JPH08173885A

JPH08173885A - 流体供給装置

Info

Publication number: JPH08173885A
Application number: JP6322496A
Authority: JP
Inventors: Teruo Maruyama; 照雄丸山; Hiroyuki Funadokoro; 宏行船所
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1994-12-26
Filing date: 1994-12-26
Publication date: 1996-07-09

Abstract

(57)【要約】【目的】微少量の高速・高精度の間欠吐出ができ、高
粘度流体、粉体の輸送ができると共に、鼻タレ・ボタ落
ち等を解消できる液体供給装置を提供する。【構成】液体の吸入孔２３及び吐出ノズル２７と、ロ
ータ２５およびこのロータ２５を収納する固定部材１９
の間に形成された流体輸送部と、ロータと連結した軸１
０と、この軸１０と前記固定部材の間に相対的な回転運
動と揺動運動を与えるためのアクチェータ３１と、その
駆動電源である制御部８１と吐出ノズル近傍に設けら
れ、前記液体の吐出ノズルからの排出と連動して、前記
液体の排出作用を補助する圧縮気体供給部より構成する
ことにより、供給流量の超高速間欠吐出・超高精度化・
超微少流量化が図れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子部品、家電製品など
の分野における生産工程において、接着剤、クリームハ
ンダ、グリース、ペイント、ホットメルト、薬品、食品
などの各種液体を定量に吐出・供給する流体供給装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液体吐出装置（ディスペンサー）は従来
から様々な分野で用いられているが、近年の電子部品の
小形化・高記録密度化のニーズにともない、流体材料の
供給量を高精度でかつ安定して制御する技術が要請され
る様になっている。

【０００３】たとえば表面実装（ＳＭＴ）の分野を例に
とれば、実装の高速化、微少化、高密度化、高品位化、
無人化のトレンドの中で、ディスペンサーの課題を要約
すれば、塗布量の高精度化吐出時間の短縮１回の塗布量の微小化である。従来液体吐出装置として、図１０に示す様なエ
アパルス方式によるディスペンサーが従来から広く用い
られており、例えば「自動化技術’９３．２５巻７号」
等にその技術が紹介されている。この方式によるディス
ペンサーは、定圧源から供給される定量の空気を容器１
５０（シリンダ）内にパルス的に印加させ、シリンダ１
５０内の圧力の上昇分に対応する一定量の流体をノズル
１５１から吐出させるものである。

【０００４】上述したエアーパルス方式に代わるものと
して、通称モーノポンプ（ＭｏｙｎｏＰｏｍｐ）と呼
ばれる回転容積型の一軸偏心ポンプを用いたディスペン
サーが実用化されている。モーノポンプはヘビの様な運
動をすることから、別名スネイクポンプとも呼ばれてお
り、例えば「配管技術，’８５．７月号」等にその技術
の詳細が紹介されている。図９にその構造例を示す。

【０００５】１００は、主軸（ドライブシャフト）、１
０１は玉軸受、１０２はスネイクポンプのロータ、１０
３はステータである。ロータ１０２とカップリングロッ
ド１０６及びこのカップリングロッド１０６とドライブ
シャフト１００はユニバーサル・ジョイントにより連結
されている。ロータ１０２は断面真円形状のいわば雄ネ
ジであり、この雄ネジに対応する雌ネジとしてのステー
タ１０３は穴の断面が長円形の形状をしている。

【０００６】ロータ１０２を前記ステータ１０３に嵌め
込み、ロータ１０２を偏心軸センターにおいて回転する
と、ロータ１０２はステータ１０３の内部で回転しなが
ら揺動運動する。その結果ロータ１０２とステータ１０
３間に封じ込められた流体は、切れ目のない無限のピス
トン運動により、吸入側から吐出側へ連続的に送り出さ
れるのである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしこれらの方式の
ディスペンサーは次の問題点があった。

【０００８】〔１〕エアーパルス方式のディスペンサー
の課題 (1)吐出圧脈動による吐出量のばらつき (2)水頭差による吐出量のばらつき (3)液体の粘度変化による吐出量変化上記(1)の現象は、タクトが短く吐出時間が短い程顕著
に表れる。そのため、エアーパルスの高さを均一化する
ための安定化回路を施すなどの工夫がなされている。

【０００９】上記(2)は、シリンダ内の空隙部１５２の
容積が液体残量Ｈによって異なるため、一定量の高圧エ
アーを供給した場合、空隙部１５２内の圧力変化の度合
が、上記Ｈによって大きく変化してしまうというのがそ
の理由である。液体残量が低下すれば、塗布量が例えば
最大値と比べて５０〜６０％程減少してしまうという問
題点があった。そのために、吐出毎に液体残量Ｈを検知
し、吐出量が均一になる様にパルスの時間幅を調整する
等の方策がなされている。

【００１０】上記(3)は、例えば多量の溶剤を含んだ材
料が時間とともに粘度が変化した場合に発生する。その
ための対策として、時間軸に対する粘度変化の傾向をあ
らかじめコンピュータにプログラミングしておき、粘度
変化の影響を補正する様に例えばパルス幅を調節する等
の方策がなされていた。上記課題に対するいずれの方策
も、コンピュータを含む制御系が繁雑化し、また不規則
な環境条件（温度等）の変化に対する対応は困難であ
り、抜本的な解決案にはならなかった。

【００１１】〔２〕スネイクポンプによるディスペンサ
ーの課題このスネイクポンプの場合、定容積の密閉空間に流体を
封じ込めて輸送する容積型であるため、上述したエアパ
ルス方式のディスペンサーと比べて、粘度変化、ポンプ
吐出側の負荷の変化等の影響を受けにくい定流量特性を
持っている。そこでこのスネイクポンプを従来のエアー
パルス方式に代わる高速間欠塗布用のディスペンサーと
して適用することを試みる。しかしスネイクポンプの主
軸を間欠回転駆動させても、輸送流体を間欠的に吐出さ
せることは困難である。その理由は、ロータ１０２とス
テータ１０３間に封じ込められているポンプ内部の流体
と、ノズルから吐出されたポンプ外部の流体は切れ目の
ない連続体であり、この連続体を遮断させるメカニズム
は存在しないからである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、この発明にかかる液体供給装置では、液体の吸入
孔及び吐出ノズルと、ロータおよびこのロータを収納す
る固定部材の間に形成された液体輸送部と、前記ロータ
と連結した軸と、この軸と前記固定部材の間に相対的な
回転運動と揺動運動を与えるための手段と、その駆動源
である制御部と、前記吐出ノズル近傍に設けられ前記液
体の吐出ノズルからの排出と連動して、前記液体の排出
作用を補助する圧縮気体吐出部と、この吐出部へ前記圧
縮気体を供給する供給源より構成されることを特徴とす
るものである。

【００１３】

【作用】一定量の液体を確実に輸送する機能を有する容
積型マイクロポンプ（液体供給部）の吐出ノズルの先端
に、流線方向に沿って流れる様に高圧気体を供給する。
この時同時にマイクロポンプを駆動し、微少量の液体を
吐出ノズルから流出させる。もし高圧気体の供給がなけ
れば、ノズルから吐出した液体は表面張力の作用によっ
てノズルの外壁に球形状に附着し、液体の自重が表面張
力に打ち勝つまで、容易にノズルから離脱することはな
い。高圧気体はノズルから流出した液体に運動量を与
え、表面張力の作用を断ち切ることにより、液体をノズ
ルからスムーズに分離させ、かつ遠方へ飛翔させること
ができる。

【００１４】マイクロポンプを間欠的に駆動させると共
に、吐出ノズルの先端に高圧エアーを与えれば、高速の
間欠塗布ディスペンサーが実現できる。

【００１５】さらにマイクロポンプの間欠駆動と同期し
た状態で、パルス列の高圧エアーを与えれば、一層効果
的である。

【００１６】本発明の液体供給装置であるマイクロポン
プに一軸偏心型のスネイクポンプを用いて、かつ吐出ノ
ズルの内壁近傍にスネイクポンプのロータとステータを
収納させる構成にすれば、ディスペンサーとしての性能
はさらに飛躍的に向上する。その理由は、スネイクポン
プの元来持つ特徴、すなわち高粘度流体の輸送に適する粉体輸送ができる温度変化（粘度変化）に依存しないに加えて、次の効果を得ることができるからである。

【００１７】鼻タレ・ボタ落ちを防止できる上記の効果は、スネイクポンプが液体の流路の上流側
と下流側を遮断するバルブの機能を兼ねているからであ
る。また、このスネイクポンプを停止後、ほんの少しだ
け逆転させれば、ポンプ室内は若干負圧ぎみとなるた
め、流体がノズル先端から再吸引されてボタ落ちは完全
に回避できる。さらにスネイクポンプのロータの運動が
回転と揺動の規則正しい複合運動であることに着目し、
例えばそれぞれを独立したアクチェータにより同期運転
させることにより、ロータをステータに対して非接触で
駆動させることができる。この様な非接触駆動のスネイ
クポンプに本発明を適用すれば、上記効果に加えて高精度間欠吐出が図れる上記の理由は次の様である。非抵触駆動により、ロー
タとステータのクリアランスはどの箇所においても一定
の変化特性となり、内部リークが吐出流量に与える影響
も一定となる。その結果ロータ・ステータ間のクリアラ
ンスが少し大きくても、あらかじめ予測した通りのバラ
つきのない吐出量が得られるのである。

【００１８】

【実施例】以下本発明を微少流量の液体を供給するディ
スペンサーに適用した実施例について説明する。

【００１９】図１において、１０は主軸、１１は回転ア
クチュエータであるモータのロータ１２はモータのステ
ータ、１３〜１９は固定部材、２０、２１は固定部材１
３、１４、１５、１６、１７、１８、１９と主軸１０の
間に形成された上部スラスト流体軸受及び下部スラスト
流体軸受、２２はつば形状をしたシール部、２３は吸入
孔、２４は主軸１０に形成したねじ溝ポンプ、２５はス
ネイクポンプのロータ、２６はスネイクポンプのステー
タ、２７は上流側吐出ノズルである。なお図中スネイク
ポンプのロータ２５、ステータ２６の部分のみ、その振
幅の形状をやや誇張して描いている。２８は揺動アクチ
ュエータである磁気軸受のロータ、２９は磁気軸受のス
テータ、３０ａ、３０ｂは主軸１０の半径方向位置を検
出するためのＸ軸変位センサー、３０ｃ（図示せず）、
３０ｄ（鎖線）はＹ軸変位センサーである。

【００２０】Ｘ軸変位センサー３０ａ、３０ｂとＹ軸変
位センサー３０ｃ、３０ｄは直行して設けられている。
図面の裏側に配置された前記Ｙ軸センサー３０ｄを鎖線
で示す。ロータ２８、ステータ２９、Ｘ軸変位センサー
３０ａ、３０ｂ、Ｙ軸変位センサー３０ｃ、３０ｄによ
り、主軸１０の軸芯Ｏ₁の径方向位置を決め、かつこの
軸芯Ｏ₁に規則正しい揺動運動を発生させる磁気軸受ア
クチェータ３１を構成している。また３２は主軸１０の
回転角と回転速度を検出するためのエンコーダのロー
タ、３３はステータであり、主軸１０と固定部材１３の
間に設けられている。上記エンコーダによる回転位置情
報をもとに、主軸１０を規則正しく回転させる回転アク
チェータ３５を構成している。

【００２１】３６はスペーサ、３７は下流側ノズル、３
８は前記ステータ２６と前記スペーサ３６の間に形成さ
れたエアー流通路、３９はエアーの供給孔、４０は前記
スペーサ３６を固定部材１９に締結するためのネジ部で
ある。図２に前記両ノズル２７、３７先端部の拡大図を
示す。

【００２２】高圧エアーは供給孔３９から流入し、流通
路３８を経て上流側吐出ノズル２７から流出した液体と
共に、下流側ノズル３７から外部へ排出される。

【００２３】本発明の対象であるスネイクポンプは、断
面長円形のステータ内部でロータを直線往復運動させる
ために、このロータに連結している駆動側の主軸を偏芯
運動（揺動運動）させながら、その偏芯軸センターにお
いて回転運動させる公知のものである。図３はスネイク
ポンプの動作原理を示すもので、１は基礎円、２はその
内接円である。Ｏ₁は前記内接円２の中心、Ｏ₂はロータ
の偏芯運動の中心、また３はＯ₁を中心とする主軸であ
る。ここで内接円２が基礎円１の内側を回転数ωでころ
がりながら回転すると、内接円中心Ｏ₁は中心Ｏ₂のまわ
りを回転数ωで揺動運動する。したがってスネイクポン
プの主軸３は回転数ωで回転しながら、中心Ｏ₂のまわ
りを偏芯量εで揺動運動することになる。

【００２４】また流体を輸送するポンプ部分のロータ
（図３では図示せず。図２の２５）は前記内接円２の円
周上を中心に形成される真円である。このロータは内面
が断面長円形のステータ（図１では図示せず。図２の２
６）に収納されており、原点Ｏ ₂を通過する直線運動を
する。

【００２５】本発明を適用した流体供給装置では、主軸
３には独立した２つのアクチェータによって、揺動運動
と回転運動が同時に与えられる。回転アクチェータ部に
おいては、ＡＣサーボモータあるいはパルスモータ等に
よって、回転数ωの回転運動がなされる。一方揺動アク
チェータ部は、たとえばＸ軸、Ｙ軸に９０°の位相ズレ
を持つマイクロアクチェータ正弦波駆動の組み合わせに
よって規則正しい揺動運動がなされる。この揺動運動
は、回転数ωで原点Ｏ₂のまわりを回る施回運動であ
る。

【００２６】回転と揺動２つの運動は、互いの位相差が
一定に保たれる様な同期制御がなされている。例えば一
つの基準の信号をもとに揺動運動と回転運動の位相が決
められる。この同期制御により、主軸３はモーノポンプ
固有の複合運動をする。その結果、ロータとステータ間
に形成される密閉空間は、吸入側から吐出側へ順次移動
し、連続的なポンピング作用が得られるのである。図４
に磁気軸受アクチェータ３１を駆動する揺動運動制御部
８１としてのブロック図を示す。この揺動運動制御部８
１では、回転運動と同期した状態で磁気軸受の各軸が駆
動されている。図中に磁気軸受の構成モデルを記載して
おり、前記ステータ２９はＸ軸ステータ２９ａ、２９ｂ
およびＹ軸ステータ２９ｃ、２９ｄより構成されてい
る。主軸１０に揺動運動を与えるために、前記Ｘ軸ステ
ータ、Ｙ軸ステータの駆動回路に９０°の位相差を持つ
正弦波が与えられる。

【００２７】図５は本実施例の制御回路全体のブロック
図である。回転信号発生器８２で、回転数と回転位置を
決める周波数（パルス列）を出力させる。この出力の一
方は回転運動制御部８３へ入力される。この回転運動制
御部８３では回転アクチェータ３５を駆動制御する信号
が作られる。一方揺動運動制御部８１では、回転信号発
生器８２から得られたパルス列を磁気軸受アクチェータ
３１のＸ軸およびＹ軸信号処理部（図４）へ送られる。
なお図４において、鎖線で示す様にエンコーダからの出
力を揺動運動制御部へフィードバックすれば、回転運動
と揺動運動間の位相をより正確に制御することができ
る。図２において、前記スラスト流体軸受２０、２１は
通称ヘリングボーン（魚の骨）と呼ばれる浅い溝３２を
つばの面に形成した公知の動圧軸受である。流体軸受２
０、２１と固定部材の間に潤滑油３３、３４が封じ込め
られている。浅い溝３２のポンピング効果により、潤滑
油３３、３４は外部に流出することはない。

【００２８】主軸１０は２つの前記スラスト流体軸受２
０、２１によって支持されているため、傾斜することは
なく軸方向位置が規制される。したがって、磁気軸受ア
クチェータ３１の駆動力により、主軸１０は垂直の状態
を保ったままで、揺動運動を行うことができる。

【００２９】つば形状をした前記シール部２２は、輸送
流体が流体軸受部、磁気軸受部へ侵入するのを防止する
ために設けたもので、つばとその軸方向の対向面間のク
リアランスは十分小さく設定している。またねじ溝ポン
プ２４は、実施例ではスネイクポンプ部への輸送流体の
流入を容易にするため形成したものである。

【００３０】さて、従来のユニバーサルジョンイトを用
いたスネイクポンプは流量精度に関する次の様な課題が
あった。図９で示す従来方式の場合、ロータ１０２は基
本的に片持ち支持構造であり、ステータ１０３がロータ
１０２を支持する軸受けとしての機能も兼ねている。し
たがって、例えば主軸１００の回転数を上昇させたり、
ポンプの負荷の増大により吐出側の圧力が上昇すると、
十分な位置決め保持機能を持たないロータ１０２の運動
が不安定になりやすい。その結果ロータ１０２とステー
タ１０３間のクリアランスが変動し、内部リーク量がば
らつくため流量精度が悪いなどの問題点があった。また
ステータ１０３、ロータ１０２の偏磨耗による流量特性
の経年変化も大きな問題点であった。したがってスイネ
クポンプをディスペンサーとして用いるため、ロータを
小径化した場合、前述した理由により、吐出総流量の精
度はせいぜい±１０〜２０％が限界であった。また、デ
ィスペンサーの超微少流量化（たとえばＱ＝１０^-5cm³/
sec以下）の要請に応えるために、例えばロータ径：Ｄ
０．５mmφ以下の細径化を試みた場合、ロータ・ステー
タ間の金属間接触を伴う従来構造では、ロータの強度低
下による弾性変形、揺動磨耗、破損等が発生し、実用化
は極めて困難であった。本発明を適用した図１の実施例
では、ロータ２５の運動とその絶対位置は磁気軸受アク
チェータ３１によって完全に規制される。したがって複
雑なスネイク形状を持つロータ２５は、運転中はステー
タ２６に対して非抵触の状態を保つことができる。運動
の一周期におけるロータ２５とステータ２６間のクリア
ランスは、主軸１０の運動軌跡が一定のため、どの箇所
においても常に一定の変化特性を持っている。従って、
内部リークが吐出流量に与える影響も一定であり、たと
えロータ２５とステータ２６間のクリアランスが少々大
きくても、あらかじめ予測した通りのバラつきのない吐
出流量が得られるのである。

【００３１】また本発明のポンプでは、ロータ２５と主
軸１０の間に従来のユニバーサルジョイント（図８の１
０４、１０５）の様な輸送流体の流れを妨げるものはな
い。そのため微少流量化を図るためのスネイクポンプを
小型化し、その入口の開孔部分が小さくなっても、輸送
流体をスムーズにスネイクポンプ内に流入できる。

【００３２】以上本発明の適用例として、揺動と回転の
複合運動を得るために２つの独立したアクチェータを用
いる場合について説明した。以下一つのアクチェータ
（モータ）で、非接触型のスネイクポンプを構成した流
体供給装置に本発明を適用例した場合について説明す
る。磁気軸受とモータの２つの機能を同時に兼ねそなえ
た浮上回転モータの研究が従来からなされており、例え
ば、大石他、機械学会論文集（５８巻５５６号、１９９
２年）に報告されている。図８に上記報告例を示す。２
００は４極の永久磁石から構成されるロータ、２０１は
１２極から構成されるステータ、２０２、２０３は変位
センサーである。この様に永久磁石ロータと多極ステー
タを組合せて、かつ回転制御と浮上制御のために位相差
の異なる回転磁界を与えることにより、回転制御と浮上
制御が互いに干渉しないことが理論的にも証明されてい
る。（詳細略）回転浮上モータはこの様に公知であるが、従来の磁気軸
受同様に、ロータ２００の位置を検出するための変位セ
ンサーと制御回路を必要とする。

【００３３】図６は本発明の第２の適用例であり、２０
０は主軸、２０１は回転アクチェータと揺動アクチェー
タを兼ねたモータのロータ、２０２はステータ、２０３
〜２１０は固定部材、２１１は前記固定部材を収納する
ケース、２１２は吸入孔、２１３は主軸２００に形成し
たねじ溝ポンプ、２１４はスネイクポンプのロータ、２
１５はスネイクポンプのステータ、２１６は上流側吐出
ノズル、２１７は上部スラスト軸受、２１８は下部スラ
スト軸受、２１９はシール部、２２０は主軸２００に装
着されたラジアル変位規制ロータ、２２１は２０８と２
２０の隙間に封じ込められた潤滑油である。また前記固
定部材２０８はラジアル変位規制ステータとして機能を
兼ねている。

【００３４】２２１はスペーサ、２２２は下流側ノズ
ル、２２３は前記ステータ２１５と前記スペーサ２２１
の間に形成されたエアー流通路、２２４はエアーの供給
孔、２２５は前記スペーサ２２１を固定部材２１０に締
結するためのネジ部である。ここで以下に着目す
る。

【００３５】微少流量ディスペンサーの場合、揺動運
動の偏芯量εは極めて小さく、ε＝０．１〜０．５ｍｍ
程度でよい。

【００３６】主軸の運動は、一定の軌跡（ハイポサイ
クロイド曲線）を描く。上記を利用した本実施例では、主軸２００の径方向
位置は、図７に示す様に、ラジアル変位規制ステータ２
０８によって拘束される。したがって回転浮上モータの
原理を用いて、主軸２００に回転と揺動の複合運動を与
えても、主軸１０の軸方向位置を制御する必要はない。
前記ラジアル変位規制ロータ２２０をラジアル変位規制
ステータ２０８の内面に、図７に示す様に、押しあてる
だけでよい。従って制御系の簡素化が図れると共に、ラ
ジアル変位センサーを省略できる。なを本発明に用いる
磁気浮上モータとして、ステップモータ、リラクタンス
モータ、誘導モータ等も勿論適用できる。

【００３７】図７に本発明の第３の実施例として、本発
明に静電吸引作用を附加することにより、間欠塗布の一
層の高速化・高精度化を図った例を示す。吐出ノズルに
液体を保持させて、電極に対向させ、吐出ノズル内の液
体と電極との間に電位差を設けると、吐出ノズル内の液
体が帯電し、この帯電した液体が吐出ノズルと電極間に
生じている電界の作用により、電極方向に吸孔されて飛
翔する効果が得られる。図９において３００は下流側吐
出ノズル２７の先端に設けられたバイアス電極、３０１
は上流側吐出ノズルに設けられた制御電極である。空気
流と静電力の両方を利用することにより、両電極間に印
加される電圧によって液体を引き出し、さらに空気流に
より加速し、液体を効果的に飛翔させることができる。

【００３８】本発明では、容積型のマイクロスネイクポ
ンプを用いているため、従来のインクジェット方式では
困難だった高粘度流体を容易に吐出することができる。

【００３９】なを液体吐出の補助作用として、電極の代
わりにインクジェット方式のヒータを設けてもよい。

【００４０】

【発明の効果】本発明により、スネイクポンプの元来持
っている特徴、すなわち高粘度流体の輸送に適する、吐
出流量が温度等の環境条件の変化（粘度変化）等の影響
を受けにくい、等を失わないで、従来のスネイクポンプ
方式あるいはエアーパルス方式では実現できなかった多
くの特徴を持つ高速・高精度間欠吐出装置を実現するこ
とができる。

【００４１】本発明を例えば表面実装分野のディスペン
サーとして用いれば、実装の高速化、微少化、高品位化
等の要請に対して、そのすぐれた素性を生かすことがで
き、効果は絶大なものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す正面断面図

【図２】ノズル先端部の拡大図

【図３】本実施例に用いたスネイクポンプの駆動原理を
示す図

【図４】本発明の揺動運動制御部のブロック図

【図５】本発明の制御回路全体を示すブロック図

【図６】本発明の第２の適用例を示す正面断面図

【図７】第２の実施例の径方向規制手段を示す図

【図８】第３の実施例の吐出部の拡大図

【図９】従来の浮上回転モータの原理図

【図１０】公知のスネイクポンプの正面断面図

【図１１】エアパルスディスペンサーを示す構成図

【符号の説明】

１０主軸１１ロータ１２ステータ２３吸入孔２７吐出ノズル２８ロータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液体の吸入孔及び吐出ノズルと、ロータ
およびこのロータを収納する固定部材の間に形成された
液体輸送部と、前記ロータと連結した軸と、この軸と前
記固定部材の間に相対的な回転運動と揺動運動を与える
ための手段と、その駆動電源である制御部より構成され
ることを特徴とする液体供給装置において、前記吐出ノ
ズル近傍に設けられ前記液体の吐出ノズルからの排出と
連動して、前記液体の排出作用を補助する圧縮気体吐出
部と、この吐出部へ前記圧縮気体を供給する供給源より
構成されることを特徴とする流体供給装置。
【請求項２】流体輸送部は一軸偏心ねじポンプである
ことを特徴とする請求項１記載の流体供給装置。
【請求項３】前記軸と前記固定部材の間に相対的な回
転運動を与えるための回転アクチェータと、その駆動電
源である回転運動制御部と、前記軸と前記固定部材の間
に相対的な揺動運動を与えるための揺動アクチェータ
と、その駆動電源である揺動運動制御部より構成される
ことを特徴とする請求項２記載の流体供給装置。
【請求項４】回転運動と揺動運動が合成されて、規則
正しい公転運動がなされる様に前記回転運動制御部と前
記揺動運動制御部により同期制御されていることを特徴
とする請求項１記載の流体供給装置。
【請求項５】揺動アクチェータは磁気軸受であること
を特徴とする請求項３記載の流体供給装置。
【請求項６】回転アクチェータと揺動アクチェータの
それぞれの機能を同一のモータでもたせたことを特徴と
する請求項１記載の流体供給装置。
【請求項７】前記吐出ノズルあるいは圧縮気体吐出部
に、静電吸引あるいは荷電制御などのための電極、ある
いはバブルジェットのためのヒータを設け、前記液体輸
送部からの液体の吐出と連動させて、前記電極あるいは
ヒータ等を作動させる構成であることを特徴とする請求
項１記載の流体供給装置。