JPH08200366A - Magnetic bearing - Google Patents
Magnetic bearingInfo
- Publication number
- JPH08200366A JPH08200366A JP7005924A JP592495A JPH08200366A JP H08200366 A JPH08200366 A JP H08200366A JP 7005924 A JP7005924 A JP 7005924A JP 592495 A JP592495 A JP 592495A JP H08200366 A JPH08200366 A JP H08200366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- magnetic bearing
- sensor
- stator
- electromagnet coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 24
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 7
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 10
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 abstract description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 abstract 1
- 230000002285 radioactive effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 10
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 6
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 210000003298 dental enamel Anatomy 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/047—Details of housings; Mounting of active magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0459—Details of the magnetic circuit
- F16C32/0461—Details of the magnetic circuit of stationary parts of the magnetic circuit
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、磁気軸受に関し、特
に、高温、放射線下のような特殊な環境でも使用可能な
磁気軸受に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic bearing, and more particularly to a magnetic bearing which can be used even in a special environment such as high temperature and radiation.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の磁気軸受は、ステータに電磁継
鉄、電磁石コイルに絶縁被膜の付いたエナメル線が使用
されている。2. Description of the Related Art In a conventional magnetic bearing, an electromagnetic yoke is used for a stator and an enameled wire with an insulating coating is used for an electromagnet coil.
【０００３】ステータと電磁石コイル間には有機材料か
らなる絶縁シートが挿入されている。したがって、ステ
ータと電磁石コイル間の絶縁が図られている。電磁石コ
イルの固定と電磁石コイルの発生した熱をステータに伝
導しコイルを冷却するために、電磁石コイルがステータ
とともにモールドされている。An insulating sheet made of an organic material is inserted between the stator and the electromagnet coil. Therefore, insulation between the stator and the electromagnet coil is achieved. The electromagnet coil is molded together with the stator in order to fix the electromagnet coil and conduct the heat generated by the electromagnet coil to the stator to cool the coil.
【０００４】電磁石コイルの引出線およびセンサからの
引出線も通常のシールドケーブルが使用されている。電
磁石コイルの接続およびセンサの接続ははんだ付けが使
用されている。また、渦電流センサとしては、シート状
のコイルやエナメル線がベーク材等でコイル状に巻付け
られたものが使用されている。Ordinary shielded cables are also used for the lead wires of the electromagnet coil and the lead wires from the sensor. Soldering is used to connect the electromagnetic coils and the sensors. As the eddy current sensor, a sheet-shaped coil or an enamel wire wound in a coil shape with a baking material or the like is used.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エナメ
ル線に施されている絶縁材料（有機材料）の耐熱温度は
Ｈ種が使用されても、１８０℃〜２００℃が限界であ
る。したがって、高温下で使用された場合には、電線の
絶縁材が劣化し、隣接する電線同士が短絡状態になって
しまう。そのため、コイルとしての機能が果たされない
という問題があった。However, the heat-resistant temperature of the insulating material (organic material) applied to the enamel wire is 180 ° C. to 200 ° C. even if the H type is used. Therefore, when used at a high temperature, the insulating material of the electric wire deteriorates and adjacent electric wires are short-circuited. Therefore, there is a problem that the function as a coil is not fulfilled.
【０００６】また、モールド材として使用される樹脂や
ワニス絶縁材についても、耐熱温度が低い。したがっ
て、高温中や放射線中での使用においては、材料の劣化
が起こり、モールド材の使用が不可能となるという問題
があった。Further, the heat resistance temperature of the resin and varnish insulating material used as the molding material is also low. Therefore, there is a problem that the material deteriorates when used in high temperature or radiation, making it impossible to use the molding material.
【０００７】さらに、絶縁シートについても、耐熱温度
は低い。そのため、高温下では使用不可能であるという
問題があった。Further, the insulating sheet also has a low heat resistance temperature. Therefore, there is a problem that it cannot be used at high temperatures.
【０００８】すなわち、従来の磁気軸受は、絶縁材や接
着剤に有機材料が多く使用されている。そのため、高温
下での使用や、高真空、放射線等の特殊な環境での使用
に対しては、材料の酸化による性能の低下、放射線によ
る有機材料の劣化による性能の低下や高温による有機材
料の劣化の問題があり、有機材料の使用には限界があっ
た。That is, in conventional magnetic bearings, many organic materials are used as insulating materials and adhesives. Therefore, when used at high temperatures or in special environments such as high vacuum and radiation, the performance of the organic material deteriorates due to oxidation of the material, deterioration of performance due to deterioration of the organic material due to radiation, and There was a problem of deterioration, and there was a limit to the use of organic materials.
【０００９】ゆえに、本発明の目的は、高温、放射線の
ような特殊な環境下でも性能劣化を起こすことのない磁
気軸受を提供することである。Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetic bearing which does not deteriorate in performance even under a special environment such as high temperature and radiation.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る磁
気軸受は、ロータをステータによって磁気保持する磁気
軸受であって、ステータに巻回されるコイル材としてセ
ラミックス被覆電線が用いられた電磁石コイルと、電磁
石コイルとステータとを絶縁するためにバイアスに織ら
れて電磁石コイルに巻き付けられたアルミナ繊維織布と
を備えて構成される。A magnetic bearing according to the invention of claim 1 is a magnetic bearing for magnetically holding a rotor by a stator, wherein an electromagnet using a ceramic-coated electric wire as a coil material wound around the stator. A coil and an alumina fiber woven fabric woven into a bias and wound around the electromagnet coil to insulate the electromagnet coil and the stator.
【００１１】請求項２では、請求項１の電磁石コイル
は、ステータに押付けられて設けられている。According to a second aspect, the electromagnet coil according to the first aspect is provided so as to be pressed against the stator.
【００１２】請求項３の発明に係る磁気軸受は、ロータ
をステータによって磁気保持し、ロータに対向するよう
に設けられたセンサを含む磁気軸受であって、センサ
は、その端面がロータに対向するアルミナセラミックス
からなる柱状部を含み、その側面の周囲に沿ってコイル
を巻付けることにより渦電流式センサを構成し、かつ、
アルミナセラミックスに金属製のねじ部がロウ付けされ
ている。A magnetic bearing according to a third aspect of the present invention is a magnetic bearing that includes a sensor that magnetically holds a rotor by a stator and that is provided so as to face the rotor. The sensor has an end surface that faces the rotor. An eddy current sensor is formed by including a columnar portion made of alumina ceramics and winding a coil along the periphery of the side surface thereof, and
A screw part made of metal is brazed to the alumina ceramics.
【００１３】請求項４では、請求項３のセンサは、柱状
部の側面の周囲に沿って形成されたねじ溝にコイルが巻
付けられた渦電流式センサを含んでいる。According to a fourth aspect of the present invention, the sensor of the third aspect includes an eddy current sensor in which a coil is wound around a thread groove formed along the periphery of the side surface of the columnar portion.
【００１４】請求項５では、請求項３のセンサは、柱状
部の側面の周囲に沿って形成された凹部にコイルが巻付
けられた渦電流型センサを含んでいる。According to a fifth aspect of the present invention, the sensor of the third aspect includes an eddy current sensor in which a coil is wound around a recess formed along the periphery of the side surface of the columnar portion.
【００１５】[0015]
【作用】請求項１の発明に係る磁気軸受は、電磁石コイ
ルのコイル材としてセラミックス被覆電線を用い、電磁
石コイルとステータとを絶縁するためにアルミナ繊維織
布を用いて、高温下での材料の劣化を起こすことなく性
能を維持でき、また放射線下における材料の劣化を軽減
して、性能を維持できる。In the magnetic bearing according to the present invention, a ceramic-coated electric wire is used as the coil material of the electromagnet coil, and an alumina fiber woven cloth is used to insulate the electromagnet coil from the stator. The performance can be maintained without deterioration, and the performance can be maintained by reducing the deterioration of the material under radiation.
【００１６】請求項５の発明に係る磁気軸受は、その周
囲に沿ってコイルが巻付けられた柱状部にアルミナセラ
ミックスを用いるので、高温下での材料の劣化を起こす
ことなく、また放射線下における材料の劣化を起こすこ
となく、性能を維持することができる。In the magnetic bearing according to the fifth aspect of the present invention, since alumina ceramics is used for the columnar portion around which the coil is wound, the material is not deteriorated at high temperature, and it is exposed to radiation. Performance can be maintained without causing material deterioration.
【００１７】[0017]
【実施例】図１は、この発明の一実施例による磁気軸受
の概略図であり、図２は、図１のＩＩ−ＩＩラインから
見た図である。1 is a schematic view of a magnetic bearing according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view taken along line II-II of FIG.
【００１８】図１および図２を参照して、この実施例の
磁気軸受は、ロータ１０を電磁継鉄（ステータ）１によ
って磁気保持する。電磁継鉄（ステータ）１は、ステー
タ押さえ１２に取り付けられている。電磁継鉄１は、通
常使用されている電磁継鉄に高温酸化防止のため、無機
接着剤が薄く塗布されて焼成されたものである。そし
て、その表面に薄いセラミックスの被膜が形成され、高
温状態に置かれても酸化により性能が低下しないように
工夫されている。With reference to FIGS. 1 and 2, the magnetic bearing of this embodiment magnetically holds rotor 10 by an electromagnetic yoke (stator) 1. The electromagnetic yoke (stator) 1 is attached to a stator retainer 12. The electromagnetic yoke 1 is made by applying a thin inorganic adhesive to a commonly used electromagnetic yoke in order to prevent high-temperature oxidation and firing it. Then, a thin ceramic coating is formed on the surface so that the performance is not deteriorated by oxidation even when placed in a high temperature state.
【００１９】電磁継鉄１に巻回されるコイル材として無
機耐熱電線（セラミックス被覆電線）が使用される電磁
石コイル２は、電磁継鉄１に対してあるギャップが保た
れて設けられている。この電磁石コイル２の無機耐熱電
線（セラミックス被覆電線）が使用されたため、高温ま
で電磁石コイル２の絶縁は保たれる。An electromagnet coil 2 in which an inorganic heat-resistant electric wire (ceramics-coated electric wire) is used as a coil material wound around the electromagnetic yoke 1 is provided with a certain gap maintained with respect to the electromagnetic yoke 1. Since the inorganic heat resistant electric wire (ceramic-coated electric wire) of the electromagnet coil 2 is used, the insulation of the electromagnet coil 2 is maintained up to a high temperature.
【００２０】ここで、無機耐熱電線として、セラミック
ス被覆電線以外にも絶縁体としてのセラミックスガラス
管、金属酸化物粉末を金属管中に充填した形の電線等が
挙げられる。しかしながら、これらの電線は、曲げ加工
性や接続部の処理などの作業性に難点がある。さらに、
これらの電線は、導体径に対して電線としての径が大と
なり、高集積化、巻線化が困難であるという問題があ
る。Here, examples of the inorganic heat resistant electric wire include, in addition to the ceramic-coated electric wire, a ceramic glass tube as an insulator, an electric wire in which a metal oxide powder is filled in a metal tube, and the like. However, these electric wires have drawbacks in workability such as bending workability and processing of connecting portions. further,
These electric wires have a problem that the diameter as an electric wire is larger than the conductor diameter, and it is difficult to achieve high integration and winding.
【００２１】その点、セラミックス被覆電線は、導体の
表面に薄いセラミックスがコーティングされたものであ
り、可撓性に優れている。したがって、セラミックス被
覆電線は小口径のコイル化に適している。また、セラミ
ックス被覆電線の被覆が薄いため、スペースファクタに
優れているという利点もある。In this respect, the ceramics-coated electric wire is a conductor whose surface is coated with thin ceramics and is excellent in flexibility. Therefore, the ceramic-coated electric wire is suitable for forming a coil having a small diameter. Further, since the ceramic-coated electric wire has a thin coating, there is also an advantage that the space factor is excellent.
【００２２】このような利点を有するセラミックス被覆
電線であっても、他の無機耐熱電線に比べて可撓性に優
れているものの、曲げ部においては、セラミックスの被
覆の剥離が発生したり、セラミックス被覆に亀裂が入る
場合がある。その場合には、絶縁耐圧が低下してしま
う。Even a ceramics-coated electric wire having such advantages has excellent flexibility as compared with other inorganic heat-resistant electric wires, but peeling of the ceramics coating occurs at the bent portion, and The coating may crack. In that case, the withstand voltage is reduced.
【００２３】そこで、電磁継鉄１と電磁石コイル２との
間のギャップが前述のように保たれる必要がある。その
ために、アルミナクロス（アルミナ繊維織布）３は、電
磁石コイル２に巻付けられて、電磁継鉄１と電磁石コイ
ル２との間の絶縁を確保している。また、このアルミナ
クロス３は、このアルミナ繊維の弾性変形を利用して電
磁石コイルを電磁継鉄１に固定する役目もある。Therefore, it is necessary to maintain the gap between the electromagnetic yoke 1 and the electromagnet coil 2 as described above. Therefore, the alumina cloth (alumina fiber woven cloth) 3 is wound around the electromagnet coil 2 to ensure insulation between the electromagnetic yoke 1 and the electromagnet coil 2. The alumina cloth 3 also has a role of fixing the electromagnet coil to the electromagnetic yoke 1 by utilizing the elastic deformation of the alumina fiber.
【００２４】このようにアルミナクロス３が使用される
が、絶縁はギャップにて行なわれている。したがって、
電磁石コイル２の電磁継鉄１への固定を別の方法で行な
えば、ギャップを確保でき、さらに、耐熱性があり導電
性のない無機材料であれば、アルミナクロスの代わりに
そのような無機材料が用いられてもよい。たとえば、ギ
ャップが形成されるためにセラミックスのプレートが挟
み込まれてもよい。また、耐熱ガラス繊維、セラミック
スペーパなどが使用されてもよいが、アルミナクロスが
最も適している。Although the alumina cloth 3 is used as described above, the insulation is performed in the gap. Therefore,
If the electromagnet coil 2 is fixed to the electromagnetic yoke 1 by another method, a gap can be secured, and if the inorganic material has heat resistance and is not conductive, such an inorganic material is used instead of the alumina cloth. May be used. For example, ceramic plates may be sandwiched to form the gap. Further, heat resistant glass fiber, ceramics paper, etc. may be used, but alumina cloth is most suitable.
【００２５】なお、アルミナクロス３は、織り目に沿っ
て切断や折曲げ加工が行なわれると、アルミナ繊維のほ
つれや繊維の切断が起こってしまう。そこで、この実施
例のアルミナクロスの切断加工は、織り目に対して約４
５°の角度で行なわれている。さらに、アルミナクロス
の折り曲げ加工も織り目に対して約４５°の角度で行
う。この折り曲げ加工をバイアス折りという。When the alumina cloth 3 is cut or bent along the texture, the alumina fibers are frayed or the fibers are cut. Therefore, the cutting process of the alumina cloth in this example is performed by about 4 to the texture.
It is performed at an angle of 5 °. Further, the bending of the alumina cloth is also performed at an angle of about 45 ° with respect to the texture. This bending process is called bias folding.
【００２６】次に、電磁石コイル２が、クサビ４とコイ
ル押さえ５で固定されているため、そのクサビ４および
コイル押さえ５について詳しく説明する。Next, since the electromagnet coil 2 is fixed by the wedge 4 and the coil retainer 5, the wedge 4 and the coil retainer 5 will be described in detail.
【００２７】図３は、図１の左下の拡大図であり、図４
は、図２の左の一部分の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of the lower left part of FIG.
FIG. 3 is an enlarged view of a part on the left side of FIG. 2.
【００２８】図３および図４を参照して、クサビ４およ
びコイル押さえ５について特に説明する。電磁石コイル
２の周りおよび隙間にはアルミナクロス３が詰められて
いる。そして、クサビ４およびコイル押さえ５は、電磁
石コイル２の固定と熱伝導を行なっている。すなわち、
クサビ４およびコイル押さえ５は、電磁石コイル２が振
動や熱膨張で移動し、電磁継鉄１と接触したり、そのギ
ャップが小さくなって絶縁耐圧が低下することを防止し
ている。さらに、クサビ４およびコイル押さえ５は、セ
ラミックス被覆が剥離することを防止している。さら
に、クサビ４およびコイル押さえ５は、電磁石コイル２
の発生した熱をステータ等に効率よく伝導している。The wedge 4 and the coil retainer 5 will be particularly described with reference to FIGS. 3 and 4. Alumina cloth 3 is packed around and around the electromagnet coil 2. The wedge 4 and the coil retainer 5 fix the electromagnet coil 2 and conduct heat. That is,
The wedge 4 and the coil retainer 5 prevent the electromagnet coil 2 from moving due to vibration or thermal expansion and coming into contact with the electromagnetic yoke 1 or a decrease in the gap between the electromagnetic yoke 1 and the insulation breakdown voltage. Further, the wedge 4 and the coil presser 5 prevent the ceramic coating from peeling off. Further, the wedge 4 and the coil retainer 5 are connected to the electromagnet coil 2
The generated heat is efficiently conducted to the stator and the like.
【００２９】特に、クサビ４により電磁石コイル２がコ
イルエンド側３１から矢印の向きで外側へ電磁石継鉄１
に押付けられることで、電磁石コイル２が振動して動く
ことや熱膨張によって動くことが防止される。また、電
磁石コイル２からステータへの熱伝導の効率もよくな
る。Particularly, the wedge 4 causes the electromagnet coil 2 to move outward from the coil end side 31 in the direction of the arrow to the electromagnet yoke 1.
By being pressed against, the electromagnet coil 2 is prevented from vibrating and moving or by thermal expansion. Also, the efficiency of heat conduction from the electromagnet coil 2 to the stator is improved.
【００３０】次に、図１に戻って、ロータ１０に対向し
てセンサ６が設けられている。センサ６は、センサ取付
ベース１１に取付けられており、ロータ１０とのギャッ
プを検出する。センサ６としては、渦電流型のセンサが
用いられている。センサ６は、図２に示すように、セン
サベース７と、キャップ８と、センサコイル９とを含ん
でいる。Next, returning to FIG. 1, the sensor 6 is provided facing the rotor 10. The sensor 6 is attached to the sensor attachment base 11 and detects a gap with the rotor 10. As the sensor 6, an eddy current type sensor is used. As shown in FIG. 2, the sensor 6 includes a sensor base 7, a cap 8 and a sensor coil 9.
【００３１】図５は、センサベースを示した図であり、
図６は、図５のＶＩ−ＶＩラインから見た図であり、図
８は、センサベースにセンサコイルが巻付けられたセン
サの側面図およびセンサキャップを示した図であり、図
７は、図８のＶＩＩ−ＶＩＩラインから見た図であり、
図９は、図８のＩＸ−ＩＸラインから見た図である。FIG. 5 is a view showing the sensor base,
6 is a view seen from the VI-VI line in FIG. 5, FIG. 8 is a side view of a sensor in which a sensor coil is wound around a sensor base, and a view showing a sensor cap, and FIG. It is the figure seen from the VII-VII line of FIG.
FIG. 9 is a diagram viewed from the IX-IX line in FIG.
【００３２】センサベース７とセンサキャップ８は、ア
ルミナセラミックスで形成されている。センサベース７
は、その端面３２がロータ１０に対向する柱状部３３を
有する。また、センサベース７には、電気端子用の金属
１４および固定用の金属１３がロウ付けされている。こ
れら金属１４，１５にはねじが切られており、それぞれ
センサコイル９の電線の固定とセンサ６のセンサ取付ベ
ース１１への固定に使用される。The sensor base 7 and the sensor cap 8 are made of alumina ceramics. Sensor base 7
Has a columnar portion 33 whose end face 32 faces the rotor 10. Further, a metal 14 for electric terminals and a metal 13 for fixing are brazed to the sensor base 7. These metals 14 and 15 are threaded, and are used to fix the electric wires of the sensor coil 9 and the sensor 6 to the sensor mounting base 11, respectively.
【００３３】センサベース７の柱状部３３に、雄ねじが
切られている。図８のＡ部の拡大図である図１０に示す
ように、雄ねじのねじ溝部分に併せて電線３４が巻かれ
て、センサコイル９が形成されている。雄ねじはコイル
のずれ防止と絶縁を確保するためのものである。A male screw is cut on the columnar portion 33 of the sensor base 7. As shown in FIG. 10, which is an enlarged view of the portion A of FIG. 8, the electric wire 34 is wound around the thread groove portion of the male screw to form the sensor coil 9. The male screw is for preventing the coil from slipping and ensuring insulation.
【００３４】なお、図１１に示すように、センサベース
７の柱状部３３の側面の周囲に沿って凹部（溝）３５が
設けられて、セラミックス電線１７が巻付けられてもよ
い。As shown in FIG. 11, a recess (groove) 35 may be provided along the periphery of the side surface of the columnar portion 33 of the sensor base 7 to wind the ceramic wire 17.
【００３５】図８に戻って、センサコイル９は、センサ
ベース７の雄ねじの山の部分より外にでない細い電線が
用いられて、無機接着剤とセンサベース７の雄ねじの外
径と同じ大きさの内径を有するセンサキャップ８とによ
って、センサベース７の雄ねじの部分に固定される。Returning to FIG. 8, the sensor coil 9 uses a thin electric wire that is not outside the thread portion of the male screw of the sensor base 7, and has the same size as the inorganic adhesive and the outer diameter of the male screw of the sensor base 7. And a sensor cap 8 having an inner diameter of 10 mm.
【００３６】センサコイル９の終端は、センサベース７
にロウ付けされている電極で無機同軸ケーブル１６と接
続される。無機同軸ケーブル１６は、同軸ケーブル押さ
え１５によって固定される。The sensor coil 9 is terminated at the sensor base 7
It is connected to the inorganic coaxial cable 16 by the electrode brazed to the. The inorganic coaxial cable 16 is fixed by the coaxial cable retainer 15.
【００３７】このように、センサの構成部品（センサベ
ース７，キャップ８，センサコイル９）においても、無
機材料が用いられて、高温下での材料の劣化が起こるこ
となく、また放射線下での材料の劣化が起こることがな
いので、センサの性能を維持できる。As described above, the inorganic materials are also used in the components of the sensor (sensor base 7, cap 8, sensor coil 9), so that the deterioration of the material does not occur at a high temperature and the radiation does not deteriorate. Since the material does not deteriorate, the performance of the sensor can be maintained.
【００３８】[0038]
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、磁気
軸受の構成部品に無機材料が用いられることで、高温、
放射線のような特殊な環境下での材料の変質や劣化を抑
制でき、高温状態での使用や温度変化の大きな環境また
は放射線中の環境のような特殊な環境下での使用が可能
となる。As described above, according to the present invention, since an inorganic material is used for a component of a magnetic bearing, high temperature,
It is possible to suppress alteration and deterioration of the material under a special environment such as radiation, and it is possible to use the material in a high temperature state or in a special environment such as an environment where there is a large temperature change or an environment during radiation.
【図１】図１は、この発明の一実施例による磁気軸受の
概略図である。FIG. 1 is a schematic view of a magnetic bearing according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１のＩＩ−ＩＩラインから見た図である。FIG. 2 is a view as seen from a line II-II in FIG. 1;
【図３】図１の左下の部分の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a lower left portion of FIG.
【図４】図２の左半分における一部の拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of a part of the left half of FIG.
【図５】図１のセンサを構成するセンサベースを示した
図である。5 is a diagram showing a sensor base which constitutes the sensor of FIG. 1. FIG.
【図６】図５のＶＩ−ＶＩラインから見た図である。6 is a diagram viewed from the VI-VI line of FIG.
【図７】図８のＶＩＩ−ＶＩＩラインから見た図であ
る。7 is a diagram viewed from the VII-VII line in FIG.
【図８】センサベースにセンサコイルが付けられたセン
サの側面図およびキャップを示した図である。FIG. 8 is a side view of a sensor in which a sensor coil is attached to a sensor base and a view showing a cap.
【図９】図８のＩＸ−ＩＸラインから見た図である。9 is a diagram viewed from the IX-IX line of FIG.
【図１０】図８のＡ部の拡大図である。10 is an enlarged view of part A in FIG.
【図１１】他のセンサベースの一部拡大図である。FIG. 11 is a partially enlarged view of another sensor base.
１ 電磁継鉄（ステータ） ２ 電磁石コイル ３ アルミナクロス ６ センサ １０ ロータ １７ セラミックス電線 ３３ 柱状部 ３５ 凹部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electromagnetic yoke (stator) 2 Electromagnetic coil 3 Alumina cloth 6 Sensor 10 Rotor 17 Ceramics wire 33 Columnar section 35 Recess
Claims (5)
磁気軸受であって、 前記ステータに巻回されるコイル材としてセラミックス
被覆電線が用いられた電磁石コイルと、 前記電磁石コイルと前記ステータとを絶縁するためにバ
イアスに織られて前記電磁石コイルに巻き付けられたア
ルミナ繊維織布とを備えた、磁気軸受。1. A magnetic bearing for magnetically holding a rotor by a stator, comprising: an electromagnet coil using a ceramics-coated electric wire as a coil material wound around the stator; and insulating the electromagnet coil and the stator. And a woven alumina fiber fabric woven into a bias and wound around the electromagnet coil.
付けられて設けられる、請求項１記載の磁気軸受。2. The magnetic bearing according to claim 1, wherein the electromagnet coil is provided by being pressed against the stator.
ロータに対向するように設けられたセンサを含む磁気軸
受であって、 前記センサは、その端面が前記ロータに対向するアルミ
ナセラミックスからなる柱状部を含み、その側面の周囲
に沿ってコイルを巻付けることにより渦電流式センサを
構成し、かつ、前記アルミナセラミックスに金属製のね
じ部がロウ付けされていることを特徴とする、磁気軸
受。3. A rotor magnetically held by a stator,
A magnetic bearing including a sensor provided so as to face the rotor, wherein the sensor includes a columnar portion made of alumina ceramics whose end surface faces the rotor, and a coil is wound along the periphery of the side surface. The magnetic bearing comprises an eddy current sensor, and a metallic screw portion is brazed to the alumina ceramics.
に沿って形成されたねじ溝にコイルが巻付けられた渦電
流式センサを含む、請求項３記載の磁気軸受。4. The magnetic bearing according to claim 3, wherein the sensor includes an eddy current sensor in which a coil is wound around a screw groove formed along the periphery of the side surface of the columnar portion.
に沿って形成された凹部にコイルが巻付けられた渦電流
式センサを含む、請求項３記載の磁気軸受。5. The magnetic bearing according to claim 3, wherein the sensor includes an eddy current sensor in which a coil is wound around a recess formed along the periphery of the side surface of the columnar portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00592495A JP3696277B2 (en) | 1995-01-18 | 1995-01-18 | Magnetic bearing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00592495A JP3696277B2 (en) | 1995-01-18 | 1995-01-18 | Magnetic bearing |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08200366A true JPH08200366A (en) | 1996-08-06 |
| JP3696277B2 JP3696277B2 (en) | 2005-09-14 |
Family
ID=11624452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00592495A Expired - Fee Related JP3696277B2 (en) | 1995-01-18 | 1995-01-18 | Magnetic bearing |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3696277B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001082423A1 (en) * | 2000-04-26 | 2001-11-01 | Ebara Corporation | Excimer laser apparatus |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6169805U (en) * | 1984-10-12 | 1986-05-13 | ||
| JPS61190826U (en) * | 1985-05-22 | 1986-11-27 | ||
| JPS625923U (en) * | 1985-06-28 | 1987-01-14 | ||
| JPS62195921U (en) * | 1986-06-03 | 1987-12-12 | ||
| JPH0247515U (en) * | 1988-09-26 | 1990-03-30 | ||
| JPH0392703A (en) * | 1989-09-05 | 1991-04-17 | Nireco Corp | Eddy-current distance measuring device |
| JPH0460214A (en) * | 1990-06-29 | 1992-02-26 | Ntn Corp | Magnetic bearing device |
| JPH04127609U (en) * | 1991-05-13 | 1992-11-20 | 株式会社東芝 | electromagnet |
| JPH0513006U (en) * | 1991-07-30 | 1993-02-19 | 矢崎総業株式会社 | Solenoid bobbin structure |
| JPH05299234A (en) * | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Toshiba Corp | Heat resistant insulating coil |
-
1995
- 1995-01-18 JP JP00592495A patent/JP3696277B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6169805U (en) * | 1984-10-12 | 1986-05-13 | ||
| JPS61190826U (en) * | 1985-05-22 | 1986-11-27 | ||
| JPS625923U (en) * | 1985-06-28 | 1987-01-14 | ||
| JPS62195921U (en) * | 1986-06-03 | 1987-12-12 | ||
| JPH0247515U (en) * | 1988-09-26 | 1990-03-30 | ||
| JPH0392703A (en) * | 1989-09-05 | 1991-04-17 | Nireco Corp | Eddy-current distance measuring device |
| JPH0460214A (en) * | 1990-06-29 | 1992-02-26 | Ntn Corp | Magnetic bearing device |
| JPH04127609U (en) * | 1991-05-13 | 1992-11-20 | 株式会社東芝 | electromagnet |
| JPH0513006U (en) * | 1991-07-30 | 1993-02-19 | 矢崎総業株式会社 | Solenoid bobbin structure |
| JPH05299234A (en) * | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Toshiba Corp | Heat resistant insulating coil |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001082423A1 (en) * | 2000-04-26 | 2001-11-01 | Ebara Corporation | Excimer laser apparatus |
| US6809448B2 (en) | 2000-04-26 | 2004-10-26 | Ebara Corporation | Excimer laser apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3696277B2 (en) | 2005-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10971977B2 (en) | Stator for rotary electric machine and rotary electric machine | |
| Cozonac et al. | Materials characterization and geometry of a high temperature induction machine | |
| JP7376877B2 (en) | Insulated conductor | |
| JP4413365B2 (en) | Superconducting coil device and superconducting coil connection method | |
| JPH08200366A (en) | Magnetic bearing | |
| JPH10111610A (en) | Fixing device | |
| US4782316A (en) | Core winding with inorganic insulation between the inner conductor and outer metal sheath | |
| JPS63196016A (en) | superconducting coil | |
| JP2001230113A (en) | Heat-resistant insulation coil | |
| CN113812067A (en) | Stator coil, stator including the same, rotating electrical machine, and method of manufacturing the stator coil | |
| KR200313087Y1 (en) | Non-magnetic field heating wire in bedding | |
| RU208827U1 (en) | Inductor winding coil of linear induction machines | |
| JP2021191051A (en) | High space factor coil rotary electric machine | |
| JP2024070955A (en) | Coil Wire | |
| TWI740333B (en) | Motor with ceramic insulated wires | |
| JPH1126253A (en) | Coil and conductor for electrical equipment | |
| JPS6193604A (en) | Superconducting magnet | |
| EP4521602A2 (en) | Electromechanical devices and methods for forming coating layers on components thereof | |
| JPH04334946A (en) | Bearing coil and sensor coil for high temperature magnetic bearing device | |
| WO2025161631A1 (en) | Motor and powertrain | |
| JP4053166B2 (en) | Induction heating roller device | |
| JPS606978Y2 (en) | temperature sensitive switch | |
| JP3887875B2 (en) | Wire connection structure | |
| JP2000136942A (en) | Electromagnetic induction type rotation sensor | |
| JP2007324615A (en) | Coil-winding frame and coil |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040726 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040817 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041015 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050607 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050629 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080708 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090708 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |