JPH08172243A - 光伝送装置及びその変調方式 - Google Patents
光伝送装置及びその変調方式Info
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- JPH08172243A JPH08172243A JP6334063A JP33406394A JPH08172243A JP H08172243 A JPH08172243 A JP H08172243A JP 6334063 A JP6334063 A JP 6334063A JP 33406394 A JP33406394 A JP 33406394A JP H08172243 A JPH08172243 A JP H08172243A
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- semiconductor laser
- polarization
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Abstract
(57)【要約】
【目的】微小な電流で、2つの偏波の間で安定に変調で
きる光伝送装置及びその変調方式である。 【構成】半導体レーザは、或る波長を中心として、その
両側に複数の高反射ピークが周期的に存在する反射スペ
クトル特性を有する反射器を備える。反射器の高反射ピ
ークの波長に、TE偏波とTM偏波で任意の波長差を持
たせている。更に、TE偏波に対する半導体レーザの利
得とTM偏波に対する半導体レーザの利得がほぼ等し
い。
きる光伝送装置及びその変調方式である。 【構成】半導体レーザは、或る波長を中心として、その
両側に複数の高反射ピークが周期的に存在する反射スペ
クトル特性を有する反射器を備える。反射器の高反射ピ
ークの波長に、TE偏波とTM偏波で任意の波長差を持
たせている。更に、TE偏波に対する半導体レーザの利
得とTM偏波に対する半導体レーザの利得がほぼ等し
い。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ローカルエリアネッ
トワーク(LAN)システムなどの光通信システム等に
用いられる半導体レーザ、光伝送装置及びその変調方式
に関するものである。
トワーク(LAN)システムなどの光通信システム等に
用いられる半導体レーザ、光伝送装置及びその変調方式
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図10に従来例を示す(特開昭62−4
2593号)。 n−InP基板111に、n−InG
aAsPガイド層119、InGaAsP活性層12
0、p−InPクラッド層121、p−InGaAsP
コンタクト層122が形成されたストライプ状のメサ構
造を有し、これをp−InP112、n−InP11
3、n−InGaAsP114で埋め込んでいる。ガイ
ド層119に沿って形成されるコラゲーションの深さD
は50〜150nm、ピッチは400nmである。ま
た、共振器長LLは400μmである。そして、端面に
は反射を無くすためにAl2O3のコーティング118が
施してある。また、115はSiO2の絶縁層、11
6、117は夫々p及びn電極である。
2593号)。 n−InP基板111に、n−InG
aAsPガイド層119、InGaAsP活性層12
0、p−InPクラッド層121、p−InGaAsP
コンタクト層122が形成されたストライプ状のメサ構
造を有し、これをp−InP112、n−InP11
3、n−InGaAsP114で埋め込んでいる。ガイ
ド層119に沿って形成されるコラゲーションの深さD
は50〜150nm、ピッチは400nmである。ま
た、共振器長LLは400μmである。そして、端面に
は反射を無くすためにAl2O3のコーティング118が
施してある。また、115はSiO2の絶縁層、11
6、117は夫々p及びn電極である。
【0003】これらのDFBレーザでは、利得の大きさ
がTE、TM双方で同程度となるようにすることによ
り、TEモード、TMモードのどちらでも発振すること
が可能であり、注入電流を変えると発振モードがTEモ
ード、TMモード間で変化する。この様なレーザを用
い、バイアス電流をTEモードからTMモードに移る直
前に設定することにより、わずかな変調電流でTEモー
ド、TMモード間の変調が可能となる。この変調された
光を、TE波或はTM波のみを選択するような検光子を
通して外部へ取り出すようにすることにより、高速かつ
消光比の高い変調が可能となる。
がTE、TM双方で同程度となるようにすることによ
り、TEモード、TMモードのどちらでも発振すること
が可能であり、注入電流を変えると発振モードがTEモ
ード、TMモード間で変化する。この様なレーザを用
い、バイアス電流をTEモードからTMモードに移る直
前に設定することにより、わずかな変調電流でTEモー
ド、TMモード間の変調が可能となる。この変調された
光を、TE波或はTM波のみを選択するような検光子を
通して外部へ取り出すようにすることにより、高速かつ
消光比の高い変調が可能となる。
【0004】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、従
来例で用いられているような通常のDFBレーザでは、
ブラッグ波長を挟んだ両側のモードでしきい値が殆ど等
しい為、端面の残留反射、端面での回折格子の位相など
の不安定要因により、その振舞が不安定で複雑なものと
なり、変調を行なう場合のバイアス点を探すのが難しか
った。また、TE/TM変調可能な素子の歩留りが悪か
った。また、波長可変光源として用いる場合、モードの
跳びが複雑になるため、波長制御が難しいなどの問題点
があった。
来例で用いられているような通常のDFBレーザでは、
ブラッグ波長を挟んだ両側のモードでしきい値が殆ど等
しい為、端面の残留反射、端面での回折格子の位相など
の不安定要因により、その振舞が不安定で複雑なものと
なり、変調を行なう場合のバイアス点を探すのが難しか
った。また、TE/TM変調可能な素子の歩留りが悪か
った。また、波長可変光源として用いる場合、モードの
跳びが複雑になるため、波長制御が難しいなどの問題点
があった。
【0005】よって、本発明の目的は、これらの問題を
解決した半導体レーザ、光伝送装置、これらの変調方式
及びこれらを用いた光通信方式を提供することにある。
解決した半導体レーザ、光伝送装置、これらの変調方式
及びこれらを用いた光通信方式を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による光伝送装置
ないし半導体レーザは、或る波長を中心として、その両
側に複数の高反射ピークが周期的に存在する反射スペク
トル特性を有する反射器を備えた半導体レーザにおい
て、該反射器の高反射ピークの波長に、TE偏波とTM
偏波で任意の波長差を持たせたことを特徴とする。更
に、TE偏波に対する該半導体レーザの利得とTM偏波
に対する該半導体レーザの利得がほぼ等しいことを特徴
とする。
ないし半導体レーザは、或る波長を中心として、その両
側に複数の高反射ピークが周期的に存在する反射スペク
トル特性を有する反射器を備えた半導体レーザにおい
て、該反射器の高反射ピークの波長に、TE偏波とTM
偏波で任意の波長差を持たせたことを特徴とする。更
に、TE偏波に対する該半導体レーザの利得とTM偏波
に対する該半導体レーザの利得がほぼ等しいことを特徴
とする。
【0007】より具体的には、前記反射器は、回折格子
が存在する領域と存在しない領域が或る周期で繰り返さ
れるサンプルド・グレーティングで構成される。また、
該半導体レーザのTE偏波に対する反射スペクトルの中
心波長とTM偏波に対する反射スペクトルの中心波長の
波長差が、片方の偏波に対する隣接する高反射ピークの
波長差の約1/2である。また、該半導体レーザの2つ
の偏波に対する有効屈折率の差が、該半導体レーザのT
E偏波に対する反射スペクトルの中心波長とTM偏波に
対する反射スペクトルの中心波長の波長差が、片方の偏
波に対する隣接する高反射ピークの波長差の約1/2と
なる様に設定されている。また、該半導体レーザの活性
層がバルクで構成されている。また、該半導体レーザの
電気的に分離された複数の領域の内、少なくとも1つの
領域が活性層を有さず、位相のみを制御する位相制御領
域である。また、該半導体レーザの活性層が面内の引っ
張り歪を持つ歪量子井戸で構成される。
が存在する領域と存在しない領域が或る周期で繰り返さ
れるサンプルド・グレーティングで構成される。また、
該半導体レーザのTE偏波に対する反射スペクトルの中
心波長とTM偏波に対する反射スペクトルの中心波長の
波長差が、片方の偏波に対する隣接する高反射ピークの
波長差の約1/2である。また、該半導体レーザの2つ
の偏波に対する有効屈折率の差が、該半導体レーザのT
E偏波に対する反射スペクトルの中心波長とTM偏波に
対する反射スペクトルの中心波長の波長差が、片方の偏
波に対する隣接する高反射ピークの波長差の約1/2と
なる様に設定されている。また、該半導体レーザの活性
層がバルクで構成されている。また、該半導体レーザの
電気的に分離された複数の領域の内、少なくとも1つの
領域が活性層を有さず、位相のみを制御する位相制御領
域である。また、該半導体レーザの活性層が面内の引っ
張り歪を持つ歪量子井戸で構成される。
【0008】更に、本発明の変調方式は、上記の半導体
レーザが、電気的に複数の領域に分離されており、該複
数の領域への注入電流を制御することにより、出力光の
偏波の方向をTE偏波とTM偏波の間で変調し、該出力
光の2偏波のうち1偏波のみを選択して取り出すことに
より、AM変調された信号を送り出すことを特徴とす
る。
レーザが、電気的に複数の領域に分離されており、該複
数の領域への注入電流を制御することにより、出力光の
偏波の方向をTE偏波とTM偏波の間で変調し、該出力
光の2偏波のうち1偏波のみを選択して取り出すことに
より、AM変調された信号を送り出すことを特徴とす
る。
【0009】また、本発明の光通信方式は、上記の変調
方式において、該2つの偏波のうち送出する偏波の波長
を可変にし、該2つの偏波間でスイッチングを行なうよ
う注入電流を変調し、受信側で波長フィルタを用いて任
意の波長の信号を検出することを特徴とする。また、本
発明の波長多重光通信方式は、この光通信方式におい
て、該光伝送装置と該波長フィルタを複数用いて通信を
行なうことを特徴とする。
方式において、該2つの偏波のうち送出する偏波の波長
を可変にし、該2つの偏波間でスイッチングを行なうよ
う注入電流を変調し、受信側で波長フィルタを用いて任
意の波長の信号を検出することを特徴とする。また、本
発明の波長多重光通信方式は、この光通信方式におい
て、該光伝送装置と該波長フィルタを複数用いて通信を
行なうことを特徴とする。
【0010】
【実施例1】本実施例の構成を図1に、本実施例に用い
るレーザの特性を図2に示す。近年、波長可変レーザの
波長可変幅を拡大する為、複数の高反射ピークを有し、
回折格子の構成によりその高反射ピーク波長の間隔を任
意に設計できる反射器を備えた半導体レーザが提案され
ている。例えば、サンプルド・グレーティング(V.J
ayaraman Appl.Phys.Lett.,
60(19),1992(p.2321))、超周期構
造回折格子(狩野他、信学技法、OQE92ー131、
1992(p.39))などにより構成された反射器を
有するDFBあるいはDBRレーザである。
るレーザの特性を図2に示す。近年、波長可変レーザの
波長可変幅を拡大する為、複数の高反射ピークを有し、
回折格子の構成によりその高反射ピーク波長の間隔を任
意に設計できる反射器を備えた半導体レーザが提案され
ている。例えば、サンプルド・グレーティング(V.J
ayaraman Appl.Phys.Lett.,
60(19),1992(p.2321))、超周期構
造回折格子(狩野他、信学技法、OQE92ー131、
1992(p.39))などにより構成された反射器を
有するDFBあるいはDBRレーザである。
【0011】本実施例に用いられるレーザは、反射器が
サンプルド・グレーティングで構成される2電極DFB
レーザである。サンプルド・グレーティングの構成を図
5(a)に示す。サンプルド・グレーティングでは、図
5(a)のように回折格子が存在する部分と存在しない
部分が或る周期(サンプリング周期長Z0)で繰り返さ
れる。反射器の特性を図5(b)に示す。サンプルド・
グレーティングにより構成される反射器の高反射ピーク
の波長間隔Δλは、サンプリング周期長Z0によって次
の様に決まる。 Δλ=λ2/2μgZ0 (1) ここで、μgはモード群屈折率(mode group
index)である。この様に、サンプリング周期長
Z0を選ぶことにより、任意の高反射ピークの波長間隔
を有する反射器を作製することが可能となる。
サンプルド・グレーティングで構成される2電極DFB
レーザである。サンプルド・グレーティングの構成を図
5(a)に示す。サンプルド・グレーティングでは、図
5(a)のように回折格子が存在する部分と存在しない
部分が或る周期(サンプリング周期長Z0)で繰り返さ
れる。反射器の特性を図5(b)に示す。サンプルド・
グレーティングにより構成される反射器の高反射ピーク
の波長間隔Δλは、サンプリング周期長Z0によって次
の様に決まる。 Δλ=λ2/2μgZ0 (1) ここで、μgはモード群屈折率(mode group
index)である。この様に、サンプリング周期長
Z0を選ぶことにより、任意の高反射ピークの波長間隔
を有する反射器を作製することが可能となる。
【0012】この半導体レーザは、サンプルド・グレー
ティングで構成される電気的に分離された2つの領域の
夫々の反射器の反射ピーク波長の間隔を僅かにずらし、
夫々に適当に電流を注入して導波路の屈折率を変化させ
ることにより1つの縦モードを選択する。2つの領域の
反射ピーク波長の間隔が僅かに異なる為、バーニア効果
により僅かな電流変化で次々と別の縦モードを選択する
ことができ、大きな波長変化が得られる。図5(c)に
サンプルド・グレーティングを用いた波長可変レーザの
電流−波長特性を示す。1つの縦モードを選択した後、
注入電流を制御することで発振波長を微調することがで
きる。
ティングで構成される電気的に分離された2つの領域の
夫々の反射器の反射ピーク波長の間隔を僅かにずらし、
夫々に適当に電流を注入して導波路の屈折率を変化させ
ることにより1つの縦モードを選択する。2つの領域の
反射ピーク波長の間隔が僅かに異なる為、バーニア効果
により僅かな電流変化で次々と別の縦モードを選択する
ことができ、大きな波長変化が得られる。図5(c)に
サンプルド・グレーティングを用いた波長可変レーザの
電流−波長特性を示す。1つの縦モードを選択した後、
注入電流を制御することで発振波長を微調することがで
きる。
【0013】通常、TEモードのみの発振が望まれる
為、活性層の利得、端面のコーティング、回折格子の結
合係数(深さなどによる)、ブラッグ波長などがTEモ
ードに最適になる様に設計されるので、主としてTEモ
ードで発振する。
為、活性層の利得、端面のコーティング、回折格子の結
合係数(深さなどによる)、ブラッグ波長などがTEモ
ードに最適になる様に設計されるので、主としてTEモ
ードで発振する。
【0014】本発明の実施例1の素子の構成を示す図1
に戻って説明する。まず、素子の作製方法について記述
する。n−InP基板30に、サンプルド・グレーティ
ングの回折格子21を作製し、その上にn−InGaA
sPガイド層31、InGaAsP活性層32、p−I
nGaAsPバッファ層13、p−InPクラッド層1
4、p−InGaAsPコンタクト層17を順次積層す
る。幅2μmのメサ・ストライプを残して、基板30の
上までエッチングし、その周囲をn−InP層15、p
−InP層16で埋め込む。これらの上にSiO2絶縁
層18、p型電極19を設け、裏面にn型電極20を設
ける。p型電極19は、2つの領域で独立に電流の制御
が出来る様に共振器中央で分離する。共振器長は600
μm、端面はARコーティングを施し、反射率は1%以
下とした。InP基板30上に作製したサンプルド・グ
レーティングは、ピッチが0.235μm、領域1にお
いて、Z1が5μm、Z0が50μm、領域2において、
Z1が5μm、Z0が45μmとした。
に戻って説明する。まず、素子の作製方法について記述
する。n−InP基板30に、サンプルド・グレーティ
ングの回折格子21を作製し、その上にn−InGaA
sPガイド層31、InGaAsP活性層32、p−I
nGaAsPバッファ層13、p−InPクラッド層1
4、p−InGaAsPコンタクト層17を順次積層す
る。幅2μmのメサ・ストライプを残して、基板30の
上までエッチングし、その周囲をn−InP層15、p
−InP層16で埋め込む。これらの上にSiO2絶縁
層18、p型電極19を設け、裏面にn型電極20を設
ける。p型電極19は、2つの領域で独立に電流の制御
が出来る様に共振器中央で分離する。共振器長は600
μm、端面はARコーティングを施し、反射率は1%以
下とした。InP基板30上に作製したサンプルド・グ
レーティングは、ピッチが0.235μm、領域1にお
いて、Z1が5μm、Z0が50μm、領域2において、
Z1が5μm、Z0が45μmとした。
【0015】次に、素子の動作を説明する。図2に本実
施例の共振器の反射特性を示す。TE偏波とTM偏波で
は有効屈折率が異なる為、高反射ピークとなる波長が異
なる。本実施例では、TE偏波に対する反射スペクトル
の中心波長λTE0とTM偏波に対する反射スペクトルの
中心波長λTM0の波長差が、片方の偏波に対する隣接す
る高反射ピークの波長差Δλ の約1/2となる様に、有
効屈折率の設計を行った。(1)式及びλTE0−λTM0=
Δλ /2より、 nTE−nTM=λ2 TE0/(8μgZ0Λ)〜7.7×10-3 となる。ここで、nTE、nTMは夫々TE偏波、TM偏波
に対する有効屈折率、μgはTE偏波に対する反射スペ
クトルの中心波長での、TE偏波に対するモード群屈折
率である。本実施例では、TE偏波とTM偏波の有効屈
折率の差が約7.7×10-3 となるように層構成を設
計することにより、TE偏波の高反射ピーク間隔のほぼ
中心に、TM偏波の高反射ピークが位置する様に作製出
来る。
施例の共振器の反射特性を示す。TE偏波とTM偏波で
は有効屈折率が異なる為、高反射ピークとなる波長が異
なる。本実施例では、TE偏波に対する反射スペクトル
の中心波長λTE0とTM偏波に対する反射スペクトルの
中心波長λTM0の波長差が、片方の偏波に対する隣接す
る高反射ピークの波長差Δλ の約1/2となる様に、有
効屈折率の設計を行った。(1)式及びλTE0−λTM0=
Δλ /2より、 nTE−nTM=λ2 TE0/(8μgZ0Λ)〜7.7×10-3 となる。ここで、nTE、nTMは夫々TE偏波、TM偏波
に対する有効屈折率、μgはTE偏波に対する反射スペ
クトルの中心波長での、TE偏波に対するモード群屈折
率である。本実施例では、TE偏波とTM偏波の有効屈
折率の差が約7.7×10-3 となるように層構成を設
計することにより、TE偏波の高反射ピーク間隔のほぼ
中心に、TM偏波の高反射ピークが位置する様に作製出
来る。
【0016】本実施例のレーザでは、2つの領域で高反
射ピークの波長間隔が僅かに異なる為、僅かな電流変化
で次々と別の縦モードを選択することが出来る。しか
も、TE偏波の縦モードの間にTM偏波の縦モードが存
在する為、TE偏波、TM偏波と順次発振することが出
来る。従って、各電極への注入電流を制御することによ
り、図3に示すような電流と発振波長の関係が得られ
る。本実施例では、特に、TE偏波の高反射ピーク間隔
のほぼ中心に、TM偏波の高反射ピークが位置する様に
した為、隣接するTEの2つの縦モードの競合による不
安定さや雑音を抑えることが出来る。
射ピークの波長間隔が僅かに異なる為、僅かな電流変化
で次々と別の縦モードを選択することが出来る。しか
も、TE偏波の縦モードの間にTM偏波の縦モードが存
在する為、TE偏波、TM偏波と順次発振することが出
来る。従って、各電極への注入電流を制御することによ
り、図3に示すような電流と発振波長の関係が得られ
る。本実施例では、特に、TE偏波の高反射ピーク間隔
のほぼ中心に、TM偏波の高反射ピークが位置する様に
した為、隣接するTEの2つの縦モードの競合による不
安定さや雑音を抑えることが出来る。
【0017】図3に、レーザの変調方法を示す。半導体
レーザの片側の電極にバイアス電流10を注入し、変調
電流ΔI=(11ー10)を重畳することにより、出力光
はTE偏波とTM偏波の間で変調される。この出力光を
偏光子を用いてTE偏波のみ或はTM偏波のみを透過さ
せることにより、パワーが1、0の信号として取り出す
ことが出来る。
レーザの片側の電極にバイアス電流10を注入し、変調
電流ΔI=(11ー10)を重畳することにより、出力光
はTE偏波とTM偏波の間で変調される。この出力光を
偏光子を用いてTE偏波のみ或はTM偏波のみを透過さ
せることにより、パワーが1、0の信号として取り出す
ことが出来る。
【0018】図4に、本実施例の半導体レーザとその変
調方式を用いた光通信システムの構成図を示す。図3の
ような特性を持つ半導体レーザ1に図3の方法で注入電
流を変調し、TE偏波とTM偏波の間で変調する。この
光7を、偏光子2を用いてTE偏波のみ或はTM偏波の
みを透過させることにより、パワーが1、0の信号6と
する。偏光子2を透過した光6を、レンズ3を用いてフ
ァイバ4に結合させ、伝送した後、フォトダイオード5
で信号を検出する。
調方式を用いた光通信システムの構成図を示す。図3の
ような特性を持つ半導体レーザ1に図3の方法で注入電
流を変調し、TE偏波とTM偏波の間で変調する。この
光7を、偏光子2を用いてTE偏波のみ或はTM偏波の
みを透過させることにより、パワーが1、0の信号6と
する。偏光子2を透過した光6を、レンズ3を用いてフ
ァイバ4に結合させ、伝送した後、フォトダイオード5
で信号を検出する。
【0019】本実施例では、微小な変調電流で消光比の
大きい変調が得られる。従って、キャリア密度の変動が
少なくチャーピングが抑制され、スペクトルの広がりを
小さくすることができ、高速の変調を行なうことが可能
となる。また、通常のDFBレーザと比較して、反射特
性が端面の位相などの影響を受けにくいので、TE/T
M変調を行なう場合に安定に変調が行える。
大きい変調が得られる。従って、キャリア密度の変動が
少なくチャーピングが抑制され、スペクトルの広がりを
小さくすることができ、高速の変調を行なうことが可能
となる。また、通常のDFBレーザと比較して、反射特
性が端面の位相などの影響を受けにくいので、TE/T
M変調を行なう場合に安定に変調が行える。
【0020】
【実施例2】図6に実施例2の素子を示す。本実施例の
素子は、3つの領域から構成される。中央の領域は位相
制御領域24であり、両端の領域は活性領域25であ
る。位相制御領域24は活性層32を有さない。従っ
て、位相と利得を独立に制御することが可能である。
素子は、3つの領域から構成される。中央の領域は位相
制御領域24であり、両端の領域は活性領域25であ
る。位相制御領域24は活性層32を有さない。従っ
て、位相と利得を独立に制御することが可能である。
【0021】まず、素子の作製方法について記述する。
n−InP基板30の活性領域25にサンプルド・グレ
ーティングの回折格子21を作製し、その上にn−In
GaAsPガイド層31、InGaAsP活性層32、
p−InGaAsPバッファ層13、p−InPクラッ
ド層14、p−InGaAsPコンタクト層17を順次
積層する。その後、位相制御領域24の活性層32まで
の層をエッチングし、そのうえにp−InP14層を積
層する。幅2μmのメサ・ストライプを残して、基板3
0の上までエッチングし、その周囲をn−InP層、p
−InP層で埋め込む。各領域24、25は独立に電流
制御できるように、電気的に分離する。これらの上にp
型電極19を設け、裏面にn型電極20を設ける。2つ
の活性領域25は各々300μm、位相制御領域24は
200μmとした。端面はARコーティングを施し、反
射率は1%以下とした。InP基板30上に作製したサ
ンプルド・グレーティング21は、実施例1と同様に、
活性領域25において、Z1が5μm、Z0が50μm、
位相制御領域24において、Z1が5μm、Z0が45μ
mとした。
n−InP基板30の活性領域25にサンプルド・グレ
ーティングの回折格子21を作製し、その上にn−In
GaAsPガイド層31、InGaAsP活性層32、
p−InGaAsPバッファ層13、p−InPクラッ
ド層14、p−InGaAsPコンタクト層17を順次
積層する。その後、位相制御領域24の活性層32まで
の層をエッチングし、そのうえにp−InP14層を積
層する。幅2μmのメサ・ストライプを残して、基板3
0の上までエッチングし、その周囲をn−InP層、p
−InP層で埋め込む。各領域24、25は独立に電流
制御できるように、電気的に分離する。これらの上にp
型電極19を設け、裏面にn型電極20を設ける。2つ
の活性領域25は各々300μm、位相制御領域24は
200μmとした。端面はARコーティングを施し、反
射率は1%以下とした。InP基板30上に作製したサ
ンプルド・グレーティング21は、実施例1と同様に、
活性領域25において、Z1が5μm、Z0が50μm、
位相制御領域24において、Z1が5μm、Z0が45μ
mとした。
【0022】次に、素子の動作を説明する。TE偏波と
TM偏波では有効屈折率が異なる為、高反射ピークとな
る波長が異なる。実施例1と同様に、隣接する2つのT
E偏波の高反射ピーク間隔のほぼ中心付近に、TM偏波
の高反射ピークが位置する様に有効屈折率の設計を行っ
た。本実施例のレーザでは、実施例1と同様に、2つの
領域で高反射ピークの波長間隔が僅かに異なる為、僅か
な電流変化で次々と別の縦モードを選択することが出来
る。しかも、TE偏波の縦モードの間にTM偏波の縦モ
ードが存在する為、TE偏波、TM偏波と順次発振する
ことが出来る。従って、各電極19への注入電流を制御
することにより、図3に示すような電流と波長の関係が
得られる。更に、本実施例で素子中央に位相制御領域2
4を設け、電流を注入して有効屈折率を変えることによ
り、位相と利得を独立に制御することができる。従っ
て、回折格子21の端面の位相や端面の反射率の影響な
どを更に低減でき、実施例1の場合よりも、効率よく、
安定した発振を得ることが出来る。
TM偏波では有効屈折率が異なる為、高反射ピークとな
る波長が異なる。実施例1と同様に、隣接する2つのT
E偏波の高反射ピーク間隔のほぼ中心付近に、TM偏波
の高反射ピークが位置する様に有効屈折率の設計を行っ
た。本実施例のレーザでは、実施例1と同様に、2つの
領域で高反射ピークの波長間隔が僅かに異なる為、僅か
な電流変化で次々と別の縦モードを選択することが出来
る。しかも、TE偏波の縦モードの間にTM偏波の縦モ
ードが存在する為、TE偏波、TM偏波と順次発振する
ことが出来る。従って、各電極19への注入電流を制御
することにより、図3に示すような電流と波長の関係が
得られる。更に、本実施例で素子中央に位相制御領域2
4を設け、電流を注入して有効屈折率を変えることによ
り、位相と利得を独立に制御することができる。従っ
て、回折格子21の端面の位相や端面の反射率の影響な
どを更に低減でき、実施例1の場合よりも、効率よく、
安定した発振を得ることが出来る。
【0023】次に、本実施例のレーザを用いた変調方法
を示す。実施例1と同様に、半導体レーザの両側の活性
領域の電極にバイアス電流I0を注入し、変調電流ΔI
=(I1−I0)を重畳する事により、出力光はTE偏波
とTM偏波で変調される。この出力光を偏光子2を用い
てTE偏波のみあるいはTM偏波のみを透過させること
により、パワーが1、0の信号として取り出すことがで
きる。この変調方式を用いて、実施例1と同様な光通信
システムを構成することができる。
を示す。実施例1と同様に、半導体レーザの両側の活性
領域の電極にバイアス電流I0を注入し、変調電流ΔI
=(I1−I0)を重畳する事により、出力光はTE偏波
とTM偏波で変調される。この出力光を偏光子2を用い
てTE偏波のみあるいはTM偏波のみを透過させること
により、パワーが1、0の信号として取り出すことがで
きる。この変調方式を用いて、実施例1と同様な光通信
システムを構成することができる。
【0024】本実施例でも、微小な電流で消光比のよい
変調を行なえる。従って、キャリア密度の変動が少な
く、チャーピングが抑制され、スペクトルの広がりを小
さくすることができ、高速の変調を行なうことが可能と
なる。また、位相制御領域24への電流注入により利得
とは独立に位相の調整を行うことが出来るので、実施例
1よりもさらにTE/TM変調を安定に行なえる。
変調を行なえる。従って、キャリア密度の変動が少な
く、チャーピングが抑制され、スペクトルの広がりを小
さくすることができ、高速の変調を行なうことが可能と
なる。また、位相制御領域24への電流注入により利得
とは独立に位相の調整を行うことが出来るので、実施例
1よりもさらにTE/TM変調を安定に行なえる。
【0025】
【実施例3】図7に実施例3の素子を示す。本実施例の
素子は、実施例2と同様、3つの領域から構成される。
中央の領域は位相制御領域24であり、両端の領域は活
性領域25である。位相制御領域24は活性層32’を
有さない。従って、位相と利得を独立に制御することが
できる。さらに、本実施例では、活性層32’に歪量子
井戸を導入することにより、素子の高性能化をはかっ
た。
素子は、実施例2と同様、3つの領域から構成される。
中央の領域は位相制御領域24であり、両端の領域は活
性領域25である。位相制御領域24は活性層32’を
有さない。従って、位相と利得を独立に制御することが
できる。さらに、本実施例では、活性層32’に歪量子
井戸を導入することにより、素子の高性能化をはかっ
た。
【0026】まず、素子の作製方法について記述する。
n−InP基板30にサンプルド・グレーティングの回
折格子21を作製し、その上にn−InGaAsPガイ
ド層31、歪量子井戸活性層32’、p−InGaAs
Pバッファ層13、p−InPクラッド層14、p−I
nGaAsPコンタクト層17を順次積層する。本実施
例の場合の活性層32’は、井戸層として、i−In
0.53Ga0.47As22を5nm、バリア層としてi−I
n0.28Ga0.72As23を5nm、これらを10層積層
したもので構成する。その後、位相シフト制御領域24
の活性層32’までの層をエッチングし、そのうえにp
−InP層14を積層する。幅2μmのメサ・ストライ
プを残して、基板30の上までエッチングし、その周囲
をn−InP層、p−InP層で埋め込む。各領域は独
立に電流制御できるように、電気的に分離する。これら
の上にp型電極19を設け、裏面にn型電極20を設け
る。活性領域25は各々300μm、位相制御領域は2
00μmとした。端面はARコーティングを施し、反射
率は1%以下とした。InP基板30上に作製したサン
プルド・グレーティング21は、実施例1と同様に、活
性領域25において、Z1が5μm、Z0が50μm、位
相制御領域24において、Z1が5μm、Z0が45μm
とした。
n−InP基板30にサンプルド・グレーティングの回
折格子21を作製し、その上にn−InGaAsPガイ
ド層31、歪量子井戸活性層32’、p−InGaAs
Pバッファ層13、p−InPクラッド層14、p−I
nGaAsPコンタクト層17を順次積層する。本実施
例の場合の活性層32’は、井戸層として、i−In
0.53Ga0.47As22を5nm、バリア層としてi−I
n0.28Ga0.72As23を5nm、これらを10層積層
したもので構成する。その後、位相シフト制御領域24
の活性層32’までの層をエッチングし、そのうえにp
−InP層14を積層する。幅2μmのメサ・ストライ
プを残して、基板30の上までエッチングし、その周囲
をn−InP層、p−InP層で埋め込む。各領域は独
立に電流制御できるように、電気的に分離する。これら
の上にp型電極19を設け、裏面にn型電極20を設け
る。活性領域25は各々300μm、位相制御領域は2
00μmとした。端面はARコーティングを施し、反射
率は1%以下とした。InP基板30上に作製したサン
プルド・グレーティング21は、実施例1と同様に、活
性領域25において、Z1が5μm、Z0が50μm、位
相制御領域24において、Z1が5μm、Z0が45μm
とした。
【0027】次に、素子の動作を説明する。本実施例の
場合、活性層32’が多重量子井戸構造で、しかもバリ
ア層23に引っ張り歪が導入されているため、TM偏波
の利得をTE偏波の利得に近付けることができ、TE/
TM変調レーザとしての歩留りが非常に向上する。ま
た、バルク活性層の場合に比較して低い電流密度で大き
な利得係数が得られる。
場合、活性層32’が多重量子井戸構造で、しかもバリ
ア層23に引っ張り歪が導入されているため、TM偏波
の利得をTE偏波の利得に近付けることができ、TE/
TM変調レーザとしての歩留りが非常に向上する。ま
た、バルク活性層の場合に比較して低い電流密度で大き
な利得係数が得られる。
【0028】本実施例においても、実施例1と同様に、
隣接する2つのTE偏波の高反射ピーク間隔のほぼ中心
付近に、TM偏波の高反射ピークが位置する様に有効屈
折率の設計を行った。本実施例のレーザでは、実施例1
と同様に、2つの領域で高反射ピークの波長間隔が僅か
に異なる為、僅かな電流変化で次々と別の縦モードを選
択することが出来る。しかも、TE偏波の縦モードの間
にTM偏波の縦モードが存在する為、TE偏波、TM偏
波と順次発振することが出来る。従って、各電極への注
入電流を制御することにより、図3に示すような電流と
波長の関係が得られる。更に、実施例2と同様に、素子
中央に位相制御領域24を設け、電流を注入して位相を
利得とは独立に制御することにより、安定した発振を得
ることが出来る。
隣接する2つのTE偏波の高反射ピーク間隔のほぼ中心
付近に、TM偏波の高反射ピークが位置する様に有効屈
折率の設計を行った。本実施例のレーザでは、実施例1
と同様に、2つの領域で高反射ピークの波長間隔が僅か
に異なる為、僅かな電流変化で次々と別の縦モードを選
択することが出来る。しかも、TE偏波の縦モードの間
にTM偏波の縦モードが存在する為、TE偏波、TM偏
波と順次発振することが出来る。従って、各電極への注
入電流を制御することにより、図3に示すような電流と
波長の関係が得られる。更に、実施例2と同様に、素子
中央に位相制御領域24を設け、電流を注入して位相を
利得とは独立に制御することにより、安定した発振を得
ることが出来る。
【0029】次に、本実施例のレーザを用いた変調方法
を示す。実施例1と同様に、半導体レーザの両側の電極
にバイアス電流I0を注入し、変調電流ΔI=(I1−I
0)を重畳する事により、出力光はTE偏波とTM偏波
で変調される。この出力光を偏光子2を用いてTE偏波
のみあるいはTM偏波のみを透過させることにより、パ
ワーが1、0の信号として取り出すことができる。この
変調方式を用いて、実施例1と同様な光通信システムを
構成することができる。
を示す。実施例1と同様に、半導体レーザの両側の電極
にバイアス電流I0を注入し、変調電流ΔI=(I1−I
0)を重畳する事により、出力光はTE偏波とTM偏波
で変調される。この出力光を偏光子2を用いてTE偏波
のみあるいはTM偏波のみを透過させることにより、パ
ワーが1、0の信号として取り出すことができる。この
変調方式を用いて、実施例1と同様な光通信システムを
構成することができる。
【0030】本実施例でも、微小な電流で波長スイッチ
ングを行なえる。従って、キャリア密度の変動が少な
く、チャーピングが抑制され、スペクトルの広がりを小
さくすることができ、高速の変調を行なうことが可能と
なる。また、電流注入により位相の調整を行うことが出
来るので、実施例1よりも更にTE/TM変調を安定に
行える。また、TEとTMの利得をほぼ等しくすること
により、TE/TM変調素子としての歩留りが向上し
た。
ングを行なえる。従って、キャリア密度の変動が少な
く、チャーピングが抑制され、スペクトルの広がりを小
さくすることができ、高速の変調を行なうことが可能と
なる。また、電流注入により位相の調整を行うことが出
来るので、実施例1よりも更にTE/TM変調を安定に
行える。また、TEとTMの利得をほぼ等しくすること
により、TE/TM変調素子としての歩留りが向上し
た。
【0031】
【実施例4】本実施例で用いる波長可変レーザは、実施
例1で用いたレーザと同様の特性を持つレーザである。
例1で用いたレーザと同様の特性を持つレーザである。
【0032】図8に、レーザの変調方法を示す。実施例
1と同様に、半導体レーザ1の片側の電極にバイアス電
流I0を注入し、信号1として、変調電流ΔI=(I1−
I0)で変調することにより、出力光は波長λ1(TE偏
波)とλ0(TM偏波)の間で変調された信号となる。
同様に、半導体レーザ1にバイアス電流I0を注入し、
信号2として、変調電流ΔI=(I2−I0)で変調する
ことにより、出力光は波長λ2(TE偏波)とλ0(TM
偏波)の間で変調された信号となる。この様に、変調電
流を変えることにより、出力光の偏波および波長を変え
ることができる。この出力光を、まず、偏光子2を透過
させてTM偏波(λ0)をカットすることにより、波長
λ1と波長λ2のそれぞれを、光パワーが1、0の信号と
して取り出すことができる。
1と同様に、半導体レーザ1の片側の電極にバイアス電
流I0を注入し、信号1として、変調電流ΔI=(I1−
I0)で変調することにより、出力光は波長λ1(TE偏
波)とλ0(TM偏波)の間で変調された信号となる。
同様に、半導体レーザ1にバイアス電流I0を注入し、
信号2として、変調電流ΔI=(I2−I0)で変調する
ことにより、出力光は波長λ2(TE偏波)とλ0(TM
偏波)の間で変調された信号となる。この様に、変調電
流を変えることにより、出力光の偏波および波長を変え
ることができる。この出力光を、まず、偏光子2を透過
させてTM偏波(λ0)をカットすることにより、波長
λ1と波長λ2のそれぞれを、光パワーが1、0の信号と
して取り出すことができる。
【0033】図9に実施例2の変調方式を用いた波長多
重光通信システムの構成図を示す。図8のような特性を
持つ半導体レーザ1を図8の方法で変調電流(In−
I0)で変調し、出力光を、波長λ0(TM偏波)とλn
(TE偏波)の間で変調された信号7’(信号n)とす
る。この光7’を偏光子2を用いてλn(TE偏波)の
みを透過させることにより、パワーが1、0の信号6’
とする。偏光子2を透過した光を、レンズ3を用いてフ
ァイバ4に結合させ、ファイバ4を伝送させた後、分岐
器10でn個に分配する。分配された光は、12の特性
を有する受信フィルタ11(Fn)で波長λnのみを透過
させることにより、パワーが1、0の信号となる。
重光通信システムの構成図を示す。図8のような特性を
持つ半導体レーザ1を図8の方法で変調電流(In−
I0)で変調し、出力光を、波長λ0(TM偏波)とλn
(TE偏波)の間で変調された信号7’(信号n)とす
る。この光7’を偏光子2を用いてλn(TE偏波)の
みを透過させることにより、パワーが1、0の信号6’
とする。偏光子2を透過した光を、レンズ3を用いてフ
ァイバ4に結合させ、ファイバ4を伝送させた後、分岐
器10でn個に分配する。分配された光は、12の特性
を有する受信フィルタ11(Fn)で波長λnのみを透過
させることにより、パワーが1、0の信号となる。
【0034】この場合の受信フィルタ11は、1Å程度
しか離れていない波長を分離するため、透過バンド幅の
小さい波長フィルタが必要である。例えば、DFBフィ
ルタ、ファブリペローフィルタ、マッハツェンダ型フィ
ルタなどである。受信フィルタ11を透過した光をフォ
トダイオード5で受光し、信号を検出する。
しか離れていない波長を分離するため、透過バンド幅の
小さい波長フィルタが必要である。例えば、DFBフィ
ルタ、ファブリペローフィルタ、マッハツェンダ型フィ
ルタなどである。受信フィルタ11を透過した光をフォ
トダイオード5で受光し、信号を検出する。
【0035】さらに、波長フィルタ11を同調機能を有
する可変フィルタにすることにより、受信側で自由にチ
ャンネルを選択することができる。
する可変フィルタにすることにより、受信側で自由にチ
ャンネルを選択することができる。
【0036】本実施例でも、微小な電流で変調を行なえ
るため、キャリア密度の変動が小さく、チャーピングが
抑制され、スペクトル広がりを抑えることができ、高速
の変調を行なうことができる。また、スペクトル広がり
が小さいため、波長毎に異なる信号を割り当てる場合に
も、波長数多く取ることができ、また、消光比の良好な
信号が得られる。また、通常のDFBレーザを用いたT
E/TM変調の場合、端面の位相、端面の反射率、利得
などの影響でふるまいが複雑となり、波長多重数が制限
されてしまうが、本実施例の場合、数10nmの波長可
変範囲が得られ、また、安定して発振する為、波長多重
数を多くとることが可能である。その結果、容易に、消
光比の高く、高速で、しかも波長多重数の多い通信を行
なうことが可能となる。また、TE偏波のみで変調を行
う場合に比較して、隣接する縦モード間の最も発振しに
くい領域にTM偏波の縦モードが設けられている為、変
調を安定に低雑音で行うことが出来る。
るため、キャリア密度の変動が小さく、チャーピングが
抑制され、スペクトル広がりを抑えることができ、高速
の変調を行なうことができる。また、スペクトル広がり
が小さいため、波長毎に異なる信号を割り当てる場合に
も、波長数多く取ることができ、また、消光比の良好な
信号が得られる。また、通常のDFBレーザを用いたT
E/TM変調の場合、端面の位相、端面の反射率、利得
などの影響でふるまいが複雑となり、波長多重数が制限
されてしまうが、本実施例の場合、数10nmの波長可
変範囲が得られ、また、安定して発振する為、波長多重
数を多くとることが可能である。その結果、容易に、消
光比の高く、高速で、しかも波長多重数の多い通信を行
なうことが可能となる。また、TE偏波のみで変調を行
う場合に比較して、隣接する縦モード間の最も発振しに
くい領域にTM偏波の縦モードが設けられている為、変
調を安定に低雑音で行うことが出来る。
【0037】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。 1.通常のDFBレーザを用いたTE/TM変調と比較
して、安定に変調を行なうことができる。 2.微小な電流で変調を行なえるため、チャーピングが
抑制され、スペクトル広がりが抑えられ、また高速な変
調が容易に実現できる。 3.微小な電流で変調を行なうにもかかわらず、良好な
消光比が容易に得られる。 4.波長可変範囲を広く取ることができるので、波長多
重数を多く取ることができる。 5.スペクトル幅の広がりが抑えられるため、波長多重
時にも良好な消光比が得られる。
いるので、以下に記載するような効果を奏する。 1.通常のDFBレーザを用いたTE/TM変調と比較
して、安定に変調を行なうことができる。 2.微小な電流で変調を行なえるため、チャーピングが
抑制され、スペクトル広がりが抑えられ、また高速な変
調が容易に実現できる。 3.微小な電流で変調を行なうにもかかわらず、良好な
消光比が容易に得られる。 4.波長可変範囲を広く取ることができるので、波長多
重数を多く取ることができる。 5.スペクトル幅の広がりが抑えられるため、波長多重
時にも良好な消光比が得られる。
【図1】実施例1の素子の構成図である。
【図2】実施例1の素子の反射特性示す図である。
【図3】実施例1のの素子の電流−波長特性とその変調
方法を説明する図である。
方法を説明する図である。
【図4】実施例1の素子とその変調方法を用いた通信シ
ステムの構成例を示す図である。
ステムの構成例を示す図である。
【図5】サンプルド・グレーティングの説明図である。
【図6】実施例2の素子の構成図である。
【図7】実施例3の素子の構成図である。
【図8】実施例4の素子の電流−波長特性とその変調方
法を示す図である。
法を示す図である。
【図9】実施例4の素子とその変調方法を用いた波長多
重光通信システムの構成例を示す図である。
重光通信システムの構成例を示す図である。
【図10】従来例を示す図である。
1 半導体レーザ 2 偏光子 3 レンズ 4 光ファイバ 5 フォトダイオード 6、6’ 偏光子透過後の信号 7、7’ レーザからの光 9 合波器 10 分岐器 11 受信フィルタ 12 受信フィルタの特性 13 バッファ層 14 クラッド層 15、16 埋め込み層 17 コンタクト層 18 絶縁層 19、20 電極 21 サンプルド・グレーティング 22 井戸層 23 バリア層 24 位相制御領域 25 活性領域 30 基板 31 導波路 32、32’ 活性層
Claims (12)
- 【請求項1】 或る波長を中心として、その両側に複数
の高反射ピークが周期的に存在する反射スペクトル特性
を有する反射器を備えた半導体レーザにおいて、該反射
器が、TE偏波に対する反射スペクトルの中心波長とT
M偏波に対する反射スペクトルの中心波長の間で任意の
波長差を有するとことを特徴とする光伝送装置。 - 【請求項2】 TE偏波に対する該半導体レーザの利得
とTM偏波に対する該半導体レーザの利得がほぼ等しい
ことを特徴とする請求項1記載の光伝送装置。 - 【請求項3】 前記反射器は、回折格子が存在する領域
と存在しない領域が或る周期で繰り返されるサンプルド
・グレーティングで構成されることを特徴とする請求項
1記載の光伝送装置。 - 【請求項4】 該半導体レーザのTE偏波に対する反射
スペクトルの中心波長とTM偏波に対する反射スペクト
ルの中心波長の波長差が、片方の偏波に対する隣接する
高反射ピークの波長差の約1/2であることを特徴とす
る請求項1記載の光伝送装置。 - 【請求項5】 該半導体レーザの2つの偏波に対する有
効屈折率の差が、該半導体レーザのTE偏波に対する反
射スペクトルの中心波長とTM偏波に対する反射スペク
トルの中心波長の波長差が、片方の偏波に対する隣接す
る高反射ピークの波長差の約1/2となる様に設定され
ていることを特徴とする請求項1記載の光伝送装置。 - 【請求項6】 該半導体レーザの活性層がバルクで構成
されていることを特徴とする請求項1記載の光伝送装
置。 - 【請求項7】 該半導体レーザの電気的に分離された複
数の領域の内、少なくとも1つの領域が活性層を有さ
ず、位相のみを制御する位相制御領域であることを特徴
とする請求項1記載の光伝送装置。 - 【請求項8】 該半導体レーザの活性層が面内の引っ張
り歪を持つ歪量子井戸で構成されることを特徴とする請
求項1記載の光伝送装置。 - 【請求項9】 請求項1記載の半導体レーザが、電気的
に複数の領域に分離されており、該複数の領域への注入
電流を制御することにより、出力光の偏波の方向をTE
偏波とTM偏波の間で変調し、該出力光の2偏波のうち
1偏波のみを選択して取り出すことにより、AM変調さ
れた信号を送り出すことを特徴とする変調方式。 - 【請求項10】 請求項9記載の変調方式において、該
2つの偏波のうち送出する偏波の波長を可変にし、該2
つの偏波間でスイッチングを行なうよう注入電流を変調
し、受信側で波長フィルタを用いて任意の波長の信号を
検出することを特徴とする光通信方式。 - 【請求項11】 請求項10記載の光通信方式におい
て、該光伝送装置と該波長フィルタを複数用いて通信を
行なうことを特徴とする波長多重光通信方式。 - 【請求項12】 或る波長を中心として、その両側に複
数の高反射ピークが周期的に存在する反射スペクトル特
性を有する反射器を備えた半導体レーザにおいて、該反
射器が、TE偏波に対する反射スペクトルの中心波長と
TM偏波に対する反射スペクトルの中心波長の間で任意
の波長差を有するとことを特徴とする半導体レーザ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6334063A JPH08172243A (ja) | 1994-12-17 | 1994-12-17 | 光伝送装置及びその変調方式 |
| US08/570,654 US5841799A (en) | 1994-12-17 | 1995-12-11 | Semiconductor laser, modulation method therefor and optical communication system using the same |
| EP95119710A EP0717480B1 (en) | 1994-12-17 | 1995-12-14 | Semiconductor laser, modulation method therefor and optical communication system using the same |
| DE69526041T DE69526041T2 (de) | 1994-12-17 | 1995-12-14 | Halbleiterlaser, Modulationsverfahren und optisches Kommunikationssystem |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6334063A JPH08172243A (ja) | 1994-12-17 | 1994-12-17 | 光伝送装置及びその変調方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08172243A true JPH08172243A (ja) | 1996-07-02 |
Family
ID=18273097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6334063A Pending JPH08172243A (ja) | 1994-12-17 | 1994-12-17 | 光伝送装置及びその変調方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08172243A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004128372A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 分布帰還型半導体レーザ素子 |
| KR100526999B1 (ko) * | 2002-12-13 | 2005-11-08 | 한국전자통신연구원 | 다영역 dfb 레이저 다이오드 |
| JP2007273883A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Eudyna Devices Inc | 光半導体素子および光半導体装置 |
| JP2011249618A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ |
| JP2023552102A (ja) * | 2020-12-03 | 2023-12-14 | エイエムエス-オスラム インターナショナル ゲーエムベーハー | 放射線放出レーザダイオード、放射線放出レーザダイオードの導波路層列の屈折率を選択する方法、及び放射線放出レーザダイオードを製造する方法 |
-
1994
- 1994-12-17 JP JP6334063A patent/JPH08172243A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004128372A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 分布帰還型半導体レーザ素子 |
| KR100526999B1 (ko) * | 2002-12-13 | 2005-11-08 | 한국전자통신연구원 | 다영역 dfb 레이저 다이오드 |
| JP2007273883A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Eudyna Devices Inc | 光半導体素子および光半導体装置 |
| JP2011249618A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ |
| JP2023552102A (ja) * | 2020-12-03 | 2023-12-14 | エイエムエス-オスラム インターナショナル ゲーエムベーハー | 放射線放出レーザダイオード、放射線放出レーザダイオードの導波路層列の屈折率を選択する方法、及び放射線放出レーザダイオードを製造する方法 |
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