JPH08203031A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH08203031A JPH08203031A JP7165485A JP16548595A JPH08203031A JP H08203031 A JPH08203031 A JP H08203031A JP 7165485 A JP7165485 A JP 7165485A JP 16548595 A JP16548595 A JP 16548595A JP H08203031 A JPH08203031 A JP H08203031A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- active
- pad
- thin film
- test
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3189—Testing
- G11B5/3193—Testing of films or layers, e.g. continuity test
- G11B5/3196—Testing of films or layers, e.g. continuity test of thin magnetic films, e.g. functional testing of the transducing properties
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 テスト時のアクティブパッドの損傷を防止す
ることができる薄膜磁気ヘッドを提供する。 【構成】 薄膜磁気ヘッドはスライダ５と、外部と電気
的に接続される複数個のアクティブパッド７と、磁気記
録媒体に情報を記録したり記録された情報を検出したり
するアクティブセンサ−１と、アクティブパッド７とア
クティブセンサ−１との間に位置し電気的信号を磁気的
信号に変え、磁気的信号を電気的信号に変えるコイル巻
線部３を有し、それぞれのアクティブパッド７と並列に
連結し、アクティブパッド７に対応する材質を有するテ
スト専用のテストパッド８を具備する。このテストパッ
ド８は望ましくはアクティブパッド７と同様の大きさ及
び形態を有する。
ることができる薄膜磁気ヘッドを提供する。 【構成】 薄膜磁気ヘッドはスライダ５と、外部と電気
的に接続される複数個のアクティブパッド７と、磁気記
録媒体に情報を記録したり記録された情報を検出したり
するアクティブセンサ−１と、アクティブパッド７とア
クティブセンサ−１との間に位置し電気的信号を磁気的
信号に変え、磁気的信号を電気的信号に変えるコイル巻
線部３を有し、それぞれのアクティブパッド７と並列に
連結し、アクティブパッド７に対応する材質を有するテ
スト専用のテストパッド８を具備する。このテストパッ
ド８は望ましくはアクティブパッド７と同様の大きさ及
び形態を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薄膜磁気ヘッドに係り、
より詳細には電磁気的特性の測定時にアクチブパッドが
損なわれることを防止する薄膜磁気ヘッドに関する。
より詳細には電磁気的特性の測定時にアクチブパッドが
損なわれることを防止する薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に薄膜磁気ヘッドの薄膜特性及び電
磁気的特性の測定はウェ−ハの設計時にテストパタ−ン
を形成したり、アクティブパッドにワイヤ−ボンディン
グを施すことにより行っていた。ここで、アクティブパ
ッドとはアクティブセンサ−に電流を流すために外部と
電気的に接続される端子である。
磁気的特性の測定はウェ−ハの設計時にテストパタ−ン
を形成したり、アクティブパッドにワイヤ−ボンディン
グを施すことにより行っていた。ここで、アクティブパ
ッドとはアクティブセンサ−に電流を流すために外部と
電気的に接続される端子である。
【０００３】テストパタ−ンを形成して測定する場合に
はアクティブヘッド用薄膜パタ−ンの食刻の程度に応じ
てヘッドの膜特性が変化しうるという問題がある。
はアクティブヘッド用薄膜パタ−ンの食刻の程度に応じ
てヘッドの膜特性が変化しうるという問題がある。
【０００４】アクティブパッドにテスト用ワイヤ−をボ
ンディングして薄膜特性及び電磁気的な特性を測定する
場合は、測定後にワイヤ−を取り除く必要があるので、
ワイヤ−ボンディング領域が損なわれることがあり、実
際の使用のためのワイヤ−ボンディング時、不適当な状
態で取り付けられるようになる。
ンディングして薄膜特性及び電磁気的な特性を測定する
場合は、測定後にワイヤ−を取り除く必要があるので、
ワイヤ−ボンディング領域が損なわれることがあり、実
際の使用のためのワイヤ−ボンディング時、不適当な状
態で取り付けられるようになる。
【０００５】図３は従来の薄膜磁気ヘッドを示す概略図
である。
である。
【０００６】この薄膜磁気ヘッドはスライダ５、アクテ
ィブパッド７、アクティブセンサ−１とコイル巻線部３
よりなっている。
ィブパッド７、アクティブセンサ−１とコイル巻線部３
よりなっている。
【０００７】アクティブセンサ−１は磁気記録媒体に情
報を記録したり、記録された情報を再生するセンサ−で
ある。アクティブパッド７はコイル巻線部３を経由して
アクティブセンサ−１に接続されており、外部と電気的
に接続される端子である。
報を記録したり、記録された情報を再生するセンサ−で
ある。アクティブパッド７はコイル巻線部３を経由して
アクティブセンサ−１に接続されており、外部と電気的
に接続される端子である。
【０００８】コイル巻線部３はアクティブセンサ−１か
ら検出される情報を電気的信号に変えたり、アクティブ
パッド７を介して印加される電気的信号を磁気的信号に
変えたりする。
ら検出される情報を電気的信号に変えたり、アクティブ
パッド７を介して印加される電気的信号を磁気的信号に
変えたりする。
【０００９】図３（Ａ）はアクティブセンサ−とコイル
巻線部が二つ具備された場合を示し、図３（Ｂ）はアク
ティブセンサ−とコイル巻線部が一つ具備された場合を
示す。このように構成された薄膜磁気ヘッドの膜特性及
び電磁気的特性を測定するためにアクティブパッド７に
一時的にワイヤ−ボンディングによりテスト装置を接続
しテストを遂行する。テスト後、薄膜磁気ヘッドの特性
が良好な場合、テストのためにボンディングされたワイ
ヤ−を取り除き、本来の機能のための信号を印加する電
気的手段とワイヤ−ボンディングにより接続する。しか
しながら、この場合、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示し
たようにテストのためにボンディングしたアクティブパ
ッド７のボンディング部に傷１１，１２が生じる。この
傷１１，１２により電気的な値の誤差とパッドの損傷と
が生じることがあった。
巻線部が二つ具備された場合を示し、図３（Ｂ）はアク
ティブセンサ−とコイル巻線部が一つ具備された場合を
示す。このように構成された薄膜磁気ヘッドの膜特性及
び電磁気的特性を測定するためにアクティブパッド７に
一時的にワイヤ−ボンディングによりテスト装置を接続
しテストを遂行する。テスト後、薄膜磁気ヘッドの特性
が良好な場合、テストのためにボンディングされたワイ
ヤ−を取り除き、本来の機能のための信号を印加する電
気的手段とワイヤ−ボンディングにより接続する。しか
しながら、この場合、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示し
たようにテストのためにボンディングしたアクティブパ
ッド７のボンディング部に傷１１，１２が生じる。この
傷１１，１２により電気的な値の誤差とパッドの損傷と
が生じることがあった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述したよう
な点を鑑みてなされたものであって、薄膜特性及び電気
的特性の測定時にアクティブパッドのボンディング部が
損なわれることを防止する薄膜磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とする。
な点を鑑みてなされたものであって、薄膜特性及び電気
的特性の測定時にアクティブパッドのボンディング部が
損なわれることを防止する薄膜磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とする。
【００１１】
【課題を達成するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、外部と電気的に接
続される複数個のアクティブパッドと、磁気記録媒体に
情報を記録したり記録された情報を検出するアクティブ
センサ−と、前記アクティブパッドとアクティブセンサ
−との間に位置し電気的信号を磁気的信号に変え、磁気
的信号を電気的信号に変えるコイル巻線部とを具備した
薄膜磁気ヘッドにおいて、前記アクティブパッドのそれ
ぞれと並列に連結され、前記アクティブパッドと同一な
特性を有するテスト専用のテストパッドを具備すること
を特徴とする。
め、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、外部と電気的に接
続される複数個のアクティブパッドと、磁気記録媒体に
情報を記録したり記録された情報を検出するアクティブ
センサ−と、前記アクティブパッドとアクティブセンサ
−との間に位置し電気的信号を磁気的信号に変え、磁気
的信号を電気的信号に変えるコイル巻線部とを具備した
薄膜磁気ヘッドにおいて、前記アクティブパッドのそれ
ぞれと並列に連結され、前記アクティブパッドと同一な
特性を有するテスト専用のテストパッドを具備すること
を特徴とする。
【００１２】
【作用】アクティブパッドのボンディング部が損なわれ
ず、薄膜特性が変化しないので、良品のスライダを生産
することができて生産性が向上する。
ず、薄膜特性が変化しないので、良品のスライダを生産
することができて生産性が向上する。
【００１３】
【実施例】以下、添付した図面に基づき本発明の実施例
を詳細に説明する。図１は本発明による薄膜磁気ヘッド
を示した概略図である。
を詳細に説明する。図１は本発明による薄膜磁気ヘッド
を示した概略図である。
【００１４】図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示した薄膜磁
気ヘッドは、スライダ５、アクティブパッド７、アクテ
ィブセンサ−１及びコイル巻線部３を具備する。
気ヘッドは、スライダ５、アクティブパッド７、アクテ
ィブセンサ−１及びコイル巻線部３を具備する。
【００１５】前記アクティブパッド７は外部と電気的に
接続されて前記アクティブセンサ−１に記録情報を提供
したり、前記アクティブセンサ−１から提供される情報
をヘッドの外部に伝達する機能を行う。このアクティブ
パッド７の薄膜特性及び電気的特性の測定は、テスティ
ング装置（図示せず）をワイヤ−ボンディングにより接
続して行う。本実施例は、アクティブパッド７のワイヤ
−ボンディングによる損傷を防止するために、テスト専
用テストパッド８をさらに具備していることに特徴があ
る。
接続されて前記アクティブセンサ−１に記録情報を提供
したり、前記アクティブセンサ−１から提供される情報
をヘッドの外部に伝達する機能を行う。このアクティブ
パッド７の薄膜特性及び電気的特性の測定は、テスティ
ング装置（図示せず）をワイヤ−ボンディングにより接
続して行う。本実施例は、アクティブパッド７のワイヤ
−ボンディングによる損傷を防止するために、テスト専
用テストパッド８をさらに具備していることに特徴があ
る。
【００１６】テストパッド８は複数個のアクティブパッ
ド７のそれぞれに対応するように具備されており、アク
ティブパッド７の電磁気的特性及び薄膜特性と同一な特
性を有するようにアクティブパッド７と同一な材質を有
する。また、アクティブパッド７に並列に連結されてい
る。また、テストパッド８の大きさ及び形態はアクティ
ブパッド７の大きさ及び形態と同一なものが望ましい。
しかしながら、このアクティブパッド７の大きさ及び形
態はテストパッド８の大きさ及び形態と同一なものに限
定されるものではなく、多様な形態及び大きさを有して
もよい。前記コイル巻線部３とアクティブセンサ−１は
前述した従来の技術と同様な構造を有し、同一な役割を
果たす。
ド７のそれぞれに対応するように具備されており、アク
ティブパッド７の電磁気的特性及び薄膜特性と同一な特
性を有するようにアクティブパッド７と同一な材質を有
する。また、アクティブパッド７に並列に連結されてい
る。また、テストパッド８の大きさ及び形態はアクティ
ブパッド７の大きさ及び形態と同一なものが望ましい。
しかしながら、このアクティブパッド７の大きさ及び形
態はテストパッド８の大きさ及び形態と同一なものに限
定されるものではなく、多様な形態及び大きさを有して
もよい。前記コイル巻線部３とアクティブセンサ−１は
前述した従来の技術と同様な構造を有し、同一な役割を
果たす。
【００１７】図２（Ａ）及び図２（Ｂ）はテストパッド
８にワイヤ−ボンディングをしてテストを行った後のテ
ストパッド８が損なわれた状態を示す。
８にワイヤ−ボンディングをしてテストを行った後のテ
ストパッド８が損なわれた状態を示す。
【００１８】このように特性検査を行う際、このアクテ
ィブパッド７と同一の特性を有するテスト専用テストパ
ッド８にワイヤ−ボンディングを施し、テストを行うの
で、高い信頼性が得られる。また、アクティブパッド７
が損なわれないので、外部と電気的に接続され、その本
来の機能を遂行する場合、テスト時の特性と一致するよ
うになる。
ィブパッド７と同一の特性を有するテスト専用テストパ
ッド８にワイヤ−ボンディングを施し、テストを行うの
で、高い信頼性が得られる。また、アクティブパッド７
が損なわれないので、外部と電気的に接続され、その本
来の機能を遂行する場合、テスト時の特性と一致するよ
うになる。
【００１９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、アクティブパッドのボンディング部が損なわれず、
薄膜特性が変化しないので、良品のスライダを生産しう
るなど生産性を向上させることができる。
ば、アクティブパッドのボンディング部が損なわれず、
薄膜特性が変化しないので、良品のスライダを生産しう
るなど生産性を向上させることができる。
【図１】本発明による薄膜磁気ヘッドを示した概略図で
ある。
ある。
【図２】本発明による薄膜磁気ヘッドの一使用状態を示
した概略図である。
した概略図である。
【図３】従来の薄膜磁気ヘッドを示した概略図である。
【図４】従来の薄膜磁気ヘッドの一使用状態を示した概
略図である。
略図である。
１ アクティブセンサ− ３ コイル巻線部 ５ スライダ ７ アクティブパッド ８ テストパッド
Claims (2)
- 【請求項１】 外部と電気的に接続される複数個のアク
ティブパッドと、磁気記録媒体に情報を記録したり記録
された情報を検出するアクティブセンサ−と、前記アク
ティブパッドとアクティブセンサ−との間に位置し電気
的信号を磁気的信号に変え、磁気的信号を電気的信号に
変えるコイル巻線部を具備した薄膜磁気ヘッドにおい
て、 前記アクティブパッドのそれぞれと並列に連結され、前
記アクティブパッドと同一な特性を有するテスト専用の
テストパッドを具備することを特徴とする薄膜磁気ヘッ
ド。 - 【請求項２】 前記テストパッドは前記アクティブパッ
ドと同一な大きさと材質と形態とを有することを特徴と
する請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1995P1562 | 1995-01-27 | ||
| KR1019950001562A KR960030102A (ko) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 박막자기헤드 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08203031A true JPH08203031A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=19407398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7165485A Pending JPH08203031A (ja) | 1995-01-27 | 1995-06-30 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08203031A (ja) |
| KR (1) | KR960030102A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110194208A1 (en) * | 2010-02-10 | 2011-08-11 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Slider, head gimbal assembly and disk drive unit with the same |
| US12094501B1 (en) * | 2023-04-05 | 2024-09-17 | Western Digital Technologies, Inc. | Hard disk drive slider split pad configuration |
-
1995
- 1995-01-27 KR KR1019950001562A patent/KR960030102A/ko not_active Withdrawn
- 1995-06-30 JP JP7165485A patent/JPH08203031A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110194208A1 (en) * | 2010-02-10 | 2011-08-11 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Slider, head gimbal assembly and disk drive unit with the same |
| US8295011B2 (en) * | 2010-02-10 | 2012-10-23 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Slider, head gimbal assembly and disk drive unit with the same |
| US12094501B1 (en) * | 2023-04-05 | 2024-09-17 | Western Digital Technologies, Inc. | Hard disk drive slider split pad configuration |
| US20240339127A1 (en) * | 2023-04-05 | 2024-10-10 | Western Digital Technologies, Inc. | Hard disk drive slider split pad configuration |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960030102A (ko) | 1996-08-17 |
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