JPH08197675A - Silicon oxide vapor deposition film and method for producing the same - Google Patents

Silicon oxide vapor deposition film and method for producing the same

Info

Publication number
JPH08197675A
JPH08197675A JP1153595A JP1153595A JPH08197675A JP H08197675 A JPH08197675 A JP H08197675A JP 1153595 A JP1153595 A JP 1153595A JP 1153595 A JP1153595 A JP 1153595A JP H08197675 A JPH08197675 A JP H08197675A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon oxide
film
vapor deposition
vapor
deposited
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1153595A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Suzuki
浩 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP1153595A priority Critical patent/JPH08197675A/en
Publication of JPH08197675A publication Critical patent/JPH08197675A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Wrappers (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】プラスチックフィルム上に蒸着された酸化珪素
蒸着膜の珪素(Si)原子と酸素(O)原子の結合状態
をより完全に整え、酸化珪素蒸着フィルムにおける安定
且つ十分な酸素バリア性及び水蒸気バリア性を得るとと
もに、より高い透明度を得ることにある。 【構成】酸化珪素を蒸着したプラスチックフィルム又は
シート1の蒸着膜2面に過酸化水素3をコーティングす
ることにより低酸素透過度及び低水蒸気透過度を付与す
るようにした。
(57) [Abstract] [Purpose] The bonding state of silicon (Si) atoms and oxygen (O) atoms in a silicon oxide vapor deposition film vapor-deposited on a plastic film is more completely adjusted, and a stable and sufficient silicon oxide vapor deposition film is obtained. It is to obtain oxygen barrier property and water vapor barrier property and to obtain higher transparency. [Structure] Low oxygen permeability and low water vapor permeability are imparted by coating hydrogen peroxide 3 on the surface of a vapor-deposited film 2 of a plastic film or sheet 1 on which silicon oxide is vapor-deposited.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プラスチックフィルム
又はシートに酸化珪素による蒸着面を備えた酸化珪素蒸
着フィルム及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a silicon oxide vapor deposition film having a plastic film or sheet provided with a vapor deposition surface of silicon oxide and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】上記酸化珪素蒸着フィルムは、ポリエス
テルフィルムに、珪素酸化物を真空蒸着したバリアフィ
ルム(酸素等のガス透過度、水蒸気透過度の少ないフィ
ルム)であり、温湿度によるバリア性の変動が少ない密
封包装用の包材フィルムとして利用されており、また透
明なポリエステルフィルムに透明な珪素酸化物を真空蒸
着したバリアフィルムは、透明且つバリア性のある密封
包装用の包材フィルムとして利用されている。
2. Description of the Related Art The above-mentioned silicon oxide vapor deposition film is a barrier film (a film having a low gas permeability of oxygen and the like and a low water vapor permeability) of a polyester film vacuum deposited on a polyester film. Is used as a packaging material film for hermetic packaging, and a barrier film obtained by vacuum-depositing transparent silicon oxide on a transparent polyester film is used as a packaging material film for hermetic packaging having a transparent and barrier property. ing.

【0003】上記酸化珪素蒸着フィルムは、例えは、高
い酸素バリア性や水蒸気バリア性、あるいは高い透明性
が要求される医療医薬品の包装材料や、スナック食品、
レトルト食品、電子レンジ用食品等の包装材料、あるい
は印刷等による絵付等において微妙な色合いが必要な包
装材料等として多用されている。
The above-mentioned silicon oxide vapor-deposited film is, for example, a packaging material for medical and pharmaceutical products which requires high oxygen barrier property, water vapor barrier property or high transparency, snack food,
It is widely used as a packaging material for retort foods, foods for microwave ovens, etc., or as a packaging material requiring a delicate color tone in printing or the like.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来の上記酸化珪素蒸
着フィルムは、ポリエステルフィルムに、珪素酸化物を
薄膜状に真空蒸着して、酸化珪素(SiOx ;例えばx
=1.5〜1.6)の蒸着膜を成膜したものであるが、
前記酸化珪素蒸着膜の珪素(Si)原子と酸素(O)原
子が不完全な結合状態で蒸着されていると、この蒸着膜
による十分な酸素バリア性及び水蒸気バリア性が得られ
ない場合がある。
The conventional silicon oxide vapor-deposited film described above is obtained by vacuum-depositing silicon oxide in a thin film onto a polyester film to form silicon oxide (SiO x ; eg x).
= 1.5 to 1.6), a vapor deposition film of
If the silicon (Si) atoms and the oxygen (O) atoms are vapor-deposited in an incompletely bonded state in the silicon oxide vapor-deposited film, the vapor-deposited film may not have sufficient oxygen barrier properties and water vapor barrier properties. .

【0005】このように従来の酸化珪素蒸着フィルムは
不完全な結合状態の蒸着膜により、例えば、酸素透過度
が1.5〜3.0cc/m2 /day、また、水蒸気透
過度が1.5〜3.5g/m2 /dayの範囲にばらつ
いたりして、バリア性が不安定となり易いものであり、
きわめて高いバリア性が要求される例えば、鰹節や海苔
等の包装材料には不向きであった。
As described above, the conventional vapor-deposited silicon oxide film has an incompletely bonded vapor-deposited film, and has, for example, an oxygen permeability of 1.5 to 3.0 cc / m 2 / day and a water vapor permeability of 1. The barrier property is likely to become unstable due to variations in the range of 5 to 3.5 g / m 2 / day,
For example, it is not suitable for packaging materials such as bonito flakes and seaweed, which require extremely high barrier properties.

【0006】また、透明なポリエステルフィルムに、珪
素(Si)原子と酸素(O)原子が不完全な結合状態で
蒸着されると、透明な酸化珪素蒸着膜2は、僅かに黄色
味等の着色を呈する場合があり、酸化珪素蒸着フィルム
の透明度を低下させ、よって高透明性と高バリア性とを
併せもつ透明バリアフィルムとしての長所を生かし切れ
ない問題があった。
Further, when a silicon (Si) atom and an oxygen (O) atom are vapor-deposited on a transparent polyester film in an incompletely bonded state, the transparent silicon oxide vapor-deposited film 2 is slightly colored such as yellowish. However, there is a problem in that the transparency of the silicon oxide vapor-deposited film is lowered, and therefore the advantages of a transparent barrier film having both high transparency and high barrier property cannot be fully utilized.

【0007】本発明の目的は、フィルム上に蒸着された
酸化珪素蒸着膜の珪素(Si)原子と酸素(O)原子の
結合状態をより完全に整えることにより、酸化珪素蒸着
フィルムにおける安定且つ十分な酸素バリア性及び水蒸
気バリア性を得るとともに、より高い透明度を得ること
にある。
It is an object of the present invention to more completely adjust the bonding state of silicon (Si) atoms and oxygen (O) atoms in a silicon oxide vapor deposition film vapor-deposited on a film, thereby providing a stable and sufficient silicon oxide vapor deposition film. To obtain high oxygen barrier property and water vapor barrier property and to obtain higher transparency.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、酸化珪素を蒸
着したプラスチックフィルム又はシート1の蒸着膜2面
に過酸化水素3をコーティングすることにより低酸素透
過度及び低水蒸気透過度を備えたことを特徴とする酸化
珪素蒸着フィルムである。
The present invention has a low oxygen permeability and a low water vapor permeability by coating hydrogen peroxide 3 on the surface of a vapor-deposited film 2 of a plastic film or sheet 1 on which silicon oxide is vapor-deposited. It is a silicon oxide vapor deposition film characterized in that.

【0009】また、本発明は、プラスチックフィルム又
はシート1に珪素酸化物を蒸着して酸化珪素蒸着膜2を
得た後、該蒸着膜2面に過酸化水素3をコーティングす
ることを特徴とする酸化珪素蒸着フィルムの製造方法で
ある。
Further, the present invention is characterized in that after depositing silicon oxide on a plastic film or sheet 1 to obtain a silicon oxide vapor deposition film 2, the surface of the vapor deposition film 2 is coated with hydrogen peroxide 3. It is a manufacturing method of a silicon oxide vapor deposition film.

【0010】[0010]

【実施例】本発明の酸化珪素蒸着フィルムは、図1の側
断面図に示すように、プラスチックフィルム1(又はシ
ート)の少なくとも片面に、酸化珪素(SiOx )蒸着
膜2を成膜したものである。
EXAMPLE As shown in the side sectional view of FIG. 1, the silicon oxide vapor deposition film of the present invention has a silicon oxide (SiO x ) vapor deposition film 2 formed on at least one surface of a plastic film 1 (or sheet). Is.

【0011】以下に本発明の酸化珪素蒸着フィルムを、
実施例に従って詳細に説明する。
The silicon oxide vapor deposition film of the present invention will be described below.
A detailed description will be given according to examples.

【0012】本発明において、上記プラスチックフィル
ム又はシートとしては、特に限定するものではなく、ポ
リエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテ
レフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート等
のポリエステル、あるいはポリアミド、ポリイミド、ポ
リアクリロニトリル、ポリカーボネート、ポリスチレ
ン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体け
ん化物、ポリビニルアルコール、芳香族ポリアミド、ふ
っ素樹脂などを素材とするフィルム、あるいはこれらの
1種又は2種以上を含む積層フィルムがあり、一軸延伸
や二軸延伸フィルムであってもよい。
In the present invention, the plastic film or sheet is not particularly limited, and polyesters such as polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polyamide, polyimide, polyacrylonitrile, etc. There are films made of, for example, polycarbonate, polystyrene, polypropylene, saponified products of ethylene-vinyl acetate copolymer, polyvinyl alcohol, aromatic polyamide, and fluororesin, or laminated films containing one or more of these, and uniaxial It may be a stretched or biaxially stretched film.

【0013】上記プラスチックフィルム1の厚さは、特
に限定されるものではなく、最終的に得られる本発明の
酸化珪素蒸着フィルムの使用目的に合わせて選定すれば
よいが、例えば12〜300μmの範囲が適当であり、
好ましくは20〜100μmである。
The thickness of the plastic film 1 is not particularly limited and may be selected according to the intended use of the finally obtained silicon oxide vapor-deposited film of the present invention, for example, in the range of 12 to 300 μm. Is appropriate,
It is preferably 20 to 100 μm.

【0014】本発明において、上記プラスチックフィル
ム(又はシート)1面に成膜されている前記酸化珪素蒸
着膜2は、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタ
リング、プラズマCVD等の蒸着方式により成膜されて
いる。
In the present invention, the silicon oxide vapor deposition film 2 formed on one surface of the plastic film (or sheet) is formed by a vapor deposition method such as vacuum vapor deposition, ion plating, sputtering and plasma CVD. There is.

【0015】上記酸化珪素蒸着膜2の膜厚は、前記プラ
スチックフィルム1の厚さと、最終的に得られる本発明
の酸化珪素蒸着フィルムの使用目的に合わせて選定され
るものであるが、例えば、30〜5000Åの範囲が望
ましく、好ましくは200〜1000Åである。
The thickness of the silicon oxide vapor deposition film 2 is selected according to the thickness of the plastic film 1 and the purpose of use of the finally obtained silicon oxide vapor deposition film of the present invention. The range of 30 to 5000Å is desirable, and the range of 200 to 1000Å is preferable.

【0016】このようにしてプラスチックフィルム1面
に酸化珪素蒸着膜2が成膜された本発明の酸化珪素蒸着
フィルムは、前記酸化珪素蒸着膜2の蒸着面に過酸化水
素3(過酸化水素水)をコーティングすることにより前
記蒸着膜2を酸化して、酸素バリア性と水蒸気バリア性
をより高めたフィルム(又はシート)である。
In this way, the silicon oxide vapor deposition film of the present invention in which the silicon oxide vapor deposition film 2 is formed on the surface of the plastic film 1 has the hydrogen peroxide 3 (hydrogen peroxide solution) on the vapor deposition surface of the silicon oxide vapor deposition film 2. Is a film (or sheet) having a further improved oxygen barrier property and water vapor barrier property by oxidizing the vapor-deposited film 2 by coating (1).

【0017】使用する前記過酸化水素3は、過酸化水素
(沸点151.4℃)の水溶液を使用するものであり、
水溶液の過酸化水素濃度は特に限定されないが、例えば
過酸化水素濃度3〜35%水溶液であり、過酸化水素に
よるコーティング効力と、取扱いや作業性との両方の観
点から好ましくは20〜30%水溶液が適当である。
The hydrogen peroxide 3 used is an aqueous solution of hydrogen peroxide (boiling point 151.4 ° C.),
The hydrogen peroxide concentration of the aqueous solution is not particularly limited, but is, for example, a hydrogen peroxide concentration of 3 to 35% aqueous solution, and is preferably 20 to 30% aqueous solution from the viewpoint of both the coating effect with hydrogen peroxide and the handling and workability. Is appropriate.

【0018】なお、過酸化水素水のコーティングを均一
に行うためと、所定のコーティング膜厚を確保するため
に、ポリビニルアルコール等の粘稠性のある水溶性樹脂
液をバインダーとして添加してコーティングするように
してもよい。
In order to uniformly coat the hydrogen peroxide solution and to secure a predetermined coating film thickness, a viscous water-soluble resin liquid such as polyvinyl alcohol is added as a binder for coating. You may do it.

【0019】また、コーティング装置としては、グラビ
アコーター、ロールコーター、リバースコーター、ある
いは浸漬方式によるディッピングコーター等の適宜コー
ターを使用することができる。
As the coating device, an appropriate coater such as a gravure coater, a roll coater, a reverse coater or a dipping dipping coater can be used.

【0020】下記に本発明の酸化珪素蒸着フィルム及び
その製造方法について、具体的実施例を以下に示す。
Specific examples of the silicon oxide vapor deposition film of the present invention and the method for producing the same will be described below.

【0021】<実施例1>まず、ポリエチレンテレフタ
レートフィルム1の片面に、蒸着材料源として珪素酸化
物(例えば、一酸化珪素)を用いて、真空蒸着方式によ
り蒸着膜厚1000Åの酸化珪素蒸着膜2(SiOx
着膜、x=1.5〜1.6)を成膜して酸化珪素蒸着フ
ィルムを得た。
Example 1 First, on one surface of a polyethylene terephthalate film 1, a silicon oxide vapor deposition film 2 having a vapor deposition film thickness of 1000 Å was formed by a vacuum vapor deposition method using silicon oxide (eg, silicon monoxide) as a vapor deposition material source. (SiO x vapor deposition film, x = 1.5 to 1.6) was deposited to obtain a silicon oxide vapor deposition film.

【0022】次に、上記酸化珪素蒸着フィルムの蒸着膜
2面に、ロールコーターを用いて、過酸化水素水(過酸
化水素30%水溶液)をコーティングした。
Next, the surface of the vapor-deposited film 2 of the vapor-deposited silicon oxide film was coated with hydrogen peroxide solution (30% hydrogen peroxide aqueous solution) using a roll coater.

【0023】その後、所定温度(例えば20℃〜100
℃)にて所定時間(例えば1日〜数日間)、暗所(暗
室)又は所定の明るさの場所に放置して、酸化珪素蒸着
膜2を過酸化水素(H2 2 )により酸化熟成すること
により本発明の酸化珪素蒸着フィルムを得た。
Then, at a predetermined temperature (for example, 20 ° C. to 100 ° C.).
C.) for a predetermined time (for example, 1 day to several days) and left in a dark place (dark room) or a place with a predetermined brightness, and the silicon oxide vapor deposition film 2 is oxidized and aged with hydrogen peroxide (H 2 O 2 ). By doing so, a silicon oxide vapor deposition film of the present invention was obtained.

【0024】一方、ポリエチレンテレフタレートフィル
ム1の片面に、蒸着材料源として珪素酸化物(例えば、
一酸化珪素)を用いて、真空蒸着方式により蒸着膜厚1
000Åの酸化珪素蒸着膜2(SiOx 蒸着膜、x=
1.5〜1.6)を成膜し、得られた酸化珪素蒸着フィ
ルムを、過酸化水素水をコーティングせずに、上記発明
の酸化珪素蒸着フィルムと同様に、所定温度(例えば2
0℃〜100℃)にて所定時間(例えば1日〜数日
間)、暗所(暗室)又は所定の明るさの場所に放置して
従来品とした。
On the other hand, on one surface of the polyethylene terephthalate film 1, silicon oxide (for example,
Vapor deposition film thickness of 1 using silicon monoxide)
000Å silicon oxide vapor deposition film 2 (SiO x vapor deposition film, x =
1.5 to 1.6), and the obtained silicon oxide vapor-deposited film is coated at a predetermined temperature (for example, 2
A conventional product was left at 0 ° C. to 100 ° C. for a predetermined time (for example, one day to several days) in a dark place (dark room) or a place having a predetermined brightness.

【0025】過酸化水素を適用した本発明の上記酸化珪
素蒸着フィルムと、過酸化水素を適用しない上記従来品
としての酸化珪素蒸着フィルムについて、それぞれ酸素
透過度(cc/m2 /day)と水蒸気透過度(g/m
2 /day)とを測定した結果を下記に示す。
Regarding the above-mentioned silicon oxide vapor-deposited film of the present invention to which hydrogen peroxide was applied and the above-mentioned conventional silicon oxide vapor-deposited film to which hydrogen peroxide was not applied, oxygen permeability (cc / m 2 / day) and water vapor were respectively obtained. Transmittance (g / m
2 / day) is shown below.

【0026】 酸素透過度 水蒸気透過度 本発明品 0.73 2.32 従来品 2.46 3.20Oxygen permeability Water vapor permeability Product of the present invention 0.73 2.32 Conventional product 2.46 3.20

【0027】以上のことから、本発明の酸化珪素蒸着フ
ィルムは、酸素透過度が従来品に対して70%程度改善
され、また、水蒸気透過度が従来品に対して28%程度
改善され、バリア性の向上が確認された。
From the above, the silicon oxide vapor-deposited film of the present invention has an oxygen permeability improved by about 70% as compared with the conventional product and a water vapor permeability improved by about 28% as compared with the conventional product. It was confirmed that the sexuality was improved.

【0028】なお、上記実施例1において、珪素酸化物
を蒸着後の酸化珪素蒸着フィルムに過酸化水素を適用す
る場合は、酸化珪素蒸着フィルムに適宜印刷を施す印刷
工程中においてインラインで、印刷機(例えばグラビア
印刷機等)に併設したコーティング装置を用いて、前記
酸化珪素蒸着フィルムの蒸着膜2面に過酸化水素水をコ
ーティングするようにしてもよい。
When hydrogen peroxide is applied to the silicon oxide vapor-deposited film after vapor deposition of silicon oxide in the above-mentioned Example 1, in-line printing is performed during the printing step for appropriately printing the silicon oxide vapor-deposited film. A hydrogen peroxide solution may be coated on the surface of the vapor-deposited film 2 of the silicon oxide vapor-deposited film by using a coating device provided (for example, a gravure printer).

【0029】[0029]

【作用】本発明の酸化珪素蒸着フィルム、及びその製造
方法は、プラスチックフィルム1(又はシート)の酸化
珪素蒸着膜2面に過酸化水素水3をコーティングし、前
記過酸化水素によって酸化珪素蒸着膜2面を酸化して、
該蒸着膜2における珪素(Si)と酸素(O)との結合
状態をより完全な結合状態に整えるようにしたので、こ
れによって酸化珪素蒸着フィルムの酸素透過度及び水蒸
気透過度を低下させる作用が生じる。
A silicon oxide vapor deposition film and a method for producing the same according to the present invention are provided by coating a surface of a silicon oxide vapor deposition film 2 of a plastic film 1 (or sheet) with hydrogen peroxide solution 3 and using the hydrogen peroxide to deposit the silicon oxide vapor deposition film. Oxidize two sides,
Since the bonded state of silicon (Si) and oxygen (O) in the vapor deposition film 2 is adjusted to a more complete bonded state, this has the effect of lowering the oxygen permeability and water vapor permeability of the silicon oxide vapor deposited film. Occurs.

【0030】本発明の酸化珪素蒸着フィルムは、このよ
うに酸素透過度及び水蒸気透過度の低下により酸素バリ
ア性及び水蒸気バリア性がより高まり、高バリア性の酸
化珪素蒸着フィルムとなるものである。
The silicon oxide vapor-deposited film of the present invention is a high-barrier silicon oxide vapor-deposited film because the oxygen barrier property and the water vapor barrier property are further enhanced by the reduction of the oxygen permeability and the water vapor permeability.

【0031】また、プラスチックフィルム1(又はシー
ト)に成膜された酸化珪素蒸着膜2は、珪素(Si)原
子と酸素(O)原子が不完全な結合状態で蒸着されてい
ると僅かに黄色味等の着色を呈するものであるが、プラ
スチックフィルム1(又はシート)として透明なフィル
ム(又はシート)を使用し、その面に酸化珪素蒸着膜2
を成膜した後に、該蒸着膜2面に過酸化水素を適用する
ことにより、珪素(Si)原子と酸素(O)原子がより
完全な構成の結合状態に整えられ、これによって酸化珪
素蒸着膜2面の着色が解消されて、より透明度を高める
作用がある。
The silicon oxide vapor deposition film 2 formed on the plastic film 1 (or sheet) is slightly yellow when the silicon (Si) atoms and the oxygen (O) atoms are vapor-deposited in an incompletely bonded state. Although exhibiting coloring such as taste, a transparent film (or sheet) is used as the plastic film 1 (or sheet), and a silicon oxide vapor deposition film 2 is formed on the surface thereof.
After forming the film, by applying hydrogen peroxide to the surface of the vapor-deposited film 2, the silicon (Si) atoms and the oxygen (O) atoms are arranged in a more complete bonded state. The coloring on the two surfaces is eliminated, which has the effect of increasing the transparency.

【0032】本発明の酸化珪素蒸着フィルムは、このよ
うに酸化珪素蒸着膜2面の透明度が高まり、高透明度の
酸化珪素蒸着フィルムとなるものである。
The silicon oxide vapor-deposited film of the present invention has a high transparency on the surface of the silicon oxide vapor-deposited film 2 as described above and becomes a highly transparent silicon oxide vapor-deposited film.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明の酸化珪素蒸着フィルム及びその
製造方法は、酸化珪素蒸着フィルムとして従来よりも高
いガスバリア性と水蒸気バリア性を備えることができ、
包装内容物が本来の色調よりも黄色味等の着色掛かって
見えたりして、透明なバリアフィルム包装材料としての
利点を生かし切れなかった従来の酸化珪素蒸着フィルム
の黄色味等の着色を解消して、より透明度を向上させる
効果があり、高いガスバリア性及び水蒸気バリア性の要
求される包装材料として、また高いガスバリア性及び水
蒸気バリア性及び高い透明性が要求される包装材料とし
て効果的である。
INDUSTRIAL APPLICABILITY The silicon oxide vapor-deposited film and the method for producing the same of the present invention can have a higher gas barrier property and water vapor barrier property than conventional silicon oxide vapor-deposited films,
Eliminates the yellow tint of conventional silicon oxide vapor-deposited films, which could not fully utilize the advantages of a transparent barrier film packaging material because the contents of the package appear to be colored yellowish rather than the original color tone. Therefore, it has an effect of further improving transparency, and is effective as a packaging material that requires high gas barrier properties and water vapor barrier properties, and as a packaging material that requires high gas barrier properties, water vapor barrier properties, and high transparency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の酸化珪素蒸着フィルムの側断面図であ
る。
FIG. 1 is a side sectional view of a silicon oxide vapor deposition film of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…プラスチックフィルム(又はシート) 2…酸化珪
素蒸着膜 3…過酸化水素水
1 ... Plastic film (or sheet) 2 ... Silicon oxide vapor deposition film 3 ... Hydrogen peroxide solution

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】酸化珪素を蒸着したプラスチックフィルム
又はシート1の蒸着膜2面に過酸化水素3をコーティン
グすることにより低酸素透過度及び低水蒸気透過度を備
えたことを特徴とする酸化珪素蒸着フィルム。
1. A silicon oxide vapor deposition, characterized by having a low oxygen permeability and a low water vapor permeability by coating hydrogen peroxide 3 on the vapor deposition film 2 surface of a plastic film or sheet 1 on which silicon oxide is vapor deposited. the film.
【請求項2】プラスチックフィルム又はシート1に珪素
酸化物を蒸着して酸化珪素蒸着膜2を得た後、該蒸着膜
2面に過酸化水素3をコーティングすることを特徴とす
る酸化珪素蒸着フィルムの製造方法。
2. A silicon oxide vapor deposition film, characterized in that after depositing silicon oxide on a plastic film or sheet 1 to obtain a silicon oxide vapor deposition film 2, the surface of the vapor deposition film 2 is coated with hydrogen peroxide 3. Manufacturing method.
JP1153595A 1995-01-27 1995-01-27 Silicon oxide vapor deposition film and method for producing the same Pending JPH08197675A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1153595A JPH08197675A (en) 1995-01-27 1995-01-27 Silicon oxide vapor deposition film and method for producing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1153595A JPH08197675A (en) 1995-01-27 1995-01-27 Silicon oxide vapor deposition film and method for producing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08197675A true JPH08197675A (en) 1996-08-06

Family

ID=11780666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1153595A Pending JPH08197675A (en) 1995-01-27 1995-01-27 Silicon oxide vapor deposition film and method for producing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08197675A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012054586A (en) * 2000-05-08 2012-03-15 Denki Kagaku Kogyo Kk METHOD OF PRODUCING LOW DIELECTRIC CONSTANT SiOx FILM
JP2015231948A (en) * 2010-07-27 2015-12-24 コーニング インコーポレイテッド Self-passivating mechanically stable hermetic thin film

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012054586A (en) * 2000-05-08 2012-03-15 Denki Kagaku Kogyo Kk METHOD OF PRODUCING LOW DIELECTRIC CONSTANT SiOx FILM
JP2015231948A (en) * 2010-07-27 2015-12-24 コーニング インコーポレイテッド Self-passivating mechanically stable hermetic thin film

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2084045C (en) Metal oxide film having minutely roughed surface and method of forming same on glass substrate
JP2002192646A (en) Gas barrier film
JP2005119155A (en) Gas barrier film and method for producing the same
EP0460966B1 (en) Barrier film having high colorless transparency and method of manufacture thereof
JPH08197675A (en) Silicon oxide vapor deposition film and method for producing the same
JP3070404B2 (en) Gas barrier laminate film having a transparent printed layer
JP2674827B2 (en) Method for producing transparent gas barrier film
JPH10101825A (en) Transparent barrier film
JPS63237940A (en) Transparent gas barriering film
JPH07145256A (en) Transparent vapor deposition film
JPH09216653A (en) Packaging film and packaging film laminate having excellent oxygen barrier properties
JP2000015737A (en) Transparent barrier film, laminated material and packaging container using the same
JPS60157852A (en) Colored transparent plastic film
JP2006205626A (en) Packaging materials
JP3094702B2 (en) Silicon oxide-based deposited film and method for producing the same
JP4815650B2 (en) Transparent barrier film and laminated material using the same
JP3438555B2 (en) Highly transparent silicon oxide deposited film
JPH0656164A (en) Laminated packaging material and manufacturing method thereof
JP3745050B2 (en) Transparent barrier film
CN117794736A (en) Gas barrier laminates and packaging bags
JP2624073B2 (en) Laminated packaging material
JPH08269691A (en) Metal coated film
JP3331670B2 (en) Transparent conductive film
JP2584193Y2 (en) Packaging laminate
JP4110805B2 (en) Method for producing gas barrier laminate