JPH08199400A - アルミニウム製部品の電解研磨方法 - Google Patents

アルミニウム製部品の電解研磨方法

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JPH08199400A
JPH08199400A JP798595A JP798595A JPH08199400A JP H08199400 A JPH08199400 A JP H08199400A JP 798595 A JP798595 A JP 798595A JP 798595 A JP798595 A JP 798595A JP H08199400 A JPH08199400 A JP H08199400A
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JP
Japan
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cathode
soln
electropolishing
blade
anode
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Withdrawn
Application number
JP798595A
Other languages
English (en)
Inventor
Keisuke Tajiri
桂介 田尻
Shizuo Yoshida
静雄 吉田
Takafumi Kamihata
尚文 神畠
Noriya Isobe
規也 磯部
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication date
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  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 アルミニウム又はアルミニウム合金製部品に
適用される電解研磨方法に関する。 【構成】 上下に振動させることにより電解液に振動を
伴った液流動を発生させることができる羽根板を有する
チタン又はチタン合金製電極を用いてアルミニウム又は
アルミニウム合金製部品を電解研磨する方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアルミニウム(およびア
ルミニウム合金)製部品に適用される電解研磨方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】アルミニウムおよびアルミニウム合金製
部品の電解研磨においては陰極ガスの付着によるピット
が発生しやすいという問題がある。この問題を解決する
ために、本発明者は先に数十サイクルで上下に振動する
軸に取付けられた羽根板による液攪拌を用いた電解研磨
方法を提案した。(特願平6−241209号)
【0003】この提案方法の具体例を図2によって説明
する。図2において、1はアルミニウム又はアルミニウ
ム合金よりなる被研磨体、2は研磨液、4は液槽、5は
リード線、6は電極、7は羽根板、8は攪拌機を示す。
こゝにおいて、被研磨体1と電極6との間に羽根板7を
有する攪拌機8を配置し、液攪拌を行うようにしたもの
である。幅の広い大型パネルである被研磨体を電解研磨
しようとすると、上述した図2に示すような配置とな
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】被研磨体1と電極6と
の間に攪拌機8を配置する既提案方法では次の不具合が
生じる。
【0005】(1)金属製の攪拌機8は、被研磨体1と
電極6との間に生じるバイポーラ電位により、羽根板7
がアノード溶解して損傷する。
【0006】(2)羽根板7により電解電流の一部が遮
断される。すなわち、攪拌機8と被研磨体1との距離が
近いと羽根板7の影になる部分が良好に研磨されなくな
る。これを避けるために攪拌機8と被研磨体1とを遠ざ
けると液槽の所要スペースが大きくなるとともに液抵抗
が増大する。
【0007】本発明は従来法がもつ以上の様な問題点を
解消させ、大型のアルミニウム又はアルミニウム合金を
処理できる電解研磨方法を提供しようとするものであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は上下に振動させ
ることにより電解液に振動を伴った液流動を発生させる
ことができる羽根板を有するチタン又はチタン合金製電
極を用いることを特徴とするアルミニウム製部品の電解
研磨方法である。
【0009】すなわち、本発明は電極を羽根板を有する
チタン又はチタン合金製の電極構造とし、かつこの電極
を数十サイクル(20〜55サイクル)で上下に振動さ
せて研磨液を攪拌しながらアルミニウム(アルミニウム
合金を含む)よりなる被研磨体と対面配置して電解研磨
を行なうものである。羽根の材質もチタン又はチタン合
金を用いるのが好ましい。
【0010】
【作用】
(1)羽根板を有する電極は数十サイクルで上下に振動
することによって研磨液を攪拌し、対置した被研磨体上
に電解研磨に適した強度でかつ振動を伴った液流を導く
ことができる。(電極兼攪拌機として作用)
【0011】(2)電極(陰極)にチタン又はチタン合
金を用いることにより、アルミニウム又はアルミニウム
合金製被研磨体との間の腐食電流発生が防止され、良好
に電解研磨することができる。(陰極にステンレスを用
いると有害な腐食電流が発生する)
【0012】(3)被研磨体の幅に対応して陰極の幅を
広げて対置することにより、幅の広い大型スキンの電解
研磨が可能となる。
【0013】
【実施例】本発明の一実施例を図1を参照しながら説明
する。内面をテフロンコーティングした角型のステンレ
ス容器を液槽4とし、りん酸(比重1.74)800c
c、硫酸(比重1.80)200cc、無水クロム酸5
0gの割合で調合した混合液を研磨液2とした。
【0014】上下に振動する純チタン製軸に純チタン製
羽根板7を取付けたものを電極(陰極)3とし、この電
極3と対面させて被研磨体(陽極)1を配置した。被研
磨体1は表面粗度Ra=0.1μmまでバフ研磨し、そ
の後軽く酸エッチングを施して梨地としたA2024材
クラッド板平板とした。
【0015】電解研磨は下記表1の処理条件で実施し
た。
【0016】
【表1】 上記の電解研磨処理により、被研磨体1は鏡面に仕上
り、かつピットの発生も認められなかった。
【0017】
【発明の効果】本発明により、(1)バイポーラ電位に
よる金属製羽根板の損傷防止、(2)羽根板による電解
電流の遮断防止、(3)液槽の小型化及び(4)大型パ
ネルへの電解研磨処理の適用可能化の効果を得ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の説明図。
【図2】既提案のアルミニウムの電解研磨方法の一態様
の説明図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神畠 尚文 愛知県名古屋市港区大江町10番地 三菱重 工業株式会社名古屋航空宇宙システム製作 所内 (72)発明者 磯部 規也 愛知県名古屋市港区大江町10番地 三菱重 工業株式会社名古屋航空宇宙システム製作 所内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上下に振動させることにより電解液に振
    動を伴った液流動を発生させることができる羽根板を有
    するチタン又はチタン合金製電極を用いることを特徴と
    するアルミニウム製部品の電解研磨方法。
JP798595A 1995-01-23 1995-01-23 アルミニウム製部品の電解研磨方法 Withdrawn JPH08199400A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6182603B1 (en) * 1998-07-13 2001-02-06 Applied Komatsu Technology, Inc. Surface-treated shower head for use in a substrate processing chamber
US7338586B2 (en) 2001-06-25 2008-03-04 Japan Techno Co., Ltd. Vibratingly stirring apparatus, and device and method for processing using the stirring apparatus
JP2009069807A (ja) * 2007-09-13 2009-04-02 Samsung Electro Mech Co Ltd 光導波路の製造方法及びパッケージ基板の製造方法

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US7678246B2 (en) 2001-06-25 2010-03-16 Japan Techno Co., Ltd. Vibratingly stirring apparatus, and device and method for processing using the stirring apparatus
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