JPH0817341A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JPH0817341A JPH0817341A JP15192594A JP15192594A JPH0817341A JP H0817341 A JPH0817341 A JP H0817341A JP 15192594 A JP15192594 A JP 15192594A JP 15192594 A JP15192594 A JP 15192594A JP H0817341 A JPH0817341 A JP H0817341A
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- cylindrical surface
- linear light
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】線状光源から出射する光線の有効量の減少を防
止し、光源の利用効率を向上させた露光装置を提供す
る。 【構成】冷却媒体を充填した線状光源２をもつランプハ
ウス３と、この線状光源２と被露光体７との間に設置し
た補正光学系９，１０とを少なくとも具備する露光装置
において、ランプハウス３に収納した上記線状光源２
を、その軸心と同一方向に軸心を有する透光性の中空円
筒面カバー５で覆うと共に、中空円筒面カバー５の内部
を含めたランプハウス３に冷却媒体を充填してなる。
止し、光源の利用効率を向上させた露光装置を提供す
る。 【構成】冷却媒体を充填した線状光源２をもつランプハ
ウス３と、この線状光源２と被露光体７との間に設置し
た補正光学系９，１０とを少なくとも具備する露光装置
において、ランプハウス３に収納した上記線状光源２
を、その軸心と同一方向に軸心を有する透光性の中空円
筒面カバー５で覆うと共に、中空円筒面カバー５の内部
を含めたランプハウス３に冷却媒体を充填してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ランプハウスに収納し
た光源と、前記光源と被露光体との間に設置した補正光
学系とを少なくとも具備する露光装置にかかり、特に、
冷却媒体を充填した線状光源をもつランプハウスを備え
た露光装置に関する。
た光源と、前記光源と被露光体との間に設置した補正光
学系とを少なくとも具備する露光装置にかかり、特に、
冷却媒体を充填した線状光源をもつランプハウスを備え
た露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学的にパターン露光して現像等の処理
を施すことによって、所要の機能を持った膜面等を形成
するために、光源と必要な光学系を備えた露光装置が用
いられる。特に、スロット状あるいはグリル状のシャド
ウマスクを備えるカラー陰極線管の蛍光面等を形成する
ための露光装置は、ランプハウスに収納した線状光源
と、前記線状光源とパネル内面との間に設置した補正光
学系とを少なくとも具備し、所謂ブラックマトリクスや
複数色の蛍光体モザイクの形成のために、光源位置を変
えて複数回の露光と現像処理が行われる。
を施すことによって、所要の機能を持った膜面等を形成
するために、光源と必要な光学系を備えた露光装置が用
いられる。特に、スロット状あるいはグリル状のシャド
ウマスクを備えるカラー陰極線管の蛍光面等を形成する
ための露光装置は、ランプハウスに収納した線状光源
と、前記線状光源とパネル内面との間に設置した補正光
学系とを少なくとも具備し、所謂ブラックマトリクスや
複数色の蛍光体モザイクの形成のために、光源位置を変
えて複数回の露光と現像処理が行われる。
【０００３】図８はカラー陰極線管の構造例を説明する
断面図であって、２０はシャドウマスク型カラー陰極線
管、２１は蛍光面を塗布したパネル、２２は電子銃を収
容するネック、２３はパネルとネックとを連接するファ
ンネル、２４は３色の蛍光体モザイクからなる蛍光面、
２５は色選択電極であるシャドウマスク、２６はシャド
ウマスクを固定保持するマスクフレーム、２７は外部磁
界から電子ビームを遮蔽する磁気シールド、２８はスプ
リング等からなるシャドウマスク懸架機構、２９は３本
の電子ビームを発射する電子銃、３０は偏向ヨーク、３
１はピュリティやセンタリング補正のための外部磁気装
置である。
断面図であって、２０はシャドウマスク型カラー陰極線
管、２１は蛍光面を塗布したパネル、２２は電子銃を収
容するネック、２３はパネルとネックとを連接するファ
ンネル、２４は３色の蛍光体モザイクからなる蛍光面、
２５は色選択電極であるシャドウマスク、２６はシャド
ウマスクを固定保持するマスクフレーム、２７は外部磁
界から電子ビームを遮蔽する磁気シールド、２８はスプ
リング等からなるシャドウマスク懸架機構、２９は３本
の電子ビームを発射する電子銃、３０は偏向ヨーク、３
１はピュリティやセンタリング補正のための外部磁気装
置である。
【０００４】電子銃２９から発射された３本の電子ビー
ム（Ｂｃ，Ｂｓ×２）は偏向ヨーク３０で水平と垂直の
２方向に偏向され、シャドウマスク２５で色選択された
後、蛍光面２４を構成する所定の蛍光体に射突して所要
の画像を生成する。蛍光面２４は光学的な露光装置を用
い、それによる露光と所定の現像処理によるブラックマ
トリクスと３色蛍光体モザイクを形成した塗膜からな
り、３本の電子ビームによる刺激値に応じて所定の色を
発色する。
ム（Ｂｃ，Ｂｓ×２）は偏向ヨーク３０で水平と垂直の
２方向に偏向され、シャドウマスク２５で色選択された
後、蛍光面２４を構成する所定の蛍光体に射突して所要
の画像を生成する。蛍光面２４は光学的な露光装置を用
い、それによる露光と所定の現像処理によるブラックマ
トリクスと３色蛍光体モザイクを形成した塗膜からな
り、３本の電子ビームによる刺激値に応じて所定の色を
発色する。
【０００５】図９は従来技術による露光装置の構成を説
明する模式図であって、０１は装置筺体、０２は線状光
源、０３はランプハウス、０４は光源部、０５は平坦な
ガラスカバー、０６は冷却媒体、０７はパネル、０８は
パネル載置プレート、０９は補正レンズ、０１０はフィ
ルタ、０１１はシャドウマスクである。同図において、
この露光装置は装置筺体０１の底部に線状光源０２を収
容したランプハウス０３を備え、上部のパネル載置プレ
ートに載置したパネル０７の内面に塗布した蛍光体形成
塗膜をシャドウマスク０１１のマスク穴を介して到達す
る線状光源０２からの光で露光する。
明する模式図であって、０１は装置筺体、０２は線状光
源、０３はランプハウス、０４は光源部、０５は平坦な
ガラスカバー、０６は冷却媒体、０７はパネル、０８は
パネル載置プレート、０９は補正レンズ、０１０はフィ
ルタ、０１１はシャドウマスクである。同図において、
この露光装置は装置筺体０１の底部に線状光源０２を収
容したランプハウス０３を備え、上部のパネル載置プレ
ートに載置したパネル０７の内面に塗布した蛍光体形成
塗膜をシャドウマスク０１１のマスク穴を介して到達す
る線状光源０２からの光で露光する。
【０００６】線状光源０２とパネル０７との間には、露
光光線を電子ビーム軌道に一致させるための補正レンズ
０９や各種のフィルタ０１０が介挿されている。また、
ランプハウス０３は線状光源を収容し、その上部開放面
に平坦なガラスカバー０５を備えて、その内部に水など
の冷却媒体を満たしてなる。なお、この種の露光装置に
関する従来技術を開示したものとしては、例えば特開平
２−２５３５３７号公報を挙げることができる。
光光線を電子ビーム軌道に一致させるための補正レンズ
０９や各種のフィルタ０１０が介挿されている。また、
ランプハウス０３は線状光源を収容し、その上部開放面
に平坦なガラスカバー０５を備えて、その内部に水など
の冷却媒体を満たしてなる。なお、この種の露光装置に
関する従来技術を開示したものとしては、例えば特開平
２−２５３５３７号公報を挙げることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、線状光源０２を水などの冷却媒体（以下、単に水と
も言う）中に設置し、その上面すなわち露光光線の出射
開口を平坦なガラスカバー０５で被覆しているために、
線状光源０２からの光線が冷却媒体０６から空気中に出
射するときの屈折に起因して有効光量が減少し、露光に
要する時間が長くなるという問題があった。
は、線状光源０２を水などの冷却媒体（以下、単に水と
も言う）中に設置し、その上面すなわち露光光線の出射
開口を平坦なガラスカバー０５で被覆しているために、
線状光源０２からの光線が冷却媒体０６から空気中に出
射するときの屈折に起因して有効光量が減少し、露光に
要する時間が長くなるという問題があった。
【０００８】図１０は従来の露光装置における光源部の
動作原理の説明図であって、光源０２から出射した光線
は平坦なガラスカバー０５の表面から空気中に出る界面
では、光線は界面に垂直に透過しないである一定の角度
を持つようになるので、界面で屈折し、その結果として
有効に利用できる光量が減少する。すなわち、光源０２
から垂直方向と角度θ2 で出射した光線は平坦なガラス
カバー０５に入り、水とガラスとの屈折率の差によって
屈折し、空気中に出るときはガラスと空気との屈折率の
差によって屈折して垂直方向とθ1 の角度をもって進行
する。
動作原理の説明図であって、光源０２から出射した光線
は平坦なガラスカバー０５の表面から空気中に出る界面
では、光線は界面に垂直に透過しないである一定の角度
を持つようになるので、界面で屈折し、その結果として
有効に利用できる光量が減少する。すなわち、光源０２
から垂直方向と角度θ2 で出射した光線は平坦なガラス
カバー０５に入り、水とガラスとの屈折率の差によって
屈折し、空気中に出るときはガラスと空気との屈折率の
差によって屈折して垂直方向とθ1 の角度をもって進行
する。
【０００９】光源０２からの光線は当該光源を中心とす
る３６０°の方向に出射するが、その全ての光線が露光
に利用できるものではなく、例えば水平方向の偏向角が
８０°の陰極線管ならば、θ1 が４０°までの光線しか
使用できない。そして、水を満たしたランプハウスに平
坦なガラスカバーを用いた場合には、θ2 が約２９°ま
での光線しか有効に利用できず、約３０パーセントの光
線が無駄になる。
る３６０°の方向に出射するが、その全ての光線が露光
に利用できるものではなく、例えば水平方向の偏向角が
８０°の陰極線管ならば、θ1 が４０°までの光線しか
使用できない。そして、水を満たしたランプハウスに平
坦なガラスカバーを用いた場合には、θ2 が約２９°ま
での光線しか有効に利用できず、約３０パーセントの光
線が無駄になる。
【００１０】本発明の目的は、上記従来技術の欠点を解
消し、冷却媒体を充填した線状光源をもつランプハウス
を備えた露光装置において、当該線状光源から出射する
光線の有効量の減少を防止し、光源の利用効率を向上さ
せた露光装置を提供することにある。
消し、冷却媒体を充填した線状光源をもつランプハウス
を備えた露光装置において、当該線状光源から出射する
光線の有効量の減少を防止し、光源の利用効率を向上さ
せた露光装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、線状光源を収容し、冷却媒体を充填した
ランプハウスの被露光体側に設置する透光性のカバーの
表面を、線状光源の軸心と同一方向に軸心をもつ円筒面
としたことを特徴とする。すなわち、請求項１に記載の
第１の発明は、ランプハウスに収納した線状光源と、前
記線状光源と被露光体との間に設置した補正光学系とを
少なくとも具備する露光装置において、前記線状光源
を、その軸心と同一方向に軸心を有する透光性の中空円
筒面カバーで覆うと共に、前記中空円筒面カバー内部を
含めた前記ランプハウスに冷却媒体を充填してなること
を特徴とする。
め、本発明は、線状光源を収容し、冷却媒体を充填した
ランプハウスの被露光体側に設置する透光性のカバーの
表面を、線状光源の軸心と同一方向に軸心をもつ円筒面
としたことを特徴とする。すなわち、請求項１に記載の
第１の発明は、ランプハウスに収納した線状光源と、前
記線状光源と被露光体との間に設置した補正光学系とを
少なくとも具備する露光装置において、前記線状光源
を、その軸心と同一方向に軸心を有する透光性の中空円
筒面カバーで覆うと共に、前記中空円筒面カバー内部を
含めた前記ランプハウスに冷却媒体を充填してなること
を特徴とする。
【００１２】請求項２に記載の第２の発明は、前記中空
円筒面カバーが、全面にわたって均一な肉厚を有する円
筒状であることを特徴とする。請求項３に記載の第３の
発明は、前記中空円筒面カバーが、前記線状光源の長手
方向に対向する少なくとも前記被露光体側内面の領域に
平面を有することを特徴とする。
円筒面カバーが、全面にわたって均一な肉厚を有する円
筒状であることを特徴とする。請求項３に記載の第３の
発明は、前記中空円筒面カバーが、前記線状光源の長手
方向に対向する少なくとも前記被露光体側内面の領域に
平面を有することを特徴とする。
【００１３】請求項４に記載の第４の発明は、前記中空
円筒面カバーが、前記線状光源の長手方向に沿って対向
する少なくとも前記被露光体側内面の領域に前記線状光
源側に膨出するごとく前記中空円筒面カバーの曲面と逆
の曲面を有することを特徴とする。請求項５に記載の第
５の発明は、前記中空円筒面カバーが、前記線状光源の
長手方向に沿った前記被露光体側と反対側に開放部を有
することを特徴とする。
円筒面カバーが、前記線状光源の長手方向に沿って対向
する少なくとも前記被露光体側内面の領域に前記線状光
源側に膨出するごとく前記中空円筒面カバーの曲面と逆
の曲面を有することを特徴とする。請求項５に記載の第
５の発明は、前記中空円筒面カバーが、前記線状光源の
長手方向に沿った前記被露光体側と反対側に開放部を有
することを特徴とする。
【００１４】
【作用】上記した第１の発明の構成によれば、線状光源
から出射した光線が中空円筒面カバーの表面から空気中
に出る界面で当該光線が界面に垂直に透過するため、屈
折されることがない。また、第２の発明の構成によれ
ば、中空円筒面カバーを均一な肉厚としたことで、線状
光源からの光線が冷却媒体と中空円筒面カバー、および
中空円筒面カバーと空気との各界面で屈折されることが
ないため、各界面での屈折による損失がない。
から出射した光線が中空円筒面カバーの表面から空気中
に出る界面で当該光線が界面に垂直に透過するため、屈
折されることがない。また、第２の発明の構成によれ
ば、中空円筒面カバーを均一な肉厚としたことで、線状
光源からの光線が冷却媒体と中空円筒面カバー、および
中空円筒面カバーと空気との各界面で屈折されることが
ないため、各界面での屈折による損失がない。
【００１５】第３の発明の構成によれば、中空円筒面カ
バーの光源側内面に形成した平面により、線状光源から
出射した光線は垂直軸方向に屈折され、中空円筒面カバ
ーから出る光線の利用効率が向上する。第４の発明の構
成によれば、中空円筒面カバーの光源側内面に形成した
曲面により、線状光源から出射した光線は垂直軸方向に
さらに屈折され、中空円筒面カバーから出る光線の利用
効率はさらに向上する。
バーの光源側内面に形成した平面により、線状光源から
出射した光線は垂直軸方向に屈折され、中空円筒面カバ
ーから出る光線の利用効率が向上する。第４の発明の構
成によれば、中空円筒面カバーの光源側内面に形成した
曲面により、線状光源から出射した光線は垂直軸方向に
さらに屈折され、中空円筒面カバーから出る光線の利用
効率はさらに向上する。
【００１６】第５の発明の構成によれば、中空円筒面カ
バーの中を冷却媒体を効果的に循環させることができる
と共に、線状光源や当該中空円筒カバーの着脱が容易と
なり、メンテナンスが容易になる。
バーの中を冷却媒体を効果的に循環させることができる
と共に、線状光源や当該中空円筒カバーの着脱が容易と
なり、メンテナンスが容易になる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て詳細に説明する。図１は本発明による露光装置をカラ
ー陰極線管の蛍光面の作成装置に適用した第１実施例を
説明する模式図であって、１は装置筺体、２は線状光
源、３はランプハウス、４は光源部、５は透光性の中空
円筒面カバー、６は冷却媒体としての水、７はパネル、
８はパネル載置プレート、９は補正レンズ、１０はフィ
ルタ、１１はシャドウマスクである。
て詳細に説明する。図１は本発明による露光装置をカラ
ー陰極線管の蛍光面の作成装置に適用した第１実施例を
説明する模式図であって、１は装置筺体、２は線状光
源、３はランプハウス、４は光源部、５は透光性の中空
円筒面カバー、６は冷却媒体としての水、７はパネル、
８はパネル載置プレート、９は補正レンズ、１０はフィ
ルタ、１１はシャドウマスクである。
【００１８】同図において、装置筺体１の内底部には線
状光源を構成する超高圧水銀灯からなる線状の発光管２
と、この発光管２を固定保持するランプハウス３が配置
されて光源部４が構成されている。ランプハウス３の上
方には補正レンズ９とフィルタ１０が装架され、最上部
には被露光体であるカラー陰極線管のパネル７を載置す
るパネル載置プレート８が設置されている。
状光源を構成する超高圧水銀灯からなる線状の発光管２
と、この発光管２を固定保持するランプハウス３が配置
されて光源部４が構成されている。ランプハウス３の上
方には補正レンズ９とフィルタ１０が装架され、最上部
には被露光体であるカラー陰極線管のパネル７を載置す
るパネル載置プレート８が設置されている。
【００１９】上記ランプハウス３のパネル７側には発光
管２の軸心と同一方向に軸心を持つガラス製の中空円筒
面カバー５が配置され、発光管２の周囲を含めてランプ
ハウス３内部に冷却用の水が満たされている。上記構成
において、光源部４から出射した光線はフィルタ１０お
よび補正レンズ９を通し、さらにパネル７に設置したシ
ャドウマスク１１を通してパネル７の内面に塗布された
蛍光体塗膜を露光する。
管２の軸心と同一方向に軸心を持つガラス製の中空円筒
面カバー５が配置され、発光管２の周囲を含めてランプ
ハウス３内部に冷却用の水が満たされている。上記構成
において、光源部４から出射した光線はフィルタ１０お
よび補正レンズ９を通し、さらにパネル７に設置したシ
ャドウマスク１１を通してパネル７の内面に塗布された
蛍光体塗膜を露光する。
【００２０】図２は本実施例における発光管と中空円筒
面カバーの相対位置関係の説明図である。この中空円筒
面カバー５は内面も円筒面であり、全体に同一肉厚のガ
ラスからなり、発光管２の軸心と同一軸心で配置されて
いる。図３は図２のＡ−Ａ線に沿った断面図であって、
中空円筒面カバー５が発光管２の軸心と同一軸心で配置
された同一肉厚であることから、発光管２からθ1 で出
射した光線は中空円筒面カバー５の表面からθ1 で出射
する。
面カバーの相対位置関係の説明図である。この中空円筒
面カバー５は内面も円筒面であり、全体に同一肉厚のガ
ラスからなり、発光管２の軸心と同一軸心で配置されて
いる。図３は図２のＡ−Ａ線に沿った断面図であって、
中空円筒面カバー５が発光管２の軸心と同一軸心で配置
された同一肉厚であることから、発光管２からθ1 で出
射した光線は中空円筒面カバー５の表面からθ1 で出射
する。
【００２１】したがって、前記従来技術で説明したよう
な光量の減少はなく、光源の利用効率を向上させた露光
装置を提供することができる。なお、中空円筒面カバー
５は発光管２を包囲する管状とすることもできる。図４
は本発明による露光装置をカラー陰極線管の蛍光面の作
成装置に適用した第２実施例を説明する発光管と中空円
筒面カバーの相対位置関係の説明図であって、５’は中
空円筒面カバー、図２と同一符号は同一部分に対応す
る。
な光量の減少はなく、光源の利用効率を向上させた露光
装置を提供することができる。なお、中空円筒面カバー
５は発光管２を包囲する管状とすることもできる。図４
は本発明による露光装置をカラー陰極線管の蛍光面の作
成装置に適用した第２実施例を説明する発光管と中空円
筒面カバーの相対位置関係の説明図であって、５’は中
空円筒面カバー、図２と同一符号は同一部分に対応す
る。
【００２２】この実施例は、中空円筒面カバー５’が発
光管２の長手方向に対向する少なくとも前記パネル側内
面の領域に平面を有している。図５は図４のＢ−Ｂ線に
沿った断面図であって、中空円筒面カバー５’は発光管
２の軸心と同一軸心で配置され、発光管２の長手方向に
対向する少なくとも前記パネル側内面の領域に平面を有
する。
光管２の長手方向に対向する少なくとも前記パネル側内
面の領域に平面を有している。図５は図４のＢ−Ｂ線に
沿った断面図であって、中空円筒面カバー５’は発光管
２の軸心と同一軸心で配置され、発光管２の長手方向に
対向する少なくとも前記パネル側内面の領域に平面を有
する。
【００２３】発光管２からθ3 で出射した光線は中空円
筒面カバー５’の内面の平面に入った後、その表面から
θ1 で出射する。したがって、前記従来技術で説明した
ような光量の減少はなく、光源の利用効率を向上させた
露光装置を提供することができる。図６は本発明による
露光装置をカラー陰極線管の蛍光面の作成装置に適用し
た第３実施例を説明する発光管と中空円筒面カバーの相
対位置関係の説明図であって、５”は中空円筒面カバ
ー、図２と同一符号は同一部分に対応する。
筒面カバー５’の内面の平面に入った後、その表面から
θ1 で出射する。したがって、前記従来技術で説明した
ような光量の減少はなく、光源の利用効率を向上させた
露光装置を提供することができる。図６は本発明による
露光装置をカラー陰極線管の蛍光面の作成装置に適用し
た第３実施例を説明する発光管と中空円筒面カバーの相
対位置関係の説明図であって、５”は中空円筒面カバ
ー、図２と同一符号は同一部分に対応する。
【００２４】この実施例は、中空円筒面カバー５”が発
光管２の長手方向に対向する少なくとも前記パネル側内
面の領域に発光管２側に膨出するごとく前記中空円筒面
カバーの曲面と逆の曲面を有している。図７は図６のＣ
−Ｃ線に沿った断面図であって、中空円筒面カバー５”
は発光管２の軸心と同一軸心で配置され、発光管２の長
手方向に対向する少なくとも前記パネル側内面の領域に
曲面を有する。
光管２の長手方向に対向する少なくとも前記パネル側内
面の領域に発光管２側に膨出するごとく前記中空円筒面
カバーの曲面と逆の曲面を有している。図７は図６のＣ
−Ｃ線に沿った断面図であって、中空円筒面カバー５”
は発光管２の軸心と同一軸心で配置され、発光管２の長
手方向に対向する少なくとも前記パネル側内面の領域に
曲面を有する。
【００２５】発光管２からθ4 で出射した光線は中空円
筒面カバー５”の内面の平面に入った後、その表面から
θ1 で出射する。したがって、前記従来技術で説明した
ような光量の減少はなく、光源の利用効率をさらに向上
させた露光装置を提供することができる。上記第２，第
３実施例の中空円筒面カバー５’，５”も発光管２を包
囲する管状とすることもできる。
筒面カバー５”の内面の平面に入った後、その表面から
θ1 で出射する。したがって、前記従来技術で説明した
ような光量の減少はなく、光源の利用効率をさらに向上
させた露光装置を提供することができる。上記第２，第
３実施例の中空円筒面カバー５’，５”も発光管２を包
囲する管状とすることもできる。
【００２６】なお、上記第２実施例、第３実施例とも、
有効光線の透過する領域は一種の凸レンズ効果を呈する
ものであり、また中空円筒面カバーの内面に入射する光
線が臨界角を越えて全反射しないように、中空円筒面カ
バー５’では発光管との間の間隔および発光管をカバー
する領域の広さ（幅）を選択し、さらに中空円筒面カバ
ー５”ではその曲率を選択する。
有効光線の透過する領域は一種の凸レンズ効果を呈する
ものであり、また中空円筒面カバーの内面に入射する光
線が臨界角を越えて全反射しないように、中空円筒面カ
バー５’では発光管との間の間隔および発光管をカバー
する領域の広さ（幅）を選択し、さらに中空円筒面カバ
ー５”ではその曲率を選択する。
【００２７】さらに、第３の実施例における中空円筒面
カバー５”の内面の曲面は必ずしも一様な曲率とする必
要はなく、断面が非円筒面とすることもできる。以上の
各実施例はカラー陰極線管のパネルに蛍光面を形成する
ための露光装置を例として説明したものであるが、本発
明はこれに限るものではなく、所謂光学的な露光方法を
採用する各種機器，装置のための露光装置に適用できる
ものであることは言うまでもない。
カバー５”の内面の曲面は必ずしも一様な曲率とする必
要はなく、断面が非円筒面とすることもできる。以上の
各実施例はカラー陰極線管のパネルに蛍光面を形成する
ための露光装置を例として説明したものであるが、本発
明はこれに限るものではなく、所謂光学的な露光方法を
採用する各種機器，装置のための露光装置に適用できる
ものであることは言うまでもない。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
冷却媒体を充填した線状光源をもつランプハウスを備え
た露光装置において、前記従来技術の問題点を解消し、
当該線状光源から出射する光線の有効量の減少を防止
し、光源の利用効率を向上させた露光装置を提供するこ
とができる。
冷却媒体を充填した線状光源をもつランプハウスを備え
た露光装置において、前記従来技術の問題点を解消し、
当該線状光源から出射する光線の有効量の減少を防止
し、光源の利用効率を向上させた露光装置を提供するこ
とができる。
【００２９】特に、カラー陰極線管のパネル内面に蛍光
膜を形成するための露光装置に適用した場合は、高い生
産効率で高品質の蛍光面を作成することができる。
膜を形成するための露光装置に適用した場合は、高い生
産効率で高品質の蛍光面を作成することができる。
【図１】本発明による露光装置をカラー陰極線管の蛍光
面の作成装置に適用した第１実施例を説明する模式図で
ある。
面の作成装置に適用した第１実施例を説明する模式図で
ある。
【図２】本発明の第１実施例における発光管と中空円筒
面カバーの相対位置関係の説明図である。
面カバーの相対位置関係の説明図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図４】本発明による露光装置をカラー陰極線管の蛍光
面の作成装置に適用した第２実施例を説明する発光管と
中空円筒面カバーの相対位置関係の説明図である。
面の作成装置に適用した第２実施例を説明する発光管と
中空円筒面カバーの相対位置関係の説明図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図６】本発明による露光装置をカラー陰極線管の蛍光
面の作成装置に適用した第３実施例を説明する発光管と
中空円筒面カバーの相対位置関係の説明図である。
面の作成装置に適用した第３実施例を説明する発光管と
中空円筒面カバーの相対位置関係の説明図である。
【図７】図６のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
【図８】カラー陰極線管の構造例を説明する断面図であ
る。
る。
【図９】従来技術による露光装置の構成を説明する模式
図である。
図である。
【図１０】従来の露光装置における光源部の動作原理の
説明図である。
説明図である。
１ 装置筺体 ２ 線状光源 ３ ランプハウス ４ 光源部 ５，５’，５” 透光性の中空円筒面カバー ６ 冷却媒体としての水 ７ パネル ８ パネル載置プレート ９ 補正レンズ １０ フィルタ １１ シャドウマスク。
Claims (5)
- 【請求項１】ランプハウスに収納した線状光源と、前記
線状光源と被露光体との間に設置した補正光学系とを少
なくとも具備する露光装置において、 前記線状光源を、その軸心と同一方向に軸心を有する透
光性の中空円筒面カバーで覆うと共に、前記中空円筒面
カバー内部を含めた前記ランプハウスに冷却媒体を充填
してなることを特徴とする露光装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記中空円筒面カバー
が、全面にわたって均一な肉厚を有する円筒状であるこ
とを特徴とする露光装置。 - 【請求項３】請求項１において、前記中空円筒面カバー
が、前記線状光源の長手方向に対向する少なくとも前記
被露光体側内面の領域に平面を有することを特徴とする
露光装置。 - 【請求項４】請求項１において、前記中空円筒面カバー
が、前記線状光源の長手方向に沿って対向する少なくと
も前記被露光体側内面の領域に前記線状光源側に膨出す
るごとく前記中空円筒面カバーの曲面と逆の曲面を有す
ることを特徴とする露光装置。 - 【請求項５】請求項１，２，３，４において、前記中空
円筒面カバーが、前記線状光源の長手方向に沿った前記
被露光体側と反対側に開放部を有することを特徴とする
露光用装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15192594A JPH0817341A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15192594A JPH0817341A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0817341A true JPH0817341A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15529204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15192594A Pending JPH0817341A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0817341A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023067927A (ja) * | 2015-11-03 | 2023-05-16 | マテリオン コーポレイション | 迷光が低減された集束光を有するフィルタアレイ |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP15192594A patent/JPH0817341A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023067927A (ja) * | 2015-11-03 | 2023-05-16 | マテリオン コーポレイション | 迷光が低減された集束光を有するフィルタアレイ |
| JP2024177454A (ja) * | 2015-11-03 | 2024-12-19 | マテリオン コーポレイション | 迷光が低減された集束光を有するフィルタアレイ |
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