JPH08174825A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
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- JPH08174825A JPH08174825A JP33587394A JP33587394A JPH08174825A JP H08174825 A JPH08174825 A JP H08174825A JP 33587394 A JP33587394 A JP 33587394A JP 33587394 A JP33587394 A JP 33587394A JP H08174825 A JPH08174825 A JP H08174825A
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 接着作業時に流路ユニットが位置決め治具に
接着剤で固着されてしまうのを防止すること。 【構成】 ノズルプレート１と、スペーサ３、及び第２
プレート７とを接着剤Ｓにより接合して形成された流路
ユニットを備えたインクジェット式記録ヘッドにおい
て、ノズルプレート１、スペーサ３、及び第２プレート
７に位置決め孔９、２３、１９を形成するとともに、ス
ペーサ３の位置決め孔２３の周囲、及び周縁に接着剤吸
収用の段差部２８、２９を形成し、ノズルプレート１、
及び第２プレート７の貼合わせ時に流れ出した接着剤を
段差部２８、２９で吸収する。
接着剤で固着されてしまうのを防止すること。 【構成】 ノズルプレート１と、スペーサ３、及び第２
プレート７とを接着剤Ｓにより接合して形成された流路
ユニットを備えたインクジェット式記録ヘッドにおい
て、ノズルプレート１、スペーサ３、及び第２プレート
７に位置決め孔９、２３、１９を形成するとともに、ス
ペーサ３の位置決め孔２３の周囲、及び周縁に接着剤吸
収用の段差部２８、２９を形成し、ノズルプレート１、
及び第２プレート７の貼合わせ時に流れ出した接着剤を
段差部２８、２９で吸収する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧力発生手段により圧
力発生室内のインクを加圧して、ノズル開口からインク
滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド、より詳細
にはスペーサの両面に接着剤を塗布して流路ユニットを
構成したインクジェット式記録ヘッドに関する。
力発生室内のインクを加圧して、ノズル開口からインク
滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド、より詳細
にはスペーサの両面に接着剤を塗布して流路ユニットを
構成したインクジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、インクジェット式記録ヘ
ッドは、複数のノズル開口が穿設されたノズルプレート
と、圧力発生室やインク供給口、共通のインク室を区画
するスペーサ、及び第２プレートを積層、固定し、圧電
振動子や発熱素子により圧力発生室に圧力を発生させ、
この圧力によりインク滴をノズル開口から吐出させるよ
うに構成されている。
ッドは、複数のノズル開口が穿設されたノズルプレート
と、圧力発生室やインク供給口、共通のインク室を区画
するスペーサ、及び第２プレートを積層、固定し、圧電
振動子や発熱素子により圧力発生室に圧力を発生させ、
この圧力によりインク滴をノズル開口から吐出させるよ
うに構成されている。
【０００３】そして、記録ヘッドの記録密度の向上を図
るためにノズル開口列のピッチが小さくなる傾向にあ
り、このためシリコン単結晶のウエハーを異方性エッチ
ングし、これに他の方法で製作されたノズルプレートや
第２プレートを接着剤で固定して流路ユニットを構成
し、これに圧電振動子や発熱素子を設けてインクジェッ
ト式記録ヘッドとして構成されている。
るためにノズル開口列のピッチが小さくなる傾向にあ
り、このためシリコン単結晶のウエハーを異方性エッチ
ングし、これに他の方法で製作されたノズルプレートや
第２プレートを接着剤で固定して流路ユニットを構成
し、これに圧電振動子や発熱素子を設けてインクジェッ
ト式記録ヘッドとして構成されている。
【０００４】このようにノズルプレート、スペーサ、及
び第２プレートを接着剤により貼合わせるため、接着剤
があふれ出して、位置決め治具に付着して流路ユニット
が治具の固定されてしまうといった問題がある。
び第２プレートを接着剤により貼合わせるため、接着剤
があふれ出して、位置決め治具に付着して流路ユニット
が治具の固定されてしまうといった問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みてなされたものであって、その目的とするとこ
ろは接着作業時に流路ユニットが治具に固着されてしま
うのを防止することができるインクジェット式記録ヘッ
ドを提供することである。
題に鑑みてなされたものであって、その目的とするとこ
ろは接着作業時に流路ユニットが治具に固着されてしま
うのを防止することができるインクジェット式記録ヘッ
ドを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ノズル開口が穿設されたノ
ズルプレートと、圧力発生室、インク供給口、及び共通
のインク室を形成するスペーサ、及び第２プレートとを
接着剤により接合して形成された流路ユニット、及び前
記圧力発生室にインク滴を吐出させる圧力発生手段を備
えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記スペー
サに位置決め孔が形成されているとともに、前記スペー
サの位置決め孔の周囲、及び周縁に接着剤吸収用の段差
部を形成するようにした。
るために本発明においては、ノズル開口が穿設されたノ
ズルプレートと、圧力発生室、インク供給口、及び共通
のインク室を形成するスペーサ、及び第２プレートとを
接着剤により接合して形成された流路ユニット、及び前
記圧力発生室にインク滴を吐出させる圧力発生手段を備
えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記スペー
サに位置決め孔が形成されているとともに、前記スペー
サの位置決め孔の周囲、及び周縁に接着剤吸収用の段差
部を形成するようにした。
【０００７】
【作用】ノズルプレート、及び第２プレートの貼合わせ
時に、溢れ出した接着剤は、段差部に流れ込み、ここの
空間で吸収されるため、位置決め孔や外周に流れ出すこ
とが阻止される。
時に、溢れ出した接着剤は、段差部に流れ込み、ここの
空間で吸収されるため、位置決め孔や外周に流れ出すこ
とが阻止される。
【０００８】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１、図２は、それぞれ本発明の
インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであ
って、図中符号１は、ノズル開口２、２、２‥‥が穿設
されたノズルプレート、３は、圧力発生室４、４、４、
インク供給口５、５、５‥‥、及びリザーバ６を区画す
るスペーサ、７は第２プレートで、これらノズルプレー
ト１、及び第２プレート７は、スペーサ部材３の両面を
封止するように接着剤により接合されて流路ユニットを
構成している。
に基づいて説明する。図１、図２は、それぞれ本発明の
インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであ
って、図中符号１は、ノズル開口２、２、２‥‥が穿設
されたノズルプレート、３は、圧力発生室４、４、４、
インク供給口５、５、５‥‥、及びリザーバ６を区画す
るスペーサ、７は第２プレートで、これらノズルプレー
ト１、及び第２プレート７は、スペーサ部材３の両面を
封止するように接着剤により接合されて流路ユニットを
構成している。
【０００９】図中符号１０は、縦振動モードを有する複
数の圧電振動子１１、１１を固定板１２に固定して構成
された振動子ユニットで、基台１３に形成された振動子
ユニット収容孔１４に収容され、先端を第２プレート７
の圧力発生室４に対向する領域に当接した状態で固定板
１２を介して基台１３に固定されている。
数の圧電振動子１１、１１を固定板１２に固定して構成
された振動子ユニットで、基台１３に形成された振動子
ユニット収容孔１４に収容され、先端を第２プレート７
の圧力発生室４に対向する領域に当接した状態で固定板
１２を介して基台１３に固定されている。
【００１０】基台１３には、図示しないインクタンクに
接続するインク供給管１５が設けられていて、先端がス
ペーサ３により構成された共通のインク室６に連通され
ている。なお、図中符号１６は、ノズルプレート１、ス
ペーサ３、及び第２プレート７により構成される流路ユ
ニットと基台１３とを固定する枠体であり、また符号１
７は、ヘッドをキャリッジに固定する基板をそれぞれ示
す。
接続するインク供給管１５が設けられていて、先端がス
ペーサ３により構成された共通のインク室６に連通され
ている。なお、図中符号１６は、ノズルプレート１、ス
ペーサ３、及び第２プレート７により構成される流路ユ
ニットと基台１３とを固定する枠体であり、また符号１
７は、ヘッドをキャリッジに固定する基板をそれぞれ示
す。
【００１１】次ぎに上述したスペーサ３についてさらに
詳しく説明する。図３は、予めエッチド加工により表面
が梨地仕上げされた大判のシリコン単結晶ウエハー２０
に複数のスペーサのパターンを露光して、異方性エッチ
ングにより構成したものを示すものであって、隣接する
他のスペーサ３、３、３‥‥との境界にはミシン目２１
を形成するように多数の通孔が、スペーサの外形に合わ
せて同時に形成されている。
詳しく説明する。図３は、予めエッチド加工により表面
が梨地仕上げされた大判のシリコン単結晶ウエハー２０
に複数のスペーサのパターンを露光して、異方性エッチ
ングにより構成したものを示すものであって、隣接する
他のスペーサ３、３、３‥‥との境界にはミシン目２１
を形成するように多数の通孔が、スペーサの外形に合わ
せて同時に形成されている。
【００１２】エッチングが完了した時点で、ミシン目２
１に合わせて折ることによりスペーサ３をウエハー２０
から簡単かつ確実に切り離すことが可能となる。
１に合わせて折ることによりスペーサ３をウエハー２０
から簡単かつ確実に切り離すことが可能となる。
【００１３】図４は、ウエハー２０から切り離されたス
ペーサを拡大して示すものであって、図中符号２３は、
ノズルプレート１、及び第２プレート７にも設けられて
いる位置決め孔９、１９に合わせて一側寄りに形成され
た位置決め孔で、組み立て工程において治具Ｂに植設さ
れている位置決めピンＰに挿入されて、これら３つの部
材を接着するための位置合わせに使用される。
ペーサを拡大して示すものであって、図中符号２３は、
ノズルプレート１、及び第２プレート７にも設けられて
いる位置決め孔９、１９に合わせて一側寄りに形成され
た位置決め孔で、組み立て工程において治具Ｂに植設さ
れている位置決めピンＰに挿入されて、これら３つの部
材を接着するための位置合わせに使用される。
【００１４】なお、ノズルプレート１と第２プレート７
との外形形状は、スペーサ３の外形形状よりも小さく選
択されているため、図３に示すウエハー２０の状態でノ
ズルプレート１と第２プレート７を接着し、その後にミ
シン目２１に合わせて切り離すことが可能となり、生産
性が向上する。
との外形形状は、スペーサ３の外形形状よりも小さく選
択されているため、図３に示すウエハー２０の状態でノ
ズルプレート１と第２プレート７を接着し、その後にミ
シン目２１に合わせて切り離すことが可能となり、生産
性が向上する。
【００１５】３方を共通のインク室６を形成する窓２４
により、枠部２５と舌状の領域２６とに分離されてい
て、中央部の領域２６に前述した圧力発生室４、インク
供給口５が形成されている。また、領域２６の先端（図
中、下方）と枠部２５とを接続するとともに、インク供
給管１５の先端が当接する略「＋」字状の仕切り２７
ａ、２７ｂが形成されて、枠部２５と領域２６の先端と
が仕切り２７ａを介して連続している。
により、枠部２５と舌状の領域２６とに分離されてい
て、中央部の領域２６に前述した圧力発生室４、インク
供給口５が形成されている。また、領域２６の先端（図
中、下方）と枠部２５とを接続するとともに、インク供
給管１５の先端が当接する略「＋」字状の仕切り２７
ａ、２７ｂが形成されて、枠部２５と領域２６の先端と
が仕切り２７ａを介して連続している。
【００１６】このように仕切り２７ａ、２７ｂが存在す
るため、舌状の領域２６と枠部２５とが互いに片持梁状
となるのが防止され、強度が確保できるばかりでなく、
インク供給管１５を４点で安定に支持することが可能と
なる。これにより、基台１３と薄い第２プレート７とが
確実に接着接合され、接合部からのインク漏れや、大気
の侵入を防止することができる。
るため、舌状の領域２６と枠部２５とが互いに片持梁状
となるのが防止され、強度が確保できるばかりでなく、
インク供給管１５を４点で安定に支持することが可能と
なる。これにより、基台１３と薄い第２プレート７とが
確実に接着接合され、接合部からのインク漏れや、大気
の侵入を防止することができる。
【００１７】一方、位置決め孔２３の周縁、枠部２５の
周縁（図中ハッチングにより示す領域）には、図５
（イ）、（ロ）に示すように接着剤を収容できる程度の
段差を形成するようにハーフエッチング等により段差部
２８、２９が形成されている。
周縁（図中ハッチングにより示す領域）には、図５
（イ）、（ロ）に示すように接着剤を収容できる程度の
段差を形成するようにハーフエッチング等により段差部
２８、２９が形成されている。
【００１８】このように構成されたスペーサ３は、表面
及びインク流路にアミノ系シランカップリング剤が塗布
される。これにより、インク流路におけるインクとスペ
ーサの濡れ特性が向上して、気泡を速やかに排除するこ
とができ、また表面における接着剤との馴染みを改善し
て、ノズルプレート１や第２プレート７と強固な接着が
可能となる。なお、図中符号３０、３１は、段差部２
８、２９の内側に形成された接着剤吸収用の角錐型の凹
部を、また３２は、舌部２６の根元に形成された接着剤
吸収用の角錐型の凹部をそれぞれ示す。
及びインク流路にアミノ系シランカップリング剤が塗布
される。これにより、インク流路におけるインクとスペ
ーサの濡れ特性が向上して、気泡を速やかに排除するこ
とができ、また表面における接着剤との馴染みを改善し
て、ノズルプレート１や第２プレート７と強固な接着が
可能となる。なお、図中符号３０、３１は、段差部２
８、２９の内側に形成された接着剤吸収用の角錐型の凹
部を、また３２は、舌部２６の根元に形成された接着剤
吸収用の角錐型の凹部をそれぞれ示す。
【００１９】図６は、上述した舌部２６に形成された圧
力発生室４、インク供給口５の一実施例を示すものであ
って、圧力発生室４、４を区画している隔壁４０、４０
には、インク供給口２側からノズル開口２側の端部にま
で延びるスリット４１、４１が１条形成されており、ま
たインク供給口５を区画する壁４２には、複数条のスリ
ット４３、４３、４３が形成されている。
力発生室４、インク供給口５の一実施例を示すものであ
って、圧力発生室４、４を区画している隔壁４０、４０
には、インク供給口２側からノズル開口２側の端部にま
で延びるスリット４１、４１が１条形成されており、ま
たインク供給口５を区画する壁４２には、複数条のスリ
ット４３、４３、４３が形成されている。
【００２０】この実施例において、図７に示したように
ノズルプレート１の位置決め孔９を治具ＢのピンＰ挿入
して、治具Ｂにセットする。
ノズルプレート１の位置決め孔９を治具ＢのピンＰ挿入
して、治具Ｂにセットする。
【００２１】一方、前述のスペーサ３の両面に、層状に
接着剤を塗布した可撓性フィルムを押し当てて予め接着
剤Ｓを塗布した後、スペーサ３の位置決め孔２３を治具
ＢのピンＰに挿入してノズルプレート１に重ねる。
接着剤を塗布した可撓性フィルムを押し当てて予め接着
剤Ｓを塗布した後、スペーサ３の位置決め孔２３を治具
ＢのピンＰに挿入してノズルプレート１に重ねる。
【００２２】ところで接着剤Ｓの塗布時においては、ス
ペーサ３の位置決め孔２３、及び周縁に段差部２８、２
９が設けられているため、転写シートの接着剤が空間に
当接することになり、位置決め孔２３や周縁に接着剤Ｓ
が付着するのが防止される。
ペーサ３の位置決め孔２３、及び周縁に段差部２８、２
９が設けられているため、転写シートの接着剤が空間に
当接することになり、位置決め孔２３や周縁に接着剤Ｓ
が付着するのが防止される。
【００２３】この状態で所要の圧力を加えると、圧力発
生室４を区画する壁４０で溢れ出した接着剤Ｓは、ここ
に形成されているスリット４１に、またインク供給口５
を区画している壁４２で溢れ出した接着剤Ｓは、ここに
形成されている溝４３、４３にそれぞれ収容され、圧力
発生室４や、インク供給口５に流れ込むのが阻止され
る。
生室４を区画する壁４０で溢れ出した接着剤Ｓは、ここ
に形成されているスリット４１に、またインク供給口５
を区画している壁４２で溢れ出した接着剤Ｓは、ここに
形成されている溝４３、４３にそれぞれ収容され、圧力
発生室４や、インク供給口５に流れ込むのが阻止され
る。
【００２４】一方、位置決め孔２３の近傍や、枠部２５
の周縁で溢れ出した接着剤Ｓは、この近傍に形成されて
いる凹部３０や３１に収容される。
の周縁で溢れ出した接着剤Ｓは、この近傍に形成されて
いる凹部３０や３１に収容される。
【００２５】これら凹部３０、３１で吸収しきれなかっ
た接着剤Ｓは、位置決め孔２３や、枠部２５の外側に流
れ出すが、位置決め孔２３や枠部２５の周縁に形成され
ている段差部２８、２９に流れ込み、ノズルプレート１
との間に形成される空間に収容されて、位置決め孔２３
やスペーサの外に漏れ出すのが防止される。
た接着剤Ｓは、位置決め孔２３や、枠部２５の外側に流
れ出すが、位置決め孔２３や枠部２５の周縁に形成され
ている段差部２８、２９に流れ込み、ノズルプレート１
との間に形成される空間に収容されて、位置決め孔２３
やスペーサの外に漏れ出すのが防止される。
【００２６】スペーサ３とノズルプレート１との接着が
完了した段階で、第２プレート７を、その位置決め孔１
９をピンＰに挿入してスペーサ３に重ねる。
完了した段階で、第２プレート７を、その位置決め孔１
９をピンＰに挿入してスペーサ３に重ねる。
【００２７】この場合もノズルプレート１の接着工程と
同様に圧力発生室４を区画する壁４０で溢れ出した接着
剤Ｓは、ここに形成されているスリット４１に、またイ
ンク供給口５を区画している壁４２で溢れ出した接着剤
Ｓは、ここに形成されている溝４３、４３にそれぞれ収
容され、圧力発生室４や、インク供給口５に流れ込むの
が阻止される。
同様に圧力発生室４を区画する壁４０で溢れ出した接着
剤Ｓは、ここに形成されているスリット４１に、またイ
ンク供給口５を区画している壁４２で溢れ出した接着剤
Ｓは、ここに形成されている溝４３、４３にそれぞれ収
容され、圧力発生室４や、インク供給口５に流れ込むの
が阻止される。
【００２８】一方、位置決め孔２３の近傍や、枠部２５
の周縁で溢れ出した接着剤Ｓは、この近傍に形成されて
いる凹部３０や３１により収容される。
の周縁で溢れ出した接着剤Ｓは、この近傍に形成されて
いる凹部３０や３１により収容される。
【００２９】そして、これら凹部３０、３１で吸収しき
れなかった接着剤Ｓは、位置決め孔２３や、枠部２５の
外側に流れ出すが、位置決め孔２３や枠部２５の周縁に
形成されている段差部２８、２９に流れ込み、第２プレ
ート７との間に形成される空間に収容されて、位置決め
孔２３やスペーサ３の外に漏れ出すのが防止される。
れなかった接着剤Ｓは、位置決め孔２３や、枠部２５の
外側に流れ出すが、位置決め孔２３や枠部２５の周縁に
形成されている段差部２８、２９に流れ込み、第２プレ
ート７との間に形成される空間に収容されて、位置決め
孔２３やスペーサ３の外に漏れ出すのが防止される。
【００３０】この結果、治具Ｂの位置決めピンＰ等に接
着剤Ｓが付着することが無く、治具Ｂに流路ユニットが
固着されてしまうといった不都合が払拭され、作業能率
を向上させることができる。
着剤Ｓが付着することが無く、治具Ｂに流路ユニットが
固着されてしまうといった不都合が払拭され、作業能率
を向上させることができる。
【００３１】なお、上述の実施例においては、縦振動モ
ードの圧電振動子を用いる記録ヘッドに例を採って説明
したが、たわみ振動の圧電振動子を用いるものや、また
発熱素子を用いるものに適用しても同様の作用を奏する
ことは明らかである。
ードの圧電振動子を用いる記録ヘッドに例を採って説明
したが、たわみ振動の圧電振動子を用いるものや、また
発熱素子を用いるものに適用しても同様の作用を奏する
ことは明らかである。
【００３２】また、上述の実施例においては、ノズルプ
レート、スペーサ、及び第２プレートをそれぞれ別部材
として形成しているが、ノズルプレート、または第２プ
レートをスペーサの一方の面に一体に作り付けたものに
あっては、他の部材、つまり第２プレート、またはノズ
ルプレートをスペーサに接着剤により貼合わせる場合に
適用しても同様の作用を奏することは明らかである。も
とより、この場合には接着剤が塗布される側だけに段差
部２８、２９、及び凹部３０、３１を形成すればよいこ
とは明らかである。
レート、スペーサ、及び第２プレートをそれぞれ別部材
として形成しているが、ノズルプレート、または第２プ
レートをスペーサの一方の面に一体に作り付けたものに
あっては、他の部材、つまり第２プレート、またはノズ
ルプレートをスペーサに接着剤により貼合わせる場合に
適用しても同様の作用を奏することは明らかである。も
とより、この場合には接着剤が塗布される側だけに段差
部２８、２９、及び凹部３０、３１を形成すればよいこ
とは明らかである。
【００３３】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発
生室、インク供給口、及び共通のインク室を形成するス
ペーサ、及び第２プレートとを接着剤により接合して形
成された流路ユニット、及び圧力発生室にインク滴を吐
出させる圧力発生手段を備えたインクジェット式記録ヘ
ッドにおいて、ノズルプレート、スペーサ、及び第２プ
レートに位置決め孔が形成されているとともに、スペー
サの位置決め孔の周囲、及び周縁に接着剤吸収用の段差
部を形成したので、これら位置決め孔の周囲、スペーサ
の周縁に接着剤が塗布されるのを防止できるとともに、
ノズルプレート、及び第２プレートの貼合わせ時に、た
とえ接着剤が流れ出したとしも、段差部で吸収できて、
位置決め孔や外周に流れ出すの阻止して、位置決め治具
に固着されてしまうのを防止することができる。
は、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発
生室、インク供給口、及び共通のインク室を形成するス
ペーサ、及び第２プレートとを接着剤により接合して形
成された流路ユニット、及び圧力発生室にインク滴を吐
出させる圧力発生手段を備えたインクジェット式記録ヘ
ッドにおいて、ノズルプレート、スペーサ、及び第２プ
レートに位置決め孔が形成されているとともに、スペー
サの位置決め孔の周囲、及び周縁に接着剤吸収用の段差
部を形成したので、これら位置決め孔の周囲、スペーサ
の周縁に接着剤が塗布されるのを防止できるとともに、
ノズルプレート、及び第２プレートの貼合わせ時に、た
とえ接着剤が流れ出したとしも、段差部で吸収できて、
位置決め孔や外周に流れ出すの阻止して、位置決め治具
に固着されてしまうのを防止することができる。
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組み立て斜視図である。
例を示す組み立て斜視図である。
【図２】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図３】単結晶シリコンウエハーにエッチングにより複
数のスペーサを形成した状態を示す図である。
数のスペーサを形成した状態を示す図である。
【図４】ウエハーから分離されたスペーサの一実施例を
示す図である。
示す図である。
【図５】図（イ）、（ロ）は、それぞれ位置決め孔、及
び周縁に形成された段差部を拡大して示す断面図であ
る。
び周縁に形成された段差部を拡大して示す断面図であ
る。
【図６】圧力発生室、インク供給口の近傍を拡大して示
す図である。
す図である。
【図７】流路ユニットの組み立て時における位置決め孔
近傍、及び周縁部の状態を示す図である。
近傍、及び周縁部の状態を示す図である。
１ ノズルプレート ３ スペーサ ７ 第２プレート ９、１９、２３ 位置決め孔 ２８、２９ 段差部 ３０、３１ 凹部 Ｂ 位置決め治具 Ｐ 位置決めピン Ｓ 接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鴨井 和美 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】 ノズル開口が穿設されたノズルプレート
と、圧力発生室、インク供給口、及び共通のインク室を
形成するスペーサ、及び第２プレートとを接着剤により
接合して形成された流路ユニット、及び前記圧力発生室
にインク滴を吐出させる圧力発生手段を備えたインクジ
ェット式記録ヘッドにおいて、 前記スペーサに位置決め孔が形成されているとともに、
前記スペーサの位置決め孔の周囲、及び周縁に接着剤吸
収用の段差部が形成されているインクジェット式記録ヘ
ッド。 - 【請求項２】 前記スペーサが単結晶シリコンを異方性
エッチングして構成されている請求項１のインクジェッ
ト式記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記段差部の周囲に凹部が形成されてい
る請求項２のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記スペーサの表面が梨地仕上げされて
いて、表面にシランカプリング剤が塗布されている請求
項２のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記圧力発生室、及びインク供給口を区
画する隔壁にスリットが形成されている請求項１のイン
クジェット式記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記スペーサの外周にウエハーから切断
するためのミシン目が形成されている請求項２のインク
ジェット式記録ヘッド。 - 【請求項７】 前記スペーサの外形形状が、前記ノズル
プレート、または前記第２プレートの少なくと一方より
大きく設定されている請求項２のインクジェット式記録
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33587394A JPH08174825A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33587394A JPH08174825A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08174825A true JPH08174825A (ja) | 1996-07-09 |
Family
ID=18293339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33587394A Pending JPH08174825A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08174825A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10119270A (ja) * | 1996-10-21 | 1998-05-12 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びこれに適したインク供給口形成基板の製造方法 |
| EP1493582A1 (en) | 2003-06-30 | 2005-01-05 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing the same |
| JP2007038245A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Seiko Epson Corp | 構造体の製造方法 |
| JP2010158822A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッドの製造方法 |
| US8123339B2 (en) | 2006-09-15 | 2012-02-28 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid ejection head and image forming apparatus using the same |
| JP2013099893A (ja) * | 2011-11-09 | 2013-05-23 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドモジュールの製造方法及び液体噴射ヘッドモジュール並びに液体噴射装置 |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP33587394A patent/JPH08174825A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10119270A (ja) * | 1996-10-21 | 1998-05-12 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びこれに適したインク供給口形成基板の製造方法 |
| EP1493582A1 (en) | 2003-06-30 | 2005-01-05 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing the same |
| US7152952B2 (en) | 2003-06-30 | 2006-12-26 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing the same |
| JP2007038245A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Seiko Epson Corp | 構造体の製造方法 |
| US8123339B2 (en) | 2006-09-15 | 2012-02-28 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid ejection head and image forming apparatus using the same |
| JP2010158822A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッドの製造方法 |
| JP2013099893A (ja) * | 2011-11-09 | 2013-05-23 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドモジュールの製造方法及び液体噴射ヘッドモジュール並びに液体噴射装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021106 |