JPH08201466A - Inspection apparatus for ic socket - Google Patents
Inspection apparatus for ic socketInfo
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- JPH08201466A JPH08201466A JP7013122A JP1312295A JPH08201466A JP H08201466 A JPH08201466 A JP H08201466A JP 7013122 A JP7013122 A JP 7013122A JP 1312295 A JP1312295 A JP 1312295A JP H08201466 A JPH08201466 A JP H08201466A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はICソケットの検査装置
に関し、特に多数のリードを備えたフラットパッケージ
型の半導体集積回路(IC)の前記リードに、コンタク
トピンをそれぞれ接触させて、このICの動作試験を行
う際に使用する試験用ICソケットの前記コンタクトピ
ン部分の検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for inspecting an IC socket, and more particularly to a flat package type semiconductor integrated circuit (IC) provided with a large number of leads by contacting the contact pins with each other. The present invention relates to a device for inspecting the contact pin portion of a test IC socket used when performing an operation test.
【0002】ICのフラットパッケージ型としては、S
OP(Small OutlinePackage)や
QFP(Quad Flat Package)等があ
る。As a flat package type of IC, S is
There are OP (Small Outline Package), QFP (Quad Flat Package), and the like.
【0003】[0003]
【従来の技術】パッケージに収納されて最終製品形態と
なったICは、半導体製造工程の最終段階や出荷段階等
で、所望の動作機能を備えたものになっているか否かを
IC単体として試験する必要がある。2. Description of the Related Art An IC, which has been packaged into a final product form, is tested as a single IC to see if it has the desired operation function at the final stage of the semiconductor manufacturing process or at the shipping stage. There is a need to.
【0004】この際に、使用されるのが試験用のICソ
ケットである。試験用ソケットは、ICのリードとプリ
ント配線基板の所定の配線とを電気的に接続するため、
このプリント配線基板上に固定され、プリント配線基板
からコネクタを介して試験器に電気的に接続される。試
験器からは、ICへ電源電圧や試験パターン等が印加さ
れ、このICから得られた出力パターンを、試験器内に
用意された期待値パターンと比較し、良否の判定が得ら
れる。判定が終了すると、このICは取り出され、新ら
たに次のICが装着されて各リードが試験用ソケットの
コンタクトピンと電気的に接続される。以上の動作が何
回も繰り返される。At this time, an IC socket for testing is used. Since the test socket electrically connects the leads of the IC and the predetermined wiring of the printed wiring board,
It is fixed on this printed wiring board and is electrically connected to the tester from the printed wiring board via a connector. From the tester, a power supply voltage, a test pattern, etc. are applied to the IC, and an output pattern obtained from this IC is compared with an expected value pattern prepared in the tester to determine whether it is good or bad. When the judgment is completed, this IC is taken out, a new IC is newly mounted, and each lead is electrically connected to the contact pin of the test socket. The above operation is repeated many times.
【0005】以上のように、ICの着脱を繰り返えし行
う試験用ICソケットには、以下に述べるように固有の
問題点があることが判明した。As described above, it has been found that the test IC socket in which the IC is repeatedly attached and detached has its own problems as described below.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述したような試験用
ICソケットは、最終装置に組み込む際に使用される製
品用ICソケットと相違し、可能なかぎり繰り返えし使
用に耐える電気的及び機械的構造が要求されるが、繰り
返えし応力による疲労現象、接触部の摩耗や変形等によ
り、コンタクトピンのうちICのリードと接触する部分
を中心として、接触不良、所定位置外の接触、ピン同士
の短絡やピンの脱落等の事故が、ICの試験回数に従っ
て増大する。しかし、この事故が発生する時期を正確に
予測することは困難であり、このためICが良品である
にもかかわらず、ICソケットの不良により、このIC
を不良品と確定してしまうことがあった。The test IC socket as described above is different from the product IC socket used when it is incorporated into the final device, and is electrically and mechanically capable of withstanding repeated use as much as possible. However, due to fatigue phenomenon due to repeated stress, wear and deformation of the contact part, contact failure around the part that contacts the IC lead, contact outside the predetermined position, Accidents such as short-circuiting between pins and dropping of pins increase with the number of times the IC is tested. However, it is difficult to accurately predict when this accident will occur. Therefore, even if the IC is a good product, the IC socket may be defective and
Was sometimes determined as a defective product.
【0007】所定の試験回数だけ使用した試験用ICソ
ケットをすべて廃棄することも考えられるが、ICの脱
着速度等の使用条件により、耐用回数に大幅なバラツキ
があり、このためまだ使用できるICソケットまでも廃
棄してしまうというロスが発生している。Although it is conceivable to discard all the test IC sockets that have been used a predetermined number of times, the service life of the IC socket varies greatly depending on the usage conditions such as the speed of attachment and detachment of the IC. There is a loss of even discarding it.
【0008】また、最近のICのリード数は64を数え
るものは普通で、100を数えるものもめずらしくな
い。このようなICのリード・ピッチは1.0mm以下
となっている。従って、このリードに接触させるコンタ
クトピンのピッチに100ミクロン・オーダの変形があ
っても、もはや正常な電気的接触が得られなくなる。し
かも、このような微細な変形を、内眼により直ちに識別
できないという問題点がある。In addition, it is common for the number of leads of recent ICs to count 64, and it is not uncommon to count 100. The lead pitch of such an IC is 1.0 mm or less. Therefore, even if the pitch of the contact pins contacting the leads is deformed in the order of 100 μm, normal electrical contact can no longer be obtained. Moreover, there is a problem that such minute deformation cannot be immediately identified by the inner eye.
【0009】このような諸問題を解決する手段と関連す
るような技術を強いて挙げれば、特開平3−15877
2号公報がある。同公報を参照すると、検査対象となる
ICソケットは、「IC素子等の電子部品を実装させる
ため」のいわゆる製品用のICソケットであり、しかも
コンタクトピンの下端部分即ち基板との接続部分となる
「脚部」の折損や高さのばらつき等をチェックする検査
装置である。A technique related to the means for solving the above-mentioned various problems is strongly cited, and it is disclosed in JP-A-3-15877.
There is No. 2 publication. Referring to the publication, the IC socket to be inspected is a so-called product IC socket for "mounting electronic components such as IC elements", and is a lower end portion of the contact pin, that is, a connection portion with the substrate. It is an inspection device that checks breakage of the "legs" and height variations.
【0010】このようなICソケットは、本発明の試験
対象となる試験用のICソケットではなく、また問題と
なるコンタクトピンの上端部分即ちICのリードとの接
触部の変形等をチェックする手段をなんら持ち合わせて
いないことが判明した。Such an IC socket is not a test IC socket to be tested according to the present invention, and a means for checking the deformation of the upper end portion of the contact pin, that is, the contact portion with the lead of the IC, which is a problem, is provided. It turned out that I didn't have any.
【0011】以上のような知見及び諸問題点に鑑み、本
発明は次の課題を揚げる。 (1)コンタクトピンのうちICのリードに接触する部
分を中心とした変形等を容易に識別するようにするこ
と。 (2)正常な電気的接続の得られなくなったコンタクト
ピンを直ちに発見できるようにすること。 (3)良品のICを不良品と判定してしまうような事故
が発生しないようにすること。 (4)コンタクトピンの微細変形でも、容易に検出でき
るようにすること。 (5)ICソケットを含む試験装置の動作上の信頼性を
向上させ、IC自体の良不良判定を正確に判定できるよ
うにすること。 (6)必要に応じて適宜、ICソケットをチェックでき
るようにすること。 (7)ICのリード数やピッチ等のリード群の各部寸法
が変更しても、直ちに応じられるようにすること。 (8)試験装置としては、小型寸法に留め、携帯できる
ようにもすること。 (9)コンタクトピンのリード接触端の所定値以上の三
次元変形(ピッチ方向、このピッチ方向とクロスする方
向、及び上下方向)を検出できるようにすること。 (10)多数のコンタクトピンのうち一本でも変形不良
があれば、このICソケットを不良と判定できるように
すること。In view of the above knowledge and various problems, the present invention has the following problems. (1) A deformation or the like centering on a portion of the contact pin that comes into contact with the IC lead should be easily identified. (2) Immediately discover contact pins where normal electrical connection is no longer possible. (3) To prevent an accident such as a defective IC being determined as a defective IC. (4) It should be possible to easily detect even a slight deformation of the contact pin. (5) To improve the operational reliability of the test apparatus including the IC socket so that the good / bad judgment of the IC itself can be accurately judged. (6) Make it possible to check the IC socket as needed. (7) Even if the size of each part of the lead group such as the number of leads or the pitch of the IC is changed, it is possible to respond immediately. (8) The test equipment should be small in size and portable. (9) Three-dimensional deformation (pitch direction, a direction crossing the pitch direction, and a vertical direction) of the lead contact end of the contact pin of a predetermined value or more can be detected. (10) If even one of a large number of contact pins has a deformation defect, this IC socket can be determined to be defective.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明の構成は、半導体
集積回路装置のリードにそれぞれ当接する接触面を備え
るコンタクトピンが多数配列されたICソケットの前記
接触面に、電極がそれぞれ当接するような位置で前記接
触面が所定位置内にあるか否かを識別するICソケット
の検査装置において、前記電極が一対の電極からなり、
前記接触面を介在させた場合に互いに電気的に導通する
ような離間位置に、前記一対の電極を設け、前記電極同
士の直列接続回路を設け、前記直列接続回路の導通状態
を検出する識別手段を設けることを特徴とする。According to the structure of the present invention, electrodes are respectively brought into contact with the contact surfaces of an IC socket in which a large number of contact pins having contact surfaces respectively contacting the leads of a semiconductor integrated circuit device are arranged. In an IC socket inspection device for identifying whether or not the contact surface is within a predetermined position at various positions, the electrodes include a pair of electrodes,
Identification means for providing the pair of electrodes at spaced positions so as to be electrically connected to each other when the contact surface is interposed, a series connection circuit of the electrodes, and detecting a conduction state of the series connection circuit Is provided.
【0013】特に前記一対の電極を備えた配線基板は、
前記識別手段を備えた配線基板と別に設けられ、互いに
コネクタにより電気的に接続されていることを特徴と
し、さらに前記一対の電極を備えた配線基板には、前記
ICソケットのガイドピンの挿入される位置合わせ穴が
一対設けられていることを特徴とし、また特に前記一対
の電極を備えた配線基板の下面に、所定値以上の押上力
が印加すると前記配線基板が退避するように、弾性部材
が設けられていることを特徴とする。Particularly, the wiring board provided with the pair of electrodes is
A guide pin of the IC socket is inserted into the wiring board provided separately from the wiring board having the identification means and electrically connected to each other by a connector. A pair of alignment holes are provided, and in particular, an elastic member is provided so that the wiring board retracts when a pushing force of a predetermined value or more is applied to the lower surface of the wiring board having the pair of electrodes. Is provided.
【0014】また本発明によれば、特に作業者への警報
手段と作業停止信号出力手段とを有することを特徴とす
る。Further, according to the present invention, it is particularly characterized in that it has an alarm means for a worker and a work stop signal output means.
【0015】また、特に前記一対の電極を備えた配線基
板上の前記一対の電極間に溝が形成されていることも特
徴とする。In addition, a groove is formed between the pair of electrodes on the wiring board having the pair of electrodes.
【0016】また、検査対象となるICソケットは、特
に、フラットパッケージ型のICを施兼するためのもの
であることも特徴とする。Further, the IC socket to be inspected is particularly characterized in that it also serves as a flat package type IC.
【0017】[0017]
【実施例】本発明の一実施例を示す図1を参照すると、
この実施例の検査装置19が、断面図で示され、検査対
象となるICソケット18上に設定されている。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention.
The inspection apparatus 19 of this embodiment is shown in a sectional view and is set on the IC socket 18 to be inspected.
【0018】このICソケット18は、前方左右に13
本、後方左右に13本,紙面に垂直な方向で左側に19
本、紙面に垂直な方向で右側に19本のコンタクトピン
が配列されており、それぞれを第3のコンタクトピン1
1,第4のコンタクトピン11′,第1のコンタクトピ
ン5,第2のコンタクトピン5′の各配列に相当する。
第1,第2のコンタクトピン5,5′は互いに対称的な
構造を有し、第3,第4のコンタクトピン11,11′
も互いに対称的な構造を有している。総コンタクトピン
の配列形状は、平面上方形をなし、合計64本の各コン
タクトピンに対向したリードを有するフラットパッケー
ジ型のICが、試験時は図示されていないが検査装置1
9の位置に設定され、押え板14はシャフト15を中心
として反時計方向に90°回転して、ストッパ17によ
り、固定される。この時にICの位置合わせとなるの
が、ICソケット18の表面右側の一対のガイドピン3
9である。この一対のガイドピン39は、検査装置19
を位置決めする際にも利用される。各コンタクトピンの
下端部は、プリント配線基板のコンタクトホール等に挿
入されるか、又はコネクタを介して、試験装置に電気的
に接続される。各コンタクトピンの上端部は、ICのリ
ードに接触させる部分である。第1のコンタクトピン5
の一本を側面から見ると、板状のピンベース12があ
り、この部分はICソケット18の本体に固定するため
に必要である。このピンベース12から下方に針状に伸
びて下端部即ち脚部を形成する。ピンベース12から上
方に伸びて左方に屈曲し、さらに上方に屈曲して、リー
ドとの接触面を有する上端部13を形成する。上述した
本発明の主問題点となる部分は、この上端部13であ
る。このような屈曲部は、接触面に弾力性を持たせるた
めに必要である。このような形状のコンタクトピンは、
所定のピッチで配列され、間にスペーサ54を介在させ
ているが、上端部13の上方動、左右動等に対して支障
とならないように、余裕を持った厚さのスペーサ14が
設けられている。第1のコンタクトピン5の配列とクロ
スする配列の第3,第4のコンタクトピン11′,11
は、上端部13が内方に位置する向きで共通した形状の
ピンが設けられ、コンタクトピン5のピンベース12の
ぶつかり合を回避している。This IC socket 18 has 13
Books, 13 on the left and right, 19 on the left in the direction perpendicular to the page
Book, 19 contact pins are arranged on the right side in the direction perpendicular to the paper surface, and each of them is the third contact pin 1
The first contact pin 11 ', the fourth contact pin 11', the first contact pin 5, and the second contact pin 5'correspond to each array.
The first and second contact pins 5 and 5'have a symmetrical structure, and the third and fourth contact pins 11 and 11 'are provided.
Also have a symmetrical structure. The arrangement shape of all the contact pins is a plane upper shape, and a flat package type IC having a lead facing each of a total of 64 contact pins is not shown at the time of the test, but the inspection device 1
The holding plate 14 is rotated 90 degrees counterclockwise about the shaft 15 and is fixed by the stopper 17 in the position 9. At this time, the IC is aligned with the pair of guide pins 3 on the right side of the surface of the IC socket 18.
9 The pair of guide pins 39 is used by the inspection device 19
It is also used when positioning. The lower end of each contact pin is inserted into a contact hole of a printed wiring board or the like, or electrically connected to a test apparatus via a connector. The upper end of each contact pin is a portion to be brought into contact with the lead of the IC. First contact pin 5
When viewed from the side, there is a plate-shaped pin base 12, and this portion is necessary for fixing to the main body of the IC socket 18. The pin base 12 extends downward in a needle shape to form a lower end portion, that is, a leg portion. The pin base 12 extends upward, bends leftward, and further bends upward to form an upper end portion 13 having a contact surface with a lead. The upper part 13 is the main problem of the present invention described above. Such a bent portion is necessary to give the contact surface elasticity. The contact pin with such a shape
The spacers 54 are arranged at a predetermined pitch, and the spacers 54 are interposed therebetween. However, the spacers 14 having a sufficient thickness are provided so as not to hinder the upward movement of the upper end portion 13, the lateral movement, and the like. There is. Third and fourth contact pins 11 ', 11 in an arrangement crossing the arrangement of the first contact pins 5
Is provided with a pin having a common shape such that the upper end portion 13 is located inward, so that the pin base 12 of the contact pin 5 is prevented from colliding with each other.
【0019】以上のようなICソケット18に対するこ
の実施例の検査装置19は、ベース4内に第1の基板
3′,第2の基板3からなる二枚のプリント配線基板を
内蔵し、上面には作業者の片手で握って押圧するための
取手9が設けられている。The inspection device 19 of this embodiment for the IC socket 18 as described above has two printed wiring boards, which are the first board 3'and the second board 3, built in the base 4 and has an upper surface. Is provided with a handle 9 for gripping and pressing with one hand of an operator.
【0020】第2の基板3の下主面には、上記64本の
コンタクトピンの上端部13にそれぞれ対向した電極6
が形成され、さらにこれら電極6を互いに直列接続する
配線が形成され、図示していないコネクタを介して、第
1の基板3′と電気的に接続される。On the lower main surface of the second substrate 3, the electrodes 6 facing the upper end portions 13 of the 64 contact pins are provided.
Is further formed, and wiring for connecting these electrodes 6 to each other in series is formed, and is electrically connected to the first substrate 3'through a connector (not shown).
【0021】第1,第2の基板3′,3は、左方の蓋1
6を外して、それぞれ着脱できるようになっている。第
1の基板3′の上面には、検査回路として必要な抵抗1
0,電池7,発光ダイオード8等が接続され、配線され
ている。第2の基板3は、ICソケット18のコンタク
トピン数,ピッチ配列形状等の相異なるタイプに合わせ
て、各種用意されている。即ち、試験に供されるICの
フラットパッケージの種類の適合する基板が、蓋16を
外して装着されることになる。この基板3の右方には、
ガイドピン39の貫通するピン穴が開口しており、コン
タクトピンと電極6とが、これにより正確に位置合わせ
されて接触する。The first and second substrates 3'and 3 are provided with a lid 1 on the left side.
6 can be removed and each can be attached and detached. On the upper surface of the first substrate 3 ', a resistor 1 required as an inspection circuit
0, the battery 7, the light emitting diode 8 and the like are connected and wired. Various types of the second substrate 3 are prepared according to different types such as the number of contact pins of the IC socket 18 and the pitch arrangement shape. That is, a substrate that is compatible with the flat package type of the IC to be tested is mounted without the lid 16. To the right of this board 3,
The pin hole through which the guide pin 39 penetrates is opened, so that the contact pin and the electrode 6 are accurately aligned and contact with each other.
【0022】表示LEDとして、第1の基板3′の上面
の発光ダイオード8が設けられ、外から視認できるよう
に開孔部がベース4に形成されている。ベース4及び第
1の基板3′には、ガイドピン39を避けるように、余
裕を持ったピン穴が形成されているが、ガイドピン39
と位置合わせするピン穴は、第2の基板3に開口してい
る。As a display LED, a light emitting diode 8 on the upper surface of the first substrate 3'is provided, and an opening is formed in the base 4 so as to be visible from the outside. The base 4 and the first substrate 3 ′ are formed with a pin hole with a margin so as to avoid the guide pin 39.
The pin hole for aligning with is opened in the second substrate 3.
【0023】図1に示した第2の基板3の下面を示す図
2の平面図を参照すると、この基板3は一部切欠46の
ある方形をなし、挿入方向50に添って、ベース4の中
に装着され、ベース4内のコネクタ(図示せず)41
と、ランド42,43等の各ランドとが電気的に接続さ
れる。一本のコンタクトピンに対応して、一対の電極5
1,52が用意される。即ち電極6は、すべて一対の電
極51,52からなる。このような一対の電極51,5
2を一つの電極としてすべて直列接続されて、その終端
をランド42,43に配線している。端部には、一対の
ピン穴40,40′が開口しており、ガイドピン39が
挿入されて、位置合わせされる。切欠46は、逆方向の
挿入を防止する。Referring to the plan view of FIG. 2 showing the lower surface of the second substrate 3 shown in FIG. 1, the substrate 3 has a rectangular shape with a partial cutout 46, and along the insertion direction 50, the base 3 is formed. A connector (not shown) 41 mounted inside the base 4
And the lands 42, 43 and the like are electrically connected to each other. A pair of electrodes 5 corresponding to one contact pin
1, 52 are prepared. That is, the electrode 6 is composed of a pair of electrodes 51 and 52. Such a pair of electrodes 51, 5
All are connected in series with 2 as one electrode, and the ends thereof are wired to the lands 42 and 43. A pair of pin holes 40, 40 'are opened at the ends, and guide pins 39 are inserted and aligned. Notch 46 prevents reverse insertion.
【0024】図2に示された一対の電極51,52を示
す図3の平面図を参照すると、電極51の露出面の寸法
は、bが位置ズレ許容寸法を考慮して0.2mm乃至
0.4mm,dが1.0mm乃至1.5mm,一対の電
極51,52間距離aが0.1mm乃至1.0mmとな
る。電極51,52の一部及び配線は、レジスト膜3
0,30′で覆われており、電気的接続の必要のない部
分である。特に距離aは、上端部13の色々な形状に応
じるためには、0.1mm乃至0.2mmがより好まし
い。このような電極51,52は、配列方向32に多数
配列されている。Referring to the plan view of FIG. 3 showing the pair of electrodes 51 and 52 shown in FIG. 2, the dimension of the exposed surface of the electrode 51 is 0.2 mm to 0 in consideration of the positional deviation allowance b. 0.4 mm, d is 1.0 mm to 1.5 mm, and the distance a between the pair of electrodes 51 and 52 is 0.1 mm to 1.0 mm. A part of the electrodes 51 and 52 and the wiring are formed on the resist film 3
It is covered with 0, 30 ', and is a part that does not require electrical connection. In particular, the distance a is more preferably 0.1 mm to 0.2 mm in order to comply with various shapes of the upper end portion 13. A large number of such electrodes 51 and 52 are arranged in the arrangement direction 32.
【0025】図3の電極51,52に接触するICソケ
ット18のコンタクトピンの上端部13を示す図4の断
面図を参照すると、この上端部13は、半径0.4mm
の半円状を呈し、この厚さが0.5mmとなっている。Referring to the sectional view of FIG. 4 showing the upper end 13 of the contact pin of the IC socket 18 which contacts the electrodes 51, 52 of FIG. 3, this upper end 13 has a radius of 0.4 mm.
It has a semicircular shape with a thickness of 0.5 mm.
【0026】この上端部13には、使用回数が増加する
に従い、この半円状が変形したり、左右方向33のどち
らかに偏位したり、あるいは配列方向32の方向に屈曲
してしまうことがある。このうち左右方向33の偏位が
大きくなると、一対の電極51,52を短絡していた上
端部13の上面が開放状態になり、電極51,52間が
電気的に非導通となる。このような電極は直列接続され
ているので、どこか一箇所だけでも非導通となれば、後
述する検査回路でこれを検出する。As the number of times of use increases, the semi-circular shape of the upper end portion 13 may be deformed, may be displaced in one of the left and right directions 33, or may be bent in the arrangement direction 32. There is. When the deviation in the left-right direction 33 increases, the upper surface of the upper end portion 13 that short-circuited the pair of electrodes 51 and 52 becomes open, and the electrodes 51 and 52 are electrically disconnected. Since such electrodes are connected in series, if they become non-conductive at only one place, they will be detected by the inspection circuit described later.
【0027】配列方向32の方向に所定値以上屈曲した
上端部13は、電極51,52との接触が断たれ、直列
回路が同様に非導通となる。上端部13の半円周上の局
面が破損しても、同様に非導通となる。上端部13の上
方向34の偏位のうち、下方向の偏位については電極5
1,52が直ちに非導通となり、上方向の偏位について
は導通となるが、基板3が押し上げられて近傍の電極が
非導通となり、やはり検出可能となる。The upper end portion 13, which is bent in the direction of the arrangement direction 32 by a predetermined value or more, is disconnected from the electrodes 51 and 52, and the series circuit is also rendered non-conductive. Even if the semicircumferential surface of the upper end portion 13 is damaged, it becomes non-conductive as well. Of the deviations in the upward direction 34 of the upper end portion 13, the deviations in the downward direction are related to the electrode 5
1, 52 immediately become non-conductive and conductive in the upward displacement, but the substrate 3 is pushed up and the neighboring electrodes become non-conductive, and detection is also possible.
【0028】以上のような三次元方向の変形、偏位、破
損等が組み合わされても、同様に非導通状態となり、き
わめて高精度でコンタクトピンの不良を検出することが
できる。Even if the deformation, displacement, damage, etc. in the three-dimensional directions as described above are combined, the non-conduction state similarly occurs, and the defect of the contact pin can be detected with extremely high accuracy.
【0029】図3、図4で示した不良状態を検出する回
路を配線した第2の基板3′の下面を示す図5の平面図
を参照すると、ランド42′,43′は図2のランド4
2,43と図示していないコネクタで電気的に接続さ
れ、ランド42′,43′間には、抵抗10,発光ダイ
オード8,電池7が直列接続される。非導通となれば、
発光ダイオード8が点燈し、正常な場合はこの回路に電
気が流れ、発光ダイオード8が点燈する。抵抗10は導
通時の過電流を防止するために必要である。Referring to the plan view of FIG. 5 showing the lower surface of the second substrate 3'with the circuit for detecting the defective state shown in FIGS. 3 and 4, the lands 42 'and 43' are the lands of FIG. Four
2 and 43 are electrically connected by a connector (not shown), and a resistor 10, a light emitting diode 8 and a battery 7 are connected in series between the lands 42 'and 43'. If it becomes non-conductive,
The light emitting diode 8 illuminates, and when normal, electricity flows through this circuit and the light emitting diode 8 illuminates. The resistor 10 is necessary to prevent overcurrent during conduction.
【0030】第2の基板3は、ベース4に固定された場
合を説明したが、この他に押圧力が1000gを超える
とこのベース4が1.0mm程度上方に移動するよう
に、板バネやコイルバネ等の弾性部材を介挿することが
より好ましい。これは、図4における上端部13の上方
偏位を検出し易くするためにも必要である。尚第2の基
板3の下面は、ICソケット18の上面35に当接する
ことにより、これ以上深い位置で接触しないようにして
ある。The second substrate 3 has been described as being fixed to the base 4, but in addition to this, when the pressing force exceeds 1000 g, the base 4 moves upward by about 1.0 mm, and It is more preferable to insert an elastic member such as a coil spring. This is also necessary to make it easier to detect the upward displacement of the upper end portion 13 in FIG. The lower surface of the second substrate 3 is in contact with the upper surface 35 of the IC socket 18 so that the second substrate 3 does not contact at a deeper position.
【0031】また、発光ダイオード8を使用したが、警
報手段としてはこの他にブザーが使用されてもよく、ま
た自動製造装置をストップする作業停止信号出力を備え
てもよく、あるいはこれらが並用されてもよい。Further, although the light emitting diode 8 is used, a buzzer may be used as an alarm means in addition to this, and a work stop signal output for stopping the automatic manufacturing apparatus may be provided, or these may be used together. May be.
【0032】例にコンタクトピンの不良が検出されれ
ば、このICソケットを廃棄して、新しいICソケット
と交換するため、試験が一時中断されることになる。For example, if a defective contact pin is detected, this IC socket is discarded and replaced with a new IC socket, so that the test is suspended.
【0033】上記実施例では取手9を設けているが、こ
れは手動で行うことを前提としたものであって、この他
に自動で行う場合にはハンドリングの先端にこのベース
4が固定される。また自動化工程で、この検査装置を、
検査対象となるICと共通した工程で流してもよい。こ
の場合は、IC100個あるいは1,000個ごとに、
この検査装置を介在させる。この場合の検査装置の外形
寸法は、ICの形状に近いものが好ましい。Although the handle 9 is provided in the above embodiment, this is premised on manual operation. In addition to this, in the case of automatic operation, the base 4 is fixed to the tip of the handling. . In an automated process, this inspection device
You may flow in the process common to IC to be inspected. In this case, for every 100 or 1,000 ICs,
This inspection device is interposed. In this case, the external dimensions of the inspection device are preferably close to the IC shape.
【0034】また、コンタクトピンのうち不良ピンの位
置を所定の範囲内に特定して検出したい場合には、上述
した検出回路が複数用意される。Further, when it is desired to specify and detect the position of the defective pin among the contact pins within a predetermined range, a plurality of the above-mentioned detection circuits are prepared.
【0035】検査対象となるICソケット18は、押え
板14やストッパ17を備えたものを示したが、このよ
うな構造に限定されるものではなく、自動化されたハン
ドリング手段が使用されるものでもよく、また64ピン
の場合を示したが色々なコンタクトピン数やピッチ、配
列形状等に応じた第2の基板3が用意されるので、フラ
ットパッケージ型のICであればどのようなものでもよ
く汎用性が確保される。The IC socket 18 to be inspected is shown as having the pressing plate 14 and the stopper 17, but the IC socket 18 is not limited to such a structure, and may be an automatic handling means. Well, the case of 64 pins is shown, but since the second substrate 3 is prepared according to various numbers of contact pins, pitches, arrangement shapes, etc., any flat package type IC may be used. Versatility is secured.
【0036】図2におけるような電極配列に対応したコ
ンタクトピンが配列されているものの、一部のコンタク
トピンが不要のため、除去されたものがある。このよう
なICソケットを検査する場合には、除去されているコ
ンタクトピンに対応する電極51,52をあらかじめ短
絡した基板3を用意すればよい。Although contact pins corresponding to the electrode arrangement as shown in FIG. 2 are arranged, some contact pins are removed because some contact pins are unnecessary. When inspecting such an IC socket, it is sufficient to prepare the substrate 3 in which the electrodes 51 and 52 corresponding to the removed contact pins are short-circuited in advance.
【0037】図2の電極51,52の直列配線は、千鳥
足状のパターンとしたが、要する直列接続となっていれ
ばよく、図6のようにスルーホール60,60′を形成
して、上面で近傍の左右のスルーホール同士を接続する
ような直列接続であってもよい。The series wiring of the electrodes 51 and 52 in FIG. 2 has a zigzag pattern, but it is sufficient if the series connection is required, and through holes 60 and 60 'are formed as shown in FIG. It may be a series connection in which the left and right through holes are connected to each other.
【0038】検査対象となるコンタクトピンの上端部1
3の形状は、半円形に限定されるものではなく、半球状
や放物線状,楕円形等であってもよく、要するに接触面
が凸の曲線を有していればよい。この接触面の広範な凸
部形状に備えるべく、図7に示す基板2が用意されるこ
とがより好ましい。この基板2は図4の基板3に相当す
るもので、一対の電極51,52間に0.1m乃至0.
5mの深さの溝1が形成されており、上端部13′の最
上端がこの溝1の中に入り込む状態で、一対の電極5
1,52間が短絡する。この溝1は、レーザ加工やグラ
インダによる研磨加工等によって、形成される。Upper end 1 of the contact pin to be inspected
The shape of 3 is not limited to a semicircle, but may be a hemisphere, a parabola, an ellipse, or the like, in short, as long as the contact surface has a convex curve. It is more preferable to prepare the substrate 2 shown in FIG. 7 in order to prepare for the wide convex shape of the contact surface. This substrate 2 corresponds to the substrate 3 of FIG. 4, and is between 0.1 m to 0.
A groove 1 having a depth of 5 m is formed, and a pair of electrodes 5 is formed in a state where the uppermost end of the upper end portion 13 ′ enters the groove 1.
Short circuit occurs between 1 and 52. The groove 1 is formed by laser processing, grinding processing with a grinder, or the like.
【0039】コンタクトピンの上端部に接触する一対の
電極を設け、これらを直列接続してなる回路に電流が流
れれば、良と判断し、コンタクトピン一本でも不良があ
れば電流が流れなくなり、これを不良と判断する検査方
法は、フラットパッケージ型のICソケットに限定され
るものではなく、広く一般のICにも適用し得る。A pair of electrodes that come into contact with the upper end of the contact pin are provided, and if a current flows through a circuit formed by connecting them in series, it is judged as good. If even one contact pin is defective, the current will not flow. However, the inspection method for determining this is not limited to the flat package type IC socket, and can be widely applied to general ICs.
【0040】[0040]
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、接
触面に対応する一対の電極を設け、電極同時の直列接続
回路を設け、この回路の導通状態を検出する識別手段を
設けているため、コンタクトピンの三次元の変形等を識
別することができ、いち早くICソケットの不良を検出
することができ、実際にICの歩留りが0.3%以上向
上することが判明し、また段取り時間が一回につき20
分程度短縮するという効果が得られ、上述した各課題が
ことごとく達成された。As described above, according to the present invention, a pair of electrodes corresponding to the contact surface are provided, a series connection circuit for simultaneous electrode provision is provided, and identification means for detecting the conduction state of this circuit is provided. Therefore, it is possible to identify the three-dimensional deformation of the contact pin and the like, to quickly detect the defect of the IC socket, and it is found that the yield of the IC is actually improved by 0.3% or more. Is 20 at a time
The effect of shortening by about a minute was obtained, and all the above-mentioned problems were achieved.
【図1】本発の一実施例を使用状態を示す側面図であ
る。FIG. 1 is a side view showing a usage state of an embodiment of the present invention.
【図2】一実施例を構成する第2の基板の下面を示す平
面図である。FIG. 2 is a plan view showing a lower surface of a second substrate which constitutes an embodiment.
【図3】第2の基板の要部を拡大して示した平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view showing an enlarged main part of a second substrate.
【図4】第2の基板とコンタクトピンとの接触状態を示
す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a contact state between a second substrate and a contact pin.
【図5】一実施例を構成する第1の基板の下面を示す平
面図である。FIG. 5 is a plan view showing a lower surface of a first substrate which constitutes an embodiment.
【図6】第2の基板の他の配線例を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing another wiring example of the second substrate.
【図7】第2の基板と他の形状のコンタクトピンとの接
触状態を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a contact state between a second substrate and a contact pin having another shape.
1 溝 2,3,3′ 基板 4 ベース 5.5′,11,11′ コンタクトピン 6,51,52 電極 7 電池 8 発光ダイオード 9 取手 10 抵抗 12 ピンベース 13,13′ 上端部 14 押え板 15 シャフト 16 蓋 17 ストッパ 18 ICソケット 19 検出装置 30,30′ レジスト膜 32 配列方向 33 左右方向 34 上下方向 35 上面 39 ガイドピン 41 コネクタ 42,42′,43,43′ ランド 40,40′,45 ピン穴 46 切欠 50 挿入方向 60,60′ スルーホール 1 Groove 2,3,3 'Substrate 4 Base 5.5', 11,11 'Contact Pin 6,51,52 Electrode 7 Battery 8 Light Emitting Diode 9 Handle 10 Resistor 12 Pin Base 13,13' Upper End 14 Holding Plate 15 Shaft 16 Lid 17 Stopper 18 IC socket 19 Detector 30, 30 'Resist film 32 Arrangement direction 33 Horizontal direction 34 Vertical direction 35 Top surface 39 Guide pin 41 Connector 42, 42', 43, 43 'Land 40, 40', 45 pin Hole 46 Notch 50 Insertion direction 60, 60 'Through hole
Claims (7)
当接する接触面を備えるコンタクトピンが多数配列され
たICソケットの前記接触面に、電極をそれぞれ当接す
るような位置に置いて前記接触面が所定の位置内にある
か否かを識別するICソケットの検査装置において、前
記電極が一対の電極からなり、前記接触面を介在させた
場合に互いに電気的に導通するような離間位置に、前記
一対の電極を設け、前記電極同士の直列接続回路を設
け、前記直列接続回路の導通状態を検出する識別手段を
設けることを特徴とするICソケットの検査装置。1. An IC socket, in which a large number of contact pins each having a contact surface for contacting a lead of a semiconductor integrated circuit device are arranged, is placed at a position at which an electrode abuts on the contact surface, and the contact surface is predetermined. In the inspection device for an IC socket for identifying whether or not the position is within the position, the pair of electrodes are provided, and the pair of electrodes are electrically connected to each other when the contact surface is interposed. Is provided, a series connection circuit of the electrodes is provided, and identification means for detecting the conduction state of the series connection circuit is provided.
記識別手段を備えた配線基板と別に設けられ、互いにコ
ネクタにより電気的に接続されている請求項1記載のI
Cソケットの検査装置。2. The wiring board having the pair of electrodes is provided separately from the wiring board having the identifying means, and is electrically connected to each other by a connector.
C socket inspection device.
前記ICソケットのガイドピンの挿入される位置合わせ
穴が一対設けられている請求項2記載のICソケットの
検査装置。3. The wiring board provided with the pair of electrodes,
The IC socket inspection device according to claim 2, wherein a pair of alignment holes into which the guide pins of the IC socket are inserted are provided.
に、所定値以上の押上力が印加すると前記配線基板が退
避するように、弾性部材が設けられている請求項2記載
のICソケットの検査装置。4. The IC socket according to claim 2, wherein an elastic member is provided on the lower surface of the wiring board having the pair of electrodes so that the wiring board retracts when a pushing force of a predetermined value or more is applied. Inspection equipment.
作業停止信号出力手段とを有する請求項1記載のICソ
ケットの検査装置。5. The inspection device for an IC socket according to claim 1, wherein the identification means has an alarm means for a worker and a work stop signal output means.
記一対の電極間に溝が形成されている請求項2記載のI
Cソケットの検査装置。6. The I according to claim 2, wherein a groove is formed between the pair of electrodes on a wiring board having the pair of electrodes.
C socket inspection device.
トパッケージ型の半導体集積回路装置を試験するコンタ
クトピンを有する請求項1記載のICソケットの検査装
置。7. The IC socket inspection device according to claim 1, wherein the IC socket to be inspected has a contact pin for testing a flat package type semiconductor integrated circuit device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7013122A JP2928121B2 (en) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | IC socket inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7013122A JP2928121B2 (en) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | IC socket inspection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201466A true JPH08201466A (en) | 1996-08-09 |
| JP2928121B2 JP2928121B2 (en) | 1999-08-03 |
Family
ID=11824363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7013122A Expired - Lifetime JP2928121B2 (en) | 1995-01-30 | 1995-01-30 | IC socket inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2928121B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6515469B2 (en) | 2000-09-28 | 2003-02-04 | Oki Electric Industry Co, Ltd. | Testing apparatus for semiconductor integrated circuits and a method for managing the same |
| KR101108481B1 (en) * | 2011-07-07 | 2012-01-31 | 주식회사 프로이천 | Semiconductor Chip Package Inspection Socket |
-
1995
- 1995-01-30 JP JP7013122A patent/JP2928121B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6515469B2 (en) | 2000-09-28 | 2003-02-04 | Oki Electric Industry Co, Ltd. | Testing apparatus for semiconductor integrated circuits and a method for managing the same |
| KR101108481B1 (en) * | 2011-07-07 | 2012-01-31 | 주식회사 프로이천 | Semiconductor Chip Package Inspection Socket |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2928121B2 (en) | 1999-08-03 |
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