搬出装置を提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 本発明に係わる真空処理装置用着脱自在可動式被処理
物搬入・搬出装置は、台車に搭載され、側壁に二つの開
口を備え、内部に、パレット上に被処理物を載置して搬
送する昇降及び回動自在な搬送設備とパージ用ガス放出
設備とを設け、真空処理室に対して着脱自在に連設する
ようにした移動自在なパージ用コンテナから成り、上記
二つの開口の一方を、真空処理室の側壁の被処理物搬入
・搬出口に対してそこに設けた真空バルブを介して連通
されかつ上記真空バルブが上記パージ用コンテナの一方
の開口内に位置するようにし、また他方の開口には大気
の侵入を防止するフレキシブルカーテンを設けたことを
特徴としている。

［実施例］ 以下、本発明の実施例について添付図面を参照しなが
ら説明する。

第１図は本発明の実施例の概略構成図であり、真空処
理室１には、真空ポンプ、電源およびその他の付帯装置
を備えた排気設備２と、パージ用ガス導入設備３とが接
続され、真空処理装置を構成している。真空処理室１の
側壁には被処理物（図示せず）の搬入・搬出口1aが形成
され、この搬入・搬出口1aには開閉自在な真空バルブ４
が設けられている。

パージ用コンテナ５の側壁には二つの開口5a、5bが形
成され、一方の開口5aには第２図に示すような大気の侵
入を防止する、れん式のプラスチック製のフレキシブル
カーテン６が設けられているが、他方の開口5bには何も
設けられていない。パージ用コンテナ５は台車７を備
え、移動自在に構成されている。パージ用コンテナ５の
内部にはパレット８上に被処理物を載置して搬送する昇
降および回動自在な搬送設備９が配設されている。また
パージ用コンテナ５の内部にはパージ用ガス放出設備10
が内蔵され、このパージ用ガス放出設備10はパージ用ガ
スを放出して、パージ用コンテナ５の内部の大気を放出
したガスで置換している。

真空処理室１とパージ用コンテナ５とは、真空バルブ
４がパージ用コンテナ５の何も設けていない他方の開口
5b内に位置するようにしてシール11を介して着脱自在に
連設されており、第３図に真空処理室１とパージ用コン
テナ５とのシール部分の詳細が拡大して示されている。
12はパージガスのモニタ圧力計である。

次に、図示装置の動作について説明する。

パージ用コンテナ５のフレキシブルカーテン６を通し
て被処理物をパレット８上に載置した後、パージ用ガス
放出設備10よりガスを放出してパージ用コンテナ５の内
部の大気を放出したガスで置換する。その後、真空処理
室１に設けられた真空バルブ４を開き、搬送設備９を昇
降および回動させてパージ用コンテナ５内のパレット８
上の被処理物を、搬入・搬出口1aを通って真空処理室１
内に搬入する。しかる後、真空バルブ４を閉じ、真空処
理室１内に排気設備２により所要の真空状態にしてか
ら、真空処理室１内で被処理物を処理する。こうして被
処理物を処理した後、真空処理室１内を真空でない状態
にしてから、真空バルブ４を開き、搬送設備９を昇降お
よび回動させて被処理物を真空処理室１内よりパージ用
コンテナ５に搬出する。被処理物の搬出中、パージ用ガ
ス放出設備10によりガスを放出して、パージ用コンテナ
５の内部に大気が侵入するのを防止するようにされる。
その後、被処理物はフレキシブルカーテン６を通過させ
て大気中に取り出される。

なお、上記実施例では、真空処理室１とパージ用コン
テナ５とを連設しているが、これらを切り離す場合に
は、パージ用コンテナ５における台車７を動かしてパー
ジ用コンテナ５を動かせばよい。

ところで、上記実施例において、フレキシブルカーテ
ン６としてのれん式のものを使用しているが、大気を遮
断できるものであればよく、例えば第４図に示すような
放射式のもの等であってもよい。また、フレキシブルカ
ーテン６はプラスチック製のものであるが、その代わり
に、耐熱布製のものを使用してもよい。さらに、上記実
施例では、フレキシブルカーテン６は真空処理室１側と
反対側の開口5aにのみ設けられているが、真空バルブ側
の開口5bにフレキシブルカーテン６と同様な構造の遮蔽
手段を設けることもできる。さらにまた、フレキシブル
カーテン６の設けられた開口5aの内側に、パージ用コン
テナ５の内部と大気とを遮断するためのバルブまたは蓋
を設けてもよい。

［発明の効果］ 本発明は、上記のように上記のように真空処理室に対
して移動可能なパージ用コンテナを着脱自在に連接でき
るように構成し、しかも内蔵のパージ用ガス放出設備よ
り放出したガスでパージ用コンテナ内部の大気を置換す
るようにしているので、有害な大気が真空処理室の内部
に侵入するのを防止することができると共に、被処理物
の出入れ時にのみ真空処理室に連結すればよいので、一
台で複数の真空処理装置に対応でき、真空実処理装置の
設置スペースを小さくでき、装置のコストを大幅に低減
できる等の効果が得られる。さらに真空処理室の大きさ
に応じた種々の形状、重量の被処理物を取り扱うことが
できるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略構成線図であり、 第２図は第１図の装置に使用されたのれん式のプラスチ
ック製のフレキシブルカーテンを示す拡大斜視図であ
り、 第３図は第１図のＡ部の拡大詳細断面図であり、 第４図は第１図の装置に使用されるフレキシブルカーテ
ンの別の実施例を示す立面図である。 図中 １……真空処理室 1a……被処理物の搬入・搬出口 ４……真空バルブ ５……パージ用コンテナ 5a、5b……開口 ６……フレキシブルカーテン ８……パレット ９……搬送設備 10……パージ用ガス放出設備

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】台車に搭載され、側壁に二つの開口を備
   え、内部に、パレット上に被処理物を載置して搬送する
   昇降及び回動自在な搬送設備とパージ用ガス放出設備と
   を設け、真空処理室に対して着脱自在に連設するように
   した移動自在なパージ用コンテナから成り、上記二つの
   開口の一方を、真空処理室の側壁の被処理物搬入・搬出
   口に対してそこに設けた真空バルブを介して連通させか
   つ上記真空バルブが上記パージ用コンテナの一方の開口
   内に位置するようにし、また他方の開口には大気の侵入
   を防止するフレキシブルカーテンを設けたことを特徴と
   する真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬出
   装置。