JPH08197675A - 酸化珪素蒸着フィルム及びその製造方法 - Google Patents
酸化珪素蒸着フィルム及びその製造方法Info
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- JPH08197675A JPH08197675A JP1153595A JP1153595A JPH08197675A JP H08197675 A JPH08197675 A JP H08197675A JP 1153595 A JP1153595 A JP 1153595A JP 1153595 A JP1153595 A JP 1153595A JP H08197675 A JPH08197675 A JP H08197675A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】プラスチックフィルム上に蒸着された酸化珪素
蒸着膜の珪素（Ｓｉ）原子と酸素（Ｏ）原子の結合状態
をより完全に整え、酸化珪素蒸着フィルムにおける安定
且つ十分な酸素バリア性及び水蒸気バリア性を得るとと
もに、より高い透明度を得ることにある。 【構成】酸化珪素を蒸着したプラスチックフィルム又は
シート１の蒸着膜２面に過酸化水素３をコーティングす
ることにより低酸素透過度及び低水蒸気透過度を付与す
るようにした。
蒸着膜の珪素（Ｓｉ）原子と酸素（Ｏ）原子の結合状態
をより完全に整え、酸化珪素蒸着フィルムにおける安定
且つ十分な酸素バリア性及び水蒸気バリア性を得るとと
もに、より高い透明度を得ることにある。 【構成】酸化珪素を蒸着したプラスチックフィルム又は
シート１の蒸着膜２面に過酸化水素３をコーティングす
ることにより低酸素透過度及び低水蒸気透過度を付与す
るようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラスチックフィルム
又はシートに酸化珪素による蒸着面を備えた酸化珪素蒸
着フィルム及びその製造方法に関する。
又はシートに酸化珪素による蒸着面を備えた酸化珪素蒸
着フィルム及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記酸化珪素蒸着フィルムは、ポリエス
テルフィルムに、珪素酸化物を真空蒸着したバリアフィ
ルム（酸素等のガス透過度、水蒸気透過度の少ないフィ
ルム）であり、温湿度によるバリア性の変動が少ない密
封包装用の包材フィルムとして利用されており、また透
明なポリエステルフィルムに透明な珪素酸化物を真空蒸
着したバリアフィルムは、透明且つバリア性のある密封
包装用の包材フィルムとして利用されている。
テルフィルムに、珪素酸化物を真空蒸着したバリアフィ
ルム（酸素等のガス透過度、水蒸気透過度の少ないフィ
ルム）であり、温湿度によるバリア性の変動が少ない密
封包装用の包材フィルムとして利用されており、また透
明なポリエステルフィルムに透明な珪素酸化物を真空蒸
着したバリアフィルムは、透明且つバリア性のある密封
包装用の包材フィルムとして利用されている。
【０００３】上記酸化珪素蒸着フィルムは、例えは、高
い酸素バリア性や水蒸気バリア性、あるいは高い透明性
が要求される医療医薬品の包装材料や、スナック食品、
レトルト食品、電子レンジ用食品等の包装材料、あるい
は印刷等による絵付等において微妙な色合いが必要な包
装材料等として多用されている。
い酸素バリア性や水蒸気バリア性、あるいは高い透明性
が要求される医療医薬品の包装材料や、スナック食品、
レトルト食品、電子レンジ用食品等の包装材料、あるい
は印刷等による絵付等において微妙な色合いが必要な包
装材料等として多用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の上記酸化珪素蒸
着フィルムは、ポリエステルフィルムに、珪素酸化物を
薄膜状に真空蒸着して、酸化珪素（ＳｉＯx ；例えばｘ
＝１．５〜１．６）の蒸着膜を成膜したものであるが、
前記酸化珪素蒸着膜の珪素（Ｓｉ）原子と酸素（Ｏ）原
子が不完全な結合状態で蒸着されていると、この蒸着膜
による十分な酸素バリア性及び水蒸気バリア性が得られ
ない場合がある。
着フィルムは、ポリエステルフィルムに、珪素酸化物を
薄膜状に真空蒸着して、酸化珪素（ＳｉＯx ；例えばｘ
＝１．５〜１．６）の蒸着膜を成膜したものであるが、
前記酸化珪素蒸着膜の珪素（Ｓｉ）原子と酸素（Ｏ）原
子が不完全な結合状態で蒸着されていると、この蒸着膜
による十分な酸素バリア性及び水蒸気バリア性が得られ
ない場合がある。
【０００５】このように従来の酸化珪素蒸着フィルムは
不完全な結合状態の蒸着膜により、例えば、酸素透過度
が１．５〜３．０ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、また、水蒸気透
過度が１．５〜３．５ｇ／ｍ2 ／ｄａｙの範囲にばらつ
いたりして、バリア性が不安定となり易いものであり、
きわめて高いバリア性が要求される例えば、鰹節や海苔
等の包装材料には不向きであった。
不完全な結合状態の蒸着膜により、例えば、酸素透過度
が１．５〜３．０ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、また、水蒸気透
過度が１．５〜３．５ｇ／ｍ2 ／ｄａｙの範囲にばらつ
いたりして、バリア性が不安定となり易いものであり、
きわめて高いバリア性が要求される例えば、鰹節や海苔
等の包装材料には不向きであった。
【０００６】また、透明なポリエステルフィルムに、珪
素（Ｓｉ）原子と酸素（Ｏ）原子が不完全な結合状態で
蒸着されると、透明な酸化珪素蒸着膜２は、僅かに黄色
味等の着色を呈する場合があり、酸化珪素蒸着フィルム
の透明度を低下させ、よって高透明性と高バリア性とを
併せもつ透明バリアフィルムとしての長所を生かし切れ
ない問題があった。
素（Ｓｉ）原子と酸素（Ｏ）原子が不完全な結合状態で
蒸着されると、透明な酸化珪素蒸着膜２は、僅かに黄色
味等の着色を呈する場合があり、酸化珪素蒸着フィルム
の透明度を低下させ、よって高透明性と高バリア性とを
併せもつ透明バリアフィルムとしての長所を生かし切れ
ない問題があった。
【０００７】本発明の目的は、フィルム上に蒸着された
酸化珪素蒸着膜の珪素（Ｓｉ）原子と酸素（Ｏ）原子の
結合状態をより完全に整えることにより、酸化珪素蒸着
フィルムにおける安定且つ十分な酸素バリア性及び水蒸
気バリア性を得るとともに、より高い透明度を得ること
にある。
酸化珪素蒸着膜の珪素（Ｓｉ）原子と酸素（Ｏ）原子の
結合状態をより完全に整えることにより、酸化珪素蒸着
フィルムにおける安定且つ十分な酸素バリア性及び水蒸
気バリア性を得るとともに、より高い透明度を得ること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、酸化珪素を蒸
着したプラスチックフィルム又はシート１の蒸着膜２面
に過酸化水素３をコーティングすることにより低酸素透
過度及び低水蒸気透過度を備えたことを特徴とする酸化
珪素蒸着フィルムである。
着したプラスチックフィルム又はシート１の蒸着膜２面
に過酸化水素３をコーティングすることにより低酸素透
過度及び低水蒸気透過度を備えたことを特徴とする酸化
珪素蒸着フィルムである。
【０００９】また、本発明は、プラスチックフィルム又
はシート１に珪素酸化物を蒸着して酸化珪素蒸着膜２を
得た後、該蒸着膜２面に過酸化水素３をコーティングす
ることを特徴とする酸化珪素蒸着フィルムの製造方法で
ある。
はシート１に珪素酸化物を蒸着して酸化珪素蒸着膜２を
得た後、該蒸着膜２面に過酸化水素３をコーティングす
ることを特徴とする酸化珪素蒸着フィルムの製造方法で
ある。
【００１０】
【実施例】本発明の酸化珪素蒸着フィルムは、図１の側
断面図に示すように、プラスチックフィルム１（又はシ
ート）の少なくとも片面に、酸化珪素（ＳｉＯx ）蒸着
膜２を成膜したものである。
断面図に示すように、プラスチックフィルム１（又はシ
ート）の少なくとも片面に、酸化珪素（ＳｉＯx ）蒸着
膜２を成膜したものである。
【００１１】以下に本発明の酸化珪素蒸着フィルムを、
実施例に従って詳細に説明する。
実施例に従って詳細に説明する。
【００１２】本発明において、上記プラスチックフィル
ム又はシートとしては、特に限定するものではなく、ポ
リエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテ
レフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレート等
のポリエステル、あるいはポリアミド、ポリイミド、ポ
リアクリロニトリル、ポリカーボネート、ポリスチレ
ン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体け
ん化物、ポリビニルアルコール、芳香族ポリアミド、ふ
っ素樹脂などを素材とするフィルム、あるいはこれらの
１種又は２種以上を含む積層フィルムがあり、一軸延伸
や二軸延伸フィルムであってもよい。
ム又はシートとしては、特に限定するものではなく、ポ
リエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテ
レフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレート等
のポリエステル、あるいはポリアミド、ポリイミド、ポ
リアクリロニトリル、ポリカーボネート、ポリスチレ
ン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体け
ん化物、ポリビニルアルコール、芳香族ポリアミド、ふ
っ素樹脂などを素材とするフィルム、あるいはこれらの
１種又は２種以上を含む積層フィルムがあり、一軸延伸
や二軸延伸フィルムであってもよい。
【００１３】上記プラスチックフィルム１の厚さは、特
に限定されるものではなく、最終的に得られる本発明の
酸化珪素蒸着フィルムの使用目的に合わせて選定すれば
よいが、例えば１２〜３００μｍの範囲が適当であり、
好ましくは２０〜１００μｍである。
に限定されるものではなく、最終的に得られる本発明の
酸化珪素蒸着フィルムの使用目的に合わせて選定すれば
よいが、例えば１２〜３００μｍの範囲が適当であり、
好ましくは２０〜１００μｍである。
【００１４】本発明において、上記プラスチックフィル
ム（又はシート）１面に成膜されている前記酸化珪素蒸
着膜２は、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタ
リング、プラズマＣＶＤ等の蒸着方式により成膜されて
いる。
ム（又はシート）１面に成膜されている前記酸化珪素蒸
着膜２は、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタ
リング、プラズマＣＶＤ等の蒸着方式により成膜されて
いる。
【００１５】上記酸化珪素蒸着膜２の膜厚は、前記プラ
スチックフィルム１の厚さと、最終的に得られる本発明
の酸化珪素蒸着フィルムの使用目的に合わせて選定され
るものであるが、例えば、３０〜５０００Åの範囲が望
ましく、好ましくは２００〜１０００Åである。
スチックフィルム１の厚さと、最終的に得られる本発明
の酸化珪素蒸着フィルムの使用目的に合わせて選定され
るものであるが、例えば、３０〜５０００Åの範囲が望
ましく、好ましくは２００〜１０００Åである。
【００１６】このようにしてプラスチックフィルム１面
に酸化珪素蒸着膜２が成膜された本発明の酸化珪素蒸着
フィルムは、前記酸化珪素蒸着膜２の蒸着面に過酸化水
素３（過酸化水素水）をコーティングすることにより前
記蒸着膜２を酸化して、酸素バリア性と水蒸気バリア性
をより高めたフィルム（又はシート）である。
に酸化珪素蒸着膜２が成膜された本発明の酸化珪素蒸着
フィルムは、前記酸化珪素蒸着膜２の蒸着面に過酸化水
素３（過酸化水素水）をコーティングすることにより前
記蒸着膜２を酸化して、酸素バリア性と水蒸気バリア性
をより高めたフィルム（又はシート）である。
【００１７】使用する前記過酸化水素３は、過酸化水素
（沸点１５１．４℃）の水溶液を使用するものであり、
水溶液の過酸化水素濃度は特に限定されないが、例えば
過酸化水素濃度３〜３５％水溶液であり、過酸化水素に
よるコーティング効力と、取扱いや作業性との両方の観
点から好ましくは２０〜３０％水溶液が適当である。
（沸点１５１．４℃）の水溶液を使用するものであり、
水溶液の過酸化水素濃度は特に限定されないが、例えば
過酸化水素濃度３〜３５％水溶液であり、過酸化水素に
よるコーティング効力と、取扱いや作業性との両方の観
点から好ましくは２０〜３０％水溶液が適当である。
【００１８】なお、過酸化水素水のコーティングを均一
に行うためと、所定のコーティング膜厚を確保するため
に、ポリビニルアルコール等の粘稠性のある水溶性樹脂
液をバインダーとして添加してコーティングするように
してもよい。
に行うためと、所定のコーティング膜厚を確保するため
に、ポリビニルアルコール等の粘稠性のある水溶性樹脂
液をバインダーとして添加してコーティングするように
してもよい。
【００１９】また、コーティング装置としては、グラビ
アコーター、ロールコーター、リバースコーター、ある
いは浸漬方式によるディッピングコーター等の適宜コー
ターを使用することができる。
アコーター、ロールコーター、リバースコーター、ある
いは浸漬方式によるディッピングコーター等の適宜コー
ターを使用することができる。
【００２０】下記に本発明の酸化珪素蒸着フィルム及び
その製造方法について、具体的実施例を以下に示す。
その製造方法について、具体的実施例を以下に示す。
【００２１】＜実施例１＞まず、ポリエチレンテレフタ
レートフィルム１の片面に、蒸着材料源として珪素酸化
物（例えば、一酸化珪素）を用いて、真空蒸着方式によ
り蒸着膜厚１０００Åの酸化珪素蒸着膜２（ＳｉＯx 蒸
着膜、ｘ＝１．５〜１．６）を成膜して酸化珪素蒸着フ
ィルムを得た。
レートフィルム１の片面に、蒸着材料源として珪素酸化
物（例えば、一酸化珪素）を用いて、真空蒸着方式によ
り蒸着膜厚１０００Åの酸化珪素蒸着膜２（ＳｉＯx 蒸
着膜、ｘ＝１．５〜１．６）を成膜して酸化珪素蒸着フ
ィルムを得た。
【００２２】次に、上記酸化珪素蒸着フィルムの蒸着膜
２面に、ロールコーターを用いて、過酸化水素水（過酸
化水素３０％水溶液）をコーティングした。
２面に、ロールコーターを用いて、過酸化水素水（過酸
化水素３０％水溶液）をコーティングした。
【００２３】その後、所定温度（例えば２０℃〜１００
℃）にて所定時間（例えば１日〜数日間）、暗所（暗
室）又は所定の明るさの場所に放置して、酸化珪素蒸着
膜２を過酸化水素（Ｈ2 Ｏ2 ）により酸化熟成すること
により本発明の酸化珪素蒸着フィルムを得た。
℃）にて所定時間（例えば１日〜数日間）、暗所（暗
室）又は所定の明るさの場所に放置して、酸化珪素蒸着
膜２を過酸化水素（Ｈ2 Ｏ2 ）により酸化熟成すること
により本発明の酸化珪素蒸着フィルムを得た。
【００２４】一方、ポリエチレンテレフタレートフィル
ム１の片面に、蒸着材料源として珪素酸化物（例えば、
一酸化珪素）を用いて、真空蒸着方式により蒸着膜厚１
０００Åの酸化珪素蒸着膜２（ＳｉＯx 蒸着膜、ｘ＝
１．５〜１．６）を成膜し、得られた酸化珪素蒸着フィ
ルムを、過酸化水素水をコーティングせずに、上記発明
の酸化珪素蒸着フィルムと同様に、所定温度（例えば２
０℃〜１００℃）にて所定時間（例えば１日〜数日
間）、暗所（暗室）又は所定の明るさの場所に放置して
従来品とした。
ム１の片面に、蒸着材料源として珪素酸化物（例えば、
一酸化珪素）を用いて、真空蒸着方式により蒸着膜厚１
０００Åの酸化珪素蒸着膜２（ＳｉＯx 蒸着膜、ｘ＝
１．５〜１．６）を成膜し、得られた酸化珪素蒸着フィ
ルムを、過酸化水素水をコーティングせずに、上記発明
の酸化珪素蒸着フィルムと同様に、所定温度（例えば２
０℃〜１００℃）にて所定時間（例えば１日〜数日
間）、暗所（暗室）又は所定の明るさの場所に放置して
従来品とした。
【００２５】過酸化水素を適用した本発明の上記酸化珪
素蒸着フィルムと、過酸化水素を適用しない上記従来品
としての酸化珪素蒸着フィルムについて、それぞれ酸素
透過度（ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ）と水蒸気透過度（ｇ／ｍ
2 ／ｄａｙ）とを測定した結果を下記に示す。
素蒸着フィルムと、過酸化水素を適用しない上記従来品
としての酸化珪素蒸着フィルムについて、それぞれ酸素
透過度（ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ）と水蒸気透過度（ｇ／ｍ
2 ／ｄａｙ）とを測定した結果を下記に示す。
【００２６】 酸素透過度 水蒸気透過度 本発明品 ０．７３ ２．３２ 従来品 ２．４６ ３．２０
【００２７】以上のことから、本発明の酸化珪素蒸着フ
ィルムは、酸素透過度が従来品に対して７０％程度改善
され、また、水蒸気透過度が従来品に対して２８％程度
改善され、バリア性の向上が確認された。
ィルムは、酸素透過度が従来品に対して７０％程度改善
され、また、水蒸気透過度が従来品に対して２８％程度
改善され、バリア性の向上が確認された。
【００２８】なお、上記実施例１において、珪素酸化物
を蒸着後の酸化珪素蒸着フィルムに過酸化水素を適用す
る場合は、酸化珪素蒸着フィルムに適宜印刷を施す印刷
工程中においてインラインで、印刷機（例えばグラビア
印刷機等）に併設したコーティング装置を用いて、前記
酸化珪素蒸着フィルムの蒸着膜２面に過酸化水素水をコ
ーティングするようにしてもよい。
を蒸着後の酸化珪素蒸着フィルムに過酸化水素を適用す
る場合は、酸化珪素蒸着フィルムに適宜印刷を施す印刷
工程中においてインラインで、印刷機（例えばグラビア
印刷機等）に併設したコーティング装置を用いて、前記
酸化珪素蒸着フィルムの蒸着膜２面に過酸化水素水をコ
ーティングするようにしてもよい。
【００２９】
【作用】本発明の酸化珪素蒸着フィルム、及びその製造
方法は、プラスチックフィルム１（又はシート）の酸化
珪素蒸着膜２面に過酸化水素水３をコーティングし、前
記過酸化水素によって酸化珪素蒸着膜２面を酸化して、
該蒸着膜２における珪素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）との結合
状態をより完全な結合状態に整えるようにしたので、こ
れによって酸化珪素蒸着フィルムの酸素透過度及び水蒸
気透過度を低下させる作用が生じる。
方法は、プラスチックフィルム１（又はシート）の酸化
珪素蒸着膜２面に過酸化水素水３をコーティングし、前
記過酸化水素によって酸化珪素蒸着膜２面を酸化して、
該蒸着膜２における珪素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）との結合
状態をより完全な結合状態に整えるようにしたので、こ
れによって酸化珪素蒸着フィルムの酸素透過度及び水蒸
気透過度を低下させる作用が生じる。
【００３０】本発明の酸化珪素蒸着フィルムは、このよ
うに酸素透過度及び水蒸気透過度の低下により酸素バリ
ア性及び水蒸気バリア性がより高まり、高バリア性の酸
化珪素蒸着フィルムとなるものである。
うに酸素透過度及び水蒸気透過度の低下により酸素バリ
ア性及び水蒸気バリア性がより高まり、高バリア性の酸
化珪素蒸着フィルムとなるものである。
【００３１】また、プラスチックフィルム１（又はシー
ト）に成膜された酸化珪素蒸着膜２は、珪素（Ｓｉ）原
子と酸素（Ｏ）原子が不完全な結合状態で蒸着されてい
ると僅かに黄色味等の着色を呈するものであるが、プラ
スチックフィルム１（又はシート）として透明なフィル
ム（又はシート）を使用し、その面に酸化珪素蒸着膜２
を成膜した後に、該蒸着膜２面に過酸化水素を適用する
ことにより、珪素（Ｓｉ）原子と酸素（Ｏ）原子がより
完全な構成の結合状態に整えられ、これによって酸化珪
素蒸着膜２面の着色が解消されて、より透明度を高める
作用がある。
ト）に成膜された酸化珪素蒸着膜２は、珪素（Ｓｉ）原
子と酸素（Ｏ）原子が不完全な結合状態で蒸着されてい
ると僅かに黄色味等の着色を呈するものであるが、プラ
スチックフィルム１（又はシート）として透明なフィル
ム（又はシート）を使用し、その面に酸化珪素蒸着膜２
を成膜した後に、該蒸着膜２面に過酸化水素を適用する
ことにより、珪素（Ｓｉ）原子と酸素（Ｏ）原子がより
完全な構成の結合状態に整えられ、これによって酸化珪
素蒸着膜２面の着色が解消されて、より透明度を高める
作用がある。
【００３２】本発明の酸化珪素蒸着フィルムは、このよ
うに酸化珪素蒸着膜２面の透明度が高まり、高透明度の
酸化珪素蒸着フィルムとなるものである。
うに酸化珪素蒸着膜２面の透明度が高まり、高透明度の
酸化珪素蒸着フィルムとなるものである。
【００３３】
【発明の効果】本発明の酸化珪素蒸着フィルム及びその
製造方法は、酸化珪素蒸着フィルムとして従来よりも高
いガスバリア性と水蒸気バリア性を備えることができ、
包装内容物が本来の色調よりも黄色味等の着色掛かって
見えたりして、透明なバリアフィルム包装材料としての
利点を生かし切れなかった従来の酸化珪素蒸着フィルム
の黄色味等の着色を解消して、より透明度を向上させる
効果があり、高いガスバリア性及び水蒸気バリア性の要
求される包装材料として、また高いガスバリア性及び水
蒸気バリア性及び高い透明性が要求される包装材料とし
て効果的である。
製造方法は、酸化珪素蒸着フィルムとして従来よりも高
いガスバリア性と水蒸気バリア性を備えることができ、
包装内容物が本来の色調よりも黄色味等の着色掛かって
見えたりして、透明なバリアフィルム包装材料としての
利点を生かし切れなかった従来の酸化珪素蒸着フィルム
の黄色味等の着色を解消して、より透明度を向上させる
効果があり、高いガスバリア性及び水蒸気バリア性の要
求される包装材料として、また高いガスバリア性及び水
蒸気バリア性及び高い透明性が要求される包装材料とし
て効果的である。
【図１】本発明の酸化珪素蒸着フィルムの側断面図であ
る。
る。
１…プラスチックフィルム（又はシート） ２…酸化珪
素蒸着膜 ３…過酸化水素水
素蒸着膜 ３…過酸化水素水
Claims (2)
- 【請求項１】酸化珪素を蒸着したプラスチックフィルム
又はシート１の蒸着膜２面に過酸化水素３をコーティン
グすることにより低酸素透過度及び低水蒸気透過度を備
えたことを特徴とする酸化珪素蒸着フィルム。 - 【請求項２】プラスチックフィルム又はシート１に珪素
酸化物を蒸着して酸化珪素蒸着膜２を得た後、該蒸着膜
２面に過酸化水素３をコーティングすることを特徴とす
る酸化珪素蒸着フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1153595A JPH08197675A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 酸化珪素蒸着フィルム及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1153595A JPH08197675A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 酸化珪素蒸着フィルム及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08197675A true JPH08197675A (ja) | 1996-08-06 |
Family
ID=11780666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1153595A Pending JPH08197675A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 酸化珪素蒸着フィルム及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08197675A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012054586A (ja) * | 2000-05-08 | 2012-03-15 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 低比誘電率ＳｉＯｘ膜の製造方法 |
| JP2015231948A (ja) * | 2010-07-27 | 2015-12-24 | コーニング インコーポレイテッド | 自己不動態化する機械的に安定な気密薄膜 |
-
1995
- 1995-01-27 JP JP1153595A patent/JPH08197675A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012054586A (ja) * | 2000-05-08 | 2012-03-15 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 低比誘電率ＳｉＯｘ膜の製造方法 |
| JP2015231948A (ja) * | 2010-07-27 | 2015-12-24 | コーニング インコーポレイテッド | 自己不動態化する機械的に安定な気密薄膜 |
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