JPH08160094A - プリント配線板の検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被検査ポイントへの損傷をなくして安定した
電気的接触を確保するとともに、高密度配線のプリント
配線板にも対応できるようにした。 【構成】 プリント配線板１０の表裏面の被検査ポイン
ト１０ａ、１０ｂに位置変換基板１４、１５の凹凸付き
検査ターミナル１４１、１５１を接触させ、振動装置１
７を所定時間起動してプリンタ配線板１０を平面方向に
微振動させた後、導体パターンの電気的検査を行う構成
にし、被検査ポイント１０ａ、１０ｂと検査用ターミナ
ル１４１、１５１との接触表面の互いの摩擦によって、
互いの接触表面を覆っている絶縁物質を金属面に傷を発
生させることなく除去するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板の検査
方法及びその装置に係り、特に高密度導体パターンの電
気的なオープン、ショートを検査（ベアボードテスト）
し、製品の良否判定を行うのに好適なプリント配線板の
検査方法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種従来の最も典型的なプリント配線
板の検査装置として、コンタクトプローブを用いた検査
装置が知られている。この検査装置は、絶縁基板に多数
のコンタクトプローブをプリント配線板の検査ポイント
の配列パターンに合わせて配設し、この絶縁基板に被検
査用プリント配線板を重ね合わせて押し付けるることに
より、コンタクトプローブを被検査用プリント配線板の
検査ポイントであるパッド及びスルーホールに接触さ
せ、検査ポイントに対応するパット間またはスルーホー
ル間にコンタクトプローブを通してパターン検査部から
電圧を供給することにより、導体パターンのオープン
（断線）、ショート（絶縁不良）等を検査するものであ
る。

【０００３】また、従来のプリント配線板の検査装置と
しては、図１０に示すように、絶縁基板１ａの一方の面
に被検査用プリント配線板２のスルーホール（またはパ
ッド）３と一致するパッド４を形成し、絶縁基板１ａの
他方の面には一方の面に形成したパッド４と同数のスル
ーホール（またはパッド）５を所定のピッチでマトリク
ス状に形成するとともに、一方の面に形成したパッド４
と他方の面に形成したスルーホール（またはパッド）５
とを１対１の関係で電気的に接続してなる位置変換基板
１を設け、この位置変換基板１のパッド４側の面と被検
査用プリント配線板２間に、厚み方向にのみ導電性をも
つ異方性導電ゴム６を介在して加圧することにより、こ
の異方性導電ゴム６で相対向する被検査用プリント配線
板２のスルーホール３と位置変換基板１のパッド４間を
電気的に導通し、さらに、位置変換基板１の各スルーホ
ール５にはマトリクス状に配列したコンタクトプローブ
７を圧接し、このコンタクトプローブ７を通して不図示
のパターン検査部から電圧を供給することにより、導体
パターンのオープン（断線）、ショート（絶縁不良）等
を検査するものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述す
る従来のコンタクトプローブを用いた個別治具方式で
は、絶縁基板にマトリクス状に配設される各コンタクト
プローブは電気的にも機械的にも互いに干渉しない配列
構造にしなければならない関係上、その配列ピッチは２
００μｍが限度である。従って、この個別治具により検
査できるプリント配線板の検査ポイントのピッチは２０
０μｍ程度までしか対応できず、マルチチップモジール
用プリント配線板やチップ・オン・ボードにおけるＩＣ
チップ等を接続するパッドのように２００μｍ以下のピ
ッチの検査ポイントを有するプリント配線板の検査には
利用できない。また、この種のコンタクトプローブは被
検査用プリント配線板の検査ポイントであるパッド等に
直接圧接されるため、コンタクトプローブの先端形状、
接触の仕方、接触時のスピードによってパッド等に傷を
付けてしまうほか、コンタクトプローブからパッド側に
かかる荷重によっては、絶縁層がガラスクロス等を含ま
ない樹脂だけからなるプリント配線板の場合には絶縁層
にクラックを発生させてしまう恐れがある。

【０００５】また、従来のコンタクトプローブを用いた
個別治具においては、プリント配線板の検査ポイントは
プリント配線板の全域に均等に存在していないのが一般
であるため、プリント配線板の検査ポイントにコンタク
トプローブを押圧接触させたときに、プリント配線板に
偏荷重が生じ、これによりプリント配線板が撓んだりし
て、コンタクトプローブとパッド用との間に接触不良が
発生する恐れがあるほか、導体パターンの剥離や絶縁層
がガラスクロス等を含まない樹脂だけからなるプリント
配線板の場合には絶縁層にクラックが生じるなどの問題
がある。

【０００６】また、図１０に示すように、位置変換基板
１と異方性導電ゴム６を用いた個別治具方式では、コン
タクトプローブによってプリント配線板のパッド等が損
傷されたり、絶縁層にクラックを発生させたりする恐れ
がない。しかしながら、異方性導電ゴム６の各検査ポイ
ントに対して厚み方向にのみ導電性を持たせるための分
解能には限度があるため、約２００μｍ程度までの検査
ポイントピッチのプリント配線板にしか適用できない。
また、異方性導電ゴムは耐久性が低いため、ランニング
コストが高くなり、しかもコンタクトプローブに比べて
導通抵抗も高いため、ゴミ、ホコリ、汚れ等に弱く、接
触不良が発生し易い問題がある。

【０００７】一方、被検査用プリント配線板の被検査側
パッド等の表面やこれらパッド等に接触する検査側の検
査ターミナルの表面は、多かれ少なかれ酸化膜や微小異
物等の絶縁物質により覆われているのが普通である。

【０００８】従来、このような絶縁物質を除去して被検
査側パッド等と検査ターミナル間の確実な接触を確保す
る方法としては、パターンの検査時に高電圧を印加した
り、検査ターミナルがコンタクトプローブの場合には、
その先端を尖鋭にして被検査側パッド等の表面に突き刺
すことにより絶縁物質を破壊したり、あるいは高荷重を
かけることにより絶縁物質を破壊すると同時にパッド等
との接触面積を増加させる方式をとっていた。

【０００９】しかしながら、高電圧を印加する方法で
は、絶縁層が破壊されることがある。その場合、絶縁性
が低下するなどの問題が生ずる。また、コンタクトプロ
ーブをパッド等の表面に突き刺したり、高荷重で押し付
けた場合は、パッド等の表面に傷が発生し、この傷によ
って露出したパッド等の金属面が酸化してワイヤボンデ
ィング等の部品実装に悪影響を与える結果となるなどの
問題がある。さらにコンタクトプローブをパッド等に高
荷重で押し付けることにより、プリント配線板の絶縁層
にクラックが発生した場合、環境によっては時間がたつ
につれ、クラック部分に水分がたまって絶縁性が低下し
たり、実装された部品の発熱によりクラック部分にたま
った水分が膨張してモジュールを破壊させたりする恐れ
がある。

【００１０】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、被検査ポイントに損傷を
与えず、安定した電気的接触を確保することにより、高
密度配線のプリント配線板の検査を高い信頼性で行なう
ことができる。プリント配線板の検査方法及びその装置
を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
請求項１の発明は、絶縁基板の一方の面に被検査プリン
ト配線板の被検査ポイントに対応する検査用ターミナル
を設け、前記絶縁基板の他方に面に前記検査用ターミナ
ルと電気的に接続され所定の位置に配列されたターミナ
ルを設けた位置変換基板を、その検査用ターミナルが前
記被検査用プリント配線板の被検査ポイントと接触する
ようにして前記被検査プリント配線板に重ね合わせ、前
記所定の位置に配列されたターミナルに接続される検査
部により前記被検査プリント配線板の電気的検査を行う
プリント配線板の検査方法であって、前記被検査プリン
ト配線板の被検査ポイントに前記位置変換基板の検査用
ターミナルを接触させ、前記被検査プリント配線板及び
前記位置変換基板の少なくとも一方に前記被検査プリン
ト配線板の平面方向の微振動を与えた後電気的検査を行
うことを特徴とする。

【００１２】ここで、「所定の位置」とは、検査部の接
続が行なえる位置ということを意味し、例えば１００ｍ
ｉｌ （＝２．５４ｍｍ）、５０ｍｉｌ、２５ｍｉｌ、
２０ｍｉｌ、１２．５ｍｉｌ等の間隔の格子状の位置で
あっても、位置変換基板の端部に端子状に設けてもよ
い。

【００１３】請求項２の発明は、請求項１記載の発明に
おいて前記被検査ポイントと接触する前記検査用ターミ
ナルの表面が凹凸を有することを特徴とする。請求項３
の発明は、請求項１または請求項２記載の発明において
前記位置変換基板の検査用ターミナルが前記被検査ポイ
ントに接触したときに、前記位置変換基板が被検査ポイ
ントの高さレベルに応じて弾性変形することを特徴とす
る。

【００１４】請求項４の発明は、絶縁基板の一方の面に
被検査プリント配線板の被検査ポイントに対応する検査
用ターミナルを設けるとともに他方の面に前記検査用タ
ーミナルと電気的に接続され所定の位置に配列されたタ
ーミナルを設けてなる位置変換基板を、その検査用ター
ミナルが前記被検査ポイントと接触するようにして前記
被検査プリント配線板に重ね合わせ、前記所定の位置に
配列されたターミナルに接続される検査部により前記被
検査プリント配線板の電気的検査を行うプリント配線板
の検査方法であって、前記被検査プリント配線板を、そ
の表裏両面に接触する一対の剛性を有する位置変換基板
間に、前記被検査プリント配線板の被検査ポイントに前
記位置変換基板の検査用ターミナルを接触させ、かつ前
記被検査プリント配線板が微動可能なように収容し、前
記位置変換基板および前記被検査プリント配線板に前記
被検査基板の平面方向の微振動を与えた後、前記検査部
に接続して、電気的検査を行なうことを特徴とする。請
求項５の発明は、前記被検査ポイントと接触する前記検
査用ターミナルの表面が凹凸を有することを特徴とす
る。

【００１５】請求項６の発明は、絶縁基板の一方の面に
被検査プリント配線板の被検査ポイントに対応する検査
用ターミナルを設けるとともに他方の面に前記検査用タ
ーミナルと電気的に接続され所定の位置に配列されたタ
ーミナルを設けてなる位置変換基板を、その検査用ター
ミナルが前記被検査ポイントと接触するようにして前記
被検査プリント配線板に重ね合わせる手段と、前記所定
の位置に配列されたターミナルに接続され、前記被検査
プリント配線板の電気的検査を行う検査手段と、前記被
検査プリント配線板の被検査ポイントに前記位置変換基
板の検査用ターミナルを接触させた状態で前記被検査プ
リント配線板及び前記位置変換基板の少なくとも一方を
前記被検査プリント配線板の平面方向に微振動させる振
動手段とを備えてなるものである。

【００１６】請求項７の発明は、請求項６記載の発明に
おいて前記被検査ポイントと接触する前記検査用ターミ
ナルの表面に凹凸を形成したことを特徴とする。請求項
８の発明は、請求項６または請求項７記載の発明におい
て前記位置変換基板の絶縁基板を可撓性の電気絶縁性材
により構成し、前記位置変換基板の検査用ターミナル形
成面の反対面側にクッション層を設けたことを特徴とす
る。請求項９の発明は、請求項５及び請求項８記載の発
明において前記位置変換基板の絶縁基板が、クッション
層と該クッション層の表裏両面に積層接着した可撓性の
電気絶縁層から形成されていることを特徴とする。

【００１７】

【作用】本発明の方法においては、被検査プリント配線
板の被検査ポイントに位置変換基板の検査用ターミナル
を接触させた後、被検査プリント配線板及び前記位置変
換基板の少なくとも一方を被検査プリント配線板の平面
方向に微振動させることにより、被検査ポイント及び検
査用ターミナルの接触表面を覆っている絶縁物質を金属
面に傷を発生させることなく除去できるから、被検査ポ
イントへの損傷をなくして安定した電気的接触を確保す
るとともに、異方性導電ゴムを用いることなく、高密度
配線のプリント配線板にも対応できる。また、本発明の
方法においては、被検査ポイントと接触する検査用ター
ミナルの表面が凹凸を有することにより、被検査ポイン
ト及び検査用ターミナルの接触表面を覆っている絶縁物
質を前記凹凸部の凹部にとり込むことにより除去できる
から、さらに安定した電気的接触を確保することができ
る。また、本発明の方法においては、位置変換基板の検
査用ターミナルが被検査ポイントに接触したときに、位
置変換基板を被検査ポイントの高さレベルに応じて弾性
変形させることにより、被検査ポイントの高さにばらつ
きがあっても、これに追従でき、検査用ターミナルと被
検査ポイントとの電気的接触を確実にする。また、本発
明の方法においては、被検査用プリント配線板を、その
表裏両面に接触する一対の剛性を有する位置変換基板間
に収容し、前記位置変換基板および前記被検査プリント
配線板の少なくとも一方に前記被検査プリント基板の平
面方向に微振動を与えた後、前記検査部に接続して電気
的検査を行うことにより、検査機に接続する前に微振動
を与え、その後検査機と接続することが可能になり、従
来のコンタクトプローブを有する検査機をそのまま用い
ることができ、さらに検査機の稼動効率も向上させるこ
とができる。

【００１８】また、本発明の装置においては、被検査プ
リント配線板及び前記位置変換基板の少なくとも一方を
振動手段で被検査プリント配線板の平面方向の微振動さ
せることにより、被検査ポイント及び検査用ターミナル
の接触表面を覆っている絶縁物質を金属面に傷を発生さ
せることなく除去できるから、被検査ポイントへの損傷
をなくして安定した電気的接触を確保するとともに、異
方性導電ゴムを用いることなく、高密度配線のプリント
配線板にも対応できる。また本発明においては、被検査
ポイントと接触する検査用ターミナルの表面が凹凸を有
することにより、被検査ポイント及び検査用ターミナル
の接触表面を覆っている絶縁物質を前記凹凸部の凹部に
とり込むことにより除去できるから、さらに安定した電
気的接触を確保することができる。また、本発明におい
ては、位置変換基板の絶縁基板を可撓性の電気絶縁性材
により構成し、前記位置変換基板の検査用ターミナル形
成面の反対面側にクッション層を設けることにより、被
検査用プリント配線板の被検査ポイントの高さにばらつ
きがあっても、これに追従でき、検査用ターミナルと被
検査ポイントとの電気的接触を確実にする。また、本発
明の装置においては、位置変換基板の絶縁基板をクッシ
ョン層と該クッション層の表裏両面に積層接着した可撓
性の電気絶縁層から形成することにより、被検査用プリ
ント配線板の被検査ポイントの高さにばらつきがあって
も、これに追従でき、検査用ターミナルを被検査ポイン
トとの電気的接触を確実にできる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、本発明方法を適用したプリント配線板の
検査装置の第１の実施例を示す概略構成図である。図１
において、１０は被検査用のプリント配線板（以下、単
にプリント配線板という）であり、このプリント配線板
１０の表面及び裏面には、被検査ポイント（被検査側の
パッドまたはスルーホールに相当する）１０ａ及び１０
ｂがそれぞれ形成されている。また、このプリント配線
板１０は上下に移動するホルダ１１に支持されている。

【００２０】図１中、１２はプリント配線板１０の裏面
に相対向して平行に設置された下部支持部材、１３はプ
リント配線板１０の表面側に相対向して平行に、かつ上
下方向に移動可能に配置された上部支持部材であり、下
部支持部材１２上にはプリント配線板１０の裏面用位置
変換基板１４が固定され、上部支持部材１３の下面には
プリント配線板１０の表面用位置変換基板１５が固定さ
れている。上記裏面用位置変換基板１４のプリント配線
板１０の裏面と対向する表面には、プリント配線板１０
の各被検査ポイント１０ｂに対応してそれぞれ面接触す
る検査用ターミナル１４１が形成され、その裏面には各
検査用ターミナル１４１とそれぞれ電気的に接続される
ターミナル１４２が位置変換基板１４上の配線を介して
位置変換基板１４の板端部に設けられている。この各タ
ーミナル１４２は図略のリード線などを介して検査部１
６に接続されている。

【００２１】この例では、ターミナル１４２は位置変換
基板の板端部に設けたが、ターミナル１４２を格子状に
設け、格子状にリード線やプローブ等を設けた検査部に
接続してもよい。また、検査用ターミナル１４１の表面
には、図２に示すように、２０μｍ程度以下の凹凸１４
１ａが形成されている。この凹凸１４１ａは、例えばプ
レス加工や電流密度を高くしたメッキ処理などにより形
成される。

【００２２】上記表面用位置変換基板１５のプリント配
線板１０の表面と対向する表面には、プリント配線板１
０の各被検査ポイント１０ａに対応してそれぞれ面接触
する検査用ターミナル１５１が形成され、その裏面には
各検査用ターミナル１５１とそれぞれ電気的に接続され
るターミナル１５２が位置変換基板１４上の配線を介し
て位置変換基板１４の板端部に設けられているが、これ
は所定の格子状に配設されている。この各ターミナル１
５２は図略のリード線などを介して検査部１６に接続さ
れている。さらに、検査用ターミナル１５１の表面に
は、図２に示すように、２０μｍ程度以下の凹凸１５１
ａが形成されている。この凹凸１５１ａは、例えばプレ
ス加工や電流密度を高くしたメッキ処理などにより形成
される。また、プリント配線板１０のホルダ１１には、
プリント配線板１０を平面方向に１０〜２０μｍ程度の
振幅で微振動させる振動装置１７が連結されている。

【００２３】上記のように構成された検査装置におい
て、プリント配線板の電気的検査を行う場合は、ホルダ
１１に支持されたプリント配線板１０を下部支持部材１
２上の裏面用位置変換基板１４上にセットした後、上部
支持部材１３を下降して表面用位置変換基板１５をプリ
ント配線板１０に軽く押し付け、振動装置１７を起動し
てプリント配線板１０を平面方向に所定時間微振動させ
る。これにより、被検査ポイント１０ａ、１０ｂと凹凸
を有する検査用ターミナル１４１、１５１との接触表面
を互いに摩擦させて、互いの接触表面を覆っている絶縁
物質を金属面に傷を発生させることなく除去する。ま
た、前記絶縁物質は凹部にとり込まれる。その結果、被
検査ポイント１０ａ、１０ｂと検査用ターミナル１４
１、１５１間は良好な電気的接触状態となる。その後、
振動装置１７を停止し、検査部１６を動作させ、該検査
部１６から試験電圧を供給することにより、導体パター
ンのオープン（断線）、ショート（絶縁不良）等を検査
する。

【００２４】上記のような本実施例においては、プリン
ト配線板１０の表裏面の被検査ポイント１０ａ、１０ｂ
に位置変換基板１４、１５の凹凸付き検査ターミナル１
４１、１５１を接触させ、振動装置１７を所定時間起動
してプリンタ配線板１０を平面方向に微振動させた後、
導体パターンの電気的検査を行う構成にしたから、被検
査ポイント１０ａ、１０ｂと検査用ターミナル１４１、
１５１との接触表面の互いの摩擦によって、互いの接触
表面を覆っている絶縁物質を金属面に傷を発生させるこ
となく除去することができ、しかもプリント配線板に積
極的に荷重を掛ける必要がないため、被検査ポイントへ
の損傷がなくなり、絶縁層がガラスクロス等を含まない
樹脂だけからなるプリント配線板の場合でもプリント配
線板の絶縁層にクラックが発生することがなく、安定し
た電気的接触を確保するとともに、異方性導電ゴムを用
いることなく、高密度配線のプリント配線板に対応でき
る。

【００２５】また、位置変換基板は、プリント配線板と
同一材料、同一プロセスで製作することができるため、
熱変形等による検査ターミナルと被検査ポイントとのず
れを最小限に抑えることができるとともに、位置変換基
板をプリント配線板と同じ精度で製作できるため、どの
ような高密度配線のプリント配線板にも容易に対応でき
る。さらに既存の１００ｍｉｌユニバーサル配線検査機
にも使用できるほか、検査ターミナルは面接触であるた
め、被検査ポイントを損傷することがない。

【００２６】次に、図３により本発明の第２の実施例に
ついて説明する。図３において、図１と同一の部分には
同一符号を付してその構成説明を省略し、図１と異なる
部分を重点に述べる。図３からも明らかなように、下部
支持部材１２に設置される裏面用位置変換基板２１の絶
縁基板２１１は、ポリイミド製フイルム材等の可撓性材
料から成形され、この絶縁基板２１１の表面には、プリ
ント配線板１０の各被検査ポイント１０ｂに対応してそ
れぞれ面接触する凹凸付きの検査用ターミナル２１２が
形成されているとともに、その裏面には各検査用ターミ
ナル２１２とそれぞれ電気的に接続されるターミナル２
１３が絶縁基板２１１上に設けられた配線を介して絶縁
基板２１１の周囲の部分に設けられている。さらに絶縁
基板２１１の周縁部には、位置変換基板２１を下部支持
部材１２に取り付けるためのホルダ２１４が固着されて
おり、また、ホルダ２１４で囲まれた絶縁基板２１１の
裏面と上部支持部材１３の上面間にはシリコンゴム等か
らなるクッション材２１５が介在されている。

【００２７】また、上部支持部材１３に設置される表面
用位置変換基板２２の絶縁基板２２１は、ポリイミド製
フイルム材等の可撓性材料から成形され、この絶縁基板
２２１の表面には、プリント配線板１０の各被検査ポイ
ント１０ａに対応してそれぞれ面接触する凹凸付きの検
査用ターミナル２２２が形成されているとともに、その
裏面には各検査用ターミナル２２２とそれぞれ電気的に
接続されるターミナル２２３が絶縁基板２２１上に設け
られた配線を介して絶縁基板２２１の周囲の部分に設け
られている。さらに絶縁基板２２１の周縁部には、位置
変換基板２２を下部支持部材１３に取り付けるためのホ
ルダ２２４が固着されており、また、ホルダ２２４で囲
まれた絶縁基板２２１の裏面と上部支持部材１３の下面
間にはシリコンゴム等からなるクッション材２２５が介
在されている。そして、プリント配線板１０を位置変換
基板２１、２２により両面から挟持した状態で、プリン
ト配線板に１０μｍ〜２０μｍの幅で微振動を与えた
後、図示省略の検査部から試験電圧を供給することによ
り、導体パターンのオープン（断線）、ショート（絶縁
不良）等を検査することができる。

【００２８】このような第２の実施例においては、上記
第１の実施例と同様な作用効果が得られるほか、被検査
用プリント配線板の被検査ポイントの高さにばらつきが
あっても、これに追従でき、検査用ターミナルを被検査
ポイントとの接触が確実になるという効果がある。

【００２９】次に、図４により本発明の第３の実施例に
ついて説明する。図４において、図１と同一の部分には
同一符号を付してその構成説明を省略し、図１と異なる
部分を重点に述べる。図４（Ａ）、（Ｂ）からも明らか
なように、プリント配線板１０の被検査ポイント１０ｂ
と対向する表面に検査用ターミナル３１１を有し、裏面
に検査用ターミナル３１１と電気的に接続されたターミ
ナル３１２を有し、かつ剛性を有する裏面用位置変換基
板３１の四隅部分に位置決め穴３１３を形成し、この位
置決め穴３１３と係合する位置決めピン１２１を下部支
持部材１２の上面四隅部に設ける。また、裏面用位置変
換基板３１の四隅部分の表面側には、スペーサを兼ねた
プリント配線板支持用ブロック３１４を介して位置決め
兼用の結合ピン３１５が突設されている。

【００３０】同様にして、プリント配線板１０の被検査
ポイント１０ａの対向する表面に検査用ターミナル３２
１を有し、裏面に検査用ターミナル３２１と電気的に接
続されたターミナル３２２を有し、かつ剛性を有する表
面用位置変換基板３２の四隅部分に上記結合ピン３１５
と係合する位置決め兼用の結合穴３２３が形成されてい
る。

【００３１】このように構成された裏面用位置変換基板
３１及び表面用位置変換基板３２において、裏面用位置
変換基板３１の支持用ブロック３１４の内側にプリント
配線板１０をセットした後、その上面から表面用位置変
換基板３２を被せて、その結合穴３２３を結合ピン３１
５に係合することにより、図４（Ｂ）に示すように、内
部にプリント配線板１０を収容したボックス型の位置変
換基板に組み立てる。ここでプリント配線板１０と支持
用ブロック３１４の間には、１０〜２０μｍ程度の隙間
があり、微振動された時に被検査ポイントと検査用ター
ミナル間に摩擦が生じるように構成されている。その
後、図示省略の振動装置により前記ボックス型の位置変
換基板を平面方向に所定時間微振動させ、被検査ポイン
トと検査用ターミナルの互いの接触表面を摩擦して絶縁
物質を除去する。この状態のボックス型位置変換基板の
位置決め穴３１３を下部支持部材１２の位置決めピン１
２１に係合することにより、ボックス型の位置変換基板
を下部支持部材１２上にセットする。この状態では、下
部支持部材１２に所定の格子上に設けたコンタクトプロ
ーブ１２２が対応するターミナル３１２に電気的に接触
する。一方、上部支持部材１３を下降させることによ
り、これに所定の格子上に設けたコンタクトプローブ１
３２が対応するターミナル３２２に電気的に接触され
る。そして、図示省略の検査部から試験電圧を供給する
ことにより、導体パターンのオープン（断線）、ショー
ト（絶縁不良）等を検査することができる。

【００３２】このような第３の実施例においては、上記
第１の実施例と同様な作用効果が得られるほか、検査機
に接続する前に微振動を与え、その後検査機と接続する
ことが可能となり、従来のコンタクトプローブを有する
検査機をそのまま用いることができ、さらに検査機の稼
動効率も向上させることができる。

【００３３】次に、図５により本発明の第４の実施例に
ついて説明する。図５において、図１と同一の部分には
同一符号を付してその構成説明を省略し、図１と異なる
部分を重点に述べる。図５からも明らかなように、プリ
ント配線板１０の被検査ポイント１０ｂと対向する裏面
用位置変換基板４１の絶縁基板４１１をシリコンゴム等
の弾性材からなる所望厚さのクッション層４１２と、こ
のクッション層４１２の表面に積層接着したポリイミド
製フイルム等からなる可撓性の電気絶縁層４１３と、ク
ッション層４１２の裏面に積層接着したガラスエポキシ
等の可撓性を有しない電気絶縁層４１４とから成形し、
この表面側の電気絶縁層４１３には、プリント配線板１
０の各被検査ポイント１０ｂに対応してそれぞれ面接触
する凹凸付きの検査用ターミナル４１５が形成されてい
るとともに、その裏面の電気絶縁層４１４には各検査用
ターミナル４１５と別々に電気的に接続されるターミナ
ル４１６が所定の格子上に配設されている。

【００３４】また、同様にして、プリント配線板１０の
被検査ポイント１０ａと対向する表面用位置変換基板４
２の絶縁基板４２１をシリコンゴム等の弾性材からなる
所望厚さのクッション層４２２と、このクッション層４
２２の表面に積層接着したポリイミド製フイルム等から
なる可撓性の電気絶縁層４２３と、クッション層４２２
の裏面に積層接着したガラスエポキシ等の可撓性を有し
ない電気絶縁層４２４とから成形し、この表面側の電気
絶縁層４２３には、プリント配線板１０の各被検査ポイ
ント１０ａに対応してそれぞれ面接触する凹凸付きの検
査用ターミナル４２５が形成されているとともに、その
裏面の電気絶縁層４２４には各検査用ターミナル４２５
と別々に電気的に接続されるターミナル４２６が所定の
格子上に配設されている。

【００３５】上記裏面用位置変換基板４１は、図５に示
すように、下部支持部材１２の上面にガイドポスト４３
を介して上下動可能に支持され、コイルばね４４により
プリント配線板１０側ヘ付勢されているとともに、下部
支持部材１２に所定の格子上に設けたコンタクトプロー
ブ１２２が対応するターミナル４１６に電気的に接触し
ている。また、上記表面用位置変換基板４２は、上部支
持部材１３の上面にガイドポスト４５を介して上下動可
能に支持され、コイルばね４６によりプリント配線板１
０側ヘ付勢されているとともに、上部支持部材１３に所
定の格子上に設けたコンタクトプローブ１３２が対応す
るターミナル４２６に電気的に接触している。このよう
に支持された裏面用位置変換基板４１及び表面用位置変
換基板４２により、プリント配線板１０を表裏両面から
挟持した後、プリント配線板１０を平面方向に所定時間
微振動させる。微振動を停止させた後、図示省略の検査
部から試験電圧を供給することにより、導体パターンの
オープン（断線）、ショート（絶縁不良）等を検査する
ことができる。

【００３６】このような第４の実施例においては、上記
第１の実施例と同様な作用効果得られるほか、被検査用
プリント配線板の被検査ポイントの高さにばらつきがあ
っても、これに追従でき、検査用ターミナルを被検査ポ
イントとの電気的接触を確実にできるとともに、コンタ
クトプローブを有する既存の検査機にも利用できるとい
う効果がある。

【００３７】次に、振動装置の具体的実施例について説
明する。図６は、振動装置１７の第１の実施例を示すも
ので、支持部材５１に振動部材５２を一対のガイドロッ
ド５３により伸縮可能に支持し、この振動部材５２をば
ね５４によって縮退方向に付勢するとともに、振動部材
５２の内側にカム５５を配設し、このカム５５を回転さ
せることにより、振動部材５２の外面に接触するプリン
ト配線板１０を矢印方向に振動させるようにしたもので
ある。

【００３８】図７は、振動装置１７の第２の実施例を示
すもので、揺動部材６１の一端部ををピン６２により揺
動可能に支持し、この揺動部材６１の他端と支持部材６
３間にバネ６４を張架し、揺動部材６１の他端側に圧接
するカム６５を回転させることにより、揺動部材６１の
一端に接触するプリント配線板１０を矢印方向に振動さ
せるようにしたものである。

【００３９】図８は、振動装置１７の第３の実施例を示
すもので、揺動部材７１の一端部ををピン７２により揺
動可能に支持し、この揺動部材７１の中間部と支持部材
７３間にバネ７４を張架し、揺動部材７１の他端側に圧
接する偏心円板７５を回転させることにより、揺動部材
７１の一端に接触するプリント配線板１０を矢印方向に
振動させるようにしたものである。

【００４０】図９は、振動装置１７の第４の実施例を示
すもので、振動子を超音波振動体８１により構成し、こ
の超音波振動体８１を駆動することにより、これに連結
されたプリント配線板１０を矢印方向に振動させるよう
にしたものである。

【００４１】なお、本発明は、上記実施例に示す構成の
ものに限定されず、請求項に記載された範囲を逸脱しな
い限り、種々の変形、変更が可能である。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、被
検査プリント配線板の被検査ポイントに位置変換基板の
検査用ターミナルを接触させた後、被検査プリント配線
板及び前記位置変換基板の少なくとも一方を被検査プリ
ント配線板の平面方向に微振動させることにより、被検
査ポイント及び検査用ターミナルの接触表面を覆ってい
る絶縁物質を金属面に傷を発生させることなく除去でき
るから、被検査ポイントに損傷を与えずに安定した電気
的接触を確保するとともに、異方性導電ゴムを用いるこ
となく、高密度配線のプリント配線板の検査を高い信頼
性で行なうことができる。

【００４３】また、本発明によれば、位置変換基板の検
査用ターミナルが被検査ポイントに電気的に接触したと
きに、位置変換基板を被検査ポイントの高さレベルに応
じて弾性変形させることにより、被検査ポイントの高さ
にばらつきがあっても、これに追従でき、検査用ターミ
ナルと被検査ポイントとの電気的接触を確実にすること
ができ、高密度配線のプリント配線板の検査を高い信頼
性で行なうことができる。

【００４４】さらに、本発明によれば、被検査用プリン
ト配線板を、その表裏両面に接触する一対の剛性を有す
る位置変換基板間に収容し、位置変換基板および被検査
プリント配線板の少なくとも一方に被検査プリント基板
の平面方向に微振動を与えた後、前記検査部に接続して
電気的検査を行うことにより、検査機に接続する前に微
振動を与え、その後検査機と接続することが可能にな
り、従来のコンタクトプローブを有する検査機をそのま
ま用いることができ、さらに検査機の稼動効率も向上さ
せることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明方法を適用したプリント配線板の検査装
置の第１の実施例を示す概略構成図である。

【図２】本実施例における検査ターミナルの拡大図であ
る。

【図３】本発明によるプリント配線板検査装置の第２の
実施例を示す構成図である。

【図４】本発明によるプリント配線板検査装置の第３の
実施例を示す構成図である。

【図５】本発明によるプリント配線板検査装置の第４の
実施例を示す構成図である。

【図６】本発明による振動装置の第１の実施例を示す構
成図である。

【図７】本発明による振動装置の第２の実施例を示す構
成図である。

【図８】本発明による振動装置の第３の実施例を示す構
成図である。

【図９】本発明による振動装置の第４の実施例を示す構
成図である。

【図１０】従来のプリント配線板検査装置を示す概略構
成図である。

【符号の説明】

１０ プリント配線板 １０ａ 、１０ｂ 被検査ポイント １２ 下部支持部材 １３ 上部支持部材 １４ 裏面用位置変換基板 １５ 表面用位置変換基板 １４１、１５１ 検査用ターミナル １４１ａ、１５１ａ 凹凸 １４２。１５２ ターミナル １６ 検査部 １７ 振動装置 ２１ 裏面用位置変換基板 ２２ 表面用位置変換基板 ２１１、２２１ 絶縁基板 ２１４、２２４ ホルダ ２１５、２２５ クッション層 ３１、３２ 位置変換基板 ３１４ 板支持用ブロック ３１５ 結合ピン ３２３ 結合穴 ４１、４２ 位置変換基板 ４１２、４２２ クッション層 ４１３、４２３ 電気絶縁層

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 絶縁基板の一方の面に被検査プリント配
   線板の被検査ポイントに対応する検査用ターミナルを設
   けるとともに他方の面に前記検査用ターミナルと電気的
   に接続され所定の位置に配列されたターミナルを設けて
   なる位置変換基板を、その検査用ターミナルが前記被検
   査ポイントと接触するようにして前記被検査プリント配
   線板に重ね合わせ、 前記所定の位置に配列されたターミナルに接続される検
   査部により前記被検査プリント配線板の電気的検査を行
   うプリント配線板の検査方法であって、 前記被検査プリント配線板の被検査ポイントに前記位置
   変換基板の検査用ターミナルを接触させ、 前記被検査プリント配線板及び前記位置変換基板の少な
   くとも一方に前記被検査プリント配線板の平面方向の微
   振動を与えた後電気的検査を行う、 ことを特徴とするプリント配線板の検査方法。
2. 【請求項２】 前記被検査ポイントと接触する前記検査
   用ターミナルの表面が凹凸を有することを特徴とする請
   求項１記載のプリント配線板の検査方法。
3. 【請求項３】 前記位置変換基板の検査用ターミナルが
   前記被検査ポイントに接触したときに、前記位置変換基
   板が被検査ポイントの高さレベルに応じて弾性変形する
   ことを特徴とする請求項１または請求項２記載のプリン
   ト配線板の検査方法。
4. 【請求項４】 絶縁基板の一方の面に被検査プリント配
   線板の被検査ポイントに対応する検査用ターミナルを設
   けるとともに他方の面に前記検査用ターミナルと電気的
   に接続され所定の位置に配列されたターミナルを設けて
   なる位置変換基板を、その検査用ターミナルが前記被検
   査ポイントと接触するようにして前記被検査プリント配
   線板に重ね合わせ、 前記所定の位置に配列されたターミナルに接続される検
   査部により前記被検査プリント配線板の電気的検査を行
   うプリント配線板の検査方法であって、 前記被検査プリント配線板を、その表裏両面に接触する
   一対の剛性を有する位置変換基板間に、前記被検査プリ
   ント配線板の被検査ポイントに前記位置変換基板の検査
   用ターミナルを接触させ、かつ前記被検査プリント配線
   板が微動可能なように収容し、 前記位置変換基板および前記被検査プリント配線板の少
   なくとも一方に前記被検査プリント基板の平面方向の微
   振動を与えた後、前記検査部に接続して電気的検査を行
   なう、 ことを特徴とするプリント配線板の検査方法。
5. 【請求項５】 前記被検査ポイントと接触する前記検査
   用ターミナルの表面が凹凸を有することを特徴とする請
   求項４記載のプリント配線板の検査方法。
6. 【請求項６】 絶縁基板の一方の面に被検査プリント配
   線板の被検査ポイントに対応する検査用ターミナルを設
   けるとともに他方の面に前記検査用ターミナルと電気的
   に接続され所定の位置に配列されたターミナルを設けて
   なる位置変換基板を、その検査用ターミナルが前記被検
   査ポイントと接触するようにして前記被検査プリント配
   線板に重ね合わせる手段と、 前記所定の位置に配列されたターミナルに接続され、前
   記被検査プリント配線板の電気的検査を行う検査手段
   と、 前記被検査プリント配線板の被検査ポイントに前記位置
   変換基板の検査用ターミナルを接触させた状態で前記被
   検査プリント配線板及び前記位置変換基板の少なくとも
   一方を前記被検査プリント配線板の平面方向に微振動さ
   せる振動手段と、 を備えてなるプリント配線板の検査装置。
7. 【請求項７】 前記被検査ポイントと接触する前記検査
   用ターミナルの表面に凹凸を形成したことを特徴とする
   請求項６記載のプリント配線板の検査装置。
8. 【請求項８】 前記位置変換基板の絶縁基板を可撓性の
   電気絶縁性材により構成し、前記位置変換基板の検査用
   ターミナル形成面の反対面側にクッション層を設けたこ
   とを特徴とする請求項６または請求項７記載のプリント
   配線板の検査装置。
9. 【請求項９】 前記位置変換基板の絶縁基板は、クッシ
   ョン層と該クッション層の表裏両面に積層接着した可撓
   性の電気絶縁層から形成されていることを特徴とする請
   求項６または請求項８記載のプリント配線板の検査装
   置。