JPH08203975A - キャリア搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、被加工物の加工を行う加工装置２
１ａ、２１ｂ、２１ｃ…に、前記被加工物を収納したキ
ャリアを搬送ロボット１２による自動搬送あるいは人手
による手動搬送で供給、搬出するキャリア搬送システム
において、自動搬送と手動搬送との切り替えがいつでも
かつ簡便に行うことができ、生産性の低下を防止できる
キャリア搬送システムの提供を目的とする。 【構成】 自動搬送と手動搬送とを切り替える切り替え
手段２４と、加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…に供給
されたキャリアに収納されている被加工物の加工状況を
認識するキャリア認識手段２５と、切り替え手段２４で
の切り替え結果及びキャリア認識手段２５での認識結果
に基づき搬送ロボット１２の制御を行うロボット制御手
段１３とが設けられたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被加工物を収納したキ
ャリアを搬送するキャリア搬送システムに係わり、特に
前記キャリアの搬送を自動搬送または手動搬送に切り替
えられるキャリア搬送システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、被加工物を収納したキャリアを搬
送するキャリア搬送システムとして、例えば半導体装置
の製造工程においてウエハを収納したキャリアを搬送す
るものがある。このキャリア搬送システムは、ウエハに
エッチング、ＣＶＤ（ChemicalVapor Deposition ）、
洗浄等の半導体プロセス処理を行う各加工装置と、前記
ウエハを収納したキャリアを搬送する搬送ロボットとを
備えてなるものである。このキャリア搬送システムで
は、搬送ロボットが加工装置にウエハを収納したキャリ
アをセット（供給）して、セットされたキャリアから前
記加工装置がウエハを取り出して半導体プロセス処理を
行うようになっている。さらに、加工装置で半導体プロ
セス処理が終了すると、前記加工装置が処理後のウエハ
をキャリアに収納し、そのキャリアを搬送ロボットが前
記加工装置からリリース（搬出）するようになってい
る。

【０００３】ところで、このキャリア搬送システムで
は、加工装置及び搬送ロボットの設定を操作者（オペレ
ータ）が切り替えることにより、加工装置に対するキャ
リアのセットやリリースを、搬送ロボットによる自動搬
送だけではなく、オペレータの人手による手動搬送によ
ってもできるようになっている。即ち、加工装置で半導
体プロセス処理を行うために、ウエハを収納したキャリ
アを人手によりセットし、また処理後のウエハを収納し
たキャリアを人手により加工装置からリリースすること
もできるようになっているのである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
キャリア搬送システムでは、手動搬送を行っている場合
には、加工装置での処理状況やキャリアの搬送状況をオ
ペレータが直接管理するようになっており、システム側
にこれらを管理する手段が備えられていない。そのため
に、手動搬送から自動搬送への切り替えが、システムの
初期状態、具体的には加工装置が半導体プロセス処理中
でなく、かつキャリアが加工装置にセットされておらず
搬送中でもない状態でしか行うことができない。従っ
て、例えば加工装置にキャリアがセットされている場合
には、手動搬送から自動搬送へ切り替えるために、前記
キャリアに収納されたウエハの半導体プロセス処理が終
了してシステムが初期状態になるまでの待ち時間と、切
り替え後の搬送方法で再び加工装置にキャリアをセット
するまでの搬送時間とを費やしてしまう。

【０００５】また、手動搬送と自動搬送との切り替え
は、加工装置及び搬送ロボットでそれぞれ設定を切り替
えなければならず、切り替え作業に手間がかかってしま
う。つまり、上述のキャリア搬送システムでは、手動搬
送と自動搬送とを切り替えるために、待ち時間及び搬送
時間や切り替え作業の手間が発生するので、システムと
しての機能が停止する時間、即ち加工装置での半導体プ
ロセス処理が中断してしまう時間が多く必要となり、生
産性の低下を招いてしまう。そこで、本発明は、手動搬
送と自動搬送との切り替えがいつでもかつ簡便に行うこ
とができ、生産性の低下を防止することのできるキャリ
ア搬送システムを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために案出されたキャリア搬送システムで、以下の
ように構成されたものである。被加工物を収納したキャ
リアから前記被加工物を取り出して加工を行い加工後の
被加工物を前記キャリアに収納する加工装置と、この加
工装置で加工する被加工物を収納したキャリアを前記加
工装置に供給しかつ前記加工装置で加工された後の被加
工物を収納したキャリアを前記加工装置から搬出する搬
送ロボットとを備え、前記加工装置に対する前記キャリ
アの供給あるいは搬出が、前記搬送ロボットによる自動
搬送と人手による手動搬送とのいずれか一方で行われる
ように設定されるキャリア搬送システムにおいて、前記
キャリアの供給あるいは搬出の設定を前記自動搬送と前
記手動搬送とのいずれか一方から他方に切り替える切り
替え手段と、前記加工装置に供給されたキャリアがどの
ような加工状況の被加工物を収納したものかを認識する
キャリア認識手段と、前記切り替え手段での切り替え結
果及び前記キャリア認識手段による認識結果に基づき前
記搬送ロボットの動作の制御を行うロボット制御手段と
が設けられたことを特徴とする。

【０００７】また、前記キャリア認識手段による認識結
果を表示する作業案内手段が設けられたものであっても
よい。

【０００８】さらに、前記キャリア認識手段は、前記加
工装置に供給されたキャリアに予め貼付されているバー
コードを読み取ってこのキャリアの識別を行うバーコー
ド認識手段と、このバーコード認識手段で識別されたキ
ャリアに収納されている被加工物に前記加工装置での加
工が終了した否かを判断する判断手段とを備えてなるも
のであってもよい。

【０００９】

【作用】上記構成のキャリア搬送システムによれば、以
下のような作用を奏する。加工装置で被加工物の加工を
行うために、前記加工装置には前記被加工物を収納した
キャリアが、切り替え手段で設定された切り替え結果に
従って、搬送ロボットによる自動搬送あるいは人手によ
る手動搬送で搬送され供給される。キャリアが供給され
ると加工装置では、供給されたキャリアから被加工物を
取り出して加工を行った後に、加工後の被加工物を前記
キャリアに収納する。加工後の被加工物を収納したキャ
リアは、切り替え手段で設定された切り替え結果に従っ
て、自動搬送あるい手動搬送で搬出され搬送される。こ
のとき、キャリア認識手段では、加工装置に供給された
キャリアがどのような加工状況の被加工物を収納したも
のであるかを認識している。また、ロボット制御手段で
は、切り替え手段での切り替え結果及びキャリア認識手
段による認識結果に基づいて、搬送ロボットの動作の制
御を行う。そのために、加工装置にキャリアが供給され
ているときに切り替え手段で手動搬送から自動搬送に設
定が切り替えられた場合には、搬送ロボットはロボット
制御手段による制御に従って、前記加工装置に供給され
ているキャリアの搬送を行う。

【００１０】また、キャリア認識手段による認識結果を
表示する作業案内手段が設けられれば、加工装置にキャ
リアが供給されているときに切り替え手段で自動搬送か
ら手動搬送に設定が切り替えられた場合に、オペレータ
が前記作業案内手段による表示結果を参照して人手によ
り前記加工装置に供給されているキャリアの搬送が行わ
れる。

【００１１】さらに、キャリア認識手段がバーコード認
識手段と判断手段とを備えてなるものであれば、バーコ
ード認識手段により加工装置に供給されたキャリアに予
め貼付されているバーコードを読み取ってこのキャリア
の識別を行い、判断手段により加工装置に供給されたキ
ャリア、即ちバーコード認識手段により識別されたキャ
リアに収納されている被加工物に加工装置での加工が終
了したか否かを判断する。そして、バーコード認識手段
での認識結果及び判断手段での判断結果によって、加工
装置に供給されたキャリアには、どのような加工状況の
被加工物が収納されているかが認識される。

【００１２】

【実施例】以下、図面に基づき本発明に係わるキャリア
搬送システムについて説明する。尚、ここでは、本発明
を半導体装置の製造工程においてウエハを複数枚収納し
たキャリアを搬送するキャリア搬送システムに適用した
場合について説明する。本実施例のキャリア搬送システ
ムは、図１に示すように、ステーション１１と、搬送ロ
ボット１２と、ロボット制御部１３と、複数の加工装置
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…と、加工装置制御部２２と、
ホストコンピュータ３０とから構成されているものであ
る。

【００１３】ステーション１１は、複数枚のウエハを収
納したキャリアを格納するキャリア格納庫として機能す
るもので、後述するように加工装置２１ａ、２１ｂ、２
１ｃ…で処理を行うウエハを収納したキャリアや、加工
装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…での処理が終了したウエ
ハを収納したキャリアを格納するものである。尚、これ
らのキャリアには、各キャリア毎に個別のバーコードが
予め貼付されている。搬送ロボット１２は、ステーショ
ン１１からキャリアを搬送して加工装置２１ａ、２１
ｂ、２１ｃ…にセットし、かつ加工装置２１ａ、２１
ｂ、２１ｃ…からキャリアをリリースして、他の加工装
置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…やステーション１１へ搬送
するものである。

【００１４】ロボット制御部１３は、例えばロボットコ
ントローラ等からなり、本発明のロボット制御手段とし
て機能するものであり、後述する加工装置制御部２２か
らの情報に基づいて、搬送ロボット１２に対してキャリ
ア搬送動作の指示を与えるものである。即ち、ロボット
制御部１３は、搬送ロボット１２が何処から何処へ（例
えば、ステーション１１から加工装置２１ａへ、加工装
置２１ｂから加工装置２１ｃへ等）キャリアを搬送する
かを判断して搬送ロボット１２に動作指示を与えるもの
である。

【００１５】加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…は、セ
ットされたキャリアから一枚ずつウエハを取り出して、
それぞれエッチング、ＣＶＤ、洗浄等の半導体プロセス
処理を行い、処理後のウエハを再びキャリアに収納する
ものである。また、加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…
は、バーコードリーダー２３ａ、２３ｂ、２３ｃ…を備
えて、セットされたキャリアに貼付されているバーコー
ドを読み取るとともに、セットされたキャリアに収納さ
れているウエハへの半導体プロセス処理が終了すると、
その旨を加工装置制御部２２に通知する機能を有するも
のである。

【００１６】但し、これらの加工装置２１ａ、２１ｂ、
２１ｃ…は、キャリアのセット、及び処理後のウエハを
収納したキャリアのリリースが、後述する切り替え手段
２４での切り替え結果に従い、搬送ロボット１２による
自動搬送と操作者（オペレータ）の人手による手動搬送
とに対応可能になっている。尚、各加工装置２１ａ、２
１ｂ、２１ｃ…での半導体プロセス処理は、本実施例で
は、加工装置２１ａから順に加工装置２１ｂ、続いて加
工装置２１ｃ…と行われ、各加工装置２１ａ、２１ｂ、
２１ｃ…での処理が終了すると、このキャリア搬送シス
テムにおける半導体プロセス処理が全て完了するように
設定されているものとする。

【００１７】加工装置制御部２２は、例えばＣＰＵを備
えたパーソナルコンピュータ等からなるものであり、加
工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…の制御を行うととも
に、切り替え手段２４とキャリア認識手段２５と作業案
内手段２６とを備えているものである。また、加工装置
制御部２２は、後述する切り替え手段２４による切替え
結果とキャリア認識手段２５による認識結果をロボット
制御部１３に通知するものである。切り替え手段２４
は、加工装置制御部２２の図示しないキーボード等から
なるもので、加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…に対す
るキャリアのセット及びリリースを、搬送ロボット１２
による自動搬送で行うか、あるいは人手による手動搬送
で行うかの設定を、オペレータの操作により切り替える
ためのものである。

【００１８】キャリア認識手段２５は、ＣＰＵ等からな
るもので、バーコード認識手段２７と判断手段２８と保
持手段２９とから構成されたものである。バーコード認
識手段２７は、各加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…に
対応したバーコードリーダー２３ａ、２３ｂ、２３ｃ…
が読み取った結果を基に、それぞれの加工装置２１ａ、
２１ｂ、２１ｃ…にセットされているキャリアを識別す
るものである。判断手段２８は、各加工装置２１ａ、２
１ｂ、２１ｃ…からの半導体プロセス処理が終了したと
いう通知を基に、各加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…
でセットされたキャリアに収納されているウエハへの半
導体プロセス処理が終了したか否かを判断するものであ
る。

【００１９】保持手段２９は、ＣＰＵ内のレジスタ等
に、バーコード認識手段２７での識別結果と判断手段２
８での判断結果とを、識別されたキャリアに収納されて
いるウエハに対する各加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ
…での半導体プロセス処理が全て完了するまで保持して
おくものである。つまり、バーコード認識手段２７と判
断手段２８と保持手段２９とから構成されたキャリア認
識手段２５は、バーコード認識手段２７でキャリアを識
別して、判断手段２８でこのキャリアに収納されている
ウエハへの半導体プロセス処理が終了したか否かを判断
し、保持手段２９でこれらの結果を全ての半導体プロセ
ス処理が終了するまで保持するようになっているもので
ある。即ち、キャリア認識手段２５は、各加工装置２１
ａ、２１ｂ、２１ｃ…にセットされたキャリアに収納さ
れているウエハが、どの加工装置２１ａ、２１ｂ、２１
ｃ…による処理が終了して、どの加工装置２１ａ、２１
ｂ、２１ｃ…による処理が終了していないかを認識する
ものである。

【００２０】作業案内手段２６は、加工装置制御部２２
の図示しないＣＲＴ装置からなるものであり、キャリア
認識手段２５による認識結果を表示して、オペレータが
キャリアを加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…に手動で
搬送する際の作業案内を行うものである。ホストコンピ
ュータ３０は、このキャリア搬送システムの全体の制御
を行うものであり、他のキャリア搬送システムの加工装
置制御部２２と接続することにより、半導体装置の製造
工程全体の管理ができるように構成されたものである。

【００２１】次に、以上のように構成されたキャリア搬
送システムにおける基本的な動作例について、図２
（ａ）のフローチャートを参照して説明する。このキャ
リア搬送システムでは、ウエハに半導体プロセス処理を
行うために、先ず処理を行うウエハを収納したキャリア
をステーション１１から、加工装置２１ａへ搬送する
（ステップ１０１、以下ステップをＳと略す）。但し、
この搬送は、切り替え手段２４での設定に従い、搬送ロ
ボット１２による自動搬送であっても、人手による手動
搬送であってもよい。処理を行うウエハを収納したキャ
リアが搬送されて加工装置２１ａにセットされると（Ｓ
１０２）、バーコードリーダー２３ａがセットされたキ
ャリアに貼付されているバーコードを読み取り、その結
果がバーコード認識手段２７によって識別され（Ｓ１０
３）、この識別結果が保持手段２９に保持される。

【００２２】続いて、加工装置２１ａでは、セットされ
たキャリアからウエハを取り出して半導体プロセス処理
を行い（Ｓ１０４）、処理後のウエハを再びセットされ
ているキャリアに収納する。加工装置２１ａでの半導体
プロセス処理がキャリアに収納された全てのウエハに対
して終了すると、判断手段２８では、前記処理が終了し
たことを判断し（Ｓ１０５）、この判断結果が保持手段
２９に保持される。そして、処理後のウエハを収納した
キャリアは加工装置２１ａからリリースされる（Ｓ１０
６）。このリリースは、切り替え手段２４での設定に従
って、搬送ロボット１２によるものであっても、オペレ
ータの人手によるものであってもよい。

【００２３】このとき、キャリア認識手段２５では、保
持手段２９に保持されているバーコード認識手段２７で
の識別結果と判断手段２８での判断結果とにより、加工
装置２１ａにセットされていたキャリアがこの加工装置
２１ａでの半導体プロセス処理の終了しているたウエハ
を収納していることを認識している。このキャリア認識
手段２５による認識結果は、キャリアのリリースが搬送
ロボット１２による自動搬送である場合に、ロボット制
御部１３に通知される。そして、ロボット制御部１３で
は、リリースしたキャリアが他の半導体プロセス処理を
行う必要のあるウエハを収納しているか否か、即ちリリ
ースしたキャリアを他の加工装置２１ｂ、２１ｃ…に搬
送するか否かを判断する（Ｓ１０７）。

【００２４】他の半導体プロセス処理が必要、即ち全て
の半導体プロセス処理が完了していないと判断すると、
ロボット制御部１３は、搬送ロボット１２にリリースさ
れたキャリアを、他の加工装置２１ｂ、２１ｃ…へ搬送
するように指示を与え、以下上述のステップ（Ｓ１０１
〜Ｓ１０７）を繰り返す。また、必要な半導体プロセス
処理、即ち各加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…での半
導体プロセス処理が全て終了したと判断すると、ロボッ
ト制御部１３は、搬送ロボット１２にリリースしたキャ
リアをステーション１１に搬送するように指示を与え
る。そして、搬送ロボット１２はそのキャリアをステー
ション１１に搬送する（Ｓ１０８）。

【００２５】一方、キャリアのリリースが人手による手
動搬送である場合には、キャリア認識手段２５による認
識結果が作業案内手段２６にオペレータに対する作業案
内として表示されるので、オペレータは前記作業案内を
参照して、リリースしたキャリアが他の半導体プロセス
処理を行う必要のあるウエハを収納しているか否かを判
断する（Ｓ１０７）。オペレータが他の半導体プロセス
処理が必要と判断すると、リリースしたキャリアは手動
搬送により他の加工装置２１ｂ、２１ｃ…に搬送され、
以下上述のステップ（Ｓ１０１〜Ｓ１０７）を繰り返
す。また、オペレータが必要な半導体プロセス処理を終
了したと判断すると、リリースしたキャリアは手動搬送
でステーション１１に搬送される（Ｓ１０８）。

【００２６】このようにして、本実施例のキャリア搬送
システムでは、ウエハに対する半導体プロセス処理及び
それに伴うウエハを収納したキャリアの搬送が行われる
ようになっている。尚、ここでは説明を簡単に行うた
め、一つのキャリアについて半導体プロセス処理を行っ
た場合を動作例として示したが、各加工装置２１ａ、２
１ｂ、２１ｃ…は並行して半導体プロセス処理を行うの
で、実際には複数のキャリアが並行して搬送されるよう
になっている。

【００２７】次に、本実施例のキャリア搬送システムに
おける自動搬送と手動搬送との切り換えの動作例につい
て、図２（ｂ）のフローチャートを参照して説明する。
切り替え手段２４によりオペレータが自動搬送と手動搬
送との切り換えを行うと（Ｓ２０１）、バーコード認識
手段２７では、バーコードリーダー２３ａ、２３ｂ、２
３ｃ…での読み取り結果を基に、加工装置２１ａ、２１
ｂ、２１ｃ…にキャリアがセットされているか否かを判
断する（Ｓ２０２）。バーコード認識手段２７が加工装
置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…にキャリアがセットされて
いないと判断すると、各加工装置２１ａ、２１ｂ、２１
ｃ…が初期状態にあるので、加工装置制御部２２では、
上述したようにロボット制御部１３に対する通知あるい
は作業案内手段２６でオペレータに対する作業案内を行
い、前記加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…へキャリア
をセットするための搬送を指示する（図２（ａ）におけ
るＳ１０１）。

【００２８】また、加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…
にキャリアがセットされていると判断すると、判断手段
２８では、前記キャリアに収納されたウエハに前記加工
装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…での半導体プロセス処理
が終了しているか否かを判断する（Ｓ２０３）。加工装
置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…での処理が終了していない
と判断されると、加工装置制御部２２では、上述したよ
うにセットされているキャリアに収納されたウエハに対
して前記加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…で半導体プ
ロセス処理を行うように指示を与える（図２（ａ）にお
けるＳ１０４）。

【００２９】また、セットされているキャリアが加工装
置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…での処理の終了したウエハ
を収納したものであると判断されると、加工装置制御部
２２では、上述したようにロボット制御部１３に対する
通知あるいは作業案内手段２６でオペレータに対する作
業案内を行い、セットされているキャリアを前記加工装
置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…からリリースするように指
示を与える（図２（ａ）におけるＳ１０６）。このよう
にして、本実施例のキャリア搬送システムでは、自動搬
送と手動搬送との切り替えが行われるようになってい
る。

【００３０】以上のように本実施例のキャリア搬送シス
テムは、キャリア認識手段２５での認識結果と切り替え
手段２４での切り替え結果とに基づいて、ロボット制御
部１３による搬送ロボット１２の制御が行われるように
なっている。よって、例えば、加工装置２１ａ、２１
ｂ、２１ｃ…にキャリアがセットされているときに、切
り替え手段２４で手動搬送から自動搬送へ設定を切り替
えても、搬送ロボット１２がロボット制御部１３に従っ
て前記キャリアを搬送するので、いつでも手動搬送と自
動搬送との切り替えを行うことが可能となり、システム
が初期状態になるまでの待ち時間等が不要となる。

【００３１】また、切り替え手段２４によって手動搬送
と自動搬送との設定を切り替えるようになっているの
で、加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…及び搬送ロボッ
ト１２の設定をそれぞれ切り替える必要がなく、従来に
比べて切り替え作業の手間が少なくなり、オペレータに
とって簡単かつ便利に切り替えを行うことができる。つ
まり、本実施例のキャリア搬送システムは、手動搬送と
自動搬送との切り替えをいつでも行うことができ、かつ
少ない切り替え作業の手間でできるので、システムとし
ての機能が停止する時間を必要とせずに生産性の低下を
防止できる。そのために、例えば、加工装置２１ａ、２
１ｂ、２１ｃ…へキャリアをセットするときは手動搬送
で行い、セットしたキャリアをリリースするときは自動
搬送で行う等、臨機応変な運用が可能となるといった効
果を奏する。

【００３２】また、本実施例のキャリア搬送システム
は、作業案内手段２６によってキャリア認識手段２５で
の認識結果が表示されるようになっている。よって、例
えば、加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…にキャリアが
セットされているときに、切り替え手段２４で自動搬送
から手動搬送へ設定を切り替えても、オペレータは作業
案内手段２４による表示結果を参照して、前記加工装置
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…にセットされているキャリア
の搬送を行うことができる。そのために、上述した場合
と同様に生産性の低下を防止できるとともに、手動搬送
時の人手による搬送ミスを防止して、システムとしての
信頼性の向上を図ることができる。

【００３３】さらに、本実施例のキャリア搬送システム
は、バーコード認識手段２と判断手段２８とによって、
加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…にセットされたキャ
リアにどのような処理状況のウエハが収納されているか
認識されるようになっている。よって、複数の加工装置
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…に対応している場合であって
も、キャリア認識手段２５では、キャリアに収納されて
いるウエハがどの加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…に
よる処理が終了して、どの加工装置２１ａ、２１ｂ、２
１ｃ…による処理が終了していないかを、確実に認識す
ることができるという効果を奏する。

【００３４】尚、本実施例では、ウエハへの半導体プロ
セス処理が加工装置２１ａから順に加工装置２１ｂ、続
いて加工装置２１ｃ…へと行われるように設定されてい
る場合について説明したが、他の順番で行われる場合で
あっても、また処理を行うウエハによって各加工装置２
１ａ、２１ｂ、２１ｃ…へ搬送する順番が異なる場合で
あっても適用可能である。また、本実施例では、キャリ
ア認識手段２５がバーコード認識手段２７と判断手段２
８と保持手段２９とから構成される場合について説明し
たが、加工装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ…にセットされ
たキャリアに収納されているウエハの処理状況が認識で
きるものであれば、他のものであってもよい。

【００３５】また、本実施例では、加工装置制御部２２
がパーソナルコンピュータ等からなる場合について説明
したが、ＣＰＵ等の機能とオペレータが操作可能である
端末装置を接続できる機能とを有するものであれば、他
のものであってもよい。さらに、本実施例では、半導体
装置の製造工程に適用してウエハを複数枚収納したキャ
リアを搬送する場合について説明したが、加工装置で加
工を行う被加工物を収納したキャリアを搬送するキャリ
ア搬送システムであれば、他のものであっても適用可能
である。

【００３６】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のキャリ
ア搬送システムは、切り替え手段での切り替え結果とキ
ャリア認識手段での認識結果とに基づきロボット制御手
段による搬送ロボットの制御が行われるので、例えば加
工装置にキャリアが供給されているときに手動搬送から
自動搬送へ設定を切り替えても、前記加工装置に供給さ
れたキャリアをロボット制御手段に従って搬送ロボット
が搬送するようになっている。よって、手動搬送と自動
搬送との切り替えをいつでも行うことができ、システム
が初期状態になるまでの待ち時間等が不要となる。ま
た、手動搬送と自動搬送との切り替えを切り替え手段に
よって行うので、加工装置及び搬送ロボットの設定をそ
れぞれ切り替える必要がなく、従来に比べて簡単かつ便
利に行うことができる。つまり、本発明のキャリア搬送
システムは、手動搬送と自動搬送との切り替えがいつで
もかつ簡便に行うことができるので、システムとしての
機能が停止する時間を必要とせずに、生産性の低下を防
止できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるキャリア搬送システムの一実施
例の概略構成を示すブロック図である。

【図２】図１のキャリア搬送システムにおける動作例を
示すフローチャートである。

【符号の説明】

１２ 搬送ロボット １３ ロボット制御部（ロボット制御手段） ２１ａ、２１ｂ、２１ｃ 加工装置 ２４ 切り替え手段 ２５ キャリア認識手段 ２６ 作業案内手段 ２７ バーコード認識手段 ２８ 判断手段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被加工物を収納したキャリアから前記被
   加工物を取り出して加工を行い、加工後の被加工物を前
   記キャリアに収納する加工装置と、 該加工装置で加工する被加工物を収納したキャリアを前
   記加工装置に供給し、かつ前記加工装置で加工された後
   の被加工物を収納したキャリアを前記加工装置から搬出
   する搬送ロボットとを備え、 前記加工装置に対する前記キャリアの供給あるいは搬出
   が、前記搬送ロボットによる自動搬送と人手による手動
   搬送とのいずれか一方で行われるように設定されるキャ
   リア搬送システムにおいて、 前記キャリアの供給あるいは搬出の設定を前記自動搬送
   と前記手動搬送とのいずれか一方から他方に切り替える
   切り替え手段と、 前記加工装置に供給されたキャリアが、どのような加工
   状況の被加工物を収納したものかを認識するキャリア認
   識手段と、 前記切り替え手段での切り替え結果及び前記キャリア認
   識手段による認識結果に基づき、前記搬送ロボットの動
   作の制御を行うロボット制御手段とが設けられたことを
   特徴とするキャリア搬送システム。
2. 【請求項２】 前記キャリア認識手段による認識結果を
   表示する作業案内手段が設けられたことを特徴とする請
   求項１記載のキャリア搬送システム。
3. 【請求項３】 前記キャリア認識手段は、前記加工装置
   に供給されたキャリアに予め貼付されているバーコード
   を読み取って該キャリアの識別を行うバーコード認識手
   段と、 該バーコード認識手段で識別されたキャリアに収納され
   ている被加工物に前記加工装置での加工が終了したか否
   かを判断する判断手段とを備えてなることを特徴とする
   請求項１または２記載のキャリア搬送システム。