JPH03218650A - 搬送設備 - Google Patents
搬送設備Info
- Publication number
- JPH03218650A JPH03218650A JP1279247A JP27924789A JPH03218650A JP H03218650 A JPH03218650 A JP H03218650A JP 1279247 A JP1279247 A JP 1279247A JP 27924789 A JP27924789 A JP 27924789A JP H03218650 A JPH03218650 A JP H03218650A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer station
- cassette
- semiconductor wafer
- transfer
- transport vehicle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造における機械による自動搬送と作
業者による手動搬送の切り替えを容易に行なう搬送設備
に関するものである。
業者による手動搬送の切り替えを容易に行なう搬送設備
に関するものである。
第３図は、従来の半導体ウェハカセットの斜視図であり
、第４図は従来の半導体生産工場の搬送システムを示す
構成図である。
、第４図は従来の半導体生産工場の搬送システムを示す
構成図である。
第３図において、（１）は半導体ウェハ（以下、「ウェ
ハ」と呼ぶ）であり、《２月よ半導体ウェハを複数枚収
納する半導体ウェハカセット（以下、［カセット」と呼
ぶ）である。
ハ」と呼ぶ）であり、《２月よ半導体ウェハを複数枚収
納する半導体ウェハカセット（以下、［カセット」と呼
ぶ）である。
第４図において、《５》はカセットを複数個搬送する搬
送車であり、（６）は搬送車が走行する搬送車走行路で
ある。（７）は搬送車がカセットの積み降ろしや、取り
出しをする移載ステーシ１ンであり、移載ステーション
は、搬送車が移載ステーシタンに対してカセットを積み
降ろす搬送車積み降ろし場所（７ａ）、搬送車が移載ス
テーシ曹ンからカセットを取り出す搬送車取り出し場所
（７ｂ） ％異なるロボット間の受渡しを行なうロボッ
ト受渡し場所（７Ｃ）、移載ステーション内の上記各場
所の間でカセットを搬送する移載ステーション搬送ロボ
ット（７ｄ）から楕成されている。（８）はウェハ処理
装置（９）と移載ステーション（７）間でカセットを搬
送する移送ロボットであり、（９）はウェハを加工処理
するウェハ処理装置である。Ｑ（ｌは上記搬送車（５）
、移載ステーション（７》、ウェハ処理装置Ｑ１の複数
個を制御する上位計算機で、θ〃は上位計算機の端末で
ある。
送車であり、（６）は搬送車が走行する搬送車走行路で
ある。（７）は搬送車がカセットの積み降ろしや、取り
出しをする移載ステーシ１ンであり、移載ステーション
は、搬送車が移載ステーシタンに対してカセットを積み
降ろす搬送車積み降ろし場所（７ａ）、搬送車が移載ス
テーシ曹ンからカセットを取り出す搬送車取り出し場所
（７ｂ） ％異なるロボット間の受渡しを行なうロボッ
ト受渡し場所（７Ｃ）、移載ステーション内の上記各場
所の間でカセットを搬送する移載ステーション搬送ロボ
ット（７ｄ）から楕成されている。（８）はウェハ処理
装置（９）と移載ステーション（７）間でカセットを搬
送する移送ロボットであり、（９）はウェハを加工処理
するウェハ処理装置である。Ｑ（ｌは上記搬送車（５）
、移載ステーション（７》、ウェハ処理装置Ｑ１の複数
個を制御する上位計算機で、θ〃は上位計算機の端末で
ある。
次に動作について説明する。通常、移載ステーシ甘ン（
７）間でのカセット（２）の搬送は、上位計算機ＱＱの
指示に基づき、搬送車（５）によって行なわれるが、搬
送車（５）が故障の時、搬送車（５）の搬送負荷が高い
時等の場合で、以下のような、作業者による搬送が行な
われる。
７）間でのカセット（２）の搬送は、上位計算機ＱＱの
指示に基づき、搬送車（５）によって行なわれるが、搬
送車（５）が故障の時、搬送車（５）の搬送負荷が高い
時等の場合で、以下のような、作業者による搬送が行な
われる。
作業者は、移載ステーション（７）の搬送車取り出し場
所（７ｂ）上のカセット（２冫のカセット名を、同カセ
ット（２月こ収納されたウェハ（１）上に刻印された名
前より認識する。次に作業者は、上位計算機００の端末
σ〃に向かい、上記のカセット名をキーにして、端末（
ロ）を操作し上位計算機０１がデータとして有している
上記カセット（２）の進捗上の位置から、上記カセット
（２）を離脱させる。作業者は、移載ステーション（７
ノに向かい、上記カセット（２）を取り出し、搬送先で
ある移載ステーション（７）に向かい、上記カセット（
２）をこの移載ステーション（７）上の搬送車積み降ろ
し場所（７ａ）に置く。次に作業者は、端末αｋへ向か
い、上記のカセット名をキーにして、端末（ロ）を操作
し、上記移載ステーション（７）上の積み降ろし場所（
７ａ） Ｉこ相当する進捗上の位置へ上記カセット（２
）を復活させる。この後は、搬送車（５月こより積み降
ろされた場合と同一になり、上記カセット（２）は、上
位計算機αＱの指示により移載ステーシ習ン搬送ロボッ
ト（７ｄ）により、搬送車積み降ろし場所（７ａ）から
、受渡し場所（７Ｃ）へと送られ、移送ロボット（８）
により、受渡し場所（７Ｃ）からウェハ処理装置（９冫
へと搬送される。
所（７ｂ）上のカセット（２冫のカセット名を、同カセ
ット（２月こ収納されたウェハ（１）上に刻印された名
前より認識する。次に作業者は、上位計算機００の端末
σ〃に向かい、上記のカセット名をキーにして、端末（
ロ）を操作し上位計算機０１がデータとして有している
上記カセット（２）の進捗上の位置から、上記カセット
（２）を離脱させる。作業者は、移載ステーション（７
ノに向かい、上記カセット（２）を取り出し、搬送先で
ある移載ステーション（７）に向かい、上記カセット（
２）をこの移載ステーション（７）上の搬送車積み降ろ
し場所（７ａ）に置く。次に作業者は、端末αｋへ向か
い、上記のカセット名をキーにして、端末（ロ）を操作
し、上記移載ステーション（７）上の積み降ろし場所（
７ａ） Ｉこ相当する進捗上の位置へ上記カセット（２
）を復活させる。この後は、搬送車（５月こより積み降
ろされた場合と同一になり、上記カセット（２）は、上
位計算機αＱの指示により移載ステーシ習ン搬送ロボッ
ト（７ｄ）により、搬送車積み降ろし場所（７ａ）から
、受渡し場所（７Ｃ）へと送られ、移送ロボット（８）
により、受渡し場所（７Ｃ）からウェハ処理装置（９冫
へと搬送される。
従来の搬送設備は以上のように構成されているので、作
業者によって搬送しなければならないとき、作業者が移
載ステーションからカセットを取り出す場合と、移載ス
テーシ１ンにカセットを積み降ろす場合とに、端末を用
いて上位計算機に通信しなければならないので、操作が
複雑であり、わずらわしく、誤りが発生しやすい。
業者によって搬送しなければならないとき、作業者が移
載ステーションからカセットを取り出す場合と、移載ス
テーシ１ンにカセットを積み降ろす場合とに、端末を用
いて上位計算機に通信しなければならないので、操作が
複雑であり、わずらわしく、誤りが発生しやすい。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、作業者による搬送を行なう場合、わずらわし
い端末操作を行なうことなく、また、誤りを発生するこ
となく、簡単な操作で、カセットの搬送を行える搬送設
備を得ることを目的とする。
たもので、作業者による搬送を行なう場合、わずらわし
い端末操作を行なうことなく、また、誤りを発生するこ
となく、簡単な操作で、カセットの搬送を行える搬送設
備を得ることを目的とする。
この発明に開わる搬送設備は、カセットに取り付けられ
たＩＤカードと、移載ステーションに設けられたＩＤカ
ードを読みとるＩＤカード認識装置を取り付けた読み取
り場所、搬送車が移載ステーシ四ンからカセットを取り
出す場所に対応して上位計算機への作業者の入力手段、
それぞれの場所の間でカセットを搬送する搬送手段とを
備えている。
たＩＤカードと、移載ステーションに設けられたＩＤカ
ードを読みとるＩＤカード認識装置を取り付けた読み取
り場所、搬送車が移載ステーシ四ンからカセットを取り
出す場所に対応して上位計算機への作業者の入力手段、
それぞれの場所の間でカセットを搬送する搬送手段とを
備えている。
本発明によれば、作業者が上記入力手段を用いることに
より、上位計算機は搬送車取り出し場所に対応する情報
を与えて、上位計算機は搬送車の稼働状態を確認し、そ
の情報に基づいて移載ステーション内の搬送手段を制御
し、また上記ＩＤカードの情報を上記ＩＤカード認識装
置が読みとることにより、その情報を元に、上位計算機
は移載ステーションを制御する。
より、上位計算機は搬送車取り出し場所に対応する情報
を与えて、上位計算機は搬送車の稼働状態を確認し、そ
の情報に基づいて移載ステーション内の搬送手段を制御
し、また上記ＩＤカードの情報を上記ＩＤカード認識装
置が読みとることにより、その情報を元に、上位計算機
は移載ステーションを制御する。
第１図は、半導体ウェハカセットの斜視図であり、第２
図は本発明に関わる１実施例を示した半導体生産工場の
搬送システムの構成図である。同一部分または相当部分
には同一符号を付する。
図は本発明に関わる１実施例を示した半導体生産工場の
搬送システムの構成図である。同一部分または相当部分
には同一符号を付する。
第１図において、（３）はＩＣカードであり、（４）は
ＩＤカードを読みとるＩＤカード認識装置である。
ＩＤカードを読みとるＩＤカード認識装置である。
ＩＤカード（３）は通信部（３ｂ）によって光通信を行
ない、ＩＤカード認識装置（４）と通信し、表示部（３
ａ）には、，カセット集等の情報を表示する。（２）は
上記ＩＤカードを取り付けられるようになったカセット
である。
ない、ＩＤカード認識装置（４）と通信し、表示部（３
ａ）には、，カセット集等の情報を表示する。（２）は
上記ＩＤカードを取り付けられるようになったカセット
である。
第２図において、（７）は搬送車がカセットの積み降ろ
しや、取り出しをする移載ステーシ１ンであり、移載ス
テーションは、従来と同様の（７ａχ（７ｂ）、（７Ｃ
）、（７ｄ）と、ＩＤカードを読みとるＩＤカード認識
装置を備えたＩＤカード読み取り場所（７ｅ）、搬送車
取り出し場所（７ｂ）に対応し作業者による搬送が可能
であるかの問い合わせを上位計算機に伝える入力手段（
７ｆ）、上記入力手段（７ｆ）に対応し、作業者による
搬送が許可できない場合辰示するランブＣ’ｔｇ） ｓ
作業者が移載ステーション（７》にカセット（２》を積
み降ろす作業者積み降ろし場所（７ｈ）、作業者が移載
ステーシ，ンからカセットを取り出す作業者取り出し場
所（７１）、作業者が移載ステーション（７）にカセッ
ト（２）を積み降ろしたことを上位計算機ａＯに伝える
作業者積み降ろし完了ボタン（７ｊ）から構成されてい
る。（８）， （９３％ （１０は従来と同様である。
しや、取り出しをする移載ステーシ１ンであり、移載ス
テーションは、従来と同様の（７ａχ（７ｂ）、（７Ｃ
）、（７ｄ）と、ＩＤカードを読みとるＩＤカード認識
装置を備えたＩＤカード読み取り場所（７ｅ）、搬送車
取り出し場所（７ｂ）に対応し作業者による搬送が可能
であるかの問い合わせを上位計算機に伝える入力手段（
７ｆ）、上記入力手段（７ｆ）に対応し、作業者による
搬送が許可できない場合辰示するランブＣ’ｔｇ） ｓ
作業者が移載ステーション（７》にカセット（２》を積
み降ろす作業者積み降ろし場所（７ｈ）、作業者が移載
ステーシ，ンからカセットを取り出す作業者取り出し場
所（７１）、作業者が移載ステーション（７）にカセッ
ト（２）を積み降ろしたことを上位計算機ａＯに伝える
作業者積み降ろし完了ボタン（７ｊ）から構成されてい
る。（８）， （９３％ （１０は従来と同様である。
次に動作について説明する。通常、移載ステーシ蓼ン間
でのカセット（２〕の搬送は、上位計算機αＯの指示に
基づき、搬送車（５冫によって行なわれるが、搬送車（
５）が故障の時、搬送車（５冫が搬送負荷が高い時等の
場合で、以下のような作業者による搬送が行なわれる。
でのカセット（２〕の搬送は、上位計算機αＯの指示に
基づき、搬送車（５冫によって行なわれるが、搬送車（
５）が故障の時、搬送車（５冫が搬送負荷が高い時等の
場合で、以下のような作業者による搬送が行なわれる。
作業者は、移載ステーション（７）の搬送車取り出し場
所（７ｂ）上のカセット（２）のカセット名を、ＩＤカ
ード（３）の表示部分（３ａ）に表示されている名前か
ら認識する。次に作業者は、搬送車取り出し場所に対応
する入力手段（７ｆ）を操作する。
所（７ｂ）上のカセット（２）のカセット名を、ＩＤカ
ード（３）の表示部分（３ａ）に表示されている名前か
ら認識する。次に作業者は、搬送車取り出し場所に対応
する入力手段（７ｆ）を操作する。
上位計算機αＱがすでに、搬送車（５）にその情報を受
けた搬送車取り出し場所（７ｂ）上のカセット（２）を
搬送するように命令していたならば、ランプ（７ｇ）を
表示することにより、作業者による取り出しの不許可を
作業者に伝える。逆に作業者による搬送が可能であれば
、上位計算機ＱＧがデータとして有している上記カセッ
ト（２）の進捗上の位置から、上記カセット（２）を手
動搬送の仕掛かりとし、移載ステーシ曹ン搬送ロボット
（７ｄ）を用いて搬送車取り出し場所（７ｂ）から作業
者取り出し場所（７１）に搬送する。作業者は、作業者
取り出し場所（７１）から、上記カセット（２）を取り
出し、搬送先である移載ステーシ町ン（７》に向かい、
上記カセット（２）をこの移載ステーション（７）上の
作業者積み降ろし場所（７ｈ）に置く。つぎの作業者は
、作業者積み降ろし完了ボタン（７ｊ）を押すと、カセ
ット（２）は移載ステーシ１ン搬送ロボット（７ｄ）に
よりＩＤカード読み取り場所（７ｅ）に搬送され、上位
計算機ａ０は上記カセット（２）のカセット名を、ＩＤ
カード（３）をＩＤカード認識装ｉｔ （４）により読
みとることによって認識し、手動搬送の仕掛かりから、
上記移載ステーシ．ン（７）上の進捗上の位置へ上記カ
セット（２）を移す。この後は、搬送車（５）により積
み降ろされた場合と同一となり、上記カセット（２）は
、上位計算機ＱＱの指示により移載ステーション搬送ロ
ボット（７ｄ）により、受渡し場所（７Ｃ）へと送られ
、移送ロボット（８）により、ウェハ処理装置（９）へ
と送られる。
けた搬送車取り出し場所（７ｂ）上のカセット（２）を
搬送するように命令していたならば、ランプ（７ｇ）を
表示することにより、作業者による取り出しの不許可を
作業者に伝える。逆に作業者による搬送が可能であれば
、上位計算機ＱＧがデータとして有している上記カセッ
ト（２）の進捗上の位置から、上記カセット（２）を手
動搬送の仕掛かりとし、移載ステーシ曹ン搬送ロボット
（７ｄ）を用いて搬送車取り出し場所（７ｂ）から作業
者取り出し場所（７１）に搬送する。作業者は、作業者
取り出し場所（７１）から、上記カセット（２）を取り
出し、搬送先である移載ステーシ町ン（７》に向かい、
上記カセット（２）をこの移載ステーション（７）上の
作業者積み降ろし場所（７ｈ）に置く。つぎの作業者は
、作業者積み降ろし完了ボタン（７ｊ）を押すと、カセ
ット（２）は移載ステーシ１ン搬送ロボット（７ｄ）に
よりＩＤカード読み取り場所（７ｅ）に搬送され、上位
計算機ａ０は上記カセット（２）のカセット名を、ＩＤ
カード（３）をＩＤカード認識装ｉｔ （４）により読
みとることによって認識し、手動搬送の仕掛かりから、
上記移載ステーシ．ン（７）上の進捗上の位置へ上記カ
セット（２）を移す。この後は、搬送車（５）により積
み降ろされた場合と同一となり、上記カセット（２）は
、上位計算機ＱＱの指示により移載ステーション搬送ロ
ボット（７ｄ）により、受渡し場所（７Ｃ）へと送られ
、移送ロボット（８）により、ウェハ処理装置（９）へ
と送られる。
以上のようにこの発明によれば、搬送車が移載ステーシ
ョンからカセットを取り出す場所に対応して上位計算機
への作業者の入力手段を備えたこと、また、カセットに
ＩＤカード取り付け、移載ステーシ１ンにＩＤカードを
読みとるＩＤカード認識装置を備え付けたＩＤカード読
み取り場所を設けたことにより、機械による自動搬送か
ら作業者による手動搬送の切り替えの端末での操作が不
用となり、容易になる。
ョンからカセットを取り出す場所に対応して上位計算機
への作業者の入力手段を備えたこと、また、カセットに
ＩＤカード取り付け、移載ステーシ１ンにＩＤカードを
読みとるＩＤカード認識装置を備え付けたＩＤカード読
み取り場所を設けたことにより、機械による自動搬送か
ら作業者による手動搬送の切り替えの端末での操作が不
用となり、容易になる。
第１図は、本発明に関わる半導体ウェハカセットの斜視
図であり、第２図は本発明に係わる１実施例を示した半
導体生産工場の搬送システムを示す構成図である。第３
図は、従来の半導体ウェハカセットの斜視図であり、第
４図は従来の半導体生産工場の搬送設備を示す構成図で
ある。 図において、（１）は半導体ウェハ、（２）は半導体ウ
ェハカセット、（３）は■Ｄカード、（４）はＩＤカー
ド認識装置、（５）は搬送車、（７）は移載ステーシ，
ン、（７ａ）は搬送車積み降ろし場所、（７ｂ）は搬送
車取り出し場所、（７ｄ）は移載ステーション搬送ロボ
ット、（７ｅ）はＩＤカード読み取り場所、（７ｆ）は
搬送車取り出し場所対応入力手段、（７ｈ）は作業者積
み降ろし場所、（７１）は作業者取り出し場所、００は
上位計算機である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
図であり、第２図は本発明に係わる１実施例を示した半
導体生産工場の搬送システムを示す構成図である。第３
図は、従来の半導体ウェハカセットの斜視図であり、第
４図は従来の半導体生産工場の搬送設備を示す構成図で
ある。 図において、（１）は半導体ウェハ、（２）は半導体ウ
ェハカセット、（３）は■Ｄカード、（４）はＩＤカー
ド認識装置、（５）は搬送車、（７）は移載ステーシ，
ン、（７ａ）は搬送車積み降ろし場所、（７ｂ）は搬送
車取り出し場所、（７ｄ）は移載ステーション搬送ロボ
ット、（７ｅ）はＩＤカード読み取り場所、（７ｆ）は
搬送車取り出し場所対応入力手段、（７ｈ）は作業者積
み降ろし場所、（７１）は作業者取り出し場所、００は
上位計算機である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体ウェハと、上記半導体ウェハを複数枚収納する半
導体ウェハカセットと、上記半導体ウェハカセットを複
数個搬送する搬送車と、上記搬送車が上記半導体ウェハ
カセットを積み降ろし取り出す移載ステーションと、上
記搬送車と上記移載ステーションの複数個の制御を行な
う上位計算機からなる半導体ウェハ搬送設備において、
上記半導体ウェハカセットにＩＤカードを取り付け、上
記移載ステーションに、上記ＩＤカードを読み取る認識
装置を取り付けたＩＤカードの読み取り場所を設け、ま
た、上記移載ステーションに、上記搬送車が上記移載ス
テーションから上記半導体ウェハカセットを取り出す場
所と、上記搬送車が上記移載ステーションに上記半導体
ウェハカセットを積み降ろす場所と、作業者が上記移載
ステーションから上記半導体ウェハカセットを取り出す
場所と、作業者が上記移載ステーションに上記半導体ウ
ェハカセットを積み降ろす場所とを独立に複数個有し、
上記搬送車が上記移載ステーションから上記半導体カセ
ットを取り出す場所に対応する上位計算機への作業者の
入力手段を設け、上記のそれぞれの場所の間で上記半導
体ウェハカセットを上位計算機に基づき搬送する搬送手
段とを設けたことを特徴とする搬送設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27924789A JPH07105430B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 搬送設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27924789A JPH07105430B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 搬送設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03218650A true JPH03218650A (ja) | 1991-09-26 |
| JPH07105430B2 JPH07105430B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=17608488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27924789A Expired - Fee Related JPH07105430B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 搬送設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07105430B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0677305A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体処理装置及び方法並びに半導体処理装置モジュール |
| US5372471A (en) * | 1991-12-13 | 1994-12-13 | United Microelectronics Corporation | Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system |
| JP2000236011A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 基板の搬出入システム及び搬出入方法 |
-
1989
- 1989-10-25 JP JP27924789A patent/JPH07105430B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5372471A (en) * | 1991-12-13 | 1994-12-13 | United Microelectronics Corporation | Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system |
| JPH0677305A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体処理装置及び方法並びに半導体処理装置モジュール |
| JP2000236011A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 基板の搬出入システム及び搬出入方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07105430B2 (ja) | 1995-11-13 |
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