JPH08160280A - 対物レンズ交換装置及びそれを有する顕微鏡 - Google Patents
対物レンズ交換装置及びそれを有する顕微鏡Info
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- JPH08160280A JPH08160280A JP6306301A JP30630194A JPH08160280A JP H08160280 A JPH08160280 A JP H08160280A JP 6306301 A JP6306301 A JP 6306301A JP 30630194 A JP30630194 A JP 30630194A JP H08160280 A JPH08160280 A JP H08160280A
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- objective
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 顕微鏡等の対物レンズ交換装置の構造を簡単
化して製造コストを低減し、耐久性の向上を図る。 【構成】 顕微鏡の対物レンズ1A〜1Cを回転させる
レボルバ2の駆動部として、超音波モータ3を用いると
ともに、対物レンズ1A〜1Cの光軸が光軸4と一致し
ているかいなかを検出器10A及びコード10Bによっ
て検出し、この検出結果に基づいて、超音波モータ3を
停止させ、その保持トルクを利用して、対物レンズ1A
〜1Cを観察光路上の光軸4に固定する。
化して製造コストを低減し、耐久性の向上を図る。 【構成】 顕微鏡の対物レンズ1A〜1Cを回転させる
レボルバ2の駆動部として、超音波モータ3を用いると
ともに、対物レンズ1A〜1Cの光軸が光軸4と一致し
ているかいなかを検出器10A及びコード10Bによっ
て検出し、この検出結果に基づいて、超音波モータ3を
停止させ、その保持トルクを利用して、対物レンズ1A
〜1Cを観察光路上の光軸4に固定する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の対物レンズの中
から観察対象に応じて所望の倍率の対物レンズを選択し
て観察光路上に位置させる対物レンズ交換装置と、この
対物レンズ交換装置を備えた顕微鏡に関するものであ
る。
から観察対象に応じて所望の倍率の対物レンズを選択し
て観察光路上に位置させる対物レンズ交換装置と、この
対物レンズ交換装置を備えた顕微鏡に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の対物レンズ交換装置は、
倍率の異なる複数の対物レンズを迅速に使用するため
に、予め、複数の対物レンズをレボルバ等の回転部材に
取り付けておき、レボルバを回転させることによって所
望の倍率の対物レンズに交換できるようにしている。こ
のうち、普及型の顕微鏡等に用いられている対物レンズ
交換装置では、レボルバの回転を手動で行うが、その場
合は接眼レンズから一旦、目を離さなければならない。
倍率の異なる複数の対物レンズを迅速に使用するため
に、予め、複数の対物レンズをレボルバ等の回転部材に
取り付けておき、レボルバを回転させることによって所
望の倍率の対物レンズに交換できるようにしている。こ
のうち、普及型の顕微鏡等に用いられている対物レンズ
交換装置では、レボルバの回転を手動で行うが、その場
合は接眼レンズから一旦、目を離さなければならない。
【0003】一方、高級顕微鏡には、観察像から目を離
さずに対物レンズの交換を行う目的で、モータによって
レボルバを回転させる電動レボルバを装着したものもあ
る。図10(A)は、電動レボルバ2が装着された顕微
鏡11の側面図であり、図10(B)は、電動レボルバ
2の要部側面図である。図10(B)に示すように、電
動レボルバ2の支持台12の内部には、DCモータ5
1、ギア52が内蔵されている。DCモータ51の駆動
力は、ギア52を含む減速機構を介してレボルバ2に伝
達され、レボルバ2が回転する。また、焦点調節用のハ
ンドル8の付近には、DCモータ51の正転・逆転スイ
ッチ(不図示)が設けられている。観察者は、接眼レン
ズをのぞきながら、この正転・逆転スイッチを操作して
レボルバ2を回転させ、複数の対物レンズ1A、1B…
から所望の対物レンズを選択することができる。
さずに対物レンズの交換を行う目的で、モータによって
レボルバを回転させる電動レボルバを装着したものもあ
る。図10(A)は、電動レボルバ2が装着された顕微
鏡11の側面図であり、図10(B)は、電動レボルバ
2の要部側面図である。図10(B)に示すように、電
動レボルバ2の支持台12の内部には、DCモータ5
1、ギア52が内蔵されている。DCモータ51の駆動
力は、ギア52を含む減速機構を介してレボルバ2に伝
達され、レボルバ2が回転する。また、焦点調節用のハ
ンドル8の付近には、DCモータ51の正転・逆転スイ
ッチ(不図示)が設けられている。観察者は、接眼レン
ズをのぞきながら、この正転・逆転スイッチを操作して
レボルバ2を回転させ、複数の対物レンズ1A、1B…
から所望の対物レンズを選択することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の対物レンズ交換装置には、以下の問題点があった。第
1に、電動レボルバ2の回転には大きなトルクが必要な
ため、DCモータ51はギア52等の減速機構とともに
用いられている。このため機構が大きく複雑になるとい
う問題点があった。第2に、ギア52等を含む減速機構
にはバックラッシュがあることと、DCモータ51は停
止時に無給電であると保持トルクを持たないことから、
対物レンズの位置を観察光路上の光軸に保持するため
に、電動レボルバ2を固定するクリックを設けなければ
ならず、構造の複雑化、コストの増加といった欠点があ
る。第3に、対物レンズの位置決めにクリックを用いる
と、顕微鏡の製造時にクリック位置で対物レンズの光軸
を本体の光軸と一致させるための精密な調整が必要で、
この結果、コスト増をもたらしていた。第4に、クリッ
クは多数回の使用で磨耗が発生し、レボルバを多数回回
転させるような専門的な用途に用いるには、耐久性が低
いという問題点があった。
の対物レンズ交換装置には、以下の問題点があった。第
1に、電動レボルバ2の回転には大きなトルクが必要な
ため、DCモータ51はギア52等の減速機構とともに
用いられている。このため機構が大きく複雑になるとい
う問題点があった。第2に、ギア52等を含む減速機構
にはバックラッシュがあることと、DCモータ51は停
止時に無給電であると保持トルクを持たないことから、
対物レンズの位置を観察光路上の光軸に保持するため
に、電動レボルバ2を固定するクリックを設けなければ
ならず、構造の複雑化、コストの増加といった欠点があ
る。第3に、対物レンズの位置決めにクリックを用いる
と、顕微鏡の製造時にクリック位置で対物レンズの光軸
を本体の光軸と一致させるための精密な調整が必要で、
この結果、コスト増をもたらしていた。第4に、クリッ
クは多数回の使用で磨耗が発生し、レボルバを多数回回
転させるような専門的な用途に用いるには、耐久性が低
いという問題点があった。
【0005】本発明の目的は、対物レンズ交換装置の構
造を簡単化し、製造コストを低減することができ、耐久
性に優れた対物レンズ交換装置及びそれを有する顕微鏡
を提供するところにある。
造を簡単化し、製造コストを低減することができ、耐久
性に優れた対物レンズ交換装置及びそれを有する顕微鏡
を提供するところにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項1の発明は、複数の対物レンズが設けられ、
これらの複数の対物レンズを観察光路上に移動させる移
動体と、この移動体を移動自在に支持する支持台とを有
する対物レンズ交換装置において、前記対物レンズのう
ち観察に用いる対物レンズを前記移動体とともに前記支
持台に沿って移動させる駆動部と、前記対物レンズの光
軸が観察光路上の光軸と一致しているかを検出する位置
検出部と、前記位置検出部によって対物レンズの光軸が
観察光路上の光軸と一致していると検出された場合に、
この対物レンズを観察光路上に固定する固定部とを含む
ことを特徴としている。
に、請求項1の発明は、複数の対物レンズが設けられ、
これらの複数の対物レンズを観察光路上に移動させる移
動体と、この移動体を移動自在に支持する支持台とを有
する対物レンズ交換装置において、前記対物レンズのう
ち観察に用いる対物レンズを前記移動体とともに前記支
持台に沿って移動させる駆動部と、前記対物レンズの光
軸が観察光路上の光軸と一致しているかを検出する位置
検出部と、前記位置検出部によって対物レンズの光軸が
観察光路上の光軸と一致していると検出された場合に、
この対物レンズを観察光路上に固定する固定部とを含む
ことを特徴としている。
【0007】請求項2の発明は、請求項1に記載の対物
レンズ交換装置において、前記駆動部及び前記固定部と
して超音波モータを用いたことを特徴としている。
レンズ交換装置において、前記駆動部及び前記固定部と
して超音波モータを用いたことを特徴としている。
【0008】請求項3の発明は、請求項2に記載の対物
レンズ交換装置において、前記移動体は対物レンズを環
状に移動させるとともに、前記超音波モータは円環型に
形成され、この超音波モータは前記移動体によって前記
対物レンズを移動した際の移動軌跡よりも内側に配置さ
れていることを特徴としている。
レンズ交換装置において、前記移動体は対物レンズを環
状に移動させるとともに、前記超音波モータは円環型に
形成され、この超音波モータは前記移動体によって前記
対物レンズを移動した際の移動軌跡よりも内側に配置さ
れていることを特徴としている。
【0009】請求項4の発明は、複数の対物レンズが設
けられ、これらの複数の対物レンズを観察光路上に移動
させる移動体と、この移動体を移動自在に支持する支持
台とを有する対物レンズ交換装置において、前記対物レ
ンズのうち観察に用いる対物レンズを前記移動体ととも
に前記支持台に沿って移動させる駆動部と、前記対物レ
ンズの光軸が観察光路上の光軸と一致しているかを検出
する位置検出部と、前記位置検出部によって対物レンズ
の光軸が観察光路上の光軸と一致していると検出された
場合に、この対物レンズを観察光路上に固定する固定部
と、を含むことを特徴としている。請求項5の発明は、
請求項4に記載の対物レンズ交換装置を有する顕微鏡に
おいて、前記駆動部及び前記固定部として超音波モータ
を用いたことを特徴としている。請求項6の発明は、請
求項5に記載の対物レンズ交換装置を有する顕微鏡にお
いて、前記移動体は対物レンズを環状に移動させるとと
もに、前記超音波モータは円環型に形成され、この超音
波モータは、前記移動体によって前記対物レンズを移動
した際の移動軌跡よりも内側に配置されていることを特
徴としている。
けられ、これらの複数の対物レンズを観察光路上に移動
させる移動体と、この移動体を移動自在に支持する支持
台とを有する対物レンズ交換装置において、前記対物レ
ンズのうち観察に用いる対物レンズを前記移動体ととも
に前記支持台に沿って移動させる駆動部と、前記対物レ
ンズの光軸が観察光路上の光軸と一致しているかを検出
する位置検出部と、前記位置検出部によって対物レンズ
の光軸が観察光路上の光軸と一致していると検出された
場合に、この対物レンズを観察光路上に固定する固定部
と、を含むことを特徴としている。請求項5の発明は、
請求項4に記載の対物レンズ交換装置を有する顕微鏡に
おいて、前記駆動部及び前記固定部として超音波モータ
を用いたことを特徴としている。請求項6の発明は、請
求項5に記載の対物レンズ交換装置を有する顕微鏡にお
いて、前記移動体は対物レンズを環状に移動させるとと
もに、前記超音波モータは円環型に形成され、この超音
波モータは、前記移動体によって前記対物レンズを移動
した際の移動軌跡よりも内側に配置されていることを特
徴としている。
【0010】
【作用】請求項1の発明によれば、対物レンズ交換装置
において、対物レンズを移動させる駆動部を設けるとと
もに、対物レンズの光軸が観察光路上の光軸と一致して
いるかを検出する位置検出部を設けている。そして、位
置検出部によって対物レンズの光軸が観察光路上の光軸
と一致していると検出された場合には、固定部によって
対物レンズを観察光路上に固定するようにしている。
において、対物レンズを移動させる駆動部を設けるとと
もに、対物レンズの光軸が観察光路上の光軸と一致して
いるかを検出する位置検出部を設けている。そして、位
置検出部によって対物レンズの光軸が観察光路上の光軸
と一致していると検出された場合には、固定部によって
対物レンズを観察光路上に固定するようにしている。
【0011】請求項2の発明によれば、駆動部として、
発生トルクの大きい超音波モータを用いているので、ギ
アを用いずに直接、移動体を回転させることができる。
また、対物レンズの光軸が観察光路上の光軸と一致して
いるかを位置検出部によって検出し、この検出結果に基
づいて超音波モータを停止させ、超音波モータの停止時
における保持トルクを利用して、対物レンズを光軸上に
固定する。
発生トルクの大きい超音波モータを用いているので、ギ
アを用いずに直接、移動体を回転させることができる。
また、対物レンズの光軸が観察光路上の光軸と一致して
いるかを位置検出部によって検出し、この検出結果に基
づいて超音波モータを停止させ、超音波モータの停止時
における保持トルクを利用して、対物レンズを光軸上に
固定する。
【0012】請求項3の発明によれば、超音波モータ
は、移動体により前記対物レンズが環状に移動した場合
の移動軌跡よりも内側に配置されているので、駆動部と
しての超音波モータの小型化を図ることができる。
は、移動体により前記対物レンズが環状に移動した場合
の移動軌跡よりも内側に配置されているので、駆動部と
しての超音波モータの小型化を図ることができる。
【0013】請求項4〜請求項6の発明によれば、請求
項1〜3の発明に加えて、顕微鏡の構造を簡単化するこ
とができる。
項1〜3の発明に加えて、顕微鏡の構造を簡単化するこ
とができる。
【0014】
(第1実施例)以下、図面を参照して、実施例につい
て、さらに詳しく説明する。図1は、本発明の対物レン
ズ交換装置が適用された顕微鏡の第1実施例の側面図、
図2は、図1の顕微鏡の対物レンズ交換装置を示した説
明図である。本実施例の顕微鏡は、主に対物レンズ1
A,1B,1C、レボルバ2、超音波モータ3、本体
5、接眼レンズ6、ステージ7、ハンドル8などから構
成される。
て、さらに詳しく説明する。図1は、本発明の対物レン
ズ交換装置が適用された顕微鏡の第1実施例の側面図、
図2は、図1の顕微鏡の対物レンズ交換装置を示した説
明図である。本実施例の顕微鏡は、主に対物レンズ1
A,1B,1C、レボルバ2、超音波モータ3、本体
5、接眼レンズ6、ステージ7、ハンドル8などから構
成される。
【0015】本体5の上部には、接眼レンズ6が斜め上
方に設けられているとともに、本体5の下部には、観察
物が載置されるステージ7が上下動自在に取り付けられ
ている。このステージ7は、観察者がハンドル8を回転
させることによって上下動する。移動体としてのレボル
バ2は、連結部9を介して支持台13に回転可能に取り
付けられており、このレボルバ2の下面には、図2に示
すように、倍率の異なる計3つの対物レンズ1A,1
B,1Cが等間隔で取り付けられている。
方に設けられているとともに、本体5の下部には、観察
物が載置されるステージ7が上下動自在に取り付けられ
ている。このステージ7は、観察者がハンドル8を回転
させることによって上下動する。移動体としてのレボル
バ2は、連結部9を介して支持台13に回転可能に取り
付けられており、このレボルバ2の下面には、図2に示
すように、倍率の異なる計3つの対物レンズ1A,1
B,1Cが等間隔で取り付けられている。
【0016】レボルバ2と支持台13の内部には、円環
型の超音波モータ3が駆動部として内蔵され、超音波モ
ータ3は、不図示の連結部材を介してレボルバ2を電動
で回転させる。支持台13には、対物レンズ1A〜1C
の光軸が観察光路上の光軸4と一致しているかを検出す
る位置検出部として、光学式の位置検出器10Aが取り
付けられている。また、レボルバ2の外周部には、各対
物レンズ1A〜1Bと対応する位置に、読み取り用のコ
ード10Bが設けられている。位置検出器10Aは、各
対物レンズ1A〜1C毎に設けられたコード10Bを読
み取ることにより、対物レンズ1A〜1Cと光軸4とが
一致しているか否かを検出する。この位置検出器10A
としては、前述の光学式の他に、エンコーダ等の電気的
な手段を用いることもできる。
型の超音波モータ3が駆動部として内蔵され、超音波モ
ータ3は、不図示の連結部材を介してレボルバ2を電動
で回転させる。支持台13には、対物レンズ1A〜1C
の光軸が観察光路上の光軸4と一致しているかを検出す
る位置検出部として、光学式の位置検出器10Aが取り
付けられている。また、レボルバ2の外周部には、各対
物レンズ1A〜1Bと対応する位置に、読み取り用のコ
ード10Bが設けられている。位置検出器10Aは、各
対物レンズ1A〜1C毎に設けられたコード10Bを読
み取ることにより、対物レンズ1A〜1Cと光軸4とが
一致しているか否かを検出する。この位置検出器10A
としては、前述の光学式の他に、エンコーダ等の電気的
な手段を用いることもできる。
【0017】位置検出器10Aは、制御部14と接続さ
れており、この制御部14には光軸4と各対物レンズ1
A〜1Cとが一致しているかの位置データが入力され
る。また、制御部14には、超音波モータ3、対物レン
ズ交換スイッチ15、駆動回路16が接続されている。
この対物レンズ交換スイッチ15を操作すると、制御部
14、駆動回路16を介して超音波モータ3に対して起
動信号が出力され、超音波モータ3によりレボルバ2を
電動で回転させる。
れており、この制御部14には光軸4と各対物レンズ1
A〜1Cとが一致しているかの位置データが入力され
る。また、制御部14には、超音波モータ3、対物レン
ズ交換スイッチ15、駆動回路16が接続されている。
この対物レンズ交換スイッチ15を操作すると、制御部
14、駆動回路16を介して超音波モータ3に対して起
動信号が出力され、超音波モータ3によりレボルバ2を
電動で回転させる。
【0018】図3は、超音波モータ3の構造を示す分解
図であり、超音波モータ3は、弾性体31にPZTなど
の圧電体32を接合したステータ33と、ステータ33
に圧接されたロータ34とから構成される。弾性体31
の材料には、ステンレス、インバー、アルミ合金などの
金属又はプラスチック等が好適であり、又、ロータ34
の材料には、金属、樹脂等が好適である。このモータ
は、圧電体32に位相の90度異なる2相の交流電圧を
印加し、弾性体31に進行波を発生させることにより、
ロータ34を回転させる。本実施例では、図2に示すよ
うに、超音波モータ3の中空の部分を顕微鏡の光軸4が
通る構造となっている。これは、超音波モータ3の径
が、ある程度大きい方が発生トルクが大きいということ
に基づくものである。尚、超音波モータ3は、その停止
状態では、一定の保持トルクを有するので、従来、レボ
ルバ2の位置を保持するために必要とされたクリック
は、本実施例では不要である。
図であり、超音波モータ3は、弾性体31にPZTなど
の圧電体32を接合したステータ33と、ステータ33
に圧接されたロータ34とから構成される。弾性体31
の材料には、ステンレス、インバー、アルミ合金などの
金属又はプラスチック等が好適であり、又、ロータ34
の材料には、金属、樹脂等が好適である。このモータ
は、圧電体32に位相の90度異なる2相の交流電圧を
印加し、弾性体31に進行波を発生させることにより、
ロータ34を回転させる。本実施例では、図2に示すよ
うに、超音波モータ3の中空の部分を顕微鏡の光軸4が
通る構造となっている。これは、超音波モータ3の径
が、ある程度大きい方が発生トルクが大きいということ
に基づくものである。尚、超音波モータ3は、その停止
状態では、一定の保持トルクを有するので、従来、レボ
ルバ2の位置を保持するために必要とされたクリック
は、本実施例では不要である。
【0019】図4は、図2の超音波モータの駆動回路1
6を示すブロック図である。発振器41は、弾性体31
を振動させる周波数の信号を発振するためのものであ
る。発振器41の出力は分岐して、一方の出力は、増幅
器43によって増幅された後に、A相電圧として、圧電
体32aの電極に入力される。また、分岐した他方の出
力は、移相器42に接続されており、この移相器42に
よって、A相電圧とはπ/2だけ位相をずらしてB相電
圧とした後に、増幅器44を介して、圧電体32bの電
極に入力される。
6を示すブロック図である。発振器41は、弾性体31
を振動させる周波数の信号を発振するためのものであ
る。発振器41の出力は分岐して、一方の出力は、増幅
器43によって増幅された後に、A相電圧として、圧電
体32aの電極に入力される。また、分岐した他方の出
力は、移相器42に接続されており、この移相器42に
よって、A相電圧とはπ/2だけ位相をずらしてB相電
圧とした後に、増幅器44を介して、圧電体32bの電
極に入力される。
【0020】制御器45は、圧電体32p,32p’の
出力電圧が入力されており、予め設定されていた基準電
圧と比較して、p,p’端子の出力の方が小さいときに
は、周波数を低く、また、p,p’端子の出力の方が大
きいときには、周波数を高くするように、発振器41を
制御する。これにより、超音波モータ3の振動振幅が所
定の大きさに保持される。
出力電圧が入力されており、予め設定されていた基準電
圧と比較して、p,p’端子の出力の方が小さいときに
は、周波数を低く、また、p,p’端子の出力の方が大
きいときには、周波数を高くするように、発振器41を
制御する。これにより、超音波モータ3の振動振幅が所
定の大きさに保持される。
【0021】次いで、第1実施例の顕微鏡の作用につい
て説明する。本実施例の顕微鏡によって観察を行う場合
は、図2に示すように、対物レンズ交換スイッチ15を
操作し、超音波モータ3によってレボルバ2を回転さ
せ、対物レンズ1A〜1Cの中から所望の倍率の対物レ
ンズを選択する。即ち、対物レンズ交換スイッチ15が
操作されると、超音波モータ3の正転又は逆転の信号が
制御回路14に出力され、駆動回路16により、超音波
モータ3が駆動され、レボルバ2が回転する。
て説明する。本実施例の顕微鏡によって観察を行う場合
は、図2に示すように、対物レンズ交換スイッチ15を
操作し、超音波モータ3によってレボルバ2を回転さ
せ、対物レンズ1A〜1Cの中から所望の倍率の対物レ
ンズを選択する。即ち、対物レンズ交換スイッチ15が
操作されると、超音波モータ3の正転又は逆転の信号が
制御回路14に出力され、駆動回路16により、超音波
モータ3が駆動され、レボルバ2が回転する。
【0022】レボルバ2が回転し、各対物レンズ1A〜
1Cのうち一つが光軸4と一致すると、位置検出器10
Aによって、その対物レンズのコード10Bが検出さ
れ、制御回路14に対して検出信号が入力される。制御
回路14は、この信号を受けて超音波モータ3の回転を
停止する信号を駆動回路16に出力し、この結果、対物
レンズ1A〜1Cのうち、いずれか一つの対物レンズが
光軸4と一致した状態で停止する。更に、他の対物レン
ズに交換する場合は、対物レンズ交換スイッチ15を再
び操作して超音波モータ3を回転させればよく、次の対
物レンズが光軸4と一致するまでレボルバ2が回転す
る。このように、レボルバ2は、各対物レンズ1A,1
B,1Cのいずれかが、光軸4と一致した時に停止し、
対物レンズの交換が迅速に行えるようになっている。
1Cのうち一つが光軸4と一致すると、位置検出器10
Aによって、その対物レンズのコード10Bが検出さ
れ、制御回路14に対して検出信号が入力される。制御
回路14は、この信号を受けて超音波モータ3の回転を
停止する信号を駆動回路16に出力し、この結果、対物
レンズ1A〜1Cのうち、いずれか一つの対物レンズが
光軸4と一致した状態で停止する。更に、他の対物レン
ズに交換する場合は、対物レンズ交換スイッチ15を再
び操作して超音波モータ3を回転させればよく、次の対
物レンズが光軸4と一致するまでレボルバ2が回転す
る。このように、レボルバ2は、各対物レンズ1A,1
B,1Cのいずれかが、光軸4と一致した時に停止し、
対物レンズの交換が迅速に行えるようになっている。
【0023】一方、停止時において、超音波モータ3
は、一定の保持トルクを有するために、従来、必要とさ
れたクリックがなくてもバックラッシュが生じないので
構造を簡単化することができる。つまり、超音波モータ
3は、レボルバ2を一定位置に固定する固定部としての
機能をも有している。また、超音波モータ3は発生トル
クが大きいために、ギアを用いずに直接レボルバ2を回
転させることができ、減速機構が不要となる。以上の実
施例のように、電動レボルバ2の回転に超音波モータ3
を用いることにより、ギアと対物レンズの位置合わせ用
クリックが不要となり、構造が簡単になると同時に耐久
性の向上を図ることができる。また、従来、必要とされ
た対物レンズの光軸を本体の光軸と一致させるための機
械的に精密な調整の必要がないので、製造工程を簡略化
できる。
は、一定の保持トルクを有するために、従来、必要とさ
れたクリックがなくてもバックラッシュが生じないので
構造を簡単化することができる。つまり、超音波モータ
3は、レボルバ2を一定位置に固定する固定部としての
機能をも有している。また、超音波モータ3は発生トル
クが大きいために、ギアを用いずに直接レボルバ2を回
転させることができ、減速機構が不要となる。以上の実
施例のように、電動レボルバ2の回転に超音波モータ3
を用いることにより、ギアと対物レンズの位置合わせ用
クリックが不要となり、構造が簡単になると同時に耐久
性の向上を図ることができる。また、従来、必要とされ
た対物レンズの光軸を本体の光軸と一致させるための機
械的に精密な調整の必要がないので、製造工程を簡略化
できる。
【0024】(第2実施例)ここで、以下に説明する各
実施例では、前記第1実施例と同様な点は、同一の符号
を付し、重複する説明を省略する。
実施例では、前記第1実施例と同様な点は、同一の符号
を付し、重複する説明を省略する。
【0025】図5は、第2実施例の顕微鏡の側面図、図
6は、図5の顕微鏡の対物レンズ交換装置の説明図であ
る。第1実施例では、図2に示すように円環型の超音波
モータ3を対物レンズ1A〜1Cの移動軌跡17よりも
内側に配置し、超音波モータ3の中空部分を光軸4が通
る構造になっている。これに対して、第2実施例では、
図6に示すように、円環型の超音波モータ20を対物レ
ンズ21A〜21Eの移動軌跡22よりも外側に配置
し、超音波モータ20の外側を光軸4が通る構造になっ
ている点が異なる。
6は、図5の顕微鏡の対物レンズ交換装置の説明図であ
る。第1実施例では、図2に示すように円環型の超音波
モータ3を対物レンズ1A〜1Cの移動軌跡17よりも
内側に配置し、超音波モータ3の中空部分を光軸4が通
る構造になっている。これに対して、第2実施例では、
図6に示すように、円環型の超音波モータ20を対物レ
ンズ21A〜21Eの移動軌跡22よりも外側に配置
し、超音波モータ20の外側を光軸4が通る構造になっ
ている点が異なる。
【0026】第2実施例のレボルバ2には、合計5つの
対物レンズ21A〜21Eが取り付けられている。この
ように、第2実施例は、レボルバ2が大きくなる場合に
用いるのが効果的である。これは、超音波モータ3の径
が大きすぎると、高い平面度を得ることが困難になるな
ど製造上の問題点が生じ、コストの増大につながるため
である。従って、第1実施例の構造と第2実施例の構造
とは、レボルバ2の大きさに応じて適宜、選択すること
が好ましい。また、第2実施例では、図6に示すように
光軸4が超音波モータ20の外側を通るために、超音波
モータ20は、必ずしも中空である必要はなく、円板形
の超音波モータを用いても良い。
対物レンズ21A〜21Eが取り付けられている。この
ように、第2実施例は、レボルバ2が大きくなる場合に
用いるのが効果的である。これは、超音波モータ3の径
が大きすぎると、高い平面度を得ることが困難になるな
ど製造上の問題点が生じ、コストの増大につながるため
である。従って、第1実施例の構造と第2実施例の構造
とは、レボルバ2の大きさに応じて適宜、選択すること
が好ましい。また、第2実施例では、図6に示すように
光軸4が超音波モータ20の外側を通るために、超音波
モータ20は、必ずしも中空である必要はなく、円板形
の超音波モータを用いても良い。
【0027】(第3実施例)図7は、第3実施例の顕微
鏡の側面図、図8は、図7の顕微鏡に使用している超音
波モータの正面図、図9は、図7の超音波モータの圧電
体の配置状態を示した図である。前記第1及び第2実施
例では、駆動部として、円環型の超音波モータを用いた
が、第3実施例では、縦振動と捩じり振動との合成振動
を利用して駆動力を得る超音波モータを使用している点
が異なる。
鏡の側面図、図8は、図7の顕微鏡に使用している超音
波モータの正面図、図9は、図7の超音波モータの圧電
体の配置状態を示した図である。前記第1及び第2実施
例では、駆動部として、円環型の超音波モータを用いた
が、第3実施例では、縦振動と捩じり振動との合成振動
を利用して駆動力を得る超音波モータを使用している点
が異なる。
【0028】図7に示すように、第3実施例の超音波モ
ータ23は円柱状に形成されており、レボルバ2及び支
持台13の内部に斜め上方に取り付けられている。超音
波モータ23は、図8及び図9に示すように、ステータ
24、ロータ25、圧電体26、シャフト27等から構
成される。ステータ24は半円柱状に形成された2枚の
半円柱状部材24A,24Bからなり、その中央部に圧
電体26及びシャフト27を挟んだ状態で連結部材35
によって連結されている。圧電体26は、縦振動用の圧
電体26Aと、捩じり振動用の圧電体26Bとから構成
され、図9の右上と左下に2枚の圧電体26A、左上と
右下に2枚の圧電体26Bがそれぞれ配置されている。
ータ23は円柱状に形成されており、レボルバ2及び支
持台13の内部に斜め上方に取り付けられている。超音
波モータ23は、図8及び図9に示すように、ステータ
24、ロータ25、圧電体26、シャフト27等から構
成される。ステータ24は半円柱状に形成された2枚の
半円柱状部材24A,24Bからなり、その中央部に圧
電体26及びシャフト27を挟んだ状態で連結部材35
によって連結されている。圧電体26は、縦振動用の圧
電体26Aと、捩じり振動用の圧電体26Bとから構成
され、図9の右上と左下に2枚の圧電体26A、左上と
右下に2枚の圧電体26Bがそれぞれ配置されている。
【0029】円柱状のロータ25の内部には、シャフト
27が挿入される孔が穿設されており、図8に示すよう
に、シャフト27にロータ25を挿入し、シャフト27
の上端にばね29を介してボルト28を螺合することに
より、ロータ25をステータ24に対して加圧してい
る。このように、構成された超音波モータ23を利用し
て、前述した第1及び第2実施例と同様な作用によりレ
ボルバ2を回転駆動し、対物レンズ21A〜21Eのう
ち、観察者所望の倍率の対物レンズに交換することがで
きる。本実施例によれば、モータ自体の回転面の直径が
短くてすむので、スペース的に円環型の超音波モータを
使用できない場合に、超音波モータによる駆動が可能と
なる。
27が挿入される孔が穿設されており、図8に示すよう
に、シャフト27にロータ25を挿入し、シャフト27
の上端にばね29を介してボルト28を螺合することに
より、ロータ25をステータ24に対して加圧してい
る。このように、構成された超音波モータ23を利用し
て、前述した第1及び第2実施例と同様な作用によりレ
ボルバ2を回転駆動し、対物レンズ21A〜21Eのう
ち、観察者所望の倍率の対物レンズに交換することがで
きる。本実施例によれば、モータ自体の回転面の直径が
短くてすむので、スペース的に円環型の超音波モータを
使用できない場合に、超音波モータによる駆動が可能と
なる。
【0030】以上説明した実施例に限定されず、種々の
変形や変更が可能であり、それらも本発明に含まれる。
例えば、以上の実施例では、円環型の超音波モータ、又
は捩じり振動と縦振動を複合させた超音波モータ等を利
用しているが、これに限らず、リニアモータ等の他の形
状の超音波モータ及び、他の原理で動作する超音波モー
タを用いても良い。また、以上の実施例では、対物レン
ズ交換装置を顕微鏡に適用した場合について説明した
が、顕微鏡に限らず、他の光学機器に適用することも可
能である。例えば、製造ラインの検査装置や、選別装置
等への適用が考えられる。更に、以上の実施例では、レ
ボルバ2を固定する固定部として超音波モータ自体の保
持トルクを利用しているが、これに限らず、簡易なブレ
ーキ機構を有する電気的な装置を利用してもよい。
変形や変更が可能であり、それらも本発明に含まれる。
例えば、以上の実施例では、円環型の超音波モータ、又
は捩じり振動と縦振動を複合させた超音波モータ等を利
用しているが、これに限らず、リニアモータ等の他の形
状の超音波モータ及び、他の原理で動作する超音波モー
タを用いても良い。また、以上の実施例では、対物レン
ズ交換装置を顕微鏡に適用した場合について説明した
が、顕微鏡に限らず、他の光学機器に適用することも可
能である。例えば、製造ラインの検査装置や、選別装置
等への適用が考えられる。更に、以上の実施例では、レ
ボルバ2を固定する固定部として超音波モータ自体の保
持トルクを利用しているが、これに限らず、簡易なブレ
ーキ機構を有する電気的な装置を利用してもよい。
【0031】
【発明の効果】以上、説明したように、請求項1に記載
の発明によれば、対物レンズの位置合わせのクリックが
不要となるので、機械的な調整の必要がないとともに、
機構の簡単化を図ることができ、製造コストの低減に寄
与する。請求項2に記載の発明によれば、対物レンズを
移動させる駆動部及び、対物レンズの光軸を合わせる固
定部として、超音波モータを用いているので、駆動機構
が不要であり、且つ、対物レンズの位置合わせ用のクリ
ックが不要で耐久性が向上する。請求項3に記載の発明
によれば、対物レンズが環状に移動する移動軌跡よりも
超音波モータを内側に配置しているので、駆動部として
の超音波モータの小型化を図ることができる。請求項4
〜請求項6に記載の発明によれば、顕微鏡の電動レボル
バを超音波モータによって駆動することにより、駆動機
構を簡単にすることが可能となる。また、対物レンズの
位置合わせのためのクリックが不要となるために、レボ
ルバの耐久性が向上する。
の発明によれば、対物レンズの位置合わせのクリックが
不要となるので、機械的な調整の必要がないとともに、
機構の簡単化を図ることができ、製造コストの低減に寄
与する。請求項2に記載の発明によれば、対物レンズを
移動させる駆動部及び、対物レンズの光軸を合わせる固
定部として、超音波モータを用いているので、駆動機構
が不要であり、且つ、対物レンズの位置合わせ用のクリ
ックが不要で耐久性が向上する。請求項3に記載の発明
によれば、対物レンズが環状に移動する移動軌跡よりも
超音波モータを内側に配置しているので、駆動部として
の超音波モータの小型化を図ることができる。請求項4
〜請求項6に記載の発明によれば、顕微鏡の電動レボル
バを超音波モータによって駆動することにより、駆動機
構を簡単にすることが可能となる。また、対物レンズの
位置合わせのためのクリックが不要となるために、レボ
ルバの耐久性が向上する。
【図1】対物レンズ交換装置が適用された顕微鏡の第1
実施例の側面図である。
実施例の側面図である。
【図2】図1の顕微鏡の対物レンズ交換装置を示した説
明図である。
明図である。
【図3】超音波モータの構造を示す分解図である。
【図4】図2の超音波モータの駆動回路を示すブロック
図である。
図である。
【図5】第2実施例の顕微鏡の側面図である。
【図6】図5の顕微鏡の対物レンズ交換装置を示した説
明図である。
明図である。
【図7】第3実施例の顕微鏡の側面図である。
【図8】図7の顕微鏡に使用している超音波モータの正
面図である。
面図である。
【図9】図7の超音波モータの圧電体の配置状態を示し
た図である。
た図である。
【図10】従来の顕微鏡を示す図である。
1A 1B 1C 21A 21B 21C 21D
21E 対物レンズ 2 レボルバ 3 20 23 超音波モータ 4 光軸 5 本体 6 接眼レンズ 7 ステージ 8 ハンドル 9 連結部 10A 位置検出器 10B コード 12 13 支持台 17 23 移動軌跡 31 弾性体 32 26A 26B 圧電体 33 24 ステータ 34 25 ロータ 51 DCモータ 52 ギア
21E 対物レンズ 2 レボルバ 3 20 23 超音波モータ 4 光軸 5 本体 6 接眼レンズ 7 ステージ 8 ハンドル 9 連結部 10A 位置検出器 10B コード 12 13 支持台 17 23 移動軌跡 31 弾性体 32 26A 26B 圧電体 33 24 ステータ 34 25 ロータ 51 DCモータ 52 ギア
Claims (6)
- 【請求項1】 複数の対物レンズが設けられ、これらの
複数の対物レンズを観察光路上に移動させる移動体と、
この移動体を移動自在に支持する支持台とを有する対物
レンズ交換装置において、 前記対物レンズのうち観察に用いる対物レンズを前記移
動体とともに前記支持台に沿って移動させる駆動部と、 前記対物レンズの光軸が観察光路上の光軸と一致してい
るかを検出する位置検出部と、 前記位置検出部によって対物レンズの光軸が観察光路上
の光軸と一致していると検出された場合に、この対物レ
ンズを観察光路上に固定する固定部と、 を含むことを特徴とする対物レンズ交換装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の対物レンズ交換装置に
おいて、 前記駆動部及び前記固定部として超音波モータを用いた
ことを特徴とする対物レンズ交換装置。 - 【請求項3】 請求項2に記載の対物レンズ交換装置に
おいて、 前記移動体は対物レンズを環状に移動させるとともに、
前記超音波モータは円環型に形成され、この超音波モー
タは、前記移動体によって前記対物レンズを移動した際
の移動軌跡よりも内側に配置されていることを特徴とす
る対物レンズ交換装置。 - 【請求項4】 複数の対物レンズが設けられ、これらの
複数の対物レンズを観察光路上に移動させる移動体と、
この移動体を移動自在に支持する支持台とを有する対物
レンズ交換装置において、 前記対物レンズのうち観察に用いる対物レンズを前記移
動体とともに前記支持台に沿って移動させる駆動部と、 前記対物レンズの光軸が観察光路上の光軸と一致してい
るかを検出する位置検出部と、 前記位置検出部によって対物レンズの光軸が観察光路上
の光軸と一致していると検出された場合に、この対物レ
ンズを観察光路上に固定する固定部と、 を含むことを特徴とする対物レンズ交換装置を有する顕
微鏡。 - 【請求項5】 請求項4に記載の対物レンズ交換装置を
有する顕微鏡において、 前記駆動部及び前記固定部として超音波モータを用いた
ことを特徴とする対物レンズ交換装置を有する顕微鏡。 - 【請求項6】 請求項5に記載の対物レンズ交換装置を
有する顕微鏡において、 前記移動体は対物レンズを環状に移動させるとともに、
前記超音波モータは円環型に形成され、この超音波モー
タは、前記移動体によって前記対物レンズを移動した際
の移動軌跡よりも内側に配置されていることを特徴とす
る対物レンズ交換装置を有する顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6306301A JPH08160280A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | 対物レンズ交換装置及びそれを有する顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6306301A JPH08160280A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | 対物レンズ交換装置及びそれを有する顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08160280A true JPH08160280A (ja) | 1996-06-21 |
Family
ID=17955461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6306301A Pending JPH08160280A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | 対物レンズ交換装置及びそれを有する顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08160280A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010145758A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Olympus Corp | 超音波振動子による切換機構 |
| CN102313977A (zh) * | 2011-09-05 | 2012-01-11 | 孙志峻 | 超声电机直接驱动的电动物镜转换器 |
| KR102358724B1 (ko) * | 2020-07-30 | 2022-02-07 | 주식회사 이룸인더스트리 | 투인원 광학 현미경 |
| TWI881652B (zh) * | 2023-02-03 | 2025-04-21 | 日商山葉發動機股份有限公司 | 雷射加工裝置、半導體晶片及半導體晶片之製造方法 |
-
1994
- 1994-12-09 JP JP6306301A patent/JPH08160280A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010145758A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Olympus Corp | 超音波振動子による切換機構 |
| CN102313977A (zh) * | 2011-09-05 | 2012-01-11 | 孙志峻 | 超声电机直接驱动的电动物镜转换器 |
| KR102358724B1 (ko) * | 2020-07-30 | 2022-02-07 | 주식회사 이룸인더스트리 | 투인원 광학 현미경 |
| TWI881652B (zh) * | 2023-02-03 | 2025-04-21 | 日商山葉發動機股份有限公司 | 雷射加工裝置、半導體晶片及半導體晶片之製造方法 |
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