JPH08201115A - ロータリエンコーダ - Google Patents

ロータリエンコーダ

Info

Publication number
JPH08201115A
JPH08201115A JP1049195A JP1049195A JPH08201115A JP H08201115 A JPH08201115 A JP H08201115A JP 1049195 A JP1049195 A JP 1049195A JP 1049195 A JP1049195 A JP 1049195A JP H08201115 A JPH08201115 A JP H08201115A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
rotation
data
rotary encoder
detecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1049195A
Other languages
English (en)
Inventor
Mikio Kojima
幹男 小嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fanuc Corp filed Critical Fanuc Corp
Priority to JP1049195A priority Critical patent/JPH08201115A/ja
Publication of JPH08201115A publication Critical patent/JPH08201115A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 単純な構造で高い分解能を得ることができる
ようにする。 【構成】 光学ディスク110は、サーボモータの回転
軸に固定されている。光学ディスク110のデータ面に
は、回転角度検出のためのデータがピット111〜11
3の有無により記録されている。また、1回転したこと
を検出するためのピット110bも設けられている。光
学系120の光源121からは、レーザ光125が出力
される。分布屈折率レンズ122は、レーザ光125
を、ピット111〜113が設けられたトラック上に集
光する。分布屈折率レンズ123は、ピット111で反
射したレーザ光を、平行光線に変える。受光素子124
は、平行光線となったレーザ光を受光し、電気信号に変
換する。これにより、光学ディスク110のデータの記
録密度に応じた高い分解能を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は回転角度等を検出するロ
ータリエンコーダに関し、特に回転角度に比例したパル
ス信号を検出することにより回転角度等を検出するロー
タリエンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】ロータリエンコーダは、数値制御装置で
制御されるサーボモータに取り付けられ、サーボモータ
の回転角度等の情報を検出するために用いられる。ロー
タリエンコーダは、サーボモータの軸に取り付けられた
円盤を有しており、その円盤にはスリットが設けられて
いる。このスリットを通過する光を検出することによ
り、回転角度、回転方向、回転数を認識することができ
る。
【0003】例えば、インクリメンタル型のロータリエ
ンコーダでは、回転円盤を挟んで配置された光源と受光
素子とを3組設ける。そのうちの2組が、互いに90°
位相の異なる2相のパルス列を検出する。このパルス列
により、回転角度と回転方向が判別される。このとき、
分解能をあげるために、2相のパルス列をもとに位相分
割が行われている。位相分割によりパルス数が増えるた
め、分解能をあげることができる。光源と受光素子との
他の1組は、回転円盤1回転に1パルスを検出する。こ
のパルス出力時を基準として、上記の2相の信号をカウ
ントすることにより、絶対位置が判別される。
【0004】このようなロータリエンコーダの分解能は
スリットの幅で決まるため、分解能をさらに上げるに
は、スリットの幅を狭くする必要がある。ところが、ス
リットの幅を狭くすると、光量が減少し、透過光の回折
の影響も大きくなるため、スリットの幅を狭くするのに
は限界がある。しかも、スリットの幅を狭くし光量が減
少すると、検出信号が埃に対し敏感に反応してしまう。
そのため、極めて小さな埃がスリットに付着した場合に
も、間違った回転角度等が検出される可能性がでてく
る。
【0005】そこで、従来の高分解能を有するロータリ
エンコーダでは、回転円盤のスリットと360度位相の
ずれたスリットとを回転円盤と光源の間に設け、広面積
の受光素子により受光することにより、光量の低下を補
っていた。
【0006】図7は従来のロータリエンコーダを示す図
である。回転円盤310には、2相のパルス列を検出す
るためのスリット311が円周方向に等間隔で設けられ
ている。さらに、回転円盤310の1回転に1パルスを
検出するための数本のスリット312が、スリット31
1の内側に設けられている。各スリット311,312
は、半径方向に細長い孔である。
【0007】光源301は、スリット311,312に
向かって光302を照射する。この光302は、LED
等の発光素子で発せられた光である。レンズ303は、
光源301と回転円盤310との間に設けられており、
光源301からの光302を、回転円盤310に対し垂
直な平行光線にする。レンズ303と回転円盤310と
の間に設けられたマスク330には、回転円盤310の
スリット311,312と360度位相のずれた5つの
スリット331〜335が設けられている。スリット3
31〜334は、回転円盤のスリット311に照射され
る光の径路上に設けられている。一方、スリット335
は、回転円盤のスリット312に照射される光の径路上
に設けられている。
【0008】マスク330に対し、回転円盤310を挟
んだ反対側には、スリット331〜335それぞれに対
応した位置に、スリット311,312より十分広い面
積を有する受光素子321〜325が設けられている。
受光素子321,322と受光素子323,324と
は、位相が90度ずれた位置に設置されている。受光素
子322,324は、受光素子321,323に対し、
正負が反転した信号を出力する。受光素子325は、ス
リット312が光の径路を横切る度に信号を検出する。
【0009】このようなロータリエンコーダにおいて、
光源301から放射状に出力された光302の進行方向
は、レンズ303によって回転円盤310と垂直の方向
に変えられる。この光302のうち、マスク330のス
リット331〜335の部分の光のみが、マスク330
を通過し回転円盤310に照射される。
【0010】回転円盤310に照射された光のうち、ス
リット311,312を通過した光の量が各受光素子3
21〜325で検出される。これらの光は、回転円盤の
310の回転に応じた正弦波として検出される。なお、
受光素子321と受光素子323とで検出される正弦波
は、90度位相がずれている。そして、受光素子321
と受光素子323との検出信号から、回転円盤310の
回転方向と回転速度が算出される。このとき、受光素子
322,324で検出された、受光素子321,323
と逆の信号により、検出された信号の位相分割を行う。
受光素子325の検出するパルスを基準として、受光素
子321と受光素子323との2相の信号をカウントす
ることにより、絶対位置が判別される。
【0011】このように、位相分割を実施したり、広面
積の受光素子を使用することにより、高い分解能を確保
することができる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかし、位相分割を行
うことにより分解能をあげようとすると、パルス列の位
相分割回路が余分に必要になる。さらに、光量の低下を
補うためには、マスクや多数の広面積の受光素子も必要
である。従って、ロータリエンコーダの構造が複雑にな
ってしまうという問題点があった。
【0013】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、単純な構造で高い分解能を得ることができる
ロータリエンコーダを提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、回転角度等を検出するロータリエンコー
ダにおいて、回転軸に取り付けられ、回転角度を検出す
るためのデータが記録されたトラックが設けられた光学
ディスクと、前記トラックに対しレーザ光を照射するレ
ーザ光照射部と、前記トラックからの反射光を受光する
ことにより前記データを読み取る受光部とからなる光学
系と、を有することを特徴とするロータリエンコーダが
提供される。
【0015】
【作用】回転軸に取り付けられた光学ディスクには、回
転角度を検出するためのデータが記録されたトラックが
設けられている。光学系のレーザ光照射部がトラックに
対しレーザ光を照射すると、記録されたデータにより反
射光の強度が変化する。その反射光を受光部が受光する
ことにより、データが読み取とられる。
【0016】これにより、光学ディスクのデータの記録
密度に応じた高い分解能を得ることができる。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は本発明のロータリエンコーダのデータ検出
機構部を示す図である。この図では、データが記録され
た光学ディスク110と、データを検出する光学系12
0とが図示されている。
【0018】光学ディスク110は、サーボモータの回
転軸に固定されている。光学ディスク110のデータ面
には、回転角度検出のためのデータがピット111〜1
13の有無により記録されている。ピット111〜11
3の高さ「h」は0.11μm程である。このピット1
11〜113は、一定間隔で1トラック分設けられてい
る。ピットの長さ及び間隔「d」は、3T〜11T(T
は、照射するレーザ光の波長)の範囲内で設定する。光
学ディスク110には、データが記録されている反射面
の上には透明の保護膜が設けられている。また、1回転
したことを検出するためのピット110bも設けられて
いる。なお、ピット111〜113,110bは、光学
ディスク110の回転方向1に細長い形状をしている。
【0019】光学系120の光源121からは、レーザ
光125が出力される。分布屈折率レンズ122は、レ
ーザ光125を、ピット111〜113が設けられたト
ラック上に集光する。集光されたレーザ光のスポット1
26は、ピットの幅より広い領域である。この光源12
1と分布屈折率レンズ122とで、レーザ光照射部を構
成している。
【0020】一方、分布屈折率レンズ123は、ピット
111で反射したレーザ光を、平行光線に変える。受光
素子124は、平行光線となったレーザ光を受光し、電
気信号に変換する。この分布屈折率レンズ123と受光
素子124とで受光部を構成している。
【0021】なお、上記の分布屈折率レンズ122,1
23は、屈折率が半径方向に2乗分布している円筒形の
レンズである。このような分布屈折率レンズは、直径1
mm、長さ1〜2mm程度の非常に小型のレンズである
にもかかわらず開口角が大きく、倍率、集光能力の高い
レンズである。従って、かなり近い位置に焦点を結ぶこ
とができるため、光学ディスクとの間隔を狭くすること
が可能である。
【0022】このような構成において、光学ディスク1
10は、サーボモータの回転軸と同じ方向に、同じ角度
だけ回転している。レーザ光照射部の光源121から出
力されたレーザ光125は、分布屈折レンズ122で集
光され、回転角度検出のためのピット111〜113が
設けられたトラック上に照射される。照射されたレーザ
光のうち、ピット111〜113で反射される光と、ピ
ット111〜113の周辺で反射される光とでは、ピッ
ト111〜113の高さに応じた光路差があり、互いに
πの位相差を生じる。従って、トラック上のピットがあ
る部分では、ピットからの反射光とピット周辺からの反
射光とが打ち消しあって、反射光は零になる。一方、ピ
ットの無い部分では、照射された光がそのまま反射さ
れ、分布屈折率レンズ123に入射する。
【0023】分布屈折率レンズ123に入射された反射
光は、平行光線となり受光素子124で受光される。受
光素子124で受光した光の有無により、データの
「1」、「0」が識別され、このデータからサーボモー
タの回転角度が算出される。
【0024】図2はサーボモータに取り付けられたデー
タ検出機構部を示す図である。ロータリエンコーダ10
0は、サーボモータ200の底部に固定されている。サ
ーボモータ200の回転軸210には、回転角度等を検
出するためのデータが記録された光学ディスク110が
固定されている。光学系120、140は、光学ディス
ク110に対しレーザ光を照射することにより、記録さ
れたデータを検出する。コネクタ101は、光学系12
0,140と図示されていないコンパレータとを電気的
に接続する。
【0025】このような構成により、モータ200の回
転軸210が回転すると光学ディスク110が一緒に回
転する。この回転にともない、光学系120,140に
おいてピットの有無の変化が検出される。このピットの
有無を示す信号が、コネクタ101に接続されたコンパ
レータに転送されることにより、回転軸210の回転角
度等が検出される。
【0026】図3はデータ検出機構部の上面図である。
中心軸Oを中心に回転する回転軸210には、光学ディ
スク110が固定されている。光学ディスク110の上
面には、ピット111〜113によりデータが記録され
たトラック110aが設けられている。トラック110
aには、ピットが等間隔で円周方向に配列されている。
トラック110aの内側には、1回転を検出するための
ピット110bが設けられている。
【0027】トラック110aに対して、2つの光学系
120,130が設けられている。ピットの有る場所と
無い場所とで1周期とした場合に、光学系120と光学
系130とは、1/4周期ずれた位置に設置されてい
る。光学系120,130は、それぞれ光源121,1
31、照射側の分布屈折レンズ122,132、受光側
の分布屈折レンズ123,133、および受光素子12
4,134とで構成されている。光学系120,130
の各要素は、光学ディスク110の半径方向と平行に配
置されている。
【0028】また、光学ディスク110の回転時にピッ
ト110bが通過する位置には、光学系140が設けら
れている。光学系140は、レーザ光を照射している位
置を、ピット110bが通過したことを検出する。光学
系140は、光源141、照射側の分布屈折レンズ14
2、受光側の分布屈折レンズ143、および受光素子1
44とで構成されている。光学系140の各要素は、光
学ディスク110の半径方向と平行に配置されている。
【0029】図4はデータ検出機構部の側面図である。
O−O0 を中心軸とする回転軸210には、光学ディス
ク110が固定されている。光源121,141、照射
側の分布屈折レンズ122,142、受光側の分布屈折
レンズ123,143、および受光素子124,144
とで構成される光学系120,140は、斜め方向から
レーザ光125,145を照射し、斜めに反射した反射
光を受光している。
【0030】光学ディスク110上にこのように光学系
120,130,140を配置することにより、光学系
120,130からは、光学ディスクの回転角度に比例
した周期の信号が検出される。この2つの信号は、位相
が互いに90度ずれている。光学系140では、光学デ
ィスクの1回転ごとに1波長分検出される。これらの検
出されたパルス信号を解析することにより、回転軸21
0の回転方向、回転角度等を算出することができる。
【0031】図5は検出信号の解析機能を示すブロック
図である。信号入力端子A,B,Cは、図2に示すコネ
クタ101に接続されており、各信号入力端子A,B,
Cには、それぞれ光学系120,130,140からの
信号が入力される。
【0032】信号入力端子A,B,Cは、コンパレータ
151〜153に接続されているとともに、抵抗器R1
〜R3を介して接地されている。コンパレータ151〜
153は、検出された信号の出力から「1」、「0」を
識別し、パルス信号を出力する。コンパレータ151,
152の出力側は、ともに回転方向検出部154と絶対
位置検出部155とに接続されている。コンパレータ1
53の出力側は、絶対位置検出部155に接続されてい
る。
【0033】回転方向検出部154は、コンパレータ1
51,152からの互いに90度位相のずれたパルス信
号から回転方向を検出する。回転方向は、どちらのパル
ス信号が進んでいるかを判断することにより検出でき
る。検出された回転方向を示す回転方向信号は、絶対位
置検出部155に転送される。絶対位置検出部155
は、回転方向検出部154からの回転方向信号で回転軸
の回転方向を認識し、コンパレータ151,152から
のパルス信号から回転角度を認識する。さらに、コンパ
レータ153からの1回転を示す1回転信号の入力時を
基準に、回転角度を計算することにより、絶対位置を算
出する。算出結果は、サーボモータの回転軸の制御装置
に転送される。
【0034】このような構成により、コンパレータ15
1〜153により「1」、「0」のパルス信号に変換さ
れた光学系120,130,140からの検出信号は、
まず、コンパレータ151,152が出力するパルス信
号から、回転方向検出部154により回転方向が検出さ
れる。次に、各コンパレータ151〜153の出力する
パルス信号と、回転方向信号により、回転角度、絶対位
置がさらに検出される。そして、それらのデータが制御
回路に転送される。このようにして、制御回路は、モー
タの動作状況を正確に認識することができる。
【0035】図6はコンパレータから出力されるパルス
信号の例を示す図である。コンパレータ151から出力
されるパルス信号A1 は、コンパレータ152から出力
されるパルス信号B1 よりも位相が90度進んでいる。
つまり、パルス信号A1 が進み信号であり、パルス信号
1 が遅れ信号である。コンパレータ153から出力さ
れるパルス信号C1 は、光学ディスクが1回転したとき
に1パルス出力する1回転信号である。
【0036】このようなパルス信号が検出された場合
に、回転角方向はパルス信号A1 とパルス信号B1 とか
ら得られる。つまり、パルス信号A1 が進み信号である
ため、光学ディスクと光学系120,130(図3に示
す)との相対的な位置の移動は、光学系120が前方に
なることが分かる。従って、この場合図3に示す光学デ
ィスク110は、時計回りに回転している。
【0037】光学ディスクの回転角度は、パルス信号A
1 のパルス数である。また、パルス信号C1 が出力され
てからのパルス信号A1 の数をカウントすることによ
り、絶対位置を求めることができる。
【0038】以上の説明のように、光学ディスクに記録
されたデータを読み取ることによりサーボモータの回転
角度等を検出することができるため、高い分解能を得る
ことができる。しかも、パルス列の位相分割を行ってい
ないため、簡単な構造にすることができる。
【0039】さらに、光学ディスクは、データの記録面
のうえに、厚さ1.2μmのポリカーボネイトの保護膜
が設けられているため、多少の埃が膜の上に付着して
も、埃の付着位置とデータの記録面とは十分離れてお
り、ピットへの照射光やピット等からの反射光への影響
は少ない。従って、検出されたデータは非常に正確なも
のとなり、高い信頼性を確保することができる。
【0040】また、分布屈折率レンズにより集光等を行
うことにより、装置全体を小型化することができる。以
下に、本発明のロータリエンコーダと従来のロータリエ
ンコーダとの比較例を示す。この比較例では、従来のス
リット式のロータリエンコーダで位相分割を行う場合を
基準として、他の場合との比較を行った。
【0041】回転円盤の半径(スリットの半径方向の中
心から円盤の中心までの距離)が25mmであり、20
48スリットの回転円盤を持つスリット式のロータリエ
ンコーダで位相分割を行うと、1回転で65536パル
スのパルス列を得ることができる。この際のスリット幅
(開口部あるいは遮光部の幅)は、38.3μm(1ピ
ッチ=76.6μm)になる。
【0042】これに対し、65536パルスのパルス列
を位相分割をせずにスリットのみで得ようとすると、ス
リット幅は1.12μm(1ピッチ=2.24μm)と
なる。このスリット幅では、透過光の回折、埃等の問題
から実現は困難である。
【0043】一方、光学ディスクで65536パルスの
パルス列を得ようとすると、円周方向の長さ及び間隔が
1.2μmのピットを持つ光ディスクが要求される。使
用光線が赤外光(波長T=300nm)の場合、ピット
の長さ及び間隔は3T〜11T(0.9μm〜3.3μ
m)にすることができる。従って、十分に65536パ
ルスのパルス列を得ることが可能である。しかも、ピッ
トの長さ及び間隔を最も短く(3T)すれば、さらに分
解能をあげることができる。
【0044】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、光学デ
ィスクと、その光学ディスクに記録されたデータを読み
取る光学系により、回転軸の回転角度等を検出するよう
にしたため、ロータリエンコーダの構造を簡素化でき、
しかも高い分解能を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のロータリエンコーダのデータ検出機構
部を示す図である。
【図2】サーボモータに取り付けられたデータ検出機構
部を示す図である。
【図3】データ検出機構部の上面図である。
【図4】データ検出機構部の側面図である。
【図5】検出信号の解析機能を示すブロック図である。
【図6】コンパレータから出力されるパルス信号の例を
示す図である。
【図7】従来のロータリエンコーダを示す図である。
【符号の説明】
110 光学ディスク 111〜113,110b ピット 120 光学系 121 光源 122,123 分布屈折率レンズ 124 受光素子 125 レーザ光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G01D 5/30 S

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転角度等を検出するロータリエンコー
    ダにおいて、 回転軸に取り付けられ、回転角度を検出するためのデー
    タが記録されたトラックが設けられた光学ディスクと、 前記トラックに対しレーザ光を照射するレーザ光照射部
    と、前記トラックからの反射光を受光することにより前
    記データを読み取る受光部とからなる光学系と、 を有することを特徴とするロータリエンコーダ。
  2. 【請求項2】 前記光学ディスクは、データ記録面上の
    凹凸の有無によりデータが記録されていることを特徴と
    する請求項1記載のロータリエンコーダ。
  3. 【請求項3】 前記光学系は、分布屈折率レンズにより
    集光する前記レーザ光照射部と、分布屈折率レンズによ
    り反射光を受光する前記受光部とからなることを特徴と
    する請求項1記載のロータリエンコーダ。
  4. 【請求項4】 前記光学系は、互いに90度位相のずれ
    た信号を検出する、2組の前記レーザ光照射部と前記受
    光部とからなることを特徴とする請求項1記載のロータ
    リエンコーダ。
  5. 【請求項5】 回転角度等を検出するロータリエンコー
    ダにおいて、 回転軸に取り付けられ、回転角度を検出するための角度
    データが記録されたトラックと、1回転を検出するため
    の1回転データとが設けられた光学ディスクと、 前記トラックに対しレーザ光を照射する第1のレーザ光
    照射部と、前記トラックからの反射光を受光することに
    より前記角度データを読み取る第1の受光部とからなる
    角度検出用光学系と、 前記回転データの通過径路上にレーザ光を照射する第2
    のレーザ光照射部と、前記回転データからの反射光を受
    光することにより前記回転データを読み取る第2の受光
    部とからなる1回転検出用光学系と、 を有することを特徴とするロータリエンコーダ。
  6. 【請求項6】 前記光学ディスクは、データ記録面上の
    凹凸の有無により前記角度データと前記1回転データと
    が記録されていることを特徴とする請求項5記載のロー
    タリエンコーダ。
  7. 【請求項7】 前記角度検出用光学系は、分布屈折率レ
    ンズにより集光する第1のレーザ光照射部と、分布屈折
    率レンズにより反射光を受光する第1の受光部とからな
    ることを特徴とする請求項5記載のロータリエンコー
    ダ。
  8. 【請求項8】 前記1回転検出用光学系は、分布屈折率
    レンズにより集光する第2のレーザ光照射部と、分布屈
    折率レンズにより反射光を受光する第2の受光部とから
    なることを特徴とする請求項5記載のロータリエンコー
    ダ。
  9. 【請求項9】 前記角度検出用光学系は、互いに90度
    位相のずれた信号を検出する、2組の前記第1のレーザ
    光照射部と前記第1の受光部とからなることを特徴とす
    る請求項5記載のロータリエンコーダ。
JP1049195A 1995-01-26 1995-01-26 ロータリエンコーダ Pending JPH08201115A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1049195A JPH08201115A (ja) 1995-01-26 1995-01-26 ロータリエンコーダ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1049195A JPH08201115A (ja) 1995-01-26 1995-01-26 ロータリエンコーダ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08201115A true JPH08201115A (ja) 1996-08-09

Family

ID=11751657

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1049195A Pending JPH08201115A (ja) 1995-01-26 1995-01-26 ロータリエンコーダ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08201115A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003004488A (ja) * 2001-06-20 2003-01-08 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd 光学式エンコーダ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003004488A (ja) * 2001-06-20 2003-01-08 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd 光学式エンコーダ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4989193A (en) Optical arrangement and a reading apparatus
US4800547A (en) Optical record carrier scanning apparatus with scanning beam focus error detection
US4746792A (en) Optical transducer element and displacement meter comprising such an element
EP0248479B1 (en) Arrangement for optically measuring a distance between a surface and a reference plane
HK125093A (en) Optical information carrier, optical device for generating tracking signals and optical device for generating error signals for focussing
JPH067062B2 (ja) 位置検出装置
JPH02236827A (ja) 光記録媒体のビームトラッキング装置
US4881215A (en) Optical recording medium and method for correcting angular deviation thereof
US4839882A (en) Record carrier with an optically readable trackwise-arranged information structure
JPH08201115A (ja) ロータリエンコーダ
EP0523334B1 (en) Optical information recording medium and reproducing apparatus for reproducing information from the medium
KR960000269B1 (ko) 광헤드
JPS60100013A (ja) 回転検出器
JPS6071903A (ja) 光ディスク検査装置
JPH0216848B2 (ja)
JP2777467B2 (ja) ピックアップの位置検出装置
JPS61176817A (ja) エンコ−ダ
EP1014349B1 (en) Apparatus for reading from and/or writing to optical recording media
JP2540113B2 (ja) エンコ―ダ
JP3478483B2 (ja) 光ピックアップ装置
JP2655121B2 (ja) 光エンコーダ
JPH05126604A (ja) 光学的位置検出器およびスケール製造方法
JPH0782667B2 (ja) 記録媒体の非接触式欠陥検出方法及び装置
JPH07198422A (ja) レーザエンコーダ
JPH0237529A (ja) レンズ位置検出器