JPH0817193B2 - 液晶表示装置の点灯検査方法 - Google Patents
液晶表示装置の点灯検査方法Info
- Publication number
- JPH0817193B2 JPH0817193B2 JP63214600A JP21460088A JPH0817193B2 JP H0817193 B2 JPH0817193 B2 JP H0817193B2 JP 63214600 A JP63214600 A JP 63214600A JP 21460088 A JP21460088 A JP 21460088A JP H0817193 B2 JPH0817193 B2 JP H0817193B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- crystal display
- display device
- light
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明はプローブ装置にて液晶表示装置を点灯検査す
る検査方法に関する。
る検査方法に関する。
（従来の技術） 近年、テレビ画面等を構成する大型液晶板（以下、LC
D（Liquid Charged Device）と記すの製造技術が完成し
つつある。さらにこのLCDの量産技術の開発が急ピッチ
で進んでいる。しかし特性の検査については、量産に対
応したプローブ装置の開発が要求されている。
D（Liquid Charged Device）と記すの製造技術が完成し
つつある。さらにこのLCDの量産技術の開発が急ピッチ
で進んでいる。しかし特性の検査については、量産に対
応したプローブ装置の開発が要求されている。
LCDの電気特性検査は、通常、プローブカードやテス
タを用いて行われる。また、LCDの電気特性検査は、LCD
に外光を照射して、光による悪環境下で行ないたいとい
う要求がある。
タを用いて行われる。また、LCDの電気特性検査は、LCD
に外光を照射して、光による悪環境下で行ないたいとい
う要求がある。
すなわち、LCDは、照射する光の状態により、画面に
表示された画像の見える状態が大幅に変化する。つま
り、LCDに光を照射しなければ、LCDの良否の判定ができ
ない。
表示された画像の見える状態が大幅に変化する。つま
り、LCDに光を照射しなければ、LCDの良否の判定ができ
ない。
（発明が解決しようとする課題） しかし、従来、LCDに光を照射しながら電気特性の検
査を行う機能を持ったプローブ装置による電気特性検査
方法は、全くなかった。このため、光による悪環境下
で、LCDの電気特性検査を行うためには、まず、治具にL
CDを設置して通電を施す。そして、外部からLCDに光を
照射する。そして、目視によってLCDの良否を判定す
る。このような手段しかなかった。
査を行う機能を持ったプローブ装置による電気特性検査
方法は、全くなかった。このため、光による悪環境下
で、LCDの電気特性検査を行うためには、まず、治具にL
CDを設置して通電を施す。そして、外部からLCDに光を
照射する。そして、目視によってLCDの良否を判定す
る。このような手段しかなかった。
つまり、プローブ装置の検査部に光源を配置すれば、
光による悪環境下で、LCDの電気特性検査が可能にな
る。しかし、この場合、光源部が熱を持つ。そして、検
査部内部の温度環境を乱す。また、検査部内に光源の設
置スペースに対応する空間が必要である。更に、実用化
にあたって、種々の弊害をもたらす問題があった。
光による悪環境下で、LCDの電気特性検査が可能にな
る。しかし、この場合、光源部が熱を持つ。そして、検
査部内部の温度環境を乱す。また、検査部内に光源の設
置スペースに対応する空間が必要である。更に、実用化
にあたって、種々の弊害をもたらす問題があった。
そこで、本発明の目的とするところは、液晶表示装置
を自動的に点灯検査することのできる液晶表示装置の点
灯検査方法を提供することある。
を自動的に点灯検査することのできる液晶表示装置の点
灯検査方法を提供することある。
本発明の他の目的は、検査部内に光源設置スペースを
必要とせず、かつ、検査部内の環境温度を乱すことのな
い液晶表示装置の点灯検査方法を提供することにある。
必要とせず、かつ、検査部内の環境温度を乱すことのな
い液晶表示装置の点灯検査方法を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明は、液晶表示装置をプローブ装置にて点灯検査
する方法であって、複数枚の前記液晶表示装置を収容し
た収納部より前記液晶表示装置を取り出す工程と、 取り出された前記液晶表示装置を検査部に受け渡す工程
と、 検査部に設けられた載置台上に前記液晶表示装置を載置
する工程と、 前記載置台上の液晶表示装置の電極にコンタクトして信
号を供給する工程と、前記信号の供給中に、前記載置台
に設けられた光出射部より前記液晶表示装置の裏面に向
けて光を照射して、前記液晶表示装置上に画像を表示さ
せる工程と、を有することを特徴とする液晶表示装置の
点灯検査方法である。
する方法であって、複数枚の前記液晶表示装置を収容し
た収納部より前記液晶表示装置を取り出す工程と、 取り出された前記液晶表示装置を検査部に受け渡す工程
と、 検査部に設けられた載置台上に前記液晶表示装置を載置
する工程と、 前記載置台上の液晶表示装置の電極にコンタクトして信
号を供給する工程と、前記信号の供給中に、前記載置台
に設けられた光出射部より前記液晶表示装置の裏面に向
けて光を照射して、前記液晶表示装置上に画像を表示さ
せる工程と、を有することを特徴とする液晶表示装置の
点灯検査方法である。
（作 用） 本発明によれば、収容部からの液晶表示装置の取出工
程、検査部への受け渡し工程及び載置台上への載置工程
の後に、液晶表示装置の電極にコンタクトして信号を供
給する工程と、液晶表示装置の裏面に向けて光を照射す
る工程とを同時に行っている。この結果、液晶表示装置
上に画像表示させることができ、これを目視等で検査す
ることにより、液晶表示装置の点灯検査を自動的に行う
ことができる。
程、検査部への受け渡し工程及び載置台上への載置工程
の後に、液晶表示装置の電極にコンタクトして信号を供
給する工程と、液晶表示装置の裏面に向けて光を照射す
る工程とを同時に行っている。この結果、液晶表示装置
上に画像表示させることができ、これを目視等で検査す
ることにより、液晶表示装置の点灯検査を自動的に行う
ことができる。
しかも、この点灯検査に必要な液晶表示装置への光照
射を、載置台に設けられた光出射部より行うことで、液
晶表示装置の裏面に向けて確実に光を照射することがで
きる。
射を、載置台に設けられた光出射部より行うことで、液
晶表示装置の裏面に向けて確実に光を照射することがで
きる。
本発明の他の態様によれば、液晶表示装置に光を照射
するために、検査部外の光源部から光供給手段によって
検査部に光を導いている。このため、検査部内に光源部
を配置するためのスペースを必要としない。しかも、検
査部内の温度環境を乱すことなく、液晶表示装置の点灯
検査を容易に実施できるものである。
するために、検査部外の光源部から光供給手段によって
検査部に光を導いている。このため、検査部内に光源部
を配置するためのスペースを必要としない。しかも、検
査部内の温度環境を乱すことなく、液晶表示装置の点灯
検査を容易に実施できるものである。
（実施例） 以下、本発明方法を、液晶表示装置としてのLCD（Liq
uid Charged Device）の特性検査に適用した一実施例に
ついて図面を参照して説明する。第１図（Ａ）は、本発
明方法を実施するために用いたプローブ装置の平面図、
第１図（Ｂ）は、同プローブ装置の側面図である。
uid Charged Device）の特性検査に適用した一実施例に
ついて図面を参照して説明する。第１図（Ａ）は、本発
明方法を実施するために用いたプローブ装置の平面図、
第１図（Ｂ）は、同プローブ装置の側面図である。
このプローブ装置は、ローダ部（１）、検査部
（２）、ファイバー収納ボックス（３）および光源部
（４）から構成されている。
（２）、ファイバー収納ボックス（３）および光源部
（４）から構成されている。
ローダ部（１）は、カセットからLCDを取り出す。そ
して、LCDをプリアライメントしてから検査部（２）に
受け渡す。次いで、検査後のLCDをカセットに戻すよう
になっている。カセットには、例えば５インチの外径を
有するLCDの多数枚が、所定間隔で積層収容されてい
る。ローダ部（１）の上面には、キーボード（５）が配
置されている。キーボード（５）は、このプローブ装置
を稼動するために、所定の情報を入力するものである。
して、LCDをプリアライメントしてから検査部（２）に
受け渡す。次いで、検査後のLCDをカセットに戻すよう
になっている。カセットには、例えば５インチの外径を
有するLCDの多数枚が、所定間隔で積層収容されてい
る。ローダ部（１）の上面には、キーボード（５）が配
置されている。キーボード（５）は、このプローブ装置
を稼動するために、所定の情報を入力するものである。
検査部（２）では、ローダ部（１）から搬送されてき
たLCDを、チャック上に載置固定する。次いで、チャッ
クをX,Y方向及びθ方向に駆動制御して、LCDのアライメ
ントを行う。次いで、プローブカード、センサによっ
て、LCDの電気特性を検査するようになっている。検査
部（２）の上方向には、スコープ（６）が配置されてい
る。スコープ（６）は、LCDの位置決め状態等を目視観
察するためのものである。
たLCDを、チャック上に載置固定する。次いで、チャッ
クをX,Y方向及びθ方向に駆動制御して、LCDのアライメ
ントを行う。次いで、プローブカード、センサによっ
て、LCDの電気特性を検査するようになっている。検査
部（２）の上方向には、スコープ（６）が配置されてい
る。スコープ（６）は、LCDの位置決め状態等を目視観
察するためのものである。
検査部（２）について、第２図（Ａ），（Ｂ）を参照
して更に説明する。
して更に説明する。
図中（10）は、LCDを載置固定する載置台の一例のチ
ャックである。チャック（10）には、ファイバー取付け
孔（10a）が、その側面から中心に向って穿設されてい
る。チャック（10）の中心には、光出射孔（10b）が設
けられている。光出射孔（10b）とファイバー取付け孔
（10a）は、連通している。
ャックである。チャック（10）には、ファイバー取付け
孔（10a）が、その側面から中心に向って穿設されてい
る。チャック（10）の中心には、光出射孔（10b）が設
けられている。光出射孔（10b）とファイバー取付け孔
（10a）は、連通している。
また、検査部（２）には、出射ファイバープローブ
（20）が設けられている。出射ファイバープローブ（2
0）の一端は、ファイバー取付け孔（10a）を介して、光
出射孔（10b）に臨んでいる。出射ファイバープローブ
（20）の他端は、ファイバー取付け板（12）に固着して
いる。
（20）が設けられている。出射ファイバープローブ（2
0）の一端は、ファイバー取付け孔（10a）を介して、光
出射孔（10b）に臨んでいる。出射ファイバープローブ
（20）の他端は、ファイバー取付け板（12）に固着して
いる。
出射ファイバープローブ（20）は、第３図に示すよう
に、複数本のファイバーを結束してチューブ（21）内に
収容されている。チューブ（21）の一端部には、出射金
具（22）が取付けられている。出射金具（22）は、孔部
（22a）が穿設されている。孔部（22a）の穿設位置は、
ファイバー取付け孔（10a）に出射ファイバープローブ
（20）を挿入した際に、光出射孔（10b）と対向する位
置である。チューブ（21）のファイバー取り付け孔（10
a）の出口付近に相当する部分に、補強チューブ（23）
が設けられている。
に、複数本のファイバーを結束してチューブ（21）内に
収容されている。チューブ（21）の一端部には、出射金
具（22）が取付けられている。出射金具（22）は、孔部
（22a）が穿設されている。孔部（22a）の穿設位置は、
ファイバー取付け孔（10a）に出射ファイバープローブ
（20）を挿入した際に、光出射孔（10b）と対向する位
置である。チューブ（21）のファイバー取り付け孔（10
a）の出口付近に相当する部分に、補強チューブ（23）
が設けられている。
チューブ（21）の他端部には、ジョイントコネクター
（24）を介してプラグ（25）が、設けられている。プラ
グ（25）の円盤部（25a）に、孔（25b）が穿設されてい
る。出射ファイバープローブ（20）は、孔（25b）を介
してファイバー取付け板（12）にねじ止め固定される。
プラグ（25）の円筒部外周面には、ボルト部（25c）が
形成されている。
（24）を介してプラグ（25）が、設けられている。プラ
グ（25）の円盤部（25a）に、孔（25b）が穿設されてい
る。出射ファイバープローブ（20）は、孔（25b）を介
してファイバー取付け板（12）にねじ止め固定される。
プラグ（25）の円筒部外周面には、ボルト部（25c）が
形成されている。
プラグ（25）には、入射ファイバープローブ（30）が
連結されるようになっている。入射ファイバープローブ
（30）と出射ファイバープローブ（20）とにより、光フ
ァイバーケーブルが構成されている。
連結されるようになっている。入射ファイバープローブ
（30）と出射ファイバープローブ（20）とにより、光フ
ァイバーケーブルが構成されている。
入射ファイバープローブ（30）は、第４図に示す構造
を有している。すなわち、複数本のファイバーを結束
し、その周囲をフレキシブルチューブ（31）を覆ってい
る。フレキシブルチューブ（31）は、例えばポリエチレ
ンチューブ（32）で覆われている。入射ファイバープロ
ーブ（30）の長さは、ファイバー取り付け板（12）から
光源部（４）に至るまでの長さに設定されている。入射
ファイバープローブ（30）の出射ファイバープローブ
（20）との連結端側には、ジョイントコネクター（33）
が設けられている。内面円筒部にナット（34a）を形成
した袋ナット（34）が、ジョイントコネクター（33）に
取付けられている。ナット（34a）は、プラグ（25）の
ボルト部（25c）に螺合するようになっている。螺合に
より、入射ファイバープローブ（30）と出射ファイバー
プローブ（20）が結合される。また、入射ファイバープ
ローブ（30）の光源部側には、光源側金具（35）が設け
られている。
を有している。すなわち、複数本のファイバーを結束
し、その周囲をフレキシブルチューブ（31）を覆ってい
る。フレキシブルチューブ（31）は、例えばポリエチレ
ンチューブ（32）で覆われている。入射ファイバープロ
ーブ（30）の長さは、ファイバー取り付け板（12）から
光源部（４）に至るまでの長さに設定されている。入射
ファイバープローブ（30）の出射ファイバープローブ
（20）との連結端側には、ジョイントコネクター（33）
が設けられている。内面円筒部にナット（34a）を形成
した袋ナット（34）が、ジョイントコネクター（33）に
取付けられている。ナット（34a）は、プラグ（25）の
ボルト部（25c）に螺合するようになっている。螺合に
より、入射ファイバープローブ（30）と出射ファイバー
プローブ（20）が結合される。また、入射ファイバープ
ローブ（30）の光源部側には、光源側金具（35）が設け
られている。
次に、ファイバー収納ボックス（３）について、第５
図を参照して説明する。
図を参照して説明する。
ファイバー収納ボックス（３）は、入射ファイバープ
ローブ（30）を、ｕ字状に撓わせて収納し、更に、これ
を光源部（４）に導く。入射ファイバープローブ（30）
は、開口部（７）を介してプローブ装置本体外に導かれ
ている。開口部（７）は、例えばプローブ装置本体の背
面に形成されている。
ローブ（30）を、ｕ字状に撓わせて収納し、更に、これ
を光源部（４）に導く。入射ファイバープローブ（30）
は、開口部（７）を介してプローブ装置本体外に導かれ
ている。開口部（７）は、例えばプローブ装置本体の背
面に形成されている。
入射ファイバープローブ（30）は、撓ませた状態で筐
体（41）に収納される。筐体（41）は、開口部（７）と
対向する位置に第１の切欠部（42）を具備している。第
１の切欠部（42）を介して、入射ファイバープローブ
（30）が筐体（41）内に導かれる。入射ファイバープロ
ーブ（30）は、第２の切欠部（43）を介して光源部
（４）に導かれる。第２の切欠部（43）は、第１の切欠
部（42）を形成した面と同一面の角部側に形成されてい
る。
体（41）に収納される。筐体（41）は、開口部（７）と
対向する位置に第１の切欠部（42）を具備している。第
１の切欠部（42）を介して、入射ファイバープローブ
（30）が筐体（41）内に導かれる。入射ファイバープロ
ーブ（30）は、第２の切欠部（43）を介して光源部
（４）に導かれる。第２の切欠部（43）は、第１の切欠
部（42）を形成した面と同一面の角部側に形成されてい
る。
第２の切欠部（43）の内側には、固定ブロック（4
4），（45）が固定されるようになっている。入射ファ
イバープローブ（30）は、固定ブロック（44），（45）
の間に挟持して支持される。入射ファイバープローブ
（30）の支持は、シールドスポンジ（36）を貼った部分
をねじ（46）によって固定ブロック（44）（45）間に挟
持させることにより行われる。
4），（45）が固定されるようになっている。入射ファ
イバープローブ（30）は、固定ブロック（44），（45）
の間に挟持して支持される。入射ファイバープローブ
（30）の支持は、シールドスポンジ（36）を貼った部分
をねじ（46）によって固定ブロック（44）（45）間に挟
持させることにより行われる。
筐体（41）は、補強プレート（47）を介してプローブ
装置本体の背面側にねじ止め固定されている。筐体（4
1）の上面は、カバー（48）により密閉するようになっ
ている。
装置本体の背面側にねじ止め固定されている。筐体（4
1）の上面は、カバー（48）により密閉するようになっ
ている。
次に、光源部（４）について説明する。光源部（４）
の内部構造は、図示を省略している。入射ファイバープ
ローブ（30）の光源側金具（３）は、ジョイント可能に
なっている。この入射ファイバープローブ（30）と対向
して、光源が設けられている。光源は、例えばダイクロ
イックミラー付きハロゲンランプで構成されている。
の内部構造は、図示を省略している。入射ファイバープ
ローブ（30）の光源側金具（３）は、ジョイント可能に
なっている。この入射ファイバープローブ（30）と対向
して、光源が設けられている。光源は、例えばダイクロ
イックミラー付きハロゲンランプで構成されている。
このハロゲンランプの調光は、例えばPWM方式によっ
て０〜100％の可変が可能である。ハロゲンランプのON,
OFFは例えばメカニカルシャッターを開閉することで行
われる。例えば、光源に２組のフィルターを取付けるこ
とにより、最大25段階の調整が可能である。なお、この
場合、１組のフィルターを５種類のフィルター要点で構
成している。また、ハロゲンランプの発熱を抑えるため
に、例えばファンによって強制空冷が可能である。
て０〜100％の可変が可能である。ハロゲンランプのON,
OFFは例えばメカニカルシャッターを開閉することで行
われる。例えば、光源に２組のフィルターを取付けるこ
とにより、最大25段階の調整が可能である。なお、この
場合、１組のフィルターを５種類のフィルター要点で構
成している。また、ハロゲンランプの発熱を抑えるため
に、例えばファンによって強制空冷が可能である。
光源部（４）の駆動は、オート、マニュアルのいずれ
であっても良い。オート駆動の場合、プローブ装置本体
から送信されるデータにより、シャッターの開閉および
フィルターの切り換えを行う。
であっても良い。オート駆動の場合、プローブ装置本体
から送信されるデータにより、シャッターの開閉および
フィルターの切り換えを行う。
マニュアル操作の場合、光源部（４）にある光源コン
トローラのパネルスイッチの操作によって、シャッター
の開閉、フィルターの切り換えを行う。
トローラのパネルスイッチの操作によって、シャッター
の開閉、フィルターの切り換えを行う。
次に、このように構成されたプローブ装置を用いて、
本発明によるLCDの特性検査の方法について説明する。
本発明によるLCDの特性検査の方法について説明する。
まず、本発明方法の工程の流れを第６図を参照して説
明する。
明する。
まず、カセットからLCDを取り出す（第６図Ａ）。次
いで、LCDのセンター出しを行う（プリアライメント）
（第６図Ｂ）。次いで、センター出しを行ったLCDを検
査部に受け渡す（第６図Ｃ）。次に、検査部即ち、テス
トステージ上でのLCDのアライメントを行う（第６図
Ｄ）。このアライメトでは、まず、ハイトセンサーによ
り、Ｘ−Ｙテーブルとθ回転機構によって、測定するLC
Dの平行、直行、方向の位置合せを行う。次いで、ジョ
イスティックにより基準チップにプローブ針を合せ、テ
ストの手順のティーチング操作を実行する。
いで、LCDのセンター出しを行う（プリアライメント）
（第６図Ｂ）。次いで、センター出しを行ったLCDを検
査部に受け渡す（第６図Ｃ）。次に、検査部即ち、テス
トステージ上でのLCDのアライメントを行う（第６図
Ｄ）。このアライメトでは、まず、ハイトセンサーによ
り、Ｘ−Ｙテーブルとθ回転機構によって、測定するLC
Dの平行、直行、方向の位置合せを行う。次いで、ジョ
イスティックにより基準チップにプローブ針を合せ、テ
ストの手順のティーチング操作を実行する。
次に、LCDのプロービングを開始する（第６図Ｅ）。
すなわち、LCDの多数の電極リードにプローブ針列をコ
ンタクトさせる（第６図Ｆ）。コンタクト工程では、プ
ローブカードに多数配列されたプローブ針とLCDの電極
とを接触させる。この状態で予めプログラムされた測定
信号を切換え、印加して光ファイバーによる照明を行
う。そして、次の測定工程に移る（第６図Ｇ）。この
後、プロービングの有無を確認する（第６図Ｈ）。そし
て、測定を終了し（第６図Ｉ）、LCDをカセットへ戻す
（第６図Ｊ）。
すなわち、LCDの多数の電極リードにプローブ針列をコ
ンタクトさせる（第６図Ｆ）。コンタクト工程では、プ
ローブカードに多数配列されたプローブ針とLCDの電極
とを接触させる。この状態で予めプログラムされた測定
信号を切換え、印加して光ファイバーによる照明を行
う。そして、次の測定工程に移る（第６図Ｇ）。この
後、プロービングの有無を確認する（第６図Ｈ）。そし
て、測定を終了し（第６図Ｉ）、LCDをカセットへ戻す
（第６図Ｊ）。
次に、上述の装置を使用した本発明方法の流れを具体
的に説明する。
的に説明する。
ローダ部（１）で、カセットより一枚のLCDを取り出
し、搬送し、これをプリアライメントした後に検査部
（２）に受け渡す。検査部（２）では、このLCDをチャ
ック（10）上に例えば真空吸着によって載置固定し、Ｘ
−Ｙテーブル機構および回転機構によってLCDのアライ
メントを実行し、プローブカードに多数配列固定された
プローブ針とLCDの電極とを接触させ、通電によってこ
のLCDの電気的特性を検査することになる。
し、搬送し、これをプリアライメントした後に検査部
（２）に受け渡す。検査部（２）では、このLCDをチャ
ック（10）上に例えば真空吸着によって載置固定し、Ｘ
−Ｙテーブル機構および回転機構によってLCDのアライ
メントを実行し、プローブカードに多数配列固定された
プローブ針とLCDの電極とを接触させ、通電によってこ
のLCDの電気的特性を検査することになる。
次に、光源部４内のハロゲンランを点灯し、メカニカ
ルシャッターを開口させる。このハロゲンランプより発
せられた光は、入射ファイバープローブ（30）の一端よ
り入射する。
ルシャッターを開口させる。このハロゲンランプより発
せられた光は、入射ファイバープローブ（30）の一端よ
り入射する。
入射ファイバープローブ（30）は、ファイバー収納ボ
ックス（３）を介して装置本体内部に導入される。
ックス（３）を介して装置本体内部に導入される。
入射ファイバープローブ（30）は、チャック（10）に
固着されたファイバー取り付け板（12）の位置で出射フ
ァイバープローブ（20）のプラグ（25）と接続されてい
る。この入射ファイバープローブ（30）より出射ファイ
バープローブ（20）に光が伝達される。
固着されたファイバー取り付け板（12）の位置で出射フ
ァイバープローブ（20）のプラグ（25）と接続されてい
る。この入射ファイバープローブ（30）より出射ファイ
バープローブ（20）に光が伝達される。
しかも、出射ファイバープローブ（20）の出射端側
は、チャック（10）のファイバー取り付け孔（10a）に
挿入支持されている。このファイバープローブ（20）の
光出射部である孔（22a）が、チャック（10）の中心に
位置した光出射孔（0b）と対向するように配置されてい
る。ハロゲンランプの出射光は、光出射孔（10b）を介
して、LCDの裏面を照射する。そして、このようにして
出射された光の照度は、50000LX程度確保でき、光源部
（４）の構成またはファイバーの結束径の変更により、
これ以上の照度も可能である。
は、チャック（10）のファイバー取り付け孔（10a）に
挿入支持されている。このファイバープローブ（20）の
光出射部である孔（22a）が、チャック（10）の中心に
位置した光出射孔（0b）と対向するように配置されてい
る。ハロゲンランプの出射光は、光出射孔（10b）を介
して、LCDの裏面を照射する。そして、このようにして
出射された光の照度は、50000LX程度確保でき、光源部
（４）の構成またはファイバーの結束径の変更により、
これ以上の照度も可能である。
ここで、通常、LCDは、透明度を有する。よって、裏
面から照射した光によって、あたかもLCD表面より直接
外光が入射する場合と同様な悪環境を作ることができ
る。従って、このようにLCDの裏面より光を照射した状
態で、例えばLCD画面に表示した所定のパターンがどの
様に目視できるかを観察することができる。この結果、
外光照射の下での特性試験を容易に実施することができ
る。
面から照射した光によって、あたかもLCD表面より直接
外光が入射する場合と同様な悪環境を作ることができ
る。従って、このようにLCDの裏面より光を照射した状
態で、例えばLCD画面に表示した所定のパターンがどの
様に目視できるかを観察することができる。この結果、
外光照射の下での特性試験を容易に実施することができ
る。
ところで、LCDの検査は、チャック（10）の移動によ
り、プローブ針を接触させる位置を変えて行なうことが
ある。この場合、チャック（10）に固定された光ファイ
バーをこの移動と追従させて動かす必要が生ずる。
り、プローブ針を接触させる位置を変えて行なうことが
ある。この場合、チャック（10）に固定された光ファイ
バーをこの移動と追従させて動かす必要が生ずる。
このチャック（10）の２次元面上での移動は、第７図
のチャック中心位置ａを中心として、例えば同図の実線
及び鎖線で示す各位置に設定されることになる。
のチャック中心位置ａを中心として、例えば同図の実線
及び鎖線で示す各位置に設定されることになる。
そこで、本実施例のプローブ装置では、ファイバー収
納ボックス（３）を設けている。このファイバー収納ボ
ックス（３）内では、入射ファイバープローブ（30）が
Ｕ字状に撓んだ状態で配置されている。そして、第７図
の図示Ａで示すようにチャック（10）が最も遠くに移動
した場合、ファイバー収納ボックス（３）内のファイバ
ープローブ（30）の撓みが最少となる。また、第７図の
図示B,Cに示すようにチャック（10）が最も近くに移動
した場合に、撓みを最大とするように、ファイバー収納
ボックス（３）内の撓みを設定している。
納ボックス（３）を設けている。このファイバー収納ボ
ックス（３）内では、入射ファイバープローブ（30）が
Ｕ字状に撓んだ状態で配置されている。そして、第７図
の図示Ａで示すようにチャック（10）が最も遠くに移動
した場合、ファイバー収納ボックス（３）内のファイバ
ープローブ（30）の撓みが最少となる。また、第７図の
図示B,Cに示すようにチャック（10）が最も近くに移動
した場合に、撓みを最大とするように、ファイバー収納
ボックス（３）内の撓みを設定している。
ここで、光ファイバー自体は所定の剛性を有する。従
って、チャック（10）の移動に応じてファイバー収納ボ
ックス（３）内をファイバーが滑って移動する。そし
て、撓み量を変え、例えば最少曲げ半径40〜50mm、最大
曲げ半径120〜140mmと変化させる。これにより、チャッ
ク（10）のいずれの移動位置にも対応して、光ファイバ
ーを追従移動させることができる。
って、チャック（10）の移動に応じてファイバー収納ボ
ックス（３）内をファイバーが滑って移動する。そし
て、撓み量を変え、例えば最少曲げ半径40〜50mm、最大
曲げ半径120〜140mmと変化させる。これにより、チャッ
ク（10）のいずれの移動位置にも対応して、光ファイバ
ーを追従移動させることができる。
尚、上述したファイバー収納ボックス（３）内での光
ファイバーの滑りを確実なものとするため、前記筐体
（41）の内部底面に摩擦抵抗を少なくするシート（例え
ば商品名ソニタック）等を貼ることもできる。
ファイバーの滑りを確実なものとするため、前記筐体
（41）の内部底面に摩擦抵抗を少なくするシート（例え
ば商品名ソニタック）等を貼ることもできる。
上記実施例では、検査部（２）内に光ファイバーケー
ブルを支持する手段として、チャック（10）にこれを固
定し、被検査体の裏面より光を照射する構成としてが、
これに限定されるものではない。
ブルを支持する手段として、チャック（10）にこれを固
定し、被検査体の裏面より光を照射する構成としてが、
これに限定されるものではない。
チャック（10）に光ファイバーケーブルを支持するこ
とにより、このチャック（10）がどこに設定されても常
に被検査体を照射できる点で上記実施例は優れている。
とにより、このチャック（10）がどこに設定されても常
に被検査体を照射できる点で上記実施例は優れている。
また、光ファイバーケーブルを１本のみ検査部（２）
内に配置するものに限らず、複数本の光ファイバーケー
ブルを被検査体の下面に配置しても良い。
内に配置するものに限らず、複数本の光ファイバーケー
ブルを被検査体の下面に配置しても良い。
第８図（Ａ），（Ｂ）は、チャック（10）に複数本例
えば５本の光ファイバーを装着した実施例を示してい
る。
えば５本の光ファイバーを装着した実施例を示してい
る。
この場合、チャック（10）の中心のほかその周縁部に
も光を出射できるように構成している。
も光を出射できるように構成している。
また、光ファイバーの形状、ファイバー収納ボックス
（３）の内部構造などは一例にすぎず、他の種々の形
状、構造に置き換えて実施例しても良い。
（３）の内部構造などは一例にすぎず、他の種々の形
状、構造に置き換えて実施例しても良い。
また、第９図に示すように、XYスライド機構を、ファ
イバー収納ボックス内に取付けて、XYステージとファイ
バー収納ボックスが連動するようにしても良い。この場
合、駆動手段としては、XYステージ（検査部）の動きに
引張られて、XYスライド機構が自由自在に動くものとし
ても良い。或いは、XYステージ（検査部）の動きと追従
して、XYスライド機構をモータ駆動させるものとしても
良い。
イバー収納ボックス内に取付けて、XYステージとファイ
バー収納ボックスが連動するようにしても良い。この場
合、駆動手段としては、XYステージ（検査部）の動きに
引張られて、XYスライド機構が自由自在に動くものとし
ても良い。或いは、XYステージ（検査部）の動きと追従
して、XYスライド機構をモータ駆動させるものとしても
良い。
本発明によれば、検査部内に光源を配置せずに、検査
部内の環境温度の乱れを防止して、しかも、外光の照射
時のような悪環境の下で被検査体の電気特性検査を実行
できるものである。
部内の環境温度の乱れを防止して、しかも、外光の照射
時のような悪環境の下で被検査体の電気特性検査を実行
できるものである。
第１図（Ａ）は、本発明方法の一実施例を説明するため
に用いたプローブ装置の平面図、 第１図（Ｂ）は、第１図（Ａ）のプローブ装置の側面
図、 第２図（Ａ）は、第１図プローブ装置の光ファイバーケ
ーブルを具備したチャックの平面図、 第２図（Ｂ）は、第２図（Ａ）のチャックの側面図、 第３図は、第１図プローブ装置の出射ファイバープロー
ブの概略説明図、 第４図は、第１図プローブ装置の入射ファイバープロー
ブの概略説明図、 第５図は、第１図プローブ装置のファイバー収納ボック
スの組み立て状態を示す斜視図、 第６図は、第１図プローブ装置による検査方法の工程の
流れを示す説明図、 第７図は、第１図プローブ装置のチャック移動および光
ファイバーの引き回し状態を示す平面図、 第８図（Ａ）は、第１図プローブ装置の他の実施例を説
明するための複数本の光ファイバーケーブルを具備した
チャックの平面図、 第８図（Ｂ）は、第８図（Ａ）のチャックの側面図、 第９図は、第１図プローブ装置のファイバー収納ボック
スにXYスライド機構を取付けたものを示す説明図であ
る。 ２……検査部 ３……ファイバー収納ボックス ４……光源部、10……チャック 20,30……光ファイバープローブ
に用いたプローブ装置の平面図、 第１図（Ｂ）は、第１図（Ａ）のプローブ装置の側面
図、 第２図（Ａ）は、第１図プローブ装置の光ファイバーケ
ーブルを具備したチャックの平面図、 第２図（Ｂ）は、第２図（Ａ）のチャックの側面図、 第３図は、第１図プローブ装置の出射ファイバープロー
ブの概略説明図、 第４図は、第１図プローブ装置の入射ファイバープロー
ブの概略説明図、 第５図は、第１図プローブ装置のファイバー収納ボック
スの組み立て状態を示す斜視図、 第６図は、第１図プローブ装置による検査方法の工程の
流れを示す説明図、 第７図は、第１図プローブ装置のチャック移動および光
ファイバーの引き回し状態を示す平面図、 第８図（Ａ）は、第１図プローブ装置の他の実施例を説
明するための複数本の光ファイバーケーブルを具備した
チャックの平面図、 第８図（Ｂ）は、第８図（Ａ）のチャックの側面図、 第９図は、第１図プローブ装置のファイバー収納ボック
スにXYスライド機構を取付けたものを示す説明図であ
る。 ２……検査部 ３……ファイバー収納ボックス ４……光源部、10……チャック 20,30……光ファイバープローブ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０９Ｇ 3/36
Claims (5)
- 【請求項１】液晶表示装置をプローブ装置にて点灯検査
する方法であって、 複数枚の前記液晶表示装置を収容した収容部より前記液
晶表示装置を取り出す工程と、 取り出された前記液晶表示装置を検査部に受け渡す工程
と、 検査部に設けられた載置台上に前記液晶表示装置を載置
する工程と、 前記載置台上の液晶表示装置の電極にコンタクトして信
号を供給する工程と、 前記信号の供給中に、前記載置台に設けられた光出射部
より前記液晶表示装置の裏面に向けて光を照射して、前
記液晶表示装置上に画像を表示させる工程と、 を有することを特徴とする液晶表示装置の点灯検査方
法。 - 【請求項２】前記載置台に設けられた複数の光出射部よ
り前記液晶表示装置の裏面に向けて光を照射する請求項
１記載の液晶表示装置の点灯検査方法。 - 【請求項３】前記検査部外に設けられた光源からの光を
入射し、かつ、光出射端が前記載置台に支持された光供
給手段を用いて、前記液晶表示装置に光を照射する請求
項１又は２記載の液晶表示装置の点灯検査方法。 - 【請求項４】検査部と光源との間にて、光供給手段の中
間部を撓んだ状態で収納配置し、該光供給手段の撓みに
よって、載置台の移動に伴い光供給手段が追従移動する
ものである請求項３記載の液晶表示装置の点灯検査方
法。 - 【請求項５】前記光源からの光を遮断する開閉可能なシ
ャッターが設けられ、前記シャッターを開放すること
で、前記光源からの光を前記光供給手段に入射させる請
求項３又は４記載の液晶表示装置の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63214600A JPH0817193B2 (ja) | 1987-09-02 | 1988-08-29 | 液晶表示装置の点灯検査方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-219639 | 1987-09-02 | ||
| JP21963987 | 1987-09-02 | ||
| JP63214600A JPH0817193B2 (ja) | 1987-09-02 | 1988-08-29 | 液晶表示装置の点灯検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01158489A JPH01158489A (ja) | 1989-06-21 |
| JPH0817193B2 true JPH0817193B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=26520411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63214600A Expired - Fee Related JPH0817193B2 (ja) | 1987-09-02 | 1988-08-29 | 液晶表示装置の点灯検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0817193B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002173165A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Shiseido Co Ltd | 液体噴出ポンプ |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58155734A (ja) * | 1982-03-10 | 1983-09-16 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハプロ−ビング装置 |
| JPS59129187U (ja) * | 1983-02-21 | 1984-08-30 | スタンレー電気株式会社 | 電極端子面接続装置 |
| JPS6231136A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光半導体素子の評価装置 |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP63214600A patent/JPH0817193B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01158489A (ja) | 1989-06-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR960006869B1 (ko) | 프로우브 장치에 의한 전기특성 검사방법 | |
| KR960702099A (ko) | 육안 검사 지원장치 및 기판 검사장치와 이것들을 이용한 납땜 검사방법 및 수정방법(Visual inspection support apparatus, substrate inspection apparatus, and soldering inspection and correction methods using the same apparatus) | |
| JP2003270155A (ja) | 基板保持装置及び検査装置 | |
| CN103728325A (zh) | X射线分析装置 | |
| JPH11186360A (ja) | 基板搬送教示用の治具、基板搬送装置、及び搬送教示システム | |
| CN218002694U (zh) | 电子设备的光感校准测试装置 | |
| JPH0817193B2 (ja) | 液晶表示装置の点灯検査方法 | |
| KR100820049B1 (ko) | 액정표시패널 검사 장비의 검사 스테이지 | |
| JPH05326675A (ja) | プローブ装置 | |
| JPH10300676A (ja) | 微細欠陥検査装置 | |
| CN210626608U (zh) | 一种烧录测试治具 | |
| CN116539865A (zh) | 一种酶联免疫分析仪与酶联免疫分析系统 | |
| JP3501671B2 (ja) | 表示装置の欠陥絵素座標特定装置 | |
| KR101824635B1 (ko) | Tab저항검사시스템 | |
| JPH08184529A (ja) | 光半導体の発光検査装置 | |
| JPH01203945A (ja) | 検査装置 | |
| KR100394506B1 (ko) | 엘시디 핸들러의 편광필름 장착장치 | |
| CN114063327A (zh) | 显示屏测试装置和显示屏测试方法 | |
| JPH055592Y2 (ja) | ||
| KR102861051B1 (ko) | 소자검사시스템 | |
| CN222353464U (zh) | 漏光检测设备 | |
| JPH06331945A (ja) | 薄型表示機器の検査装置及び欠陥修正装置 | |
| JPH022947A (ja) | 検査・リペア装置 | |
| JP3044193B2 (ja) | 表示パネル検査装置 | |
| JP3519297B2 (ja) | 表示装置の欠陥修正装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |