JPH0815545B2 - 真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、真空処理室に対して着脱自在に連設され、
有害な大気が真空処理室に侵入するのを防止できるよう
にした真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬
出装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来の真空処理装置は、真空処理室に真空ポンプ、電
源およびその他の付帯装置を備えた排気設備と、パージ
用ガスを導入するパージ用ガス導入設備とを接続し、こ
の真空処理室の側壁の開口部に真空バルブを設け、この
真空バルブを設けて、被処理物を真空処理室内に搬入し
たりあるいは真空処理室より搬出するように構成されて
いるが、真空バルブの開閉時に有害な大気が真空処理室
内に侵入するのを防止するための工夫がなされていなか
った。

［発明が解決しようとする問題点］ 従来の真空処理装置では、上記のように真空バルブの
開閉時に有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
するための工夫がなされていないため、真空バルブを開
閉する際に、有害な大気が真空処理室内に侵入し、真空
処理室内の被処理物を酸化させ、被処理物に悪影響を与
える等の問題点を有していた。

本発明は、上記のような従来のもののもつ問題点を解
決して、有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
できると共に、種々の形状、重量の被処理物を取り扱う
ことのできる真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬
入・搬出装置を提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 本発明に係わる真空処理装置用着脱自在可動式被処理
物搬入・搬出装置は、台車に搭載され、側壁に二つの開
口を備え、内部に、パレット上に被処理物を載置して搬
送する昇降及び回転自在な搬送設備を設け、真空処理室
に対して着脱自在に連設するようにした移動自在なパー
ジ用コンテナから成り、上記二つの開口の一方を、真空
処理室の側壁の被処理物搬入・搬出口に対してそこに設
けた真空バルブを介して連通させかつ上記真空バルブが
上記パージ用コンテナの一方の開口内に位置するように
し、また他方の開口には大気の侵入を防止するフレキシ
ブルカーテンを設け、さらに上記パージ用コンテナに、
真空処理装置に組み合わせて設けたパージ用ガス供給設
備の自在連結部に連結されるパージ用ガス導入口を設け
たことを特徴としている。

［実施例］ 以下、本発明の実施例について添付図面を参照しなが
ら説明する。

第１図は本発明の実施例の概略構成図であり、真空処
理室１には、真空ポンプ、電源およびその他の付帯装置
を備えた排気設備２と、パージ用ガス導入設備３とが接
続されている。真空処理室１の側壁には被処理物（図示
せず）の搬入・搬出口1aが形成され、この搬入・搬出口
1aには開閉自在な真空バルブ４が設けられている。

パージ用コンテナ５の側壁には二つの開口5a、5bが形
成され、一方の開口5aには第２図に示すような大気の侵
入を防止するのれん式のプラスチック製のフレキシブル
カーテン６が設けられているが、他方の開口5bには何も
設けられていない。パージ用コンテナ５は台車７を備
え、移動自在に構成されている。パージ用コンテナ５の
内部にはパレット８上に被処理物を載置して搬送する昇
降および回動自在な搬送設備９が配設されている。また
パージ用コンテナ５にはその内部にパージ用ガスを導入
するためのパージ用ガス導入口10が設けられており、こ
のパージ用ガス導入口10は真空処理室１に固定または近
接して配置されたパージ用ガス供給設備11（ガス供給配
管11aとこのガス供給配管11aにパージ用ガス導入口10を
連結する自在連結部11bとを備えている）に連結され
て、このパージ用ガス供給設備11からパージ用ガスをパ
ージ用コンテナ５内に導入し、導入したガスでパージ用
コンテナ５の内部の大気を置換する。

真空処理室１とパージ用コンテナ５とは、真空バルブ
４がパージ用コンテナ５の何も設けてない他方の開口5b
内に位置するようにしてシール12を介して着脱自在に連
設されており、第３図に真空処理室１とパージ用コンテ
ナ５とのシール部分の詳細が拡大して示されている。13
はパージガスのモニタ圧力計である。

次に、図示装置の動作について説明する。

パージ用コンテナ５のフレキシブルカーテン６を通し
て被処理物をパレット８上に載置した後、パージ用ガス
供給設備11よりパージ用ガス導入口10を介してガスを導
入してパージ用コンテナ５の内部の大気を導入したガス
で置換する。その後、真空処理室１に設けられた真空バ
ルブ４を開き、搬送設備９を昇降および回動させてパー
ジ用コンテナ５内のパレット８上の被処理物を、搬入・
搬出口1aを通って真空処理室１内に搬入する。しかる
後、真空バルブ４を閉じ、真空処理室１内を排気設備２
により所望の真空状態にしてから、真空処理室１内で被
処理物を処理する。こうして被処理物を処理した後、真
空処理室１内を真空でない状態にしてから、真空バルブ
４を開き、搬送設備９を昇降および回動させて被処理物
を真空処理室１内よりパージ用コンテナ５に搬出する。
被処理物の搬出中、パージ用ガス導入口10を介してパー
ジ用ガス供給設備11からのガスを導入して、パージ用コ
ンテナ５の内部に大気が侵入するのを防止する。その
後、被処理物はフレキシブルカーテン６を通過させて大
気中に取り出される。

なお、上記実施例では、真空処理室１とパージ用コン
テナ５とを連接しているが、これらを切り離す場合に
は、パージ用コンテナ５における台車７を動かしてパー
ジ用コンテナ５を動かせばよい。

ところで、上記実施例において、フレキシブルカーテ
ン６としてのれん式のものを使用しているが、大気を遮
断できるものであればよく、例えば第４図に示すような
放射式のもの等であってもよい。また、フレキシブルカ
ーテン６はプラスチック製のものであるが、その代わり
に、耐熱布製のものを使用してもよい。さらに、上記実
施例では、フレキシブルカーテン６は真空処理室１側と
反対側の開口5aにのみ設けられているが、真空バルブ側
の開口5bにフレキシブルカーテン６と同様な構造の遮蔽
手段を設けることもできる。さらにまた、フレキシブル
カーテン６の設けられた開口5aの内部に、パージ用コン
テナ５の内部と大気とを遮断するためのバルブまたは蓋
を設けてもよい。

なお、図面には示していないが、当然パージ用ガス供
給設備11をパージ用ガス導入設備３と共通のパージ用ガ
ス供給源に連結するように構成することもできる。

［発明の効果］ この発明は、上記のようにパージ用ガス供給設備から
導入したガスでパージ用コンテナ内部の大気を置換する
ようにしているので、有害な大気が真空処理室の内部に
侵入するのを防止することができると共に真空処理室側
に設けたパージ用ガス供給設備によりパージ操作を行な
うため操作性および制御性が向上することになる。ま
た、本発明は、上記のように真空処理室とパージ用コン
テナとを着脱自在に連接しているので、真空処理室の大
きさに応じた種々の形状、重量の被処理物を取り扱うこ
とができるようになる。さらに、本発明は、複数個の真
空処理室が各々並列運転を目的として設置されている場
合に一台の被処理物搬入、搬出機構で被処理物の搬入、
搬出作業を賄うことができ、これにより作業スペースを
より大きく取れしかも設備費は少なくて済むことにな
る。

【図面の簡単な説明】 第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成線図、第２
図は第１図の装置に使用されたのれん式のプラスチック
性のフレキシブルカーテンを示す拡大斜視図、第３図は
第１図のＡ部の拡大詳細断面図、第４図は第１図の装置
に使用されるフレキシブルカーテンの別の実施例を示す
立面図である。 図中 １……真空処理室 1a……被処理物の搬入・搬出口 ４……真空バルブ ５……パージ用コンテナ 5a、5b……開口 ６……フレキシブルカーテン ８……パレット ９……搬送設備 10……パージ用ガス導入口 11……パージ用ガス供給設備

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】台車に搭載され、側壁に二つの開口を備
   え、内部に、パレット上に被処理物を載置して搬送する
   昇降及び回動自在な搬送装置を設け、真空処理室に対し
   て着脱自在に連設するようにした移動自在なパージ用コ
   ンテナから成り、上記二つの開口の一方を、真空処理室
   の側壁の被処理物搬入・搬出口に対してそこに設けた真
   空バルブを介して連通させかつ上記真空バルブが上記パ
   ージ用コンテナの一方の開口内に位置するようにし、ま
   た他方の開口には大気の侵入を防止するフレキシブルカ
   ーテンを設け、さらに上記パージ用コンテナに、真空処
   理装置に組み合わせて設けたパージ用ガス供給設備の自
   在連結部に連結されるパージ用ガス導入口を設けたこと
   を特徴とする真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬
   入・搬出装置。