JPH08166802A - レーザの安全装置 - Google Patents
レーザの安全装置Info
- Publication number
- JPH08166802A JPH08166802A JP6310503A JP31050394A JPH08166802A JP H08166802 A JPH08166802 A JP H08166802A JP 6310503 A JP6310503 A JP 6310503A JP 31050394 A JP31050394 A JP 31050394A JP H08166802 A JPH08166802 A JP H08166802A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- safety interlock
- release
- safety
- interlock mechanism
- circuit
- Prior art date
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- Pending
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- Safety Devices In Control Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ光を利用した装置の、セーフティイン
タロック機構を解除した時、一定時間後にセーフティイ
ンタロック機構の作動を再開させることにより、解除し
たことを忘れたために発生する、作業者への高レベルレ
ーザ光による被ばく事故の発生を、防止する。 【構成】 アクセスパネル６の開閉に応じてレーザの出
射を遮断するセーフティインタロック機構１９と、セー
フティインタロック機構１９の動作を解除する解除機構
８とを有する安全装置において、解除機構８によってセ
ーフティインタロック機構１９の動作を解除したとき、
一定時間後に、セーフティインタロック機構１９の動作
を再開させる復帰機構２０を設ける。
タロック機構を解除した時、一定時間後にセーフティイ
ンタロック機構の作動を再開させることにより、解除し
たことを忘れたために発生する、作業者への高レベルレ
ーザ光による被ばく事故の発生を、防止する。 【構成】 アクセスパネル６の開閉に応じてレーザの出
射を遮断するセーフティインタロック機構１９と、セー
フティインタロック機構１９の動作を解除する解除機構
８とを有する安全装置において、解除機構８によってセ
ーフティインタロック機構１９の動作を解除したとき、
一定時間後に、セーフティインタロック機構１９の動作
を再開させる復帰機構２０を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を利用した装
置に設けられる安全装置に関するものである。
置に設けられる安全装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ光を利用した装置は、半導体露光
装置、加工機、干渉計、測長器など、多くの産業分野で
普及している。最近では、これら装置に利用されるレー
ザ光の波長は、紫外光や赤外光などの不可視光の利用が
増え、また出力は、高出力になり、レーザ光の危険度が
高くなってきている。
装置、加工機、干渉計、測長器など、多くの産業分野で
普及している。最近では、これら装置に利用されるレー
ザ光の波長は、紫外光や赤外光などの不可視光の利用が
増え、また出力は、高出力になり、レーザ光の危険度が
高くなってきている。
【０００３】これに対し、日本工業規格ではレーザ放射
による事故を防止するために「レーザ製品の放射安全基
準」JIS C6802を定めている。この規格においては、レ
ーザ製品単体のみならず、レーザシステムの最終製品
（例えば、前記した半導体露光装置、加工機、干渉計、
測長器などのレーザ光を利用した装置など）についても
安全基準を適用することが定められている。
による事故を防止するために「レーザ製品の放射安全基
準」JIS C6802を定めている。この規格においては、レ
ーザ製品単体のみならず、レーザシステムの最終製品
（例えば、前記した半導体露光装置、加工機、干渉計、
測長器などのレーザ光を利用した装置など）についても
安全基準を適用することが定められている。
【０００４】従って、これらレーザ光を利用した装置に
は、レーザ光が装置外に漏れることにより、作業者がレ
ーザ光で被ばくすることを防止するために、保護筐体が
設けられている。また、保守管理等の為に保護筐体のパ
ネル、ドア等（以下、アクセスパネルと言う）を開くこ
とがあるが、保護筐体のアクセスパネルが開くことによ
り、レーザ光が漏れる危険があるものには、アクセスパ
ネルが開いている間はレーザ光を遮断するような、セー
フティインタロック機構が設けられている。
は、レーザ光が装置外に漏れることにより、作業者がレ
ーザ光で被ばくすることを防止するために、保護筐体が
設けられている。また、保守管理等の為に保護筐体のパ
ネル、ドア等（以下、アクセスパネルと言う）を開くこ
とがあるが、保護筐体のアクセスパネルが開くことによ
り、レーザ光が漏れる危険があるものには、アクセスパ
ネルが開いている間はレーザ光を遮断するような、セー
フティインタロック機構が設けられている。
【０００５】このセーフティインタロック機構には、修
理やメインテナンスなどの特別な場合のために、保護筐
体を外したり、ドアやパネル等を開いた状態でも、レー
ザ光を放射し、装置を使用することができるように、セ
ーフティインタロック機構を解除する解除機構が設けら
れている。セーフティインタロック機構を解除するに
は、キー制御のように、容易に操作できない手段が用い
られ、解除中に警告灯を点灯、もしくは警告音を発生す
る等の解除警告装置を備えていた。
理やメインテナンスなどの特別な場合のために、保護筐
体を外したり、ドアやパネル等を開いた状態でも、レー
ザ光を放射し、装置を使用することができるように、セ
ーフティインタロック機構を解除する解除機構が設けら
れている。セーフティインタロック機構を解除するに
は、キー制御のように、容易に操作できない手段が用い
られ、解除中に警告灯を点灯、もしくは警告音を発生す
る等の解除警告装置を備えていた。
【０００６】図３にはその一例として、警告灯を点灯す
る種類の安全装置の回路図を示した。保護筐体１内に
は、レーザ２２とその出射端面に配置され、レーザ光４
を遮断するためのシャッタ２と、半導体露光装置等の光
学系３とが配置されている。また、安全装置はセーフテ
ィインタロック回路部１９と、解除警告回路部２１とを
有する。以下にこの安全装置の動作について説明する。
セーフティインタロック回路部１９の解除スイッチ８
が、作動側になっているとき、保護筐体１のドア６が開
くと、スイッチ７がオープン側になり、回路１８がオー
プンとなる。シャッタ２と回路１８との関係は表１のよ
うになる。
る種類の安全装置の回路図を示した。保護筐体１内に
は、レーザ２２とその出射端面に配置され、レーザ光４
を遮断するためのシャッタ２と、半導体露光装置等の光
学系３とが配置されている。また、安全装置はセーフテ
ィインタロック回路部１９と、解除警告回路部２１とを
有する。以下にこの安全装置の動作について説明する。
セーフティインタロック回路部１９の解除スイッチ８
が、作動側になっているとき、保護筐体１のドア６が開
くと、スイッチ７がオープン側になり、回路１８がオー
プンとなる。シャッタ２と回路１８との関係は表１のよ
うになる。
【０００７】
【表１】
【０００８】表１より、回路１８がオープンになるとシ
ャッタ２がクローズとなるため、レーザ光４はシャッタ
２で遮断され、出力レーザ光５の放射は行われない。こ
の状態で、セーフティインタロック回路部１９の解除ス
イッチ８を、解除側に切り替ると、保護筐体１のドア６
の状態に関わらず回路１８はクローズとなる。従って、
表１より、シャッタ２がオープンとなるため、ドア６は
開いているが、出力レーザ光５は放射される。
ャッタ２がクローズとなるため、レーザ光４はシャッタ
２で遮断され、出力レーザ光５の放射は行われない。こ
の状態で、セーフティインタロック回路部１９の解除ス
イッチ８を、解除側に切り替ると、保護筐体１のドア６
の状態に関わらず回路１８はクローズとなる。従って、
表１より、シャッタ２がオープンとなるため、ドア６は
開いているが、出力レーザ光５は放射される。
【０００９】また、セーフティインタロック回路部１９
のスイッチ８を解除すると、解除警告回路部２１のスイ
ッチ１５がオンとなるので、解除警告灯１６が点灯し、
作業者に注意を促す。
のスイッチ８を解除すると、解除警告回路部２１のスイ
ッチ１５がオンとなるので、解除警告灯１６が点灯し、
作業者に注意を促す。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、如何にセーフ
ティインタロック機構を容易に解除できなくしたり、解
除中を示す装置を装備しても、それを行うのが人間であ
る以上、解除したことを忘れてしまう危険がある。セー
フティインタロック機構を解除したまま、通常の作業を
再開すれば、作業者は高レベルのレーザ光により被ばく
し、人体への障害を伴う重大な事故に遭遇する危険があ
る。
ティインタロック機構を容易に解除できなくしたり、解
除中を示す装置を装備しても、それを行うのが人間であ
る以上、解除したことを忘れてしまう危険がある。セー
フティインタロック機構を解除したまま、通常の作業を
再開すれば、作業者は高レベルのレーザ光により被ばく
し、人体への障害を伴う重大な事故に遭遇する危険があ
る。
【００１１】本発明は、レーザ光を利用した装置の、セ
ーフティインタロック機構を解除した時、一定時間後に
セーフティインタロック機構の作動を再開させることに
より、解除したことを忘れたために発生する、作業者へ
の高レベルレーザ光による被ばく事故の発生を、防止す
ることの可能な安全装置を提供することを目的とする。
ーフティインタロック機構を解除した時、一定時間後に
セーフティインタロック機構の作動を再開させることに
より、解除したことを忘れたために発生する、作業者へ
の高レベルレーザ光による被ばく事故の発生を、防止す
ることの可能な安全装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決する為の手段】そのため、本発明は、アク
セスパネルの開閉に応じてレーザの出射を遮断するセー
フティインタロック機構と、セーフティインタロック機
構の動作を解除する解除機構とを有する安全装置におい
て、解除機構によってセーフティインタロック機構の動
作を解除したとき、一定時間後に、セーフティインタロ
ック機構の動作を再開させる復帰機構を設ける。
セスパネルの開閉に応じてレーザの出射を遮断するセー
フティインタロック機構と、セーフティインタロック機
構の動作を解除する解除機構とを有する安全装置におい
て、解除機構によってセーフティインタロック機構の動
作を解除したとき、一定時間後に、セーフティインタロ
ック機構の動作を再開させる復帰機構を設ける。
【００１３】
【作用】セーフティインタロック機構に、解除可能時間
の制限を設けることにより、仮に解除したことを忘れて
しまったとしても、一定時間後には、セーフティインタ
ロック機構の作動が再開するので、解除したことを忘れ
たために発生する、作業者への、高レベルレーザ光によ
る被ばく事故の発生を、防止することができる。
の制限を設けることにより、仮に解除したことを忘れて
しまったとしても、一定時間後には、セーフティインタ
ロック機構の作動が再開するので、解除したことを忘れ
たために発生する、作業者への、高レベルレーザ光によ
る被ばく事故の発生を、防止することができる。
【００１４】
【実施例】以下、実施例により本発明をより具体的に説
明するが、本発明はこれに限るものではない。図１は、
本発明の第１実施例による安全装置の回路図を示す概略
図である。以下、第１実施例による安全装置の動作につ
いて説明する。
明するが、本発明はこれに限るものではない。図１は、
本発明の第１実施例による安全装置の回路図を示す概略
図である。以下、第１実施例による安全装置の動作につ
いて説明する。
【００１５】保護筐体１内には、レーザ２２とその出射
端面に配置され、レーザ光４を遮断するためのシャッタ
２と、半導体露光装置等の光学系３とが配置されてい
る。また、安全装置はセーフティインタロック回路部１
９と、復帰回路部２０と、解除警告回路部２１とを有す
る。保護筐体１のドア６（アクセスパネル）が開くと、
スイッチ７がオープン側になる。この時、セーフティイ
ンタロック回路部１９の解除スイッチ８が、作動側にな
っていれば、回路１８がオープンとなる。表１より、回
路１８がオープンのとき、シャッタ２がクローズとなる
ため、レーザ光４は遮断され、出力レーザ光５の放射は
行われない。
端面に配置され、レーザ光４を遮断するためのシャッタ
２と、半導体露光装置等の光学系３とが配置されてい
る。また、安全装置はセーフティインタロック回路部１
９と、復帰回路部２０と、解除警告回路部２１とを有す
る。保護筐体１のドア６（アクセスパネル）が開くと、
スイッチ７がオープン側になる。この時、セーフティイ
ンタロック回路部１９の解除スイッチ８が、作動側にな
っていれば、回路１８がオープンとなる。表１より、回
路１８がオープンのとき、シャッタ２がクローズとなる
ため、レーザ光４は遮断され、出力レーザ光５の放射は
行われない。
【００１６】この状態で、セーフティインタロック回路
部１９の解除スイッチ８が、解除側に切り替ると、回路
１８はクローズとなる。従って、表１より、回路１８が
クローズのとき、シャッタ２がオープンとなるため、ド
ア６（アクセスパネル）は開いているが、出力レーザ光
５は放射される。また、解除スイッチ８を解除側にする
と、スイッチ１５がオンとなるので、解除警告灯１６が
点灯し、作業者に注意を促す。さらに、スイッチ１０も
オンとなるため、解除時間をカウントするタイマ１１が
作動を開始する。従って、時間設定機構１３で設定され
た時間を経過すると、ブレーク接点１２が作動し、回路
１８が再びオープンとなるので、表１より、シャッタ２
がクローズとなり、レーザ光４は遮断され、出力レーザ
光５の放射は行われなくなる（セーフティインタロック
機構は、作動を再開する。）。
部１９の解除スイッチ８が、解除側に切り替ると、回路
１８はクローズとなる。従って、表１より、回路１８が
クローズのとき、シャッタ２がオープンとなるため、ド
ア６（アクセスパネル）は開いているが、出力レーザ光
５は放射される。また、解除スイッチ８を解除側にする
と、スイッチ１５がオンとなるので、解除警告灯１６が
点灯し、作業者に注意を促す。さらに、スイッチ１０も
オンとなるため、解除時間をカウントするタイマ１１が
作動を開始する。従って、時間設定機構１３で設定され
た時間を経過すると、ブレーク接点１２が作動し、回路
１８が再びオープンとなるので、表１より、シャッタ２
がクローズとなり、レーザ光４は遮断され、出力レーザ
光５の放射は行われなくなる（セーフティインタロック
機構は、作動を再開する。）。
【００１７】図２は、本発明の第２実施例による安全装
置の回路図を示す概略図である。第２実施例の安全装置
は、第１実施例の安全装置がドア６（アクセスパネル）
が開いているときのみセーフティインタロック機構の解
除が有効になるのに対し、ドア６（アクセスパネル）の
開閉に係わらず常にセーフティインタロックの解除が有
効となる。従って、セーフティインタロック回路部１９
のみが第１実施例と異なり、他の構成は第１実施例と同
様である。
置の回路図を示す概略図である。第２実施例の安全装置
は、第１実施例の安全装置がドア６（アクセスパネル）
が開いているときのみセーフティインタロック機構の解
除が有効になるのに対し、ドア６（アクセスパネル）の
開閉に係わらず常にセーフティインタロックの解除が有
効となる。従って、セーフティインタロック回路部１９
のみが第１実施例と異なり、他の構成は第１実施例と同
様である。
【００１８】以下、第２実施例による安全装置の動作に
ついて説明する。セーフティインタロック回路部１９の
解除スイッチ８が、作動側になっているとき、保護筐体
１のドア６（アクセスパネル）が開くと、スイッチ７が
オープン側になり、従って回路１８がオープンとなる。
表１より、回路１８がオープンのとき、シャッタ２がク
ローズとなるため、レーザ光４は遮断され、出力レーザ
光５の放射は行われない。
ついて説明する。セーフティインタロック回路部１９の
解除スイッチ８が、作動側になっているとき、保護筐体
１のドア６（アクセスパネル）が開くと、スイッチ７が
オープン側になり、従って回路１８がオープンとなる。
表１より、回路１８がオープンのとき、シャッタ２がク
ローズとなるため、レーザ光４は遮断され、出力レーザ
光５の放射は行われない。
【００１９】この状態で、セーフティインタロック回路
部１９の解除スイッチ８が、解除側に切り替ると、回路
１８はクローズとなる。従って、表１より、シャッタ２
がオープンとなるため、ドア６（アクセスパネル）は開
いているが、出力レーザ光５は放射される。また、セー
フティインタロック回路部１９の解除スイッチ８が解除
側に切り替ると、スイッチ１５がオンとなるので、解除
警告灯１６が点灯し、作業者に注意を促す。さらに、ス
イッチ１０がオンとなることにより、解除時間をカウン
トするタイマ１１が動作を開始する。時間設定機構１３
で設定された時間を経過すると、ブレーク接点１２が作
動し、回路１８が再びオープンとなるので、表１より、
シャッタ２がクローズとなり、レーザ光４は遮断され、
出力レーザ光５の放射は行われなくなる。（セーフティ
インタロック機構は、作動を再開する。）尚、第１、２
実施例では、セーフティインタロック機構を再度動作さ
せるためにブレーク接点１２を設けたが、単に一定時間
経過後にスイッチ８を作動側に切り替える機構にしても
良い。
部１９の解除スイッチ８が、解除側に切り替ると、回路
１８はクローズとなる。従って、表１より、シャッタ２
がオープンとなるため、ドア６（アクセスパネル）は開
いているが、出力レーザ光５は放射される。また、セー
フティインタロック回路部１９の解除スイッチ８が解除
側に切り替ると、スイッチ１５がオンとなるので、解除
警告灯１６が点灯し、作業者に注意を促す。さらに、ス
イッチ１０がオンとなることにより、解除時間をカウン
トするタイマ１１が動作を開始する。時間設定機構１３
で設定された時間を経過すると、ブレーク接点１２が作
動し、回路１８が再びオープンとなるので、表１より、
シャッタ２がクローズとなり、レーザ光４は遮断され、
出力レーザ光５の放射は行われなくなる。（セーフティ
インタロック機構は、作動を再開する。）尚、第１、２
実施例では、セーフティインタロック機構を再度動作さ
せるためにブレーク接点１２を設けたが、単に一定時間
経過後にスイッチ８を作動側に切り替える機構にしても
良い。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、以上に説明した通り、セーフ
ティインタロック機構に、解除可能時間の制限を設ける
ことにより、セーフティインタロック機構の解除を行っ
たことを忘れ、作業者が高レベルのレーザ光に被ばくす
る等の人体への障害を伴う重大な事故の発生を、防止す
ることが可能である。
ティインタロック機構に、解除可能時間の制限を設ける
ことにより、セーフティインタロック機構の解除を行っ
たことを忘れ、作業者が高レベルのレーザ光に被ばくす
る等の人体への障害を伴う重大な事故の発生を、防止す
ることが可能である。
【図１】第１実施例による安全装置の回路図を示す概略
図である。
図である。
【図２】第２実施例による安全装置の回路図を示す概略
図である。
図である。
【図３】従来の安全装置の回路図を示す概略図である。
１・・・保護筐体 ２・・・シャッタ ３・・・光学系 ４・・・レーザ光 ５・・・出力レーザ光 ６・・・ドア ７・・・ドアの開閉検出用スイッチ ８・・・セーフティインタロックの解除スイッチ ９・・・電源 １０・・・スイッチ １１・・・タイマ １２・・・ブレーク接点 １３・・・解除時間の設定機構 １４・・・電源 １５・・・スイッチ １６・・・解除警告灯 １７・・・電源 １８・・・セーフティインタロック機構を作動、解除す
る回路 １９・・・セーフティインタロック回路部 ２０・・・復帰回路部 ２１・・・解除警告回路部 ２２・・・レーザ
る回路 １９・・・セーフティインタロック回路部 ２０・・・復帰回路部 ２１・・・解除警告回路部 ２２・・・レーザ
Claims (1)
- 【請求項１】 アクセスパネルの開閉に応じてレーザの
出射を遮断するセーフティインタロック機構と、前記セ
ーフティインタロック機構の動作を解除する解除機構と
を有する安全装置において、 前記解除機構によって前記セーフティインタロック機構
の動作を解除したとき、一定時間後に、前記セーフティ
インタロック機構の動作を再開させる復帰機構を設けた
ことを特徴とする安全装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6310503A JPH08166802A (ja) | 1994-12-14 | 1994-12-14 | レーザの安全装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6310503A JPH08166802A (ja) | 1994-12-14 | 1994-12-14 | レーザの安全装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08166802A true JPH08166802A (ja) | 1996-06-25 |
Family
ID=18006015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6310503A Pending JPH08166802A (ja) | 1994-12-14 | 1994-12-14 | レーザの安全装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08166802A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005175125A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理装置の管理方法 |
-
1994
- 1994-12-14 JP JP6310503A patent/JPH08166802A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005175125A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理装置の管理方法 |
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