JPH08179148A - Optical axis adjusting method and device - Google Patents
Optical axis adjusting method and deviceInfo
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- JPH08179148A JPH08179148A JP31784994A JP31784994A JPH08179148A JP H08179148 A JPH08179148 A JP H08179148A JP 31784994 A JP31784994 A JP 31784994A JP 31784994 A JP31784994 A JP 31784994A JP H08179148 A JPH08179148 A JP H08179148A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、種々の光部品間相互の
接続、例えば光ファイバアレイと平板型光導波路アレイ
との接続等において、接続部を透過する伝送光強度をモ
ニタすることによって精密光軸調整を行う前工程とし
て、その接続部を透過する伝送光強度が検出可能となる
ように仮調整を自動的に行う方法、及びその装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to precise connection between various optical components such as an optical fiber array and a flat plate type optical waveguide array by monitoring the intensity of transmitted light passing through the connecting portion. The present invention relates to a method and an apparatus for automatically performing temporary adjustment so that the intensity of transmitted light transmitted through a connection portion can be detected as a pre-step of adjusting the optical axis.
【0002】[0002]
【従来の技術】光通信,光計測などに用いられる装置、
システムの光伝送路では、光ファイバ,平板型光導波
路,半導体レーザなどの光部品が数多く接続され、しか
もそれらはミクロンオーダで位置決めされ、接続される
必要がある。このため光部品間相互の接続作業の高速
化、高効率化、省力化が重要課題となっている。2. Description of the Related Art Devices used for optical communication and optical measurement,
In the optical transmission line of the system, a large number of optical components such as an optical fiber, a flat-plate type optical waveguide, and a semiconductor laser are connected, and moreover, they must be positioned and connected in the order of microns. For this reason, it has become an important issue to speed up the work of connecting optical components to each other, to improve efficiency, and to save labor.
【0003】光部品接続工程では、光軸の位置決め自由
度を変数とし、接続部を通る伝送光強度を評価関数とし
て、その伝送光強度の最大値がある与えられた探索アル
ゴリズムによって求められる。したがってこのような光
軸調整を行うには、伝送光強度の情報が不可欠となり、
光軸調整を開始するには検出可能なレベルの伝送光強度
が得られるように、あらかじめ接続する光部品の光軸を
10μm程度の精度で仮調整しておかなければならな
い。In the optical component connecting step, the degree of freedom of positioning of the optical axis is used as a variable, and the intensity of the transmitted light passing through the connecting portion is used as an evaluation function, and the maximum value of the transmitted light intensity is obtained by a given search algorithm. Therefore, in order to perform such optical axis adjustment, information on the transmitted light intensity is essential,
In order to start the optical axis adjustment, the optical axis of the optical component to be connected must be preliminarily adjusted with an accuracy of about 10 μm so that a detectable level of transmitted light intensity can be obtained.
【0004】このような光軸の仮調整に関する従来例を
図11,図12を用いて説明する。図11は顕微鏡を用
いて光導波路端の出射光を観察する方法を示したもので
ある。(1)半導体レーザ光源1からの光を光ファイバ
2を通して固定ステージ7上の光導波路3の一方の端面
に当て光ファイバ2を6軸微動ステージ6を用いて走査
する。(2)光導波路3を伝搬して光導波路3の他方の
端面から出射する光を顕微鏡4とCCDカメラ5を用い
て観察する。この手順により接続点9での光軸位置の調
整をコントローラ8を介して行う。図12はコア径の大
きなマルチモードファイバ13を一時的に使って仮調整
を行う方法である。例えば、シングルモードファイバの
5倍程度の大きさのコア径を持つコア径が50μm程度
のマルチモードファイバを受光ファイバとして用いれ
ば、受光側での高精度位置決めを必要としなくなるの
で、そこでの位置決めが容易になる。なお、図中14は
光パワーメータ、15は6軸微動ステージである。A conventional example relating to such temporary adjustment of the optical axis will be described with reference to FIGS. 11 and 12. FIG. 11 shows a method of observing the emitted light at the end of the optical waveguide using a microscope. (1) Light from the semiconductor laser light source 1 is applied to one end face of the optical waveguide 3 on the fixed stage 7 through the optical fiber 2 and the optical fiber 2 is scanned using the 6-axis fine movement stage 6. (2) The light propagating through the optical waveguide 3 and emitted from the other end face of the optical waveguide 3 is observed using the microscope 4 and the CCD camera 5. With this procedure, the optical axis position at the connection point 9 is adjusted via the controller 8. FIG. 12 shows a method of temporarily using the multimode fiber 13 having a large core diameter for temporary adjustment. For example, if a multimode fiber having a core diameter of about 50 μm and a core diameter about 5 times as large as that of a single mode fiber is used as a light receiving fiber, it is not necessary to perform high-precision positioning on the light receiving side. It will be easier. In the figure, 14 is an optical power meter, and 15 is a 6-axis fine movement stage.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】前述した顕微鏡を用い
て光導波路端の出射光を観察する方法や一時的にマルチ
モードファイバを使って光軸調整を行う方法等の従来方
法では、顕微鏡,CCDカメラ,マルチモードファイバ
等の部品、装置を必要とするために光軸調整装置のコス
トが高くなってしまう。また従来法では、接続部を透過
する光を測定観察する方式が採られているために、例え
ば光ファイバ,光導波路,光ファイバの3部品を接続し
ようとする際に、入力側,出力側の接続部で逐次調整を
行う必要のあることや、さらに、片側の光軸調整が終了
した後、マルチモードファイバや顕微鏡を接続すべき光
部品と入替えるときに、微動ステージの位置決め誤差が
必ず発生するので、その誤差を解消するための余分な調
整工程がさらに必要となる等のために、全工程数が多く
なって、作業時間が多大となる等の問題点が存在してい
る。In the conventional methods such as the method of observing the light emitted from the end of the optical waveguide by using the microscope and the method of temporarily adjusting the optical axis by using the multimode fiber, the microscope and the CCD are used. The cost of the optical axis adjusting device increases because parts and devices such as a camera and a multimode fiber are required. Further, in the conventional method, since the method of measuring and observing the light transmitted through the connection portion is adopted, for example, when connecting three parts of the optical fiber, the optical waveguide, and the optical fiber, the input side and the output side are connected. It is necessary to perform sequential adjustment at the connection part, and further, after the optical axis adjustment on one side is completed, when the multimode fiber or microscope is replaced with an optical component to be connected, a positioning error of the fine movement stage will always occur. Therefore, there is a problem that an additional adjustment process for eliminating the error is further required, so that the total number of processes is increased and the working time is increased.
【0006】本発明は前述の問題点を解決するために為
されたものであり、その目的は、(1)複数接続部の仮
調整の並列処理による光軸の仮調整作業の高効率化、
(2)光軸の仮調整に必要な部品、装置が不要となるこ
とによる、装置の低コスト化を実現することにある。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to (1) improve the efficiency of temporary adjustment work of an optical axis by parallel processing of temporary adjustment of a plurality of connection parts,
(2) To reduce the cost of the device by eliminating the need for parts and devices required for temporary adjustment of the optical axis.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は前述の目的を達
成するために、請求項1では光部品接続工程において、
光部品の導波路部とその周辺部に対して、別の接続すべ
き光部品から光を照射して、導波路部及び周辺部の反射
光強度をモニタすることにより、導波路部の位置を特定
し、接続部を通る光信号強度が検出可能となるように光
軸を自動的に位置決めしている。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a method for connecting optical parts according to claim 1,
The position of the waveguide part can be determined by irradiating the waveguide part and its peripheral part of the optical part with light from another optical part to be connected and monitoring the reflected light intensity of the waveguide part and the peripheral part. The optical axis is automatically positioned so as to identify and detect the optical signal intensity passing through the connection portion.
【0008】また、請求項2では、反射光強度をモニタ
するための光源と光検出器と光分岐器からなる反射光強
度測定系と、反射光強度測定の結果得られた導波路部の
位置に対して位置決めを行うための微動ステージと、微
動ステージを駆動するための制御系とからなる光軸調整
装置を構成している。Further, in claim 2, a reflected light intensity measuring system comprising a light source for monitoring the reflected light intensity, a photodetector and an optical branching device, and the position of the waveguide portion obtained as a result of the reflected light intensity measurement. The optical axis adjusting device is composed of a fine movement stage for positioning with respect to, and a control system for driving the fine movement stage.
【0009】[0009]
【作用】請求項1の光軸調整方法によれば、光部品接続
工程において、光部品の導波路部(コア)とその周辺部
(クラッド)に対して、もう一つの接続すべき光部品か
ら光を照射して、コア部及びクラッド部からの反射光強
度をモニタすることにより、コア部の位置を特定し、光
信号強度が検出可能となるように光軸を自動的に位置決
めするために、接続光部品間を透過する光信号強度を測
定する必要がないことから、複数接続部において光軸の
仮調整を並列に実行することが可能となり、接続工程の
短縮化が図られる。According to the optical axis adjusting method of the first aspect, in the optical component connecting step, another optical component to be connected to the waveguide portion (core) and the peripheral portion (clad) of the optical component is to be connected. By irradiating light and monitoring the intensity of the reflected light from the core and clad, the position of the core is specified, and the optical axis is automatically positioned so that the optical signal intensity can be detected. Since it is not necessary to measure the intensity of the optical signal transmitted between the connecting optical components, it is possible to perform the temporary adjustment of the optical axes in parallel at the plurality of connecting portions, and the connecting process can be shortened.
【0010】また、請求項2の光軸調整装置によれば、
請求項1の作用を有する装置を実現することが出来る。According to the optical axis adjusting device of claim 2,
A device having the operation of claim 1 can be realized.
【0011】[0011]
【実施例】図1から図5は本発明の第一の実施例を示す
ものであり、以下、図面に基づいて本発明の光軸調整方
法及び装置について説明する。1 to 5 show a first embodiment of the present invention, and an optical axis adjusting method and apparatus of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0012】図1に本発明の光軸調整方法を実施できる
光軸調整装置の構成を示す。この光軸調整装置は、半導
体レーザ20,23とフォトダイオード21,24と光
分岐器22,25からなる反射光測定光学系33,34
と、シングルモード光ファイバ26,28を駆動するた
めの6軸微動ステージ29,31、光導波路27を固定
するための固定ステージ30、6軸微動ステージ29,
31を駆動制御するためのコントローラ32から構成さ
れる。ここでは接続点35,36において光軸調整を行
う。このように光導波路を挟んで対称な装置構成となっ
ており、接続点35と接続点36において同時に光軸調
整を行うことが出来る。FIG. 1 shows the configuration of an optical axis adjusting device which can carry out the optical axis adjusting method of the present invention. This optical axis adjusting device includes reflected light measuring optical systems 33 and 34 including semiconductor lasers 20 and 23, photodiodes 21 and 24, and optical splitters 22 and 25.
A 6-axis fine movement stage 29, 31 for driving the single-mode optical fibers 26, 28, a fixed stage 30 for fixing the optical waveguide 27, a 6-axis fine movement stage 29,
It is composed of a controller 32 for driving and controlling 31. Here, the optical axis is adjusted at the connection points 35 and 36. In this way, the device configuration is symmetrical with the optical waveguide sandwiched, and the optical axis can be adjusted at the connection points 35 and 36 at the same time.
【0013】図2を用いて、光ファイバ37と光導波路
38との光軸調整を例に本発明の光軸調整方法の原理を
説明する。光ファイバ37のコア部39とクラッド部4
0、及び光導波路のコア部41とクラッド部分42はそ
の材質の屈折率が異るために光がコア部を導波する。屈
折率の異る材料では、その反射率も屈折率に依存して異
る。空気中を伝搬した光が材料に入射するとき、空気の
屈折率を1、材料の屈折率をnとすると、その部分の反
射率Rは式1で表される。The principle of the optical axis adjusting method of the present invention will be described with reference to FIG. 2 by taking the optical axis adjustment of the optical fiber 37 and the optical waveguide 38 as an example. Core part 39 and clad part 4 of the optical fiber 37
0, and since the core portion 41 and the cladding portion 42 of the optical waveguide have different refractive indexes of the materials, light is guided through the core portion. For materials having different refractive indices, the reflectance also differs depending on the refractive index. When the light propagating in the air is incident on the material, assuming that the refractive index of the air is 1 and the refractive index of the material is n, the reflectance R of that portion is expressed by Equation 1.
【0014】[0014]
【数1】 [Equation 1]
【0015】ここで現状の光ファイバの値を入れて計算
する。光ファイバ端面を反射面としたとき光導波路38
のコア部41の屈折率をn1 =,1.470、クラッド
部分42の屈折率をn2 =1.458とするとコア部の
反射率R1 =0.036、クラッド部分の反射率R2 =
0.033となる。したがって、この反射率差による光
信号強度差を検出することにより、コア部とクラッド部
の位置の特定が出来ることになる。Here, the value of the current optical fiber is put into the calculation. When the end surface of the optical fiber is a reflecting surface, the optical waveguide 38
If the refractive index of the core portion 41 is n 1 =, 1.470 and the refractive index of the cladding portion 42 is n 2 = 1.458, then the reflectance R 1 of the core portion R 1 = 0.036 and the reflectance R 2 of the cladding portion R 2 =
It becomes 0.033. Therefore, the positions of the core portion and the clad portion can be specified by detecting the optical signal intensity difference due to this reflectance difference.
【0016】図3に本光軸調整方法を確認するための実
験装置の構成図を示す。本実験装置は、図1に示した光
軸調整装置の片側部分に対応する。FIG. 3 is a block diagram of an experimental apparatus for confirming the present optical axis adjusting method. This experimental device corresponds to one side portion of the optical axis adjusting device shown in FIG.
【0017】実験装置は、半導体レーザ光源(波長:
1.55μm)43、光パワーメータ44、光分岐器4
5からなる反射光強度測定光学系53と、6軸微動ステ
ージ47、固定ステージ48、シングルモード光ファイ
バ50,51、6軸微動ステージ47を駆動制御するた
めのコントローラ49から構成されている。光パワーメ
ータ44からの反射光強度信号55を検出しながら、コ
ントローラ49からステージ駆動の移動量信号54を6
軸微動ステージ47に送り、接続点52での光軸調整を
行う。図中マッチンググリス46は、塗布したファイバ
端面からの反射の影響を無くすためのものである。The experimental apparatus is a semiconductor laser light source (wavelength:
1.55 μm) 43, optical power meter 44, optical splitter 4
5, a 6-axis fine movement stage 47, a fixed stage 48, single mode optical fibers 50, 51, and a controller 49 for driving and controlling the 6-axis fine movement stage 47. While detecting the reflected light intensity signal 55 from the optical power meter 44, the controller 49 sends the stage drive movement amount signal 54 to 6
It is sent to the axis fine movement stage 47 and the optical axis is adjusted at the connection point 52. The matching grease 46 in the figure is for eliminating the influence of reflection from the coated fiber end surface.
【0018】図4には図3に示した実験装置において、
確認実験で用いた接続光部品(シングルモード光ファイ
バ56,57)を示す。実験では、シングルモード光フ
ァイバ57を走査して、シングルモード光ファイバ56
のコア部58とクラッド部59の反射光を測定し、反射
光強度差を検出することによって、光軸の仮調整を行
う。FIG. 4 shows the experimental apparatus shown in FIG.
The connecting optical components (single mode optical fibers 56, 57) used in the confirmation experiment are shown. In the experiment, the single-mode optical fiber 57 is scanned and the single-mode optical fiber 56 is scanned.
The optical axes are temporarily adjusted by measuring the reflected light from the core portion 58 and the clad portion 59 and detecting the reflected light intensity difference.
【0019】図5は実験結果であり、コア部58とクラ
ッド部59の反射光強度差を示すグラフである。コア部
58では0.34μW、クラッド部59では0.25μ
Wの反射光強度が計測された。この計測値は1×2カプ
ラで分岐された後の値であるため、実際の接続点での反
射光は実験値を2倍した値であり、コア部で0.68μ
W、クラッド部で0.50μWとなる。ここで光源から
の入力光強度は110μWであったので、この場合理論
値から予想されるコア部58での反射光強度は、反射面
が2つあることを考慮すると7.92μWであり、また
クラッド部59での反射光強度は7.26μWである。
コア部58では予想される値の9.5%が観測されてい
る。この比率はクラッド部59での反射光強度の実測値
に関しても同程度である。カプラの損失を考慮すると入
力光の10%程度が観測されるはずであり、残りの損失
は、接続部両端面の平行度、接続部の間隔による影響に
よると考えられる。理論と比較的よく一致することが示
され、本発明の方法により、コア部の特定が可能である
ことが理解される。FIG. 5 is an experimental result and is a graph showing the difference in reflected light intensity between the core portion 58 and the clad portion 59. 0.34 μW in the core part 58, 0.25 μ in the clad part 59
The reflected light intensity of W was measured. Since this measured value is the value after being branched by the 1x2 coupler, the reflected light at the actual connection point is a value that is twice the experimental value, and 0.68μ at the core part.
W, 0.50 μW in the clad part. Here, since the input light intensity from the light source was 110 μW, the reflected light intensity at the core portion 58 expected from the theoretical value in this case is 7.92 μW considering that there are two reflecting surfaces, and The reflected light intensity at the clad portion 59 is 7.26 μW.
In the core part 58, 9.5% of the expected value is observed. This ratio is similar to the actually measured value of the reflected light intensity at the clad portion 59. Considering the loss of the coupler, about 10% of the input light should be observed, and the remaining loss is considered to be due to the parallelism of both end faces of the connection part and the influence of the space between the connection parts. It is shown to be in good agreement with theory, and it is understood that the method of the present invention allows the identification of the core.
【0020】図6及び図7は、本発明の第2の実施例を
説明するための図である。接続部での反射戻り光を小さ
くする必要のあるシステムでは、接続端面を斜めに加工
した部品が用いられる。このような場合でも、本発明の
光軸調整方法を利用出来ることを示す。6 and 7 are views for explaining the second embodiment of the present invention. In a system in which it is necessary to reduce the reflected return light at the connection portion, a component in which the connection end face is processed obliquely is used. It is shown that the optical axis adjusting method of the present invention can be used even in such a case.
【0021】図6は光軸調整を確認するための接続光部
品(接続端面を斜め研磨した光ファイバ60,63(角
度8°)の模式図である。この時、端面同士を平行にす
ると、斜め研磨光ファイバ63からの出射光が斜め研磨
光ファイバ60の端面で反射しても斜め研磨光ファイバ
63を反射面として光源には戻っていかないが、ある角
度で一旦斜め研磨光ファイバ63を傾けてやると、光フ
ァイバ63からの入射光に対して、その反射光が再び光
ファイバ63を通って光源側に戻るようになる。このこ
とを利用すれば、実施例1の場合と同様の装置で確認実
験を行うことが出来る。実際には、一時的に一方のファ
イバを傾けて反射光強度差を検出してコア部を特定し、
その後コア部での反射点を回転中心にして両ファイバの
光軸が平行となるように傾けたファイバをもとの状態に
戻すことにより調芯を行う。FIG. 6 is a schematic view of a connecting optical component for confirming the optical axis adjustment (optical fibers 60 and 63 (angle 8 °) whose connection end faces are obliquely polished. At this time, when the end faces are parallel to each other, Even if the light emitted from the obliquely polishing optical fiber 63 is reflected by the end surface of the obliquely polishing optical fiber 60, it does not return to the light source with the obliquely polishing optical fiber 63 as a reflecting surface, but the obliquely polishing optical fiber 63 is once inclined at a certain angle. Then, the reflected light of the incident light from the optical fiber 63 returns to the light source side through the optical fiber 63. By utilizing this fact, the same device as that of the first embodiment is used. You can conduct a confirmation experiment by actually tilting one fiber and detecting the difference in reflected light intensity to identify the core part,
Then, centering is performed by returning the fibers tilted so that the optical axes of both fibers are parallel to each other with the reflection point at the core portion as the center of rotation, to the original state.
【0022】そこで、実施例1の実験装置を用いて、斜
め研磨光ファイバによる反射光強度差の測定実験を行っ
た結果を図7に示す。図から実施例1の場合と同様にコ
ア部では0.20μW、クラッド部では0.12μWと
いうように、その反射光強度差を検出できていることが
分かる。また、この値は実施例1で述べた理論的な反射
率と実測される反射光強度の関係にほぼ一致する。Therefore, FIG. 7 shows the result of an experiment for measuring the difference in reflected light intensity by the obliquely polished optical fiber using the experimental apparatus of the first embodiment. From the figure, it can be seen that the reflected light intensity difference can be detected as 0.20 μW in the core portion and 0.12 μW in the cladding portion as in the case of the first embodiment. In addition, this value substantially matches the relationship between the theoretical reflectance and the actually measured reflected light intensity described in the first embodiment.
【0023】このように、斜め研磨された端面同士の接
続においても、本発明の方法により、ファイバを一時的
に傾けることにより反射光強度差が検出でき、実施例1
と同様の方法で光軸調整が実行できることが示される。As described above, even in the connection between the end faces that are obliquely polished, the reflected light intensity difference can be detected by temporarily inclining the fiber by the method of the present invention.
It is shown that the optical axis adjustment can be performed in the same manner as in.
【0024】図8は本発明の第三の実施例を説明するた
めの図であり、基本的には実施例1において用いた装置
と同じものである。図中XY方向にシングルモード光フ
ァイバ64を微動ステージ65を用いて走査し、本発明
の手法によりシングルモード光ファイバ66のコア部分
67を自動的に特定する。この実験結果から、設定しき
い値(0.3μW)を越えた時点でファイバの走査を終
了させたところ、光源の光強度が300μWに対して4
0μW程度の伝送光強度が得られた。また出力側にフォ
トダイオードを設置し、接続部を透過する伝送光強度
と、その時得られる反射光強度の関係を計測した結果を
図9に示す。FIG. 8 is a diagram for explaining a third embodiment of the present invention, which is basically the same as the device used in the first embodiment. The single mode optical fiber 64 is scanned in the XY directions in the figure using the fine movement stage 65, and the core portion 67 of the single mode optical fiber 66 is automatically specified by the method of the present invention. From the results of this experiment, when the scanning of the fiber was stopped when the set threshold value (0.3 μW) was exceeded, the light intensity of the light source was 4 for 300 μW.
A transmitted light intensity of about 0 μW was obtained. Further, FIG. 9 shows the results of measuring the relationship between the intensity of the transmitted light transmitted through the connection part and the intensity of the reflected light obtained at that time, with a photodiode installed on the output side.
【0025】図9は光強度を縦軸に走査回数を横軸に採
ったグラフである。この図の測定値にはフォトダイオー
ドからの反射光が含まれるが、図から伝送光強度と反射
光強度の変化は相関があることが示される。このよう
に、反射光強度差が得られる位置で、ある程度の伝送光
強度を得ることが出来ることが示され、その結果、本発
明の方法により光軸仮調整が可能であることが実証され
る。FIG. 9 is a graph in which the vertical axis represents the light intensity and the horizontal axis represents the number of scans. Although the measured values in this figure include the reflected light from the photodiode, the figure shows that there is a correlation between changes in the transmitted light intensity and the reflected light intensity. As described above, it is shown that the transmitted light intensity can be obtained to some extent at the position where the reflected light intensity difference is obtained, and as a result, it is demonstrated that the optical axis temporary adjustment is possible by the method of the present invention. .
【0026】図10は本発明の第4の実施例である複数
接続部での光軸仮調整実験を説明するために用いた、光
ファイバ3部品から構成される接続部品の模式図であ
る。この実験には実施例1における図1の実験装置構成
を用いた、シングルモード光ファイバ70,71を駆動
する微動ステージはそれぞれ独立に動作するよう設定し
た。接続部68,69においてシングルモード光ファイ
バ70,71を別々に走査して、シングルモード光ファ
イバ72の両端面での反射光を測定し、前実施例で示し
た様に反射光強度が高くなったところでそれそれの光フ
ァイバを位置決めした。ここでシングルモード光ファイ
バ70,71,72を通る伝送光強度を計測したとこ
ろ、別の方法で精密調芯を行った際の最大光強度80μ
Wに対して18.5μWを得た。このように本発明の方
法により、複数の接続部での光軸仮調整が並列に実行で
きることが示された。FIG. 10 is a schematic view of a connecting part composed of three parts of an optical fiber used for explaining an optical axis temporary adjustment experiment at a plurality of connecting parts which is a fourth embodiment of the present invention. In this experiment, the experimental apparatus configuration of FIG. 1 in Example 1 was used, and the fine movement stages for driving the single mode optical fibers 70 and 71 were set to operate independently. The single mode optical fibers 70 and 71 are separately scanned at the connecting portions 68 and 69, and the reflected light at both end surfaces of the single mode optical fiber 72 is measured. As shown in the previous embodiment, the reflected light intensity becomes high. By the way, the optical fiber of each of them was positioned. Here, when the intensity of the transmitted light passing through the single mode optical fibers 70, 71, 72 was measured, the maximum light intensity of 80 μ when the precision alignment was performed by another method.
18.5 μW was obtained for W. Thus, it was shown that the method of the present invention can perform optical axis temporary adjustment at a plurality of connecting portions in parallel.
【0027】なお、本発明では上記実施例1,2,3,
4において述べた光部品の種類、端面同士の角度等は限
定されるものでなく、本発明は導波路部とその周辺部に
おいて屈折率が異る種々の光部品において適用可能であ
り、それらに対する応用は本発明の範囲から除外される
ものではない。また、本願発明の光軸調整方法および装
置は光軸の仮調整に有用であるが、精密調整にも適用可
能である。In the present invention, the above-mentioned first, second, third,
The type of the optical component, the angle between the end faces, etc. described in Section 4 are not limited, and the present invention can be applied to various optical components having different refractive indexes in the waveguide portion and its peripheral portion. Applications are not excluded from the scope of the invention. Further, the optical axis adjusting method and apparatus of the present invention are useful for temporary adjustment of the optical axis, but can also be applied to precision adjustment.
【0028】[0028]
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の光軸調
整方法によれば、複数接続部における光軸の仮調整を並
列に実行することが出来るので、例えば光ファイバ,光
導波路,光ファイバの3部品の接続においては調整時間
が従来に比較して半分になること、また接続部が多数に
なっても、同時に調整が可能であるため、調整時間を軽
減出来る等の格段の効果が得られる。また、顕微鏡,C
CDカメラ等の部品を必要としないので、装置を安価に
構成できることなどの効果が期待できる。As described above, according to the optical axis adjusting method of the first aspect, the temporary adjustment of the optical axes in the plurality of connection portions can be executed in parallel, so that, for example, the optical fiber, the optical waveguide, the optical When connecting three fiber parts, the adjustment time is halved compared to the conventional method, and even if there are many connections, adjustments can be made at the same time. can get. Also, microscope, C
Since no parts such as a CD camera are required, it is expected that the device can be inexpensively constructed.
【0029】さらに、請求項2の光軸調整装置によれ
ば、請求項1の効果を達成する装置を実現できるので、
実用化に際して極めて有効である。Further, according to the optical axis adjusting device of the second aspect, it is possible to realize a device that achieves the effect of the first aspect,
It is extremely effective for practical use.
【図1】実施例1における光軸調整装置の構成図であ
る。FIG. 1 is a configuration diagram of an optical axis adjusting device according to a first embodiment.
【図2】本発明の光軸調整方法の原理を説明するための
模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the principle of the optical axis adjusting method of the present invention.
【図3】実施例1における光軸調整方法を確認するため
の実験装置構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of an experimental apparatus for confirming the optical axis adjusting method in the first embodiment.
【図4】実施例1における光軸調整を確認するための接
続光部品(光ファイバ)の模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram of a connecting optical component (optical fiber) for confirming the optical axis adjustment in the first embodiment.
【図5】実施例1の実験による反射光強度差を示すグラ
フである。FIG. 5 is a graph showing a reflected light intensity difference in the experiment of Example 1.
【図6】実施例2における光軸調整を確認するための接
続部品(斜め研磨光ファイバ)の模式図である。FIG. 6 is a schematic view of a connection part (obliquely polished optical fiber) for confirming the optical axis adjustment in Example 2.
【図7】実施例2における検出された反射光強度差を示
すグラフである。7 is a graph showing a detected reflected light intensity difference in Example 2. FIG.
【図8】実施例3における光軸調整実験装置である。FIG. 8 is an optical axis adjusting experimental device in Example 3;
【図9】実施例3における伝送光強度及び反射光強度と
走査回数との関係を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing the relationship between the intensity of transmitted light and the intensity of reflected light and the number of scans in Example 3.
【図10】実施例4における複数部の光軸仮調整実験用
部品の模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram of a plurality of parts for temporary optical axis adjustment experiment in Example 4.
【図11】従来例(顕微鏡による透過光観察)を説明す
るための構成図である。FIG. 11 is a configuration diagram for explaining a conventional example (observation of transmitted light with a microscope).
【図12】従来例(マルチモードファイバ利用)を説明
するための構成図である。FIG. 12 is a configuration diagram for explaining a conventional example (using multimode fiber).
1 半導体レーザ光源 2 シングルモード光ファイバ 3 光導波路 4 顕微鏡 5 CCDカメラ 6 6軸微動ステージ 7 固定ステージ 8 コントローラ 9 半導体レーザ光源 13 マルチモード光ファイバ 14 光パワーメータ 15 6軸微動ステージ 20 半導体レーザ 21 フォトダイオード 22 光分岐器 23 半導体レーザ 24 フォトダイオード 25 光分岐器 26 シングルモード光ファイバ 27 光導波路 28 シングルモード光ファイバ 29 6軸微動ステージ 30 固定ステージ 31 6軸微動ステージ 32 コントローラ 33 反射光強度測定光学系 34 反射光強度測定光学系 35 接続点1 36 接続点2 37 シングルモード光ファイバ 38 光導波路 39 コア 40 クラッド 41 コア 42 クラッド 43 半導体レーザ光源 44 光パワーメータ 45 光分岐器 46 マッチンググリス 47 6軸微動ステージ 48 固定ステージ 49 コントローラ 50 シングルモード光ファイバ 51 シングルモード光ファイバ 52 接続点 53 反射光測定光学系 54 移動量信号 55 反射光強度信号 56 シングルモード光ファイバ 57 シングルモード光ファイバ 58 コア 59 クラッド 60 斜め研磨光ファイバ 61 クラッド 62 コア 63 斜め研磨光ファイバ 64 シングルモード光ファイバ 65 パルスステージ 66 シングルモード光ファイバ 67 コア 68 接続部 69 接続部 70 シングルモード光ファイバ 71 シングルモード光ファイバ 72 シングルモード光ファイバ 1 semiconductor laser light source 2 single mode optical fiber 3 optical waveguide 4 microscope 5 CCD camera 6 6 axis fine movement stage 7 fixed stage 8 controller 9 semiconductor laser light source 13 multimode optical fiber 14 optical power meter 15 6 axis fine movement stage 20 semiconductor laser 21 photo Diode 22 Optical splitter 23 Semiconductor laser 24 Photodiode 25 Optical splitter 26 Single mode optical fiber 27 Optical waveguide 28 Single mode optical fiber 29 6-axis fine movement stage 30 Fixed stage 31 6-axis fine movement stage 32 Controller 33 Reflected light intensity measurement optical system 34 Reflected Light Intensity Measurement Optical System 35 Connection Point 1 36 Connection Point 2 37 Single Mode Optical Fiber 38 Optical Waveguide 39 Core 40 Cladding 41 Core 42 Cladding 43 Semiconductor Laser Light Source 44 Light Power meter 45 Optical splitter 46 Matching grease 47 6-axis fine movement stage 48 Fixed stage 49 Controller 50 Single mode optical fiber 51 Single mode optical fiber 52 Connection point 53 Reflected light measurement optical system 54 Movement amount signal 55 Reflected light intensity signal 56 Single mode Optical fiber 57 Single mode optical fiber 58 Core 59 Clad 60 Oblique polishing optical fiber 61 Cladding 62 Core 63 Oblique polishing optical fiber 64 Single mode optical fiber 65 Pulse stage 66 Single mode optical fiber 67 Core 68 Connection section 69 Connection section 70 Single mode light Fiber 71 single mode optical fiber 72 single mode optical fiber
Claims (2)
路部とその周辺部に対して、別の接続すべき光部品から
光を照射して、導波路部及び周辺部の反射光強度をモニ
タすることにより、導波路部の位置を特定し、接続部を
透過する光信号強度が検出可能となるように光軸を位置
決めすることを特徴とする光軸調整方法。1. In the optical component connecting step, light is radiated from another optical component to be connected to the waveguide portion and its peripheral portion of the optical component so that the reflected light intensity of the waveguide portion and the peripheral portion is increased. An optical axis adjusting method characterized in that the position of the waveguide section is specified by monitoring, and the optical axis is positioned so that the optical signal intensity transmitted through the connection section can be detected.
検出器と光分岐器からなる反射光強度測定系と、反射光
強度測定の結果得られた導波路部の位置に対して位置決
めを行うための微動ステージと、微動ステージを駆動す
るための制御系とからなることを特徴とする光軸調整装
置。2. A reflected light intensity measuring system comprising a light source for monitoring the reflected light intensity, a photodetector and an optical branching device, and positioning with respect to the position of the waveguide portion obtained as a result of the reflected light intensity measurement. An optical axis adjusting device comprising a fine movement stage for performing the movement and a control system for driving the fine movement stage.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31784994A JPH08179148A (en) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | Optical axis adjusting method and device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31784994A JPH08179148A (en) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | Optical axis adjusting method and device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08179148A true JPH08179148A (en) | 1996-07-12 |
Family
ID=18092747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31784994A Pending JPH08179148A (en) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | Optical axis adjusting method and device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08179148A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100350359B1 (en) * | 1997-06-27 | 2002-11-18 | 가부시끼가이샤 도시바 | Nonvolatile semiconductor memory device |
| JP2002350335A (en) * | 2001-05-28 | 2002-12-04 | Tama Tlo Kk | Refractive index sensor, sensor system and optical fiber |
| JP2007206149A (en) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Optical fiber connection method and photocurable resin |
| JP2013535705A (en) * | 2010-08-10 | 2013-09-12 | エアバス オペレーションズ ゲーエムベーハー | Method for connecting an optical waveguide embedded in a fiber composite material to an external optical waveguide |
-
1994
- 1994-12-21 JP JP31784994A patent/JPH08179148A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100350359B1 (en) * | 1997-06-27 | 2002-11-18 | 가부시끼가이샤 도시바 | Nonvolatile semiconductor memory device |
| JP2002350335A (en) * | 2001-05-28 | 2002-12-04 | Tama Tlo Kk | Refractive index sensor, sensor system and optical fiber |
| JP2007206149A (en) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Optical fiber connection method and photocurable resin |
| JP2013535705A (en) * | 2010-08-10 | 2013-09-12 | エアバス オペレーションズ ゲーエムベーハー | Method for connecting an optical waveguide embedded in a fiber composite material to an external optical waveguide |
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