JPH08201789A - 基板吸着載置台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板がたとえ湾曲していても充分な位置決め
および位置保持の達成を図る。 【構成】 載置されるべく基板の中央部に位置づけられ
る個所に配置される真空吸着台と、前記基板の周辺に位
置付けられる個所に配置される支持台とを備える基板吸
着載置台において、前記真空吸着台はその基板吸着面が
前記支持台の基板当接面よりも突出して配置されている
とともに、前記基板の載置による押圧によって該基板側
に附勢力をともなって下降するように構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は基板吸着載置台に係り、
たとえば液晶表示基板に対してその周囲に駆動用回路基
板を圧着する際に該液晶表示基板を載置するための基板
吸着載置台に関する。

【０００２】

【従来の技術】マトリックス表示型の液晶表示装置とし
て、表示面を除く周辺に該表示面から引き出された電極
を有する液晶表示基板と、この液晶表示基板の周辺にお
いてその電極に接続された駆動用回路基板とを備えたも
のが知られている。

【０００３】このような液晶表示装置を製造する場合に
は、液晶表示基板を基板吸着載置台に載置させた状態
で、異方性導電膜を介して駆動用回路基板をその電極が
液晶表示基板の電極と対向するように配置し、駆動用回
路基板側からヒートツールを押圧させることによって各
電極を圧着させるようにしている。

【０００４】このため、基板吸着載置台は、載置された
液晶表示基板を精度よく載置した後に充分な位置保持が
できるようにその中央部に真空吸着台が配置され、ま
た、前記ヒートツールの押圧に対して液晶表示基板の周
囲を支持するための支持台が配置されて構成されてい
る。

【０００５】ここで、真空吸着台および支持台は、その
液晶表示基板との当接面が面一となる高さで形成されて
いたものであった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された基板吸着載置台は、液晶表示基板がわず
かの湾曲もなく完全な平坦である場合には特に問題はな
いが、たとえば上方向にわずかながら反っているような
場合に、液晶表示基板と真空吸着台との間に隙間ができ
て、真空吸着台に対する液晶表示基板への完全なる吸着
が達成できなくなる場合が往々にしてあった。

【０００７】このような場合には、基板吸着載置台に対
する液晶表示基板の位置決めが充分でなくなるととも
に、ひいては液晶表示基板に対する駆動用回路基板への
位置決めも充分でなくなるという弊害をもたらすことに
なる。

【０００８】本発明はこのような事情に基づいてなされ
たものであり、その目的は基板がたとえ湾曲していても
充分な位置決めおよび位置保持の達成できる基板吸着装
置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１０】すなわち、載置されるべく基板の中央部に
位置づけられる個所に配置される真空吸着台と、前記基
板の周辺に位置付けられる個所に配置される支持台とを
備える基板吸着載置台において、前記真空吸着台はその
基板吸着面が前記支持台の基板当接面よりも突出して配
置されているとともに、前記基板の載置による押圧によ
って該基板側に附勢力をともなって下降するように構成
されていることを特徴とするものである。

【００１１】

【作用】このように構成した基板吸着載置台において、
その真空吸着台は、通常時において支持台よりも高く形
成されているとともに、基板の載置による押圧によって
該基板側に附勢力をともなって下降するようになってい
る。

【００１２】このため、基板がたとえ上方向に反ってい
たとしても真空吸着台は液晶表示基板に対してそれらの
間に隙間を形成してしまうことなく完全に当接できるよ
うになる。

【００１３】そして、真空吸着台は、基板の載置による
押圧によって該基板側に附勢力をともなって下降できる
ことから、反りの程度に拘らずに液晶表示基板と完全に
当接できるようになる。

【００１４】このため、真空吸着台に対する液晶表示基
板の吸着が確実になされ、液晶表示基板の充分な位置決
めおよび位置保持ができるようになる。

【００１５】なお、液晶表示基板が下方向に反りが生じ
ていた場合、あるいは全く反りがなかった場合には、上
記構成を採用していることによる弊害もなく全く同様の
目的を達成することができるようになる。

【００１６】

【実施例】図１は、本発明による基板吸着載置台の一実
施例を示す構成図である。同図は、駆動用回路基板を圧
着する際の液晶表示基板吸着載置台を示す構成図であ
る。

【００１７】同図において、図示しない液晶表示基板を
載置する領域の中央部に真空吸着台１０が配置されてい
る。

【００１８】この真空吸着台１０は、ベース１１に形成
されたガイド１２内にそれぞれの中心軸を同一にして挿
入され、これにより、該ベース１１に対して垂直に移動
可能となっている。

【００１９】また、ガイド１２内の真空吸着台１０は、
ベース１１との間にコイルばね１３が内包させており、
これにより、ベース１１側の移動においてその移動と反
対側の方向に附勢力が発生するようになっている。

【００２０】そして、真空吸着台１０は、その平面図を
図２に示すように、液晶表示基板と当接すべき上面に真
空吸着孔１０Ａが形成され、この真空吸着孔１０Ａは真
空吸着台１０内に形成された真空排気路１０Ｂを介して
この真空吸着台１０に取り付けられる真空排気管１０Ｃ
にまで導かれている。

【００２１】この真空排気管１０Ｃはフレキブルな材料
で構成されているとともに、図示しない真空ポンプに接
続されている。

【００２２】なお、同図において符号１３は前記コイル
ばね１３の配置されている位置を示している。

【００２３】さらに、図１に示すように、真空吸着台１
０の周囲には支持台１４が配置されている。この支持台
１４は図示しない液晶表示基板を載置した場合に該液晶
表示基板の周辺部を支持するものであり、その上方には
ヒートツール１５が配置されている。

【００２４】そして、支持台１４の上面すなわち液晶表
示基板と当接すべき面は、真空吸着台１０の該液晶表示
基板を吸着する面よりも図中ｈで示す高さ分だけ低く形
成されている。

【００２５】次に、このような構成からなる基板吸着載
置台を用いて液晶表示基板に駆動用回路基板を圧着する
場合の工程を図３を用いて説明する。

【００２６】同図において、液晶表示基板２０を載置す
るが、ここでは、この液晶表示基板２０には上方向に反
りが形成されているものとする。

【００２７】この場合、液晶表示基板２０の周辺が支持
台１４上において精度よく位置づけられた時点で、真空
吸着台１０は確実に液晶表示基板２０に当接される。載
置される液晶表示装置２０によって真空吸着台１０が押
圧され、その際にコイルばね１３に発生する附勢力が作
用し真空吸着台１０は液晶表示基板２０を押圧するよう
になるからである。このことから、前記コイルばね１３
の弾性力は、液晶表示基板２０の重量に対して容易に収
縮できる程度であることが好ましい。

【００２８】その後、前記真空排気管１０Ｃを通して真
空排気することで確実な位置保持を図ることができる。

【００２９】このように基板吸着載置台に対して液晶表
示基板２０を精度よく位置保持できるということは、こ
の液晶表示基板２０に対して圧着させるべく駆動用回路
基板２２の位置保持も確実に行うことができることを意
味する。

【００３０】すなわち、駆動用回路基板２２は、図４の
平面図に示すように、液晶（図示せず）を介在させた上
ガラス基板２０Ａおよび下ガラス基板２０Ｂから構成さ
れる液晶表示基板２０のたとえば下ガラス基板２０Ｂの
周辺に配置させるようになっているが、この場合、下ガ
ラス基板２０Ｂの周辺に形成されている各電極と駆動用
回路基板２２に形成されている各電極とを異方性導電膜
を介して精度よく対向させた状態で熱圧着させることが
できる。

【００３１】なお、ここに示す駆動用回路基板２２はフ
レキシブル基板に半導体チップ２２Ａを搭載させ該半導
体チップ２２Ａの電極を配線層を介して基板の周辺にま
で引き出させた構成となっているものである。

【００３２】ここでの熱圧着工程は、図５に示すよう
に、液晶表示基板２０と駆動用回路基基板２２を異方性
導電膜２５を介してそれぞれの電極が対向するように位
置決めさせた後に、ヒートツール１５を下降させて押圧
することによって達成させることができる。

【００３３】上述した実施例では、液晶表示基板が上方
向に反りが生じている場合について説明したものである
が、たとえば下方向に反りが生じていた場合、あるいは
全く反りがなかった場合において、上記構成を採用して
いることによる弊害もなく全く同様の目的を達成するこ
とができることは明らかである。

【００３４】また、上述した実施例では液晶表示基板の
製造において用いられる基板吸着載置台について説明し
たものであるが、必ずしも液晶表示基板に限定されるこ
とはなく、同様の目的で使用される基板吸着載置台にも
適用できることはいうまでもない。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による基板吸着装置によれば、基板がたとえ湾曲
していても充分な位置決めおよび位置保持の達成を図る
ことができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による基板吸着装置の一実施例を示す構
成図である。

【図２】本発明による基板吸着装置に備えられる真空吸
着台の一実施例を示す平面図である。

【図３】本発明による基板吸着装置の動作を示す説明図
である。

【図４】本発明による基板吸着装置に載置される液晶表
示基板の説明をするための説明図である。

【図５】本発明による機器版吸着装置を用いた液晶表示
基板の製造の一工程を示す説明図である。

【符号の説明】

１０…真空吸着台、１２…ガイド、１３…コイルばね、
１４…支持台、１５…ヒートツール

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 載置されるべく基板の中央部に位置づけ
   られる個所に配置される真空吸着台と、前記基板の周辺
   に位置付けられる個所に配置される支持台とを備える基
   板吸着載置台において、 前記真空吸着台はその基板吸着面が前記支持台の基板当
   接面よりも突出して配置されているとともに、前記基板
   の載置による押圧によって該基板側に附勢力をともなっ
   て下降するように構成されていることを特徴とする基板
   吸着載置台。