JPH08168621A - 空気洗浄搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】クリーンルーム内でより清浄度を上げて製品の
製作から立ち上げ及び検査に至までの作業を可能にす
る。 【構成】クリーンルーム内を移動可能なテーブルリフタ
ー１１の上部に作業室１２を設け、作業室１２の上部に
吸込口ファン１４及びフィルター１６を設け、作業室１
２の下部に吐出口ファン１５及びフィルター２１を設
け、作業室１２の側面に外部雰囲気と内部空間とを仕切
るための仕切り部材を設け、作業室１２内部をより清浄
度の高い空間に保持したまま連続作業を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は空気洗浄搬送装置に係
り、特にクリーン度の高い空間での製品の組立、立ち上
げ、検査等の作業、及びその間の移動における空気洗浄
搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、クリーンルーム内で高い清浄度を
保ちながら物品を搬送する空気洗浄搬送装置としては、
例えば，特開平６−９２４５０号公報に記載のように、
クリーンルームである製品製作ライン工場の天井部にク
リーンエアーを送り出すため高性能フィルターとエアー
吹き出し口及び吹き出し方向を案内するガイドを設け、
床面にクリーンエアー吸引用の小径多孔が設けられ、床
下に吸引されたエアーをダクトを介して天井部に導き、
高性能フィルターを介してクリーンルーム内に再供給循
環するようになっており、また物品移動用としてボール
コンベアーを床面に設けたものが知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、大空
間を有するクリーンルーム内の空気洗浄の点においては
考慮されておらず、大きなクリーンルーム内の全範囲で
クリーン度の高い空気洗浄を行おうとすると、かなり大
がかりな空気洗浄装置が必要になり、その設備費も多大
なものになってしまうという問題があった。また、広い
空間を有するクリーンルーム内では作業のための人通り
も多く部品の流れも多い、このため粉塵の発生率も増加
し製品に付着する粉塵もおのずと多くなってしまうとい
う問題がある。

【０００４】本発明の目的は、クリーンルーム内でより
清浄度を上げて製品の製作から立ち上げ及び検査に至ま
での作業を行なうことのできる空気洗浄搬送装置を提供
することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、昇降，移動可能な駆動装置を有するテーブルリフタ
ー上に作業室を設け、作業室の上部に外部空間から内部
空間に順次つながる吸込口，吸込口ファン及びフィルタ
ーを設け、作業室の下部に内部空間から外部空間に順次
つながるフィルター，ファン及び吐出口を設け、作業室
の下部に外部雰囲気と内部空間とを仕切る仕切部材を設
けたものである。また、仕切部材は、部品の受渡し及び
人の出入りが可能な開口部を有し，作業室上部の吸込口
ファン及びフィルターを有する天井部は開閉可能として
ある。

【０００６】

【作用】上部に備えた吸込口ファンから外部の空気を導
入し、フィルターを介してクリーン度の高いエアーを仕
切部材によって仕切られた作業室内部に導入する。これ
により、作業室はクリーン度の高い空間となる。また、
その作業室で発生した粉塵は作業室下部に備えたフィル
ターおよびファンを介して作業室外部へ放出されるた
め、クリーンルーム建屋内を汚すことはない。作業室内
のエアー循環において、作業室の圧力は外部より高くし
てあり作業室外部から粉塵の侵入を防止している。作業
室内への部品の出し入れは仕切部材の開口部または天井
部の開閉によって行なわれる。昇降，移動可能な駆動装
置を有するテーブルリフター上に設けた作業室によっ
て、より清浄度の高い空間を維持したまま移動でき、製
品の製作から立ち上げ及び検査に至までの作業を行なう
ことができる。

【０００７】

【実施例】本発明の一実施例を図１ないし４により説明
する。図１に本発明の空気洗浄搬送装置２２の構成を示
す。テーブルリフター１１は、部品の受渡しおよび部品
の取り付け位置さらには作業高さに合わせて適宜テーブ
ルの高さ位置を調整可能な駆動装置、例えば、電動式の
リフターを有し、また、テーブルリフター１１をクリー
ンルーム内の所定の場所に移動可能な、例えば、電動式
の走行装置を有している。テーブルリフター１１の上部
には作業室１２を設け、作業室１２の上部に外部からエ
アーを取り入れるためのエアー吸込口１３及び吸込口フ
ァン１４および取り入れたエアーに含まれる粉塵を除去
するフィルター１６を設ける。エアー吸込口１３，吸込
口ファン１４およびフィルター１６を一体にして、この
場合、作業室１２の天井部２３が形成されている。エア
ー吸込口１３は天井部２３の側面に設けられ、上部から
落下して来る塵埃を直接取り入れることがないようにし
てある。天井部２３の略全面、すなわち、作業室１２の
上面のほぼ全域からクリーンエアーが作業室内１２内に
供給されるようにしてある。作業室１２の側面には、図
２に示すように天井部２３を開閉するシリンダー２４が
設けられている。図３は天井部２３を開閉した状態を示
す。作業室１２内の下部、この場合、テーブルリフター
１１の進行方向前後の側面には、作業室１２内に取り入
れられたエアーの出口となるエアー吐出口１７，吐出口
ファン１５および粉塵を除去するフィルター２１を設け
ている。エアー吐出口１７は、この場合、クリーンルー
ム内床面の塵埃を吹き散らさないように側面排出として
ある。また、テーブルリフター１１の進行方向に対して
直角方向の作業室１２の側面には、開口部２０を備えた
仕切り部材であるナイロンカーテン１８を設けて、クリ
ーンルーム内空間と作業室１２内空間とを仕切ってい
る。

【０００８】次に、上記のように構成した装置の動作に
ついて以下説明する。吸込口ファン１４によって取り入
れられたエアーは、フィルター１６によって効率良く洗
浄され、天井部２３から作業室１２内に供給される。作
業室１２での組立てまたは検査等の作業中に発生した粉
塵を含むエアーは、フィルター２１によって効率良く洗
浄され吐出口ファン１５によって外部へ放出される。そ
のときのエアーの流れは、作業室１２の天井部から該室
内の略全面で下方に流れ、さらに該室内下部で作業室１
２側面に向かってながれるエアー流１９のようになる。
なお、このとき吸込口ファン１４は吐出口ファン１５よ
り風力が強くしてあり、作業室１２内の圧力が外部クリ
ーンルーム内の圧力より高くしてあり、作業室１２内へ
外部から粉塵が入ってくるのを防止している。また、こ
の場合には、ナイロンカーテン１８は部品の受渡し及び
作業者の出入り等のために中央部を分割して重ねてあ
る。、この場合は、出入り可能な開口部２０がナイロン
カーテン１８に設けてある。しかしながら、作業室１２
内の圧力が高くしてあるため、外部からの塵埃の浸入は
ない。また、作業室１２の側面から受け渡し不可能な大
物部品は、図３に示すようにシリンダー２４によって天
井部２３を開閉させてクレーン等により大物部品の受け
渡しを行なう。

【０００９】上述のように本装置を用いれば、クリーン
ルーム内全体のクリーン度を上げることなく、作業室１
２は常にクリーン度を高く保つことができ、テーブルリ
フター及びナイロンカーテン等によって部品の受渡し及
び人の出入り等も容易に行なうことができる。

【００１０】図４は、図１に示した空気洗浄搬送装置２
２を使用したクリーンルームの一例である半導体製造装
置製作ライン工場の平面図を示す。ライン工場は装置組
立工場３１と装置立ち上げ検査工場３２から構成され、
各工場の側面には場内のクリーン度を保つための空気洗
浄機３３が設けられ、装置組立工場３１には装置組立ス
テーション３４が必要に応じて複数設けられ、各ステー
ション３４に空気洗浄搬送装置２２がそれぞれ移動配置
され、各ステーション３４の隣に部品棚３６がそれぞれ
設けられている。装置立ち上げ検査工場３２には装置立
ち上げ検査ステーション３５が必要に応じて複数設けら
れている。

【００１１】次に、上記のように構成した半導体製造装
置製作ライン工場の運営について以下説明する。装置組
立工場３１及び装置立ち上げ検査工場３２は、空気洗浄
機３３によって空気洗浄され所定のクリーン度に保たれ
た空間になっている。このような装置組立工場３１内に
おいて各装置組立ステーション３４に空気洗浄搬送装置
２２を移動配置し、作業室１２内のよりクリーン度の高
い作業空間で製品の製作を行なう。製作に必要な部品
は、テーブルリフター１１による供給高さ調整およびナ
イロンカーテンまたは天井部２３を介して各部品棚３６
から効率良く供給される。また、昇降可能なテーブルリ
フター１１により、製作製品の下側に部品を取り付ける
作業などは、テーブルリフター１１を上昇させて作業者
は外側から部品の取り付けを行なう等効率的な作業も行
なえる。所定の組立が終わると製作製品を空気洗浄搬送
装置２２に積載したまま装置立ち上げ検査工場３２の装
置立ち上げ検査ステーション３５に移動し、装置立ち上
げおよび検査等の作業をクリーン度を保ったまま作業室
１２で行なう。

【００１２】このように、空気洗浄搬送装置２２をこの
ような工場に使用することにより、必要なステーション
へ自由に移動でき、組立から立ち上げおよび検査に至ま
でクリーンな環境を維持したまま作業を進めることがで
きる。また、無理な姿勢での作業を無くすことができ、
作業の効率化が図れる。

【００１３】半導体製造装置等の製作においてはクリー
ンな環境での製作が望まれるが、大きな工場の場合、数
箇所に設けられた空気洗浄機３３のみではクリーン度の
高い空間は作ることはできない。本実施例によれば、よ
りクリーン度の高い空間で製品の製作，立ち上げおよび
検査を一貫して行うことができ、塵埃等の付着の少ない
信頼性の高い高性能な製品を作ることができる。また製
作から発送までその間の移動の全てをこの空気洗浄搬送
装置２２によって行えるので、作業の効率化が図られ、
作業時間の短縮、すなわち、製作時間の短縮を図ること
ができる。

【００１４】

【発明の効果】本発明によれば、昇降，移動可能なテー
ブルリフター上に設けた作業室の側面を外部雰囲気と内
部空間とを仕切る仕切部材で仕切り、作業室の上部から
フィルターを介してエアーを取り入れ下部から排出循環
させることによって、作業室内をよりクリーン度の高い
空間にでき、移動させながら該空間で製作、立ち上げ、
検査を一貫して行うことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である空気洗浄搬送装置を示
す正面図である。

【図２】図１の空気洗浄搬送装置の側面図である。

【図３】図１の空気洗浄搬送装置の天井部を開口したと
きの側面図である。

【図４】本発明の一実施例である空気洗浄搬送装置を使
用した半導体製造装置製作ライン工場の平面図である。

【符号の説明】

１１…テーブルリフター，１２…作業室，１３…エアー
吸込口，１４…吸込口ファン，１５…吐出口ファン，１
６…フィルター，１７…エアー吐出口，１８…ナイロン
カーテン，２１…フィルター，２２…空気洗浄搬送装
置，３１…装置組立工場，３２…装置立ち上げ検査工
場，３４…装置組立ステーション，３５…装置立ち上げ
検査ステーション。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】昇降，移動可能な駆動装置を有するテーブ
   ルリフター上に作業室を設け、前記作業室の上部に外部
   空間から内部空間に順次つながる吸込口，吸込口ファン
   及びフィルターを設け、前記作業室の下部に内部空間か
   ら外部空間に順次つながるフィルター，ファン及び吐出
   口を設け、前記作業室の側面に外部雰囲気と内部空間と
   を仕切る仕切部材を設けたことを特徴とする空気洗浄搬
   送装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の前記仕切部材は、部品の受
   渡し及び人の出入りが可能な開口部を有する空気洗浄搬
   送装置。
3. 【請求項３】請求項１記載の前記作業室上部は、前記吸
   込口，吸込口ファン及びフィルターを一体として天井部
   が構成され、前記天井部を前記作業室に対して開閉可能
   とした空気洗浄搬送装置。
4. 【請求項４】請求項１記載の空気洗浄搬送装置は、クリ
   ーンルーム内の組立てラインおよび検査ラインの各ステ
   ーションを移動する空気洗浄搬送装置。