JPH08182302A - リニアモータ用軸受 - Google Patents
リニアモータ用軸受Info
- Publication number
- JPH08182302A JPH08182302A JP34036794A JP34036794A JPH08182302A JP H08182302 A JPH08182302 A JP H08182302A JP 34036794 A JP34036794 A JP 34036794A JP 34036794 A JP34036794 A JP 34036794A JP H08182302 A JPH08182302 A JP H08182302A
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- JP
- Japan
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- bearing
- linear motor
- mover
- shaped
- type linear
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- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- QJVKUMXDEUEQLH-UHFFFAOYSA-N [B].[Fe].[Nd] Chemical compound [B].[Fe].[Nd] QJVKUMXDEUEQLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 板状の可動子を固定子上で摺動可能に支持す
るリニアモータ用軸受において、軸受部の組立を容易に
すると共に、摺動面の局部的な隔たりを少なくし、軸受
寿命の向上を図る。 【構成】 縦の移動方向と交差する横方向での可動子１
の一端側はボール循環形リニア軸受３０にて支承し、他
端側はＵ字状の滑り面で固定子に配置した案内軸３２を
摺動しながら支承するすべり軸受３１を備えて成る。
るリニアモータ用軸受において、軸受部の組立を容易に
すると共に、摺動面の局部的な隔たりを少なくし、軸受
寿命の向上を図る。 【構成】 縦の移動方向と交差する横方向での可動子１
の一端側はボール循環形リニア軸受３０にて支承し、他
端側はＵ字状の滑り面で固定子に配置した案内軸３２を
摺動しながら支承するすべり軸受３１を備えて成る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 ０００００００ 本発明は、固定子に巻回したコイルを励磁し永久磁石の
可動子がガイドに沿って直線往復運動する可動磁石形リ
ニアモータ用軸受に関する。
可動子がガイドに沿って直線往復運動する可動磁石形リ
ニアモータ用軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明の可動磁石形リニアモータ用軸受
に関連して、下記の従来技術がみられる。例えば、図４
に表す可動磁石型直流ブラシレスリニアモータ用軸受
［以下、これを『従来例』という］がそれである。図４
(a) はこの従来例の一部を切り欠いた平面図、図４(b)
はその側面図、図４(c) はその正面図である。可動子１
は片面を電機子２と対向させ、他面は第２固定子ヨーク
22b と対向させて摺動可能に支持されており、電機子２
は可動子１の移動方向に磁極片23a 〜23d に装着された
４個のコイル21a 〜21d を電気角300 °相当の間隔、す
なわち磁石間隔の（５／３）倍の間隔で第１固定子ヨー
ク22a に配置し、各コイル21a〜21d の一端を共通に、
他端を相端子にそれぞれ結線した可動磁石形リニアモー
タを構成している。この従来例のリニアモータを駆動す
るには、例えば( 磁気) リニアエンコーダ26, リニアス
ケール27等の位置センサによって、可動子１と電機子２
の相対位置を検出し、相対位置に応じ、例えば120 °通
電の電流を電機子２の各コイルへ供給すれば随意方向の
推力を発生できる。なお、非磁性体のストッパ25a,25b
を適用して、可動子１のオーバランを防止しており、こ
の可動磁石形リニアモータでは可動子磁石用に鉄−ネオ
ジュム−ボロン系を始め各種の高性能磁石が適用され
る。このようにして、可動子１は電機子２と対向させ摺
動可能に支持されてリニアモータにおいて、直線往復運
動する可動子１をその横方向の両側と固定子（電機子
２）間に設けたボール循環形リニア軸受30にて支承し、
リニアガイド29に沿って摺動する構造である。
に関連して、下記の従来技術がみられる。例えば、図４
に表す可動磁石型直流ブラシレスリニアモータ用軸受
［以下、これを『従来例』という］がそれである。図４
(a) はこの従来例の一部を切り欠いた平面図、図４(b)
はその側面図、図４(c) はその正面図である。可動子１
は片面を電機子２と対向させ、他面は第２固定子ヨーク
22b と対向させて摺動可能に支持されており、電機子２
は可動子１の移動方向に磁極片23a 〜23d に装着された
４個のコイル21a 〜21d を電気角300 °相当の間隔、す
なわち磁石間隔の（５／３）倍の間隔で第１固定子ヨー
ク22a に配置し、各コイル21a〜21d の一端を共通に、
他端を相端子にそれぞれ結線した可動磁石形リニアモー
タを構成している。この従来例のリニアモータを駆動す
るには、例えば( 磁気) リニアエンコーダ26, リニアス
ケール27等の位置センサによって、可動子１と電機子２
の相対位置を検出し、相対位置に応じ、例えば120 °通
電の電流を電機子２の各コイルへ供給すれば随意方向の
推力を発生できる。なお、非磁性体のストッパ25a,25b
を適用して、可動子１のオーバランを防止しており、こ
の可動磁石形リニアモータでは可動子磁石用に鉄−ネオ
ジュム−ボロン系を始め各種の高性能磁石が適用され
る。このようにして、可動子１は電機子２と対向させ摺
動可能に支持されてリニアモータにおいて、直線往復運
動する可動子１をその横方向の両側と固定子（電機子
２）間に設けたボール循環形リニア軸受30にて支承し、
リニアガイド29に沿って摺動する構造である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしなが０００００
０００らこの従来例においては、ボール循環形リニア軸
受の採用により、加工工数と経費の増加は甚だ好ましく
ない。ここにおいて本発明は、この種のリニアモータ軸
受において、軸受部の組立を容易にするとともに、摺動
面の局部的な偏りを少なくし、軸受寿命の向上を図りな
がら、コストの削減を可能にしたリニアモータ用軸受を
提供するとことを目的とする。
０００らこの従来例においては、ボール循環形リニア軸
受の採用により、加工工数と経費の増加は甚だ好ましく
ない。ここにおいて本発明は、この種のリニアモータ軸
受において、軸受部の組立を容易にするとともに、摺動
面の局部的な偏りを少なくし、軸受寿命の向上を図りな
がら、コストの削減を可能にしたリニアモータ用軸受を
提供するとことを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】ここにおいて上記課題を
解決するために、本発明は、板状の可動子を、その板面
と平行な方向に、固定子上で摺動可能に支持するリニア
モータにおいて、縦の移動方向と交差する横方向での前
記可動子の一端側はボール循環形リニア軸受によって支
承し、他端はすべり軸受によって支承するリニアモータ
用軸受であり、また固定子に配置した案内軸を前記可動
子に設けた略Ｕ字形もしくはコ字形のすべり面で摺動す
るようにすべり軸受部を構成した前項に記載のリニアモ
ータ用軸受であり、さらにボール循環形リニア軸受によ
る案内方向に対して、すべり軸受部の案内軸にオフセッ
トを施して構成した前項に記載のリニアモータ用軸受で
あり、さらにまたコイルを電気角360 °±60°相当の略
等間隔で４個配置し、各コイルの一端を共通に他端を各
相端子に結線した電機子を備え、板状の非磁性体に略等
間隔で複数箇所に設けた保持枠毎に板状の永久磁石を複
数個配置し装着して板状の前記可動子を構成し、可動子
をその片面または両面において電機子と対向させ摺動可
能に支持した前々項に記載のリニアモータ用軸受であ
り、なお固定子ヨークを構成する鋼板の一部を切り開
き、それらの切り開き部を切り起こして、略Ｕ字形もし
くはコ字形のアウター部の両側面を形成するボール循環
形リニア軸受を備えるリニアモータ用軸受である。
解決するために、本発明は、板状の可動子を、その板面
と平行な方向に、固定子上で摺動可能に支持するリニア
モータにおいて、縦の移動方向と交差する横方向での前
記可動子の一端側はボール循環形リニア軸受によって支
承し、他端はすべり軸受によって支承するリニアモータ
用軸受であり、また固定子に配置した案内軸を前記可動
子に設けた略Ｕ字形もしくはコ字形のすべり面で摺動す
るようにすべり軸受部を構成した前項に記載のリニアモ
ータ用軸受であり、さらにボール循環形リニア軸受によ
る案内方向に対して、すべり軸受部の案内軸にオフセッ
トを施して構成した前項に記載のリニアモータ用軸受で
あり、さらにまたコイルを電気角360 °±60°相当の略
等間隔で４個配置し、各コイルの一端を共通に他端を各
相端子に結線した電機子を備え、板状の非磁性体に略等
間隔で複数箇所に設けた保持枠毎に板状の永久磁石を複
数個配置し装着して板状の前記可動子を構成し、可動子
をその片面または両面において電機子と対向させ摺動可
能に支持した前々項に記載のリニアモータ用軸受であ
り、なお固定子ヨークを構成する鋼板の一部を切り開
き、それらの切り開き部を切り起こして、略Ｕ字形もし
くはコ字形のアウター部の両側面を形成するボール循環
形リニア軸受を備えるリニアモータ用軸受である。
【０００５】
【作用】本発明は、軸受としてボール循環形のリニアベ
アリングとパイプ状または略Ｕ字形状もしくはコ字形状
としたすべり軸受を用いたリニア可動子であるから、装
備が簡潔となり、さらには経年変化によるすべり軸受と
案内軸との摺動部が多少の位置擦れを生起しても、すべ
り軸受のガイド軸をリニアモータ（リニア軸受）の移動
方向に対してオフセットを付けて配置した構造であるか
ら、これによって可動子の移動位置によってガイド軸と
すべり軸受の接触部分が広くなり、摺動は支障なく円滑
になされると共に、軸受寿命が向上し、かつメンテナン
スも容易になり、さらにまたリニアモータの偏平化の一
助にもなる。
アリングとパイプ状または略Ｕ字形状もしくはコ字形状
としたすべり軸受を用いたリニア可動子であるから、装
備が簡潔となり、さらには経年変化によるすべり軸受と
案内軸との摺動部が多少の位置擦れを生起しても、すべ
り軸受のガイド軸をリニアモータ（リニア軸受）の移動
方向に対してオフセットを付けて配置した構造であるか
ら、これによって可動子の移動位置によってガイド軸と
すべり軸受の接触部分が広くなり、摺動は支障なく円滑
になされると共に、軸受寿命が向上し、かつメンテナン
スも容易になり、さらにまたリニアモータの偏平化の一
助にもなる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説
明する。全ての図面において、同一符号は同一部材もし
くは相当部材を示すものとする。図１(a) は本発明の一
実施例になるリニアモータ用軸受を備える可動磁石形リ
ニアモータの一部を切り欠いた保持機構を示す平面図、
図１(b) は側面図、図１(c) は正面図である。この実施
例は、可動子１が支承される一方の軸受をパイプ状のす
べり軸受31に改良して備えており、ボール循環形リニア
軸受30は１個のみにしている。すなわち、縦方向に摺動
する可動子１において、ガイド支え33に支えられたガイ
ド軸（案内軸）32に嵌合するすべり軸受31が、可動子１
の横の一端側に設けられ、他端側にはボール循環形リニ
ア軸受30を備え、可動子１のリニアガイド29と００００
０００００ガイド軸３２に沿った円滑且つ自在な摺動が
できる。００００００ このすべり軸受31とボール循環
形リニア軸受30は可動子１のいずれかの一方と他方を構
成すればよく、その選択に特定はない。このようにし
て、ボール循環形リニア軸受30の個数の節減と、メンテ
ンナンスの容易性が得られる。
明する。全ての図面において、同一符号は同一部材もし
くは相当部材を示すものとする。図１(a) は本発明の一
実施例になるリニアモータ用軸受を備える可動磁石形リ
ニアモータの一部を切り欠いた保持機構を示す平面図、
図１(b) は側面図、図１(c) は正面図である。この実施
例は、可動子１が支承される一方の軸受をパイプ状のす
べり軸受31に改良して備えており、ボール循環形リニア
軸受30は１個のみにしている。すなわち、縦方向に摺動
する可動子１において、ガイド支え33に支えられたガイ
ド軸（案内軸）32に嵌合するすべり軸受31が、可動子１
の横の一端側に設けられ、他端側にはボール循環形リニ
ア軸受30を備え、可動子１のリニアガイド29と００００
０００００ガイド軸３２に沿った円滑且つ自在な摺動が
できる。００００００ このすべり軸受31とボール循環
形リニア軸受30は可動子１のいずれかの一方と他方を構
成すればよく、その選択に特定はない。このようにし
て、ボール循環形リニア軸受30の個数の節減と、メンテ
ンナンスの容易性が得られる。
【０００７】 図２(a) は本発明の他の実施例になるリ
ニアモータ用軸受を備える可動磁石形リニアモータの一
部を切り欠いた保持機構を示す平面図、図２(b) は側面
図、図２(c) は正面図である。この実施例は、すべり軸
受がパイプ状（円筒状）の場合［図１(c) 参照］、時と
して経年変化に伴いガイド軸32との相対的位置擦れを生
起して、円周面の一部が偏って磨耗することがあり、摩
擦抵抗の増加等の不具合が起こる場合に備え、ガイド軸
32とすべり軸受31a とが線接触になるように、略Ｕ字形
あるいはコ字形した内側面を持つすべり軸受31a として
いる。さらに、ガイド軸32とすべり軸受31a の内側面の
一辺との間にオフセット34を有することで、ガイド軸32
とすべり軸受31a の両者間の偏りの擦れ合いを未然に防
止する。
ニアモータ用軸受を備える可動磁石形リニアモータの一
部を切り欠いた保持機構を示す平面図、図２(b) は側面
図、図２(c) は正面図である。この実施例は、すべり軸
受がパイプ状（円筒状）の場合［図１(c) 参照］、時と
して経年変化に伴いガイド軸32との相対的位置擦れを生
起して、円周面の一部が偏って磨耗することがあり、摩
擦抵抗の増加等の不具合が起こる場合に備え、ガイド軸
32とすべり軸受31a とが線接触になるように、略Ｕ字形
あるいはコ字形した内側面を持つすべり軸受31a として
いる。さらに、ガイド軸32とすべり軸受31a の内側面の
一辺との間にオフセット34を有することで、ガイド軸32
とすべり軸受31a の両者間の偏りの擦れ合いを未然に防
止する。
【０００８】 図３(a) は本発明の別の実施例になるリ
ニアモータ用軸受を備える可動磁石形リニアモータの一
部を切り欠いた保持機構を示す平面図、図３(b) は側面
図、図３(c) は正面図、図３(d) はボール循環形リニア
軸受の側面を電機子ヨークから切り起こす状態を示す説
明図である。図４(c) から分かるように、ボール循環形
リニア軸受30のインナー部のリニアガイド29が可動子１
に固着され、ボール循環形リニア軸受30のアウター部の
ボール循環形リニア軸受30が電機子（固定子）に固着さ
れている。ところで、装置に装着される際のリニアモー
タは極力薄くあることが要求されるものである。そこ
で、この実施例は、図３(d) に示すように、アウター部
のボール循環形リニア軸受30の厚み分だけ更に薄くする
手段として、鋼板から成る電機子ヨーク22a に切り込み
を入れ、それを切り起こしてアウター部の両側面を形成
し、それらにボールを転動させる円周溝を刻設するので
ある。一般的に、駆動方式に関わらず可動部分をボール
循環形リニア軸受30で支持されたリニアモータにおい
て、軸受部分はインナー部，アウター部で一体となった
軸受完成品としてリニアモータの枠に、ネジ締結等によ
り使用される。しかしながら、リニアモータを多軸配置
する場合、リニア軸受の取り付けのための加工及び組み
付け工数も多いものになる。この実施例は、リニアモー
タ本体に軸受のアウター部を構成し、組み付け工数を削
減すると共に、軸受部分の高さも低くなりリニアモータ
の偏平化も容易にするものである。かくして、アウター
部の厚み分だけボール循環形リニア軸受30の厚みが薄く
なるばかりか、ボール循環形リニア軸受30の位置決めも
副次的に得られる。
ニアモータ用軸受を備える可動磁石形リニアモータの一
部を切り欠いた保持機構を示す平面図、図３(b) は側面
図、図３(c) は正面図、図３(d) はボール循環形リニア
軸受の側面を電機子ヨークから切り起こす状態を示す説
明図である。図４(c) から分かるように、ボール循環形
リニア軸受30のインナー部のリニアガイド29が可動子１
に固着され、ボール循環形リニア軸受30のアウター部の
ボール循環形リニア軸受30が電機子（固定子）に固着さ
れている。ところで、装置に装着される際のリニアモー
タは極力薄くあることが要求されるものである。そこ
で、この実施例は、図３(d) に示すように、アウター部
のボール循環形リニア軸受30の厚み分だけ更に薄くする
手段として、鋼板から成る電機子ヨーク22a に切り込み
を入れ、それを切り起こしてアウター部の両側面を形成
し、それらにボールを転動させる円周溝を刻設するので
ある。一般的に、駆動方式に関わらず可動部分をボール
循環形リニア軸受30で支持されたリニアモータにおい
て、軸受部分はインナー部，アウター部で一体となった
軸受完成品としてリニアモータの枠に、ネジ締結等によ
り使用される。しかしながら、リニアモータを多軸配置
する場合、リニア軸受の取り付けのための加工及び組み
付け工数も多いものになる。この実施例は、リニアモー
タ本体に軸受のアウター部を構成し、組み付け工数を削
減すると共に、軸受部分の高さも低くなりリニアモータ
の偏平化も容易にするものである。かくして、アウター
部の厚み分だけボール循環形リニア軸受30の厚みが薄く
なるばかりか、ボール循環形リニア軸受30の位置決めも
副次的に得られる。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明に成るリニア
モータ用軸受は、軸受としてボール循環形のリニアベア
リングとすべり軸受を併用しており、さらにそのすべり
軸受部をパイプ状とせずＵ字形（またはコの字形でも
可）としたすべり軸受形状とすることから、さらにまた
すべり軸受のガイド軸（案内軸）をリニアベアリングの
移動方向に対してオフセットを付けて配置しているの
で、これらに基づき、可動子の摺動手段としての装備が
簡潔なり、しかも移動位置によるガイド軸とすべり軸受
の接触部分も広くなり、従って軸受寿命が向上し、なお
リニアモータ本体に軸受のアウター部を構成し、組み付
け工数を削減すると共に、軸受部分の高さも低くなりリ
ニアモータの偏平化も容易にするという特段の効果を奏
すことができ、かつメンテナンスの節減も得られる。
モータ用軸受は、軸受としてボール循環形のリニアベア
リングとすべり軸受を併用しており、さらにそのすべり
軸受部をパイプ状とせずＵ字形（またはコの字形でも
可）としたすべり軸受形状とすることから、さらにまた
すべり軸受のガイド軸（案内軸）をリニアベアリングの
移動方向に対してオフセットを付けて配置しているの
で、これらに基づき、可動子の摺動手段としての装備が
簡潔なり、しかも移動位置によるガイド軸とすべり軸受
の接触部分も広くなり、従って軸受寿命が向上し、なお
リニアモータ本体に軸受のアウター部を構成し、組み付
け工数を削減すると共に、軸受部分の高さも低くなりリ
ニアモータの偏平化も容易にするという特段の効果を奏
すことができ、かつメンテナンスの節減も得られる。
【図１】本発明の一実施例に成るリニアモータ可動子の
保持手段を示し (a) は一部を切り欠いた平面図 (b) は側面図 (c) は正面図
保持手段を示し (a) は一部を切り欠いた平面図 (b) は側面図 (c) は正面図
【図２】本発明の他の実施例に成るリニアモータ可動子
の保持手段を示し (a) は一部を切り欠いた平面図 (b) は側面図 (c) は正面図
の保持手段を示し (a) は一部を切り欠いた平面図 (b) は側面図 (c) は正面図
【図３】本発明の別の実施例に成るリニアモータ可動子
の保持手段を示し (a) は一部を切り欠いた平面図 (b) は側面図 (c) は正面図 (d) はボール循環形リニア軸受の側面を電機子ヨークか
ら切り起こす状態を示す説明図
の保持手段を示し (a) は一部を切り欠いた平面図 (b) は側面図 (c) は正面図 (d) はボール循環形リニア軸受の側面を電機子ヨークか
ら切り起こす状態を示す説明図
【図４】従来例におけるリニアモータ可動子の保持手段
を示し (a) は一部を切り欠いた平面図 (b) は側面図 (c) は正面図
を示し (a) は一部を切り欠いた平面図 (b) は側面図 (c) は正面図
１ 可動子 ２ 電機子 11ａ，11ｂ，11ｃ，11ｄ，11ｅ，11ｆ，11ｇ 永久磁石 21ａ，21ｂ，21ｃ，21ｄ コイル 22，22ａ，22ｂ 電機子ヨーク 23a ，23b ，23c ，23d 磁極片 25a ，25b ストッパ 26 リニアエンコーダ 27 リニアスケール 28 ロッド 29 リニアガイド 30,30a ボール循環形リニア軸受 31,31a すべり軸受 32 ガイド軸（案内軸） 33 ガイド軸支え 41a,41b サポータ 42 固定手段
Claims (5)
- 【請求項１】 板状の可動子を、その板面と平行な方向
に、固定子上で摺動可能に支持するリニアモータにおい
て、 縦の移動方向と交差する横方向での前記可動子の一端側
はボール循環形リニア軸受によって支承し、他端はすべ
り軸受によって支承すことを特徴とするリニアモータ用
軸受。 - 【請求項２】 前記固定子に配置した案内軸を前記可動
子に設けた略Ｕ字形もしくはコ字形のすべり面で摺動す
るようにすべり軸受部を構成したことを特徴とする請求
項１記載のリニアモータ用軸受。 - 【請求項３】 前記ボール循環形リニア軸受による案
内方向に対して、前記すべり軸受部の案内軸にオフセッ
トを施して構成したことを特徴とする請求項２記載のリ
ニアモータ用軸受。 - 【請求項４】 コイルを電気角360 °±60°相当の略等
間隔で４個配置し、各コイルの一端を共通に他端を各相
端子に結線した電機子を備え、板状の非磁性体に略等間
隔で複数箇所に設けた前記保持枠毎に板状の永久磁石を
複数個配置し装着して板状の前記可動子を構成し、前記
可動子をその片面または両面において前記電機子と対向
させ摺動可能に支持したことを特徴とする請求項２記載
の可動磁石形リニアモータ。 - 【請求項５】 前記固定子ヨークを構成する鋼板の一部
を切り開き、それらの切り開き部を切り起こして、略Ｕ
字形もしくはコ字形のアウター部両側面を形成する前記
ボール循環形リニア軸受を備えることを特徴とするリニ
アモータ用軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34036794A JPH08182302A (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | リニアモータ用軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34036794A JPH08182302A (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | リニアモータ用軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08182302A true JPH08182302A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=18336271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34036794A Pending JPH08182302A (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | リニアモータ用軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08182302A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005253194A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Yaskawa Electric Corp | 固定子、可動テーブル、およびこれらを有するムービングマグネット型リニアモータ |
| JP2009171661A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Yamaha Motor Co Ltd | リニアモータ、駆動機構及び部品移載装置 |
| JP2013225985A (ja) * | 2012-04-20 | 2013-10-31 | Yaskawa Electric Corp | リニアスライダ |
| JP2015116027A (ja) * | 2013-12-11 | 2015-06-22 | 株式会社アイエイアイ | リニアモータ |
-
1994
- 1994-12-27 JP JP34036794A patent/JPH08182302A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005253194A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Yaskawa Electric Corp | 固定子、可動テーブル、およびこれらを有するムービングマグネット型リニアモータ |
| JP2009171661A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Yamaha Motor Co Ltd | リニアモータ、駆動機構及び部品移載装置 |
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