JPH08187724A

JPH08187724A - スライシング装置のブレード撓み修正機構及び修正方法

Info

Publication number: JPH08187724A
Application number: JP22695A
Authority: JP
Inventors: Keiji Kawaguchi; 桂司川口; Yukinori Imada; 幸憲今田; Kunio Matsuda; 邦男松田; Yoji Hotta; 陽治堀田
Original assignee: Toyo Advanced Technologies Co Ltd
Current assignee: Toyo Advanced Technologies Co Ltd
Priority date: 1995-01-05
Filing date: 1995-01-05
Publication date: 1996-07-23

Abstract

(57)【要約】【目的】予めブレードの撓み量の変化を推測してより
正確にブレードの撓み量を調整する。【構成】軸方向荷重検出手段１７は、ワークＷ又はブ
レード７の少なくともいずれか一方に作用する軸方向の
荷重を検出する。撓み量演算手段２１は、軸方向荷重検
出手段１７からの入力信号に基づいてブレード７の撓み
量を演算する。撓み量記憶手段２２は、撓み量演算手段
２１からの入力信号を記憶する。撓み補償手段２３は、
前記撓み量演算手段２１と撓み量記憶手段２２からの入
力信号に基づいて、前回のワークＷの切断開始前及び切
断終了後に検出されるブレード７のみかけ撓み量から今
回の切断途中のブレード７の撓み量の変化を推測し、該
みかけ撓み量から今回の切断途中のブレード７のみかけ
撓み量の変化を推測し、該みかけ撓み量とワークの切断
中に検出されるブレード７の撓み量とに基づいてブレー
ド７の実際撓みを演算する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ブレードの内周刃で半
導体インゴット等のワークから薄片を切り出す際、ブレ
ードに発生する撓みを検出・修正するスライシング装置
のブレード撓み修正機構及びその修正方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体インゴット等のワークから
薄片を切り出す場合、スライシング装置を利用して次の
ようにして行っていた。すなわち、円形状の内周刃を有
するブレードの内側にワークの一端部を臨ませ、前記ブ
レードを回転させながらワークをブレードの半径方向に
相対移動させることにより、ワークから薄片を切り出し
ていた。このようなスライシング装置では、ワークの切
断中にブレードが撓むと加工精度を悪化させることにな
るため、ブレードの撓み量を検出し、ブレードの回転数
や切断送り速度等を調整することにより、高精度に切断
できるようにしていた。この場合、ブレードの撓み量の
検出は、ブレードの近傍に設けた磁気センサ等により行
っていた（実開昭６２─７０９０４号公報、特開平１─
１８２０１５号公報参照）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ス
ライシング装置では、センサによりブレードの撓み量を
検出する場合、ブレードに対してワークが移動する範囲
にセンサを配設するとワークと干渉するため、取付位置
が制限されていた。このため、ブレードの撓み量を正確
に検出できず、従って好ましい精度で切断できないとい
う問題があった。

【０００４】この問題を解決するため、切断される薄片
越しにブレードの撓みを検出するようにしたものが既に
提案されている（特開平４─１３８２１０号公報参
照）。

【０００５】ところが、この装置によれば、センサとワ
ークの干渉を回避することができるものの、導体に近い
抵抗値を有するワークへの採用には適していない。なぜ
なら、ワークが常に同一厚さで切断されるのであれば、
前記センサによる検出結果から介在する薄片に関する成
分のみを除外し、ブレードの撓みに関する成分のみを分
離して検出することも可能であるが、一般に切断される
薄片の厚みにはばらつきがあるため、高精度な検出は期
待できないからである。

【０００６】このため、本発明者らは先に特願平５─２
４８９５３号でブレードの軸方向に作用する荷重の変化
からブレードの撓み量を推測し、より正確な検出を行な
うことができるようにしたスライシング装置を提案して
いる。

【０００７】しかしながら、このスライシング装置で
は、ブレードの撓み量の検出がセンサでの歪みを電気信
号に変換することにより行われており、センサ取付部の
熱変位等によりセンサに作用する荷重が変化し、センサ
の検出結果に誤差を生じるため、一般に電気信号にはこ
の誤差に対応するノイズが付加される。このため、例え
ば、図６（ａ）に示すように、検出される撓み量にノイ
ズ成分（図６（ａ）中、Ａで示す。）が加算され、実際
撓み量（図６（ｂ）中、Ｂで示す）よりも大きなみかけ
撓み量（図６（ａ）中、Ｃで示す。）として検出され
る。そして、このノイズの大きさは、気温の変化やスラ
イシング装置の稼働状況により変化する。この結果、ブ
レードの撓み修正を適切に行なうことができないという
問題がある。

【０００８】そこで、本願では、予めノイズによる影響
を考慮してより正確にブレードの撓み量を検出し、修正
することのできるスライシング装置のブレード撓み量修
正機構及びその修正方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、ブレードの内周刃の内側
にワークの一端部を臨ませ、ブレードを回転させながら
ワークをブレードの半径方向に相対移動させることによ
り、ワークから薄片を切り出すようにしたスライシング
装置において、ワーク又はブレードの少なくともいずれ
か一方に作用する軸方向の荷重を検出する軸方向荷重検
出手段と、該軸方向荷重検出手段からの入力信号に基づ
いてブレードの撓み量を演算する撓み量演算手段と、該
撓み量演算手段からの入力信号を記憶する撓み量記憶手
段と、前記撓み量演算手段と撓み量記憶手段からの入力
信号に基づいて、前回のワークの切断開始前及び切断終
了後に検出されるブレードのみかけ撓み量から今回の切
断途中のブレードのみかけ撓み量の変化を推測し、該み
かけ撓み量とワークの切断中に検出されるブレードの撓
み量とに基づいてブレードの実際撓み量を演算する撓み
補償手段と、該撓み補償手段で求めたブレードの実際撓
み量に基づいてブレードの撓み量を修正する撓み修正手
段と、を設けたものである。

【００１０】請求項２記載の発明では、前記撓み補償手
段は、ブレードによる前回のワークの切断開始前及び切
断終了後に前記軸方向荷重検出手段で検出され、前記撓
み量演算手段で演算されたブレードのみかけ撓み量が切
断途中で直線的に変化するものと仮定して、今回のワー
クの切断途中に演算されるブレードの撓み量から排除す
ることによりブレードの実際撓み量を演算するものであ
る。

【００１１】請求項３記載の発明では、ワーク又はブレ
ードの少なくともいずれか一方に作用する軸方向の荷重
を電気信号に変換し、該電気信号に基づいてブレードの
撓み量を演算すると共に、ブレードによるワークの切断
開始前と切断終了後とで生じる電気信号の変化から切断
途中のみかけ撓み量を予測し、次回の切断時に、該撓み
量の影響を排除してブレードの実際撓み量を演算し、該
実際撓み量に基づいてブレードの撓みを調整するもので
ある。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に従って説
明する。

【００１３】図１は本発明が適用されたスライシング装
置で、基台１上には主軸台２が立設されている。主軸台
２の主軸受３には主軸４が回転自在に支持され、この主
軸４は主軸駆動モータ５の駆動により回転するようにな
っている。主軸４の先端部にはテンションディスク６が
固着され、その周縁部にはブレード７が装着されてい
る。ブレード７は中央部に開口を有する円形の薄板から
なり、その内周縁にはダイヤモンド粒子等からなる内周
刃８が固定されている。

【００１４】また、前記基台１上には前記主軸４の軸方
向と直交するように２列のガイドレール９が設けられ、
両ガイドレール９上にはスライドテーブル１０が摺動自
在に載置されている。スライドテーブル１０の中央部は
下方に延設され、そこには第１ボールねじ１１が螺合さ
れている。第１ボールねじ１１は切断送りモータ１２の
駆動により回転し、スライドテーブル１０をガイドレー
ル９に沿って往復移動させるようになっている。

【００１５】前記スライドテーブル１０の上面にはガイ
ドレール１０ａに沿って保持部材１３が主軸４の軸方向
に向かって摺動可能に載置されている。保持部材１３は
半導体インゴット等のワークＷの一端部を保持し、下方
に延設した部分が第２ボールねじ１４に螺合している。
第２ボールねじ１４は割出モータ１５によって回転し、
保持部材１３を往復移動させるようになっている。

【００１６】このように、ワークＷは、切断送りモータ
１２を駆動して第１ボールねじ１１を回転させ、スライ
ドテーブル１０を図２中右側に移動させることにより切
断送りを与えられる。また、ワークＷは、割出モータ１
５を駆動して第２ボールねじ１４を回転させ、保持部材
１３を図１中左方向に移動させることにより、その先端
部がブレード７の内周刃８の内側に割り出され、切断位
置が調整される。

【００１７】また、前記スライドテーブル１０の上面に
はドレス砥石１６が設けられている。このドレス砥石１
６はブレード７の内側に臨ませることが可能で、ブレー
ド７の内周刃８をドレス成形できるようになっている。

【００１８】前記保持部材１３には、図３に示すよう
に、軸方向荷重検出センサ１７が設けられている。この
軸方向荷重検出センサ１７には、作用する力を歪み量に
置換し、さらにその歪み量を電気信号に変換する、いわ
ゆる歪みセンサが採用されている。そして、軸方向荷重
検出センサ１７に圧縮荷重が作用した場合には正の信号
が出力され、引っ張り荷重が作用した場合には負の信号
が出力されるようになっている。これにより、ブレード
７によるワークＷの切断時にワークＷの軸方向に作用す
る荷重が検出されることになる。検出された荷重は制御
部１８に入力され、下記するようにブレード７の撓み量
に換算されるようになっている。

【００１９】制御部１８は、図３に示すように、第１制
御部１９と第２制御部（撓み量調整手段）２０とからな
る。第１制御部１９は、撓み量演算装置２１、撓み量記
憶装置２２及び撓み補償装置２３を有する。

【００２０】撓み量演算装置２１は、前記軸方向荷重検
出センサ１７から入力される電気信号に基づいてブレー
ド７の撓み量を演算する。したがって、この撓み量演算
装置２１には下記する数式が記憶されている。

【００２１】ここで、演算方法について図５（ａ），
（ｂ）を参照して説明する。まず、図示する荷重のワー
クＷの軸方向成分の釣り合いを考える。ブレード７がＺ
軸方向に撓んでおらず、ワークＷがＺ₁軸上にあってＹ
軸方向には傾斜していない場合、釣り合い式は次のよう
になる。

【００２２】

【数１】

【００２３】また、ブレード７がＺ軸方向に撓み、ワー
クＷにこの方向の荷重Ｆzが作用した場合、ワークＷに
作用する重力Ｆyを考慮すれば、釣り合い式は次のよう
になる。

【００２４】

【数２】

【００２５】したがって、ワークＷに作用するＺ軸方向
の荷重は次式となる。

【００２６】

【数３】

【００２７】（数３）によれば、ワークＷの軸方向がブ
レード７の軸方向に対して傾斜している場合や、ワーク
Ｗにブレード７による切断力や重力が作用する場合を考
慮して補正済みのブレードの軸方向荷重Ｆzを正確に演
算することができる。

【００２８】また、ワークの軸方向と直交する方向の釣
り合い式は次のようになる。

【００２９】

【数４】

【００３０】これらの式を変形し、sin²θ₁≒０とおい
て（数３）に代入すると、（数３）と同等の次式を得る
ことができる。

【００３１】

【数５】

【００３２】このような式に基づけば、キスラー動力計
だけで各荷重を検出し、ブレード７の撓み量を正確に演
算でき、その後の切断制御を的確に行なうことができ
る。

【００３３】なお、ワークＷの軸方向寸法及び重量が比
較的小さい場合、すなわち、Ｙ軸方向荷重Ｆyが十分小
さい場合や、ワークＷの取り付け後に軸方向荷重検出セ
ンサ１７での検出値を０にリセットする場合には、−Ｆ
yk sinθ₂の項は省略することができる。

【００３４】また、切断力Ｆxを切断動力、具体的に
は、切断開始時の切断送りモータ５の電力増加分から検
出し、（数１）に直接代入すれば、軸方向荷重検出セン
サ１７で荷重Ｆxkを検出しなくても切断力に関するブレ
ード７の撓み量の補正が可能である。

【００３５】撓み量記憶装置２２は、軸方向荷重検出セ
ンサ１７から入力される電気信号に基づいて撓み量演算
装置２１で演算した結果を記憶する。

【００３６】撓み補償装置２３は、撓み量演算装置２１
及び撓み量記憶装置２２からそれぞれ入力信号を受け、
第２制御部２０に制御信号を出力する。すなわち、撓み
量記憶装置２２で前回の切断時に記憶したワークＷの切
断開始前及び切断終了後のブレード７の撓み量と、撓み
量演算装置２１で検出される現時点でのブレード７の撓
み量とに基づいてブレード７に撓みが発生しないように
第２制御部２０に制御信号を出力する。

【００３７】詳しくは、撓み量記憶装置２２からの入力
信号により、ワークＷの切断開始前及び切断終了後に検
出されるブレード７のみかけ撓み量Ｓ₁，Ｓ₂から次式に
従って次回の切断時に於けるブレード７のみかけ撓み量
δ₁の変化を推測する。

【００３８】

【数６】

【００３９】そして、ワークＷの切断途中に軸方向に作
用する荷重は、［発明が解決しようとする課題］の欄で
説明した通り、軸方向荷重検出センサ１７での歪みを電
気信号に変換して検出する際、この電気信号にノイズが
付加されて変動するため、本実施例では前式により算出
した結果に基づいて次式に従ってノイズ成分を除去する
ことにより、切断中のブレード７の実際撓み量δを正確
に演算している。

【００４０】

【数７】

【００４１】一方、第２制御部２０では、撓み補償装置
２３で演算したブレード７の実際撓み量δに基づく制御
信号が、回転数演算装置２４及びドレスタイミング判定
装置２５にそれぞれ入力され、主軸駆動モータ制御装置
２６、切断送りモータ制御装置２７及びドレス制御装置
２８を介して主軸駆動モータ５及び切断送りモータ１２
を駆動制御するようになっている。また、切断送りモー
タ１２から発せられるパルス信号が切断状況検出装置２
９に入力されることにより、切断送り速度と、ブレード
７及びワークＷの相対位置とが検出されるようになって
いる。

【００４２】回転数演算装置２４は主軸駆動モータ制御
装置２６を介して主軸駆動モータ５を駆動制御する。具
体的には、ブレード７の撓み量を０とするように目標回
転数Ｎａを演算する。目標回転数Ｎａの演算は、予め設
定記憶された回転数とブレード７の撓み量との相関関係
に基づいて行なう。

【００４３】主軸駆動モータ制御装置２６は、撓み補償
装置２３からの制御信号に従って前記目標回転数Ｎａあ
るいは予め記憶された基本回転数Ｎ₀に従って主軸駆動
モータ５を駆動制御する。

【００４４】切断状況検出装置２９は、前記切断送りモ
ータ１２から出力されるパルス信号を受け、ワークＷの
切断送り位置が切断開始位置から下記するスライスベー
ス３０を含まないワークＷのみの切断終了位置までの範
囲Ｌ内であるか否かを判断する。範囲Ｌ内であると判断
した場合には、撓み量演算装置２１あるいは撓み補償装
置２３を介して回転数演算装置２４及びドレスタイミン
グ判定装置２５にそれぞれ出力し、主軸駆動モータ５、
切断送りモータ１２等を駆動制御する。また、範囲Ｌ外
であると判断した場合には、切断送りモータ１２のみを
駆動制御する。

【００４５】また、ドレスタイミング判定装置２５は、
撓み補償装置２３からの入力信号に基づいてドレスを行
なう時期であるか否かを判断し、主軸駆動モータ５、切
断送りモータ１２等のドレス成形に関係する部材を駆動
制御するようになっている。

【００４６】なお、前記ワークＷの側縁部、すなわち、
ブレード７の内周刃８によって最終的に切断される部分
には、カーボン等からなるスライスベース３０が固着さ
れている。スライスベース３０は、ワークＷの切断終了
時にブレード７に作用する切断抵抗が急激に開放されて
ワークＷが最終切断部分で損傷されるのを防止する。

【００４７】次に、前記構成からなるスライシング装置
の切断制御について図４のフローチャートに従って説明
する。

【００４８】まず、ステップＳ１でブレード７の回転数
が基準回転数Ｎ₀となるように主軸駆動モータ５を駆動
する。そして、ステップＳ２で割出送りモータ１５を駆
動して第２ボールねじ１４を回転させることにより、ワ
ークＷを図１中左側に前進させる。これにより、ワーク
Ｗの一端部がブレード７の表面７ａ側からブレード７の
内側に挿通され、ブレード７の裏面７ｂ側へ微小量突出
して割り出される。続いて、ステップＳ３で切断送りモ
ータ１２を駆動して第１ボールねじ１１を回転させ、ワ
ークＷを図２中右側に移動させる。

【００４９】次に、ステップＳ４で切断送り位置を検出
し、ステップＳ５で軸方向荷重検出センサ１７で検出さ
れた切断開始前のブレード７の撓み量Ｓ₁を検出すると
共に、ステップＳ６で前記ステップＳ５で検出されたブ
レード７の撓み量Ｓ₁を記憶した後、ステップＳ７で切
断が開始されたか否かを判断する。切断が開始されてい
なければ前記ステップＳ３からＳ６を繰り返し、開始さ
れていればステップＳ８に移行してブレード７の撓み量
Ｓを検出する。１回目の切断時にはステップＳ１０の検
出値補正は行わず、ステップＳ１１に移行する。

【００５０】ステップＳ１１では、前記軸方向荷重検出
センサ１７で検出されたブレード７の撓み量と、ステッ
プＳ６で記憶された切断開始前のブレードの撓み量Ｓ₁
との差である切断による撓み量δ₂が所定値Ｘよりも大
きいか否かの判断を行なう。切断による撓み量δ₂が所
定値Ｘよりも大きい場合、ステップＳ１２でブレード７
の回転数を前記目標回転数Ｎａとなるように駆動制御す
る．

【００５１】一方、ステップＳ１１で切断による撓み量
δ₂が所定値Ｘ以下であると判断されれば、ステップＳ
１３でブレード７の回転数を基準値Ｎ₀のままとする。

【００５２】続いて、ステップＳ１４でブレード７の内
周刃８にドレスが必要であるか否かを判断する。具体的
には、ブレード７の切断による撓み量δ₂の絶対値が、
対応する各臨界値Ｒを上回る場合にのみドレスが必要で
あると判断し、ステップＳ１５でドレス成形を行なう。
また、ドレスが不要であると判断すれば、ステップＳ１
６に移行する。

【００５３】ステップＳ１６では、ワークＷの切断が終
了したか否かの判断を行なう。切断が終了していなけれ
ば、ステップＳ８からステップＳ１５を繰り返す。これ
により、ワークＷの切断中に検出されるブレード７の切
断による撓み量が０となるようにブレード７の回転数を
制御することができる。また、ワークＷの切断が終了し
ていれば、ステップＳ１７で切断作業が終了しているか
否かを判断する。切断作業が終了していると判断すれ
ば、切断制御を終了し、切断作業が終了していないと判
断すれば、ステップＳ１８に移行する。

【００５４】ステップＳ１８では、ワークの切断終了後
のブレード７の撓み量Ｓ₂を検出し、ステップＳ１９で
は、前記ステップＳ１８で検出したブレード７の撓み量
Ｓ₂を記憶する。

【００５５】その後、ステップＳ２０でワークＷを割出
移動させ、ステップＳ３に戻って前記同様ワークＷの２
回目の切断を行なう。２回目の切断時もステップＳ３か
らステップＳ８までは１回目の切断時と同様な切断制御
を行なうが、２回目以降の切断時はステップＳ１０で検
出値の補正を行なう。すなわち、前回の切断時にステッ
プＳ６で記憶された切断前のブレード７の撓み量Ｓ
₁と、ステップＳ１９で記憶された切断終了後のブレー
ド７の撓み量Ｓ₂とから前記（数６）及び（数７）によ
り実際撓み量δを演算する。そして、ステップＳ１１で
はステップＳ１０で求めた実際撓み量δとＸとを比較し
て回転数制御の要否を判定する。

【００５６】このように、前記実施例によれば、ワーク
Ｗの切断開始前及び切断終了後のブレード７の撓み量を
検出することにより、両検出値の間に生じるノイズの影
響による変動を推測し、次回の切断時からこのノイズの
影響を除去するようにブレード７の回転数を制御するよ
うにしたので、ブレード７の撓み量を軸方向荷重の変化
に基づいて検出するようにしても検出誤差を抑制するこ
とができ、ワークＷを適切に切断することができる。

【００５７】なお、前記実施例では、ブレード７の内周
刃８に対してワークＷを移動させることにより、ワーク
Ｗの切断を行なわせたが、主軸台２を移動させる構成と
しても構わない。この場合、主軸台２を移動させるには
前記スライドテーブル１０と同様な構造を採用すること
ができる。

【００５８】また、前記実施例では、ブレード７の撓み
によりワークＷの軸方向に作用する荷重を軸方向荷重検
出センサ１７で検出するようにしたが、ブレード７自身
の軸方向に作用する荷重を検出するようにしてもよい。

【００５９】また、前記実施例では、ブレード７の撓み
をブレード７の回転数を調整することにより除去するよ
うにしたが、さらにワークＷ又はブレード７をワークＷ
の軸方向に移動させることにより行ってもよい。

【００６０】また、前記実施例では、２回目以降の切断
時のみ検出値の補正を行なう場合について説明したが、
１回目の切断時だけはステップＳ６で切断開始前のブレ
ード７の撓み量Ｓ₁を記憶した後に、切断送りを停止
し、所定時間後のブレード７の撓み量を検出し、この撓
み量をＳ₂として記憶し、再び切断送りを開始してステ
ップＳ１０で２回目以降と同様な検出値の補正を行なう
ことも可能である。

【００６１】さらに、前記実施例では、ワークＷを平担
に切断する場合の例について説明したが、予め設定した
湾曲計上に切断する場合にも同様の補正を行なうことに
よりノイズの影響を除去することができる。

【００６２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ワークを切断する場合に発生するブレードの
撓みを、軸方向に作用する荷重に基づいて検出するだけ
でなく、次回の切断時に発生する撓みを予測して予めそ
のような撓みが発生しないように切断条件を変更するよ
うにしたので、ワークを高精度に切断することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例に係るスライシング装置の正面図で
ある。

【図２】図１のII─II線断面図である。

【図３】図１に示すスライシング装置の切断制御を行
なう制御部のブロック図である。

【図４】図３に示す制御部に於ける制御方法を示すフ
ローチャートである。

【図５】ワークに作用する荷重を示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）は正面図である。

【図６】切断時間とブレードの撓み量との関係を示す
グラフである。

【符号の説明】

７ブレード１７軸方向荷重検出センサ（軸方向荷重検出手段）２１撓み量演算装置（撓み量演算手段）２２撓み量記憶装置（撓み量記憶手段）２３撓み補償装置（撓み補償手段）Ｗワーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者堀田陽治広島県広島市南区宇品東５丁目３番38号トーヨーエイテック株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ブレードの内周刃の内側にワークの一端
部を臨ませ、ブレードを回転させながらワークをブレー
ドの半径方向に相対移動させることにより、ワークから
薄片を切り出すようにしたスライシング装置において、ワーク又はブレードの少なくともいずれか一方に作用す
る軸方向の荷重を検出する軸方向荷重検出手段と、該軸方向荷重検出手段からの入力信号に基づいてブレー
ドの撓み量を演算する撓み量演算手段と、該撓み量演算手段からの入力信号を記憶する撓み量記憶
手段と、前記撓み量演算手段と撓み量記憶手段からの入力信号に
基づいて、前回のワークの切断開始前及び切断終了後に
検出されるブレードのみかけ撓み量から今回の切断途中
のブレードのみかけ撓み量の変化を推測し、該みかけ撓
み量とワークの切断中に検出されるブレードの撓み量と
に基づいてブレードの実際撓み量を演算する撓み補償手
段と、該撓み補償手段で求めたブレードの実際撓み量に基づい
てブレードの撓み量を修正する撓み修正手段と、を設け
たことを特徴とするスライシング装置のブレード撓み修
正機構。
【請求項２】前記撓み補償手段は、ブレードによる前
回のワークの切断開始前及び切断終了後に前記軸方向荷
重検出手段で検出され、前記撓み量演算手段で演算され
たブレードのみかけ撓み量が切断途中で直線的に変化す
るものと仮定して、今回のワークの切断途中に演算され
るブレードの撓み量から排除することによりブレードの
実際撓み量を演算するものであることを特徴とする請求
項１記載のスライシング装置のブレード撓み修正機構。
【請求項３】ワーク又はブレードの少なくともいずれ
か一方に作用する軸方向の荷重を電気信号に変換し、該
電気信号に基づいてブレードの撓み量を演算すると共
に、ブレードによるワークの切断開始前と切断終了後と
で生じる電気信号の変化から切断途中のみかけ撓み量を
予測し、次回の切断時に、該撓み量の影響を排除してブ
レードの実際撓み量を演算し、該実際撓み量に基づいて
ブレードの撓みを調整することを特徴とするスライシン
グ装置のブレード撓み修正方法。