JPH08160214A

JPH08160214A - カラーフイルタの製造法

Info

Publication number: JPH08160214A
Application number: JP30528194A
Authority: JP
Inventors: Yasuki Mori; 靖樹森
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1994-12-09
Filing date: 1994-12-09
Publication date: 1996-06-21

Abstract

(57)【要約】【目的】感光性フイルムの基板への追随性、ラミネー
トの作業性を向上し、基板上に均一な厚さの高精度の、
段差、白抜けのない多色の微細パターンの形成された優
れた耐熱性を有するカラーフイルタの製造法を提供す
る。【構成】透明基板上に、ベースフイルムと一色に着色
された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
（１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
に貼り合わせる工程、（２）パターン状に露光する工程
及び（３）現像工程を少なくとも含む工程を繰り返して
多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法にお
いて、二色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板
に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせる
工程を行い、前記（１）と（３）の工程の間でベースフ
イルムが剥離された後現像前に、着色された感光性樹脂
層に圧力を印加することにより、二色目以降の感光性樹
脂層を画素間空間へ移行する工程を含むことを特徴とす
るカラーフイルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフイルタの製造
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラス等の光学的に
透明な基板の表面に、２種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを、一定
の間隔を開けて平行又は交差して並べた物である。これ
らのパターンは、色相を所定の順序に所定の間隔をおい
て整然と配置し、厚さムラの少ない均一な層とする必要
があり、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ法、染
色法等のカラーフイルタの製造法が提案されている。

【０００３】また、ベースフイルム及び感光性樹脂層を
有する感光性フイルムを使用した、多色の微細なストラ
イプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精度で形成
できるカラーフイルタの製造法が知られている。感光性
フイルムは公知であり、特公昭４５−２５２３１号公報
等に開示されている。

【０００４】感光性フイルムを用いてカラーフイルタを
作成する方法としては、一色に着色された感光性樹脂組
成物をベースフイルムに塗布乾燥した感光性フイルムの
感光性樹脂層を、透明な基板の上に転写して、所定のパ
ターンマスクを介して露光、現像してパターンを形成す
る方法（特開昭６１−９９１０２号公報、特開平３−１
６０４５４号公報、特開平３−１１１８０２号公報、特
開平２−１５１８０５号公報、特開平４−２１２１６１
号公報、特開平４−３０１６０２号公報、特開平５−２
１０７号公報等）が知られている。

【０００５】感光性フイルムは、良好なパターンを得る
ために、その追従性を向上させることが必要である。感
光性フイルムの追従性を向上させる方法としては、例え
ば、基板に段差があっても、その基板を正確に微細加工
できることを特徴とする三層レジスト法（J.Vac.Sci.Te
cnol.,16巻1620頁 1968年発行等）、現像前で露光後に
感光性レジスト層を５０〜１５０℃、３０秒〜６０秒の
条件で加熱して、ＵＶ光が充分に当たらない下層部分の
反応を促進させるアフタベーク法（特開平３−１９６５
９６号公報等）等が挙げられる。また、顔料分散フォト
ポリマーを用いたカラーフイルタで、光開始剤のラジカ
ルにより誘起したモノマーラジカルの発生とその重合連
鎖反応を促進し、スピンナーを用いて感光性レジスト層
を塗布し、溶剤除去のためにプリベーク（例えば、８５
℃で５分間）を行うプリベーク法（J.Photopolym.Sci.T
echnol.,Vol.2,No.2,1989年 244頁〜248頁）等が挙げら
れる。

【０００６】従来のカラーフイルタの製造法（例えば、
染色法、顔料分散液状レジスト法、印刷法、ロールコー
タ法、顔料分散フイルムレジスト法等）では、二色目以
降の層を形成する際に、既に形成された着色層上の二色
目以降の着色層と前記基板上に直接接触する着色層との
間に段差が生ずる。この段差は、最大で１．０μｍを超
え、この上に直接ＩＴＯをスパッタリングするとＩＴＯ
の断線や液晶を挾む電極間の距離が不均一になり、良好
なカラーデスプレイが得られないために、一般には、保
護膜又はオーバコート膜と称する２〜５μｍの膜を形成
し、表面を均一化することが行われている。フイルム法
では、この段差は既に形成された着色層の厚さ（１〜５
μｍ）により決まり、この段差があるために新着色層が
下地（透明ガラス）に接触しにくく、また、接着圧力が
不充分であることにより、新着色層が下地に密着せず、
ベースフイルムを剥離すると、ベースフイルムとともに
剥離されて、下地に新着色層が付着しない部分が発生
し、そのまま、露光現像すると、新着色層が存在しない
部分を露光する等の不都合が生じ、所望のカラーフイル
タが得られない欠点がある。また、二色目以降の画素上
では、一色目の画素上に乗っていた着色感光性樹脂層の
一部が流れ込んできて、二色目では、一色目の画素に近
い端が持ち上がり、画素表面が斜めになる（Ｊ状、ｎ状
の断面となる）。三色目の画素上では、両隣の画素から
の着色感光性樹脂層の流れ込みがあるため画素の両端が
持ち上がる（Ｍ状の断面となる）。図２にＪ状、ｎ状及
びＭ状の画素の断面の模式図を示す。Ｊ状やＭ状の持ち
上がりがあると、三色の画素の表面の不均一を招き、所
望の平坦性が得られず、持ち上がった端が対極と接触し
て、画像不良を生じ、色ムラを発生させる等の欠点があ
った。基板を加熱後、前記の感光性フイルムの保護フイ
ルムを剥がしながら、着色感光性樹脂層を基板と接着さ
せて加圧ロールを通す（ラミネートする）だけでは、フ
イルム追随性は改善できない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記の欠点
を解消し、感光性フイルムの基板への追随性、ラミネー
トの作業性を向上し、基板上に均一な厚さの高精度の、
段差、白抜けのない多色の微細パターンの形成された優
れた耐熱性を有するカラーフイルタの製造法を提供する
ものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上
に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層と
からなる感光性フイルムを、（１）着色された感光性樹
脂層が前記基板に面するように貼り合わせる工程、
（２）パターン状に露光する工程及び（３）現像工程を
少なくとも含む工程を繰り返して多色パターンを形成さ
せるカラーフイルタの製造法において、二色目以降の着
色された感光性樹脂層が前記基板に面するように、画素
間に空間を形成して貼り合わせる工程を行い、前記
（１）と（３）の工程の間でベースフイルムが剥離され
た後現像前に、着色された感光性樹脂層に圧力を印加す
ることにより、二色目以降の感光性樹脂層を画素間空間
へ移行する工程を含むことを特徴とするカラーフイルタ
の製造法に関する。

【０００９】二色目以降のカラーフイルタの画素の表面
を平坦化するために前記（１）と（３）の工程の間で、
二色目以降の感光性樹脂層を基板表面上の空間に移行さ
せる移行工程の態様について図１を用いて説明する。図
１は本発明の製造法を示すフイルム及びフイルタの断面
図であり、ベースフイルム１がＰＥＴ（ポリエチレンテ
レフタレートフイルム）で、着色感光性樹脂層は赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）の順に形成していく場合を例にとって
説明する。

【００１０】（ａ）はベースフイルム１（ＰＥＴ(ポリ
エチレンテレフタレートフイルム)）と着色感光性樹脂
層（緑）２からなる感光性フイルムの着色感光性樹脂層
と前置画素（赤）３が整然と配列されている透明基板４
が面している状態を示す。（ｂ）は感光性フイルムの着
色感光性樹脂層（緑）２と前置画素（赤）３が整然と配
列されている基板との画素間に空間を形成した貼り合わ
せを示している。この時、着色感光性樹脂層２は前置画
素３及び透明基板４に追随している必要はなく、完全に
平坦なままで、前置画素４表面に接触していることが好
ましい。（ｂ）では緑（Ｇ）の着色感光性樹脂層（緑）
２が前置画素（赤）３に密着した様子を示したものであ
る。ここで、空間５と表示してある部分は緑着色感光性
樹脂層（緑）２も前置画素（赤）３も存在していない空
間の部分であって、真空中でラミネートした場合は真空
の部分、窒素気流中でラミネートしたときは窒素が充満
した部分、空気中でラミネートしたときは空気が充満し
た部分になる。（ｃ）は露光工程が終了した後の様子を
示したものである。図１では露光後に剥離工程、移行工
程を設けた場合を例にとって説明する。露光後、着色感
光性樹脂層（緑）２の大略１／３が露光され、露光によ
って光硬化した着色感光性樹脂層（緑、図１ではＧと表
示）２′と未硬化の着色感光性樹脂層（緑、図１ではｇ
と表示）２となる。

【００１１】（ｄ）は剥離工程であって（１）〜（３）
の間で実施できる。本発明における圧力を印加すること
による二色目以降の感光性樹脂層の画素間空間への移行
の工程（以下単に、移行工程ということがある）は剥離
工程後にのみ実施できる。工程の組合せ（順序）の例を
示すと、（No.１）貼合せ工程、露光工程、剥離工程、移行工
程、現像工程（No.２）貼合せ工程、剥離工程、露光工程、移行工
程、現像工程（No.３）貼合せ工程、剥離工程、移行工程、露光工
程、現像工程等が可能である。

【００１２】ベースフイルム１と着色感光性樹脂層２の
密着力（Ａ）と着色感光性樹脂層２と前置画素３との密
着力（Ｂ）と着色感光性樹脂層２の破断応力（Ｃ）につ
いて、Ａ＜ＣでＡ＜Ｂの時に着色感光性樹脂層２はベー
スフイルム１から剥離されて前置画素３の表面に密着す
る。（Ｃ）は着色感光性樹脂層２の材質に依存し、着色
感光性樹脂層２の貯蔵弾性率が高いほど大きな値を示
す。また、（Ｃ）の値は温度に逆比例するので、低温で
は大きく、高温になるほど小さくなる。したがって、剥
離工程は低温で行うことが好ましい。

【００１３】移行工程は、着色感光性樹脂層２が表面張
力により基板表面に密着する現象であるため、（Ｃ）の
値は小さいほど良く、着色感光性樹脂層２が溶融軟化す
るまで高温に保つのが望ましい。つまり、一般に表面張
力は高温ほど低い値を示すので濡れやすくなり、より基
板表面に移行密着する。上記の着色感光性樹脂層２の破
断応力（Ｃ）が弱い場合は、良好な剥離が行なわれにく
く、画素の欠陥が大量に現れる等の不都合が生じる。十
分な破断応力（Ｃ）を得るには剥離工程を低温で行い、
着色感光性樹脂層２のポリマ成分を増量し、ポリマ成分
の数平均分子量と重量平均分子量の比を大きくする等が
好ましい。

【００１４】着色感光性樹脂層２のベースフイルム１と
着色感光性樹脂層２の密着力（Ａ）、着色感光性樹脂層
２と前置画素３との密着力（Ｂ）、着色感光性樹脂層２
の破断応力（Ｃ）の関係を、剥離工程によって、ベース
フイルム１に着色感光性樹脂層２が残るかどうかで判定
できる。つまり、（Ａ）＜（Ｃ）及び（Ａ）＜（Ｂ）の
場合は、着色感光性樹脂層が残らず、（Ａ）＞（Ｃ）及
び（Ａ）＜（Ｂ）の場合は、着色感光性樹脂層が残る。

【００１５】本発明では着色感光性樹脂層ではベースフ
イルムと着色感光性樹脂層の密着力（Ａ）、着色感光性
樹脂層と前置画素との密着力（Ｂ）、着色感光性樹脂層
の破断応力（Ｃ）の関係は、（Ａ）＜（Ｃ）及び（Ａ）
＜（Ｂ）であることが好ましい。前記のような関係にす
ることにより、着色感光性樹脂層は、ベースフイルムか
ら剥離され、前置画素の表面に密着する。（Ｃ）は着色
感光性樹脂層の材質に依存し、貯蔵弾性率が高いほど大
きな値を示す傾向がある。また、（Ａ）＜（Ｂ）であり
（Ａ）＞（Ｃ）の場合は、図１の空間部分に接している
着色感光性樹脂層は、ベースフイルムに付着し、カラー
フイルタ用の透明基板への移行は困難となる傾向があ
る。

【００１６】（ｅ）は着色感光性樹脂層（Ｇ）と空間を
置換する移行工程である。着色感光性樹脂層（Ｇ）の空
間部分への移行は、圧力を印加することにより行う。
（ｂ）の状態では、貼り合わせ直後の緑の着色感光性樹
脂層は、ベースフイルムに密着しているが、ベースフイ
ルム剥離後は、前置画素に密着した部分と空間を介して
基板４に面している部分とが存在する。これに、圧力を
印加することにより、基板表面上に移行が始まる。移行
工程が完了すると、緑の着色感光性樹脂層は、基板表面
上の空間に移行し、その表面上に空間ができ、着色感光
性樹脂層と空間が入れ変る。このとき、着色感光性樹脂
層は、移行ロール７によって均一化しているので、表面
の平坦性は優れたものであり、現像後の画素は一色目と
ほとんど同一の断面形状を持つ。

【００１７】図１では、ベースフイルムの剥離後（すな
わち、剥離工程後）に前記移行工程を実施する場合を例
として説明したが、ベースフイルムの存在が無くても、
着色感光性樹脂層２の画素間の空間５への移動は可能で
あり、基板４表面に最終的に密着させることができる。
具体的には、ベースフイルムが剥離されて存在せず、現
像前の着色感光性樹脂層が表面に露出した基板を、剥離
性の良好な、表面の平滑性が０．１μｍ以下の鏡面仕上
げのゴムロール７と背面ロールの間を、透明基板面を背
面ロール側にして押すことが好ましい。

【００１８】このようなゴムロール７としては、材質が
シリコーンで離形剤をその内部に含有し、表面研磨加工
を十分に行って形状追従性を良くしたものが好ましく、
背面ロールも同様のものが好ましい。材質がシリコーン
ゴムである前記ゴムロール７は、ゴム硬度が１５〜８０
の範囲とすることが好ましい。ゴム硬度が１５未満で
は、押し込みの圧力が不十分となる傾向があり、ゴム硬
度が８０を超えると、その膜厚が１．０〜３．０μｍの
着色感光性樹脂層を移行させるためには、その精度が不
十分であり、移行工程の効果が小さくなる傾向がある。
前記ゴムロール７のゴムには、シリコーン系の離形剤を
含有させることが好ましい。また、ゴムロール、背面ロ
ールの直径に特に制限はないが、円滑に移行が進む点か
ら、直径は、１０〜５００mmとすることが好ましく、５
０〜２００mmとすることがより好ましい。

【００１９】圧力を印加する方法としては、前記のロー
ルを用いる方法の他に、水圧のある水流でノズルから水
をだして、着色感光性樹脂層を移行させる方法、カーテ
ン状の水流を施して着色感光性樹脂層を移行させる方
法、エアガンを用いて移行不十分の部分を圧着させる方
法、指の腹で押す方法等があり、複数の方法を組み合わ
せて用いることができる。印加する圧力に特に制限はな
いが、円滑に移行が進む点から、圧力は、０．１〜１０
kgf/cm²とすることが好ましく、０．５〜４kgf/cm²とす
ることがより好ましい。

【００２０】（ｆ）は前記（ｅ）移行工程の終了後現像
工程を経た後のカラーフイルタの画素の断面の形状を示
す。以上に一色目が赤、二色目が緑の場合を例として説
明したが、色の順序はこれに限定されない。赤、緑、
青、黒の順序以外に、黒、青、緑、赤又は黒、赤、青、
緑等本発明ではどのような色順序も可能である。

【００２１】一色に着色された感光性樹脂組成物は、エ
チレン性不飽和化合物（ａ）、カルボキシル基含有フイ
ルム性付与ポリマー（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）及び顔
料又は染料（ｄ）を含有するのが好ましい。また、感光
性樹脂組成物をベースフイルムに塗布乾燥した感光性フ
イルムの感光性樹脂層の厚さは、０．５〜１５μｍであ
ることが好ましい。

【００２２】エチレン性不飽和化合物（ａ）としては、
例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物（トリメチロールプロパンジ
（メタ）アクリレート（メタアクリレート又はアクリレ
ートを意味する。以下同じ）、トリメチロールプロパン
トリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタント
リ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サ（メタ）アクリレート等）、グリシジル基含有化合物
にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合
物、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基および
エチレン性不飽和基を有する化合物（２−ヒドロキシ
（メタ）アクリレート等）なども用いられる。これらの
化合物は単独で又は２種類以上を組み合わせて使用され
る。（ａ）成分の配合量は、（ａ）成分と（ｂ）成分の
総量を１００重量部として９０〜５０重量部とすること
が好ましい。

【００２３】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ー（ｂ）としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキ
ルエステルと（メタ）アクリル酸との共重合体、（メ
タ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリル酸
とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合体等
が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルと
しては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）
アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられる。
（ｂ）成分の使用によって、塗膜性や硬化物の膜特性が
向上し、その配合量は、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量
を１００重量部として１０〜５０重量部とすることが好
ましい。この配合量が１０重量部未満では、エチレン性
不飽和化合物が多くなるため光感度が低下する傾向があ
り、５０重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向が
ある。また、（ｂ）成分の重量平均分子量は、前記塗膜
性や膜強度の点から１０，０００以上とすることが好ま
しい。

【００２４】光重合開始剤（ｃ）としては、例えば、ベ
ンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジ
アミノベンゾフェノン（ミヒラーのケトン）、Ｎ，Ｎ′
−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、
４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、
４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−エチル
アントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケト
ン等が用いられる。これらは単独で又は２種類以上を組
み合わせて使用される。（ｃ）成分の配合量は、（ａ）
成分と（ｂ）成分の総量１００重量部に対しては０．１
〜１０重量部とすることが好ましい。この配合量が０．
１重量部未満では、光感度が不十分となる傾向があり、
１０重量部を超えると、露光の際に組成物の表面での光
吸収が増大し、内部の光硬化が不十分となる傾向があ
る。

【００２５】前記顔料又は染料（ｄ）としては、一般に
知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂層、特にエ
チレン性不飽和化合物又はカルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光透
過性等を考慮して選択される。カラーフイルタに使用で
きる顔料としては、各種の化合物があり、例えば、硫酸
バリウム、酸化亜鉛、硫酸鉛、酸化チタン、ベンガラ、
カーボンブラック、グラファイト、酸化クロム等の無機
顔料、下記の有機顔料（カラーインデックス番号）など
がある。黄色顔料：C.I.ピグメントイエロー２０、２４、８３、
８６、９３、１０９、１１０、１１７、１２５、１３
７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５３、１５
４、１６６、１６８オレンジ顔料：C.I.ピグメントオレンジ３６、４３、５
１、５５、５９、６１赤色顔料：C.I.ピグメントレッド９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１８０、０９２、２１
５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２
６、２２７、２２８、２４０、４８：１バイオレット顔料：C.I.ピグメントバイオレット１９、
２３、２９、３０、３７、４０、５０青色顔料：C.I.ピグメントブルー１５、１５：６、２
２、６０、６４緑色顔料：C.I.ピグメントグリーン７、３６黒色顔料：C.I.ピグメントブラック７

【００２６】（ｄ）成分の配合量は、（ａ）成分と
（ｂ）成分の総量１００重量部に対して１〜５０重量部
とすることが好ましい。この配合量が１重量部未満で
は、着色が不十分となる傾向があり、５０重量部を超え
ると、光透過率が低下する傾向がある。前記感光性樹脂
組成物には、加熱硬化性を高め架橋密度を上げ、耐熱性
を向上させるためにカルボキシル基含有フイルム性付与
ポリマーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及
び／又はエポキシ樹脂を、（ａ）成分と（ｂ）成分の総
量１００重量部に対して１〜２０重量部添加し加熱する
ことが好ましい。加熱温度は１３０〜２００℃とするこ
とが好ましく、加熱時間は３０〜６０分とすることが好
ましい。

【００２７】

【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。実施例１（１）着色感光性樹脂層用塗工液の製造表１の材料を均一に溶解した溶液２００重量部に表２の
いずれかの顔料ペースト１３５重量部、メラミン樹脂
５重量部及びシランカップリング剤５重量部をそれぞれ
添加し、溶解分散して着色感光性樹脂層用塗工液を得
た。

【００２８】

【表１】

【００２９】

【表２】

【００３０】メラミン樹脂サイメル３００（ヘキサメトキシメチルメラミンの商品
名、三井東圧社製）シランカップリング剤ＫＢＭ５０３（信越化学社製）塗工液の調整塗工液はそれぞれの材料を使用直前に超音波で２．５時
間分散して調整した。

【００３１】（２）感光性フイルムの製造得られた溶液を、厚さ２３μｍのポリエチレンテレフタ
レートフイルム（テイジン社製テトロンフイルムＦ２
３）上にキスタッチリバース方式の塗工機を用いて均一
な厚さに塗布し、１００℃の乾燥機で２分間乾燥した。
保護フイルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフイル
ムを貼り合わせて感光性フイルムを得た。乾燥後の感光
性樹脂層の厚さは、赤、青及び緑ともに各々２．０μｍ
であった。

【００３２】（３）カラーフイルタの製造（ａ）基板加熱工程前記カラーフイルタ用の下地基板を８０℃で１０分間加
熱した。（ｂ）貼り合わせ工程前記カラーフイルタ用の感光性フイルムの保護フイルム
を剥がしながら、着色感光性樹脂層を前記カラーフイル
タ用の下地基板上に下記条件でラミネートした。ロール温度６０℃ ロール圧１．０kgf/cm²（エアシリンダ圧力）速度２．５ｍ／分（ｃ）露光工程所定のパターン（通常のストライプ状のパターンで、７
０μｍ（白）／２３０μｍ（黒）で長さ１５０mmのスト
ライプ状）のネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２０１
Ｂ（３kW、超高圧水銀灯、オーク製作所製）で露光し
た。（ｄ）剥離工程室温でポリエチレンテレフタレートフイルムを除去し
た。自動剥離装置（自家製試作品、両面テープを貼り合
わせたロールでポリエチレンテレフタレートフイルムを
剥離する装置）で剥離した。（ｅ）移行工程二色目と三色目の画素形成時には、剥離工程の後に移行
ロールによる圧力の印加により移行を行い、空間を介し
ていた着色感光性樹脂層を赤の基板表面に移行させた。
すなわち、表面の平滑性が０．１μｍ以下の鏡面仕上げ
された、材質がシリコーンゴムでゴム硬度が５０、ゴム
厚が４mm、直径が１００mmのゴムロール（エアシリンダ
圧力１．０kgf/cm²）と鏡面仕上げなしでゴム硬度が１
００である他はゴムロールと同様な仕様の背面ロール
（固定してある）との間を下地基板面を背面ロール側に
して通過させ圧着する方法で移行を行った。（ｆ）現像工程３０℃で０．０８重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液で１０〜２
０秒スプレー現像をして未露光部を除去し、現像後水洗
し、オーブン加熱乾燥し、着色パターンを形成した。こ
の（ａ）から（ｆ）の着色パターンの形成工程を、赤、
青及び緑の順に各色の感光性フイルムを用いて繰り返し
行った。二色目の青のラミネートの時にフイルムの送り
方向を前置画素の赤のストライプ状のパターンに直交さ
せてフイルムを送った。三色目の緑についても同様と
し、多色のパターンを形成した。この際の露光量は赤、
青及び緑色の各々の感光性樹脂層に対しては５０mJ/cm²
とした。使用したマスクのパターンはストライプが画素
ごとに独立した長方形を形成しストライプの長手方向に
隙間を設けたものである。得られた多色パターンに紫外
線照射機（ランプＨ５６００Ｌ／２、東芝電材社製）を
用いて３J/cm²の照射をした後、１５０℃で４５分間加
熱してカラーフイルタを得た。得られたカラーフイルタ
は赤、青及び緑色のパターン（ストライプ状のパター
ン）が整然と並んでおり、追随性は良好であった。ま
た、画素間の段差はなく、画素の断面ではＭ状もＪ状も
認められなかった。

【００３３】実施例２表３の材料とした以外は実施例１と同様に行い、実施例
１と同様に良好な結果を得た。

【表３】

【００３４】実施例３下記の表４の材料を表１の材料に置き換えた以外は実施
例１と同様に実施し、実施例１と同様の結果を得た。

【表４】

【００３５】実施例４青及び緑については下記の（ｅ）移行工程とした以外は
実施例１と同様に行い、実施例１と同様に良好な結果を
得た。（ｅ）移行工程材質がシリコーンで離形剤を含有するゴムでゴム厚１ｍ
ｍのゴムロールを用いて、移行を行った。

【００３６】実施例５青及び緑については下記の（ｅ）移行工程とした以外は
実施例１と同様に行い、実施例１と同様に良好な結果を
得た。（ｅ）移行工程ゴムロールのゴム硬度を１５、背面ロールのゴム硬度を
８０とした。

【００３７】実施例６青及び緑については下記の（ｅ）移行工程とした以外は
実施例１と同様に行い、実施例１と同様に良好な結果を
得た。（ｅ）移行工程ベースフイルムを剥離して、エアガンを用いて移行不十
分の部分の移行を行った。

【００３８】実施例７青及び緑については下記の（ｅ）移行工程とした以外は
実施例１と同様に行い、実施例１と同様に良好な結果を
得た。（ｅ）移行工程ベースフイルムを剥離して、現像前の着色感光性樹脂層
を指の腹で押して移行不十分の部分の移行を行った。

【００３９】比較例１実施例１と同様に行うが、（ｅ）移行工程を省略してカ
ラーフイルタを作成した。着色パターンの形成工程を、
赤、青及び緑の順に各色の感光性フイルムを用いて繰り
返し行った。二色目の青のラミネートの時にフイルムの
送り方向を前置画素の赤のストライプ状のパターンに直
交させてフイルムを送った。三色目の緑についても同様
とし、多色のパターンを形成した、この際の露光量は
赤、青及び緑色の感光性樹脂層に対して５０mJ/cm²とし
た。使用したマスクのパターンはストライプが画素ごと
に独立した長方形を形成しストライプの長手方向に隙間
を設けたものである。得られた多色パターンに紫外線照
射機（ランプＨ５６００Ｌ／２、東芝電材社製）を用い
て３J/cm²の照射をした後、１５０℃で４５分間加熱し
てカラーフイルタを得た。得られたカラーフイルタは
赤、青及び緑色のパターン（ストライプ状のパターン）
が整然と並んでいた。追随性は不良で、緑と青で白抜け
が多数観察された。また、画素内の段差は緑は０．８μ
ｍ、青では０．５μｍあり、画素の断面はＭ状、Ｊ状を
示していた。

【００４０】

【発明の効果】本発明の製造法によれば、感光性フイル
ムの追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度
の、段差、白抜けのない多色の微細パターンの形成され
た優れた耐熱性を有するカラーフイルタを製造すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造法を示す略図である。

【図２】従来のカラーフイルタの画素の断面の摸式図で
ある。

【符号の説明】１ベースフイルム２着色感光性樹脂層（緑）２′光硬化着色感光性樹脂層（緑）３前置画素（赤）４透明基板５空間６移行ロール７一色目の画素８二色目の画素９三色目の画素

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板上に、ベースフイルムと一色に
着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
（１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
に貼り合わせる工程、（２）パターン状に露光する工程
及び（３）現像工程を少なくとも含む工程を繰り返して
多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法にお
いて、二色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板
に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせる
工程を行い、前記（１）と（３）の工程の間でベースフ
イルムが剥離された後現像前に、着色された感光性樹脂
層に圧力を印加することにより、二色目以降の感光性樹
脂層を画素間空間へ移行する工程を含むことを特徴とす
るカラーフイルタの製造法。
【請求項２】圧力を印加することを、剥離性が良好で
表面の平滑性が０．１μｍ以下の鏡面仕上げのゴムロー
ルと背面ロールとの間を、透明基板を背面ロール側にし
て通過させることにより行う請求項１記載のカラーフイ
ルタの製造法。