JPH08204329A - 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置 - Google Patents
熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置Info
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- JPH08204329A JPH08204329A JP3005895A JP3005895A JPH08204329A JP H08204329 A JPH08204329 A JP H08204329A JP 3005895 A JP3005895 A JP 3005895A JP 3005895 A JP3005895 A JP 3005895A JP H08204329 A JPH08204329 A JP H08204329A
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- electrodes
- thermocompression bonding
- heating
- film
- substrate
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3494—Heating processes for reflow soldering
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
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- Liquid Crystal (AREA)
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、透過性基板に対するフイルム状基板
の位置合わせを容易にすると共に、フイルム状基板にお
けるフアインパターン接続をし得る熱圧着実装方法及び
熱圧着実装装置を実現するものである。 【構成】フイルム状基板6を透過性基板5の所定位置に
仮固定した状態において、複数の第1の電極6Cに並設
された複数の加熱手段21A〜21Cを有する圧接手段
21をフイルム状基板6の透過性基板5との当接面に対
して裏面側から圧接して、当該複数の加熱手段21A〜
21Cをそれぞれ別個に加熱制御するようにしたことに
より、各第1の電極5A及び各第2の電極6Cを位置合
わせした状態で透過性基板5にフイルム状基板6を実装
することができる。
の位置合わせを容易にすると共に、フイルム状基板にお
けるフアインパターン接続をし得る熱圧着実装方法及び
熱圧着実装装置を実現するものである。 【構成】フイルム状基板6を透過性基板5の所定位置に
仮固定した状態において、複数の第1の電極6Cに並設
された複数の加熱手段21A〜21Cを有する圧接手段
21をフイルム状基板6の透過性基板5との当接面に対
して裏面側から圧接して、当該複数の加熱手段21A〜
21Cをそれぞれ別個に加熱制御するようにしたことに
より、各第1の電極5A及び各第2の電極6Cを位置合
わせした状態で透過性基板5にフイルム状基板6を実装
することができる。
Description
【0001】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術(図11〜図13) 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段(図1〜図10) 作用(図1〜図10) 実施例(図1〜図10) 発明の効果
【0002】
【産業上の利用分野】本発明は熱圧着実装方法及び熱圧
着実装装置に関し、例えばTCP実装に適用して好適な
ものである。
着実装装置に関し、例えばTCP実装に適用して好適な
ものである。
【0003】
【従来の技術】従来、テレビジヨンやOA機器等の電子
機器の表示素子として液晶パネルが用いられている。液
晶パネルは、異方性導電膜(以下、これをACF(Anis
tropicConductive Film)と呼び)を介して、所定の電
極パターンが配設されたポリイミドフイルム上にICチ
ツプが実装されたもの(以下、これをTCP(Tape Car
rier Package)と呼ぶ)が熱圧着され、これにより外部
回路に接続して液晶表示し得るようになされている。
機器の表示素子として液晶パネルが用いられている。液
晶パネルは、異方性導電膜(以下、これをACF(Anis
tropicConductive Film)と呼び)を介して、所定の電
極パターンが配設されたポリイミドフイルム上にICチ
ツプが実装されたもの(以下、これをTCP(Tape Car
rier Package)と呼ぶ)が熱圧着され、これにより外部
回路に接続して液晶表示し得るようになされている。
【0004】図11において1は全体として熱圧着装置
を示し、架台部2上の中央部にパネル受け台3が設けら
れ、当該パネル受け台3上に透明なガラス材料でなる圧
着受け台4を介して液晶パネル5が載置されている。液
晶パネル5の一面端部は圧着受け台4上に直接接触され
ており、当該一面端部の裏面側には複数のTCP6が矢
印xで示す方向又はこれとは逆方向(以下、これをフイ
ルム配列方向と呼ぶ)に配列されている。このとき液晶
パネル5の一面端部の裏面側には、それぞれ各TCP6
の一端部が予め前処理工程で仮固定された状態にある。
を示し、架台部2上の中央部にパネル受け台3が設けら
れ、当該パネル受け台3上に透明なガラス材料でなる圧
着受け台4を介して液晶パネル5が載置されている。液
晶パネル5の一面端部は圧着受け台4上に直接接触され
ており、当該一面端部の裏面側には複数のTCP6が矢
印xで示す方向又はこれとは逆方向(以下、これをフイ
ルム配列方向と呼ぶ)に配列されている。このとき液晶
パネル5の一面端部の裏面側には、それぞれ各TCP6
の一端部が予め前処理工程で仮固定された状態にある。
【0005】また架台部2上の側端部には支柱7を介し
て固定用ブラケツト8が固着されており、当該固定用ブ
ラケツト8上に複数の加圧シリンダ9がフイルム配列方
向に沿つて一列に設けられ、当該各加圧シリンダ9の出
力軸9Aにはそれぞれ固定用ブラケツト8の貫通孔(図
示せず)を介して熱圧着ヘツド10が取り付けられてい
る。
て固定用ブラケツト8が固着されており、当該固定用ブ
ラケツト8上に複数の加圧シリンダ9がフイルム配列方
向に沿つて一列に設けられ、当該各加圧シリンダ9の出
力軸9Aにはそれぞれ固定用ブラケツト8の貫通孔(図
示せず)を介して熱圧着ヘツド10が取り付けられてい
る。
【0006】ここで、複数のTCP6がそれぞれ熱圧着
ヘツド10に対応して液晶パネル5上の所定位置に位置
合わせされており、各加圧シリンダ9の駆動制御によつ
てそれぞれ熱圧着ヘツド10は矢印zで示す方向及びこ
れと逆方向に上下動し得、これにより当該各熱圧着ヘツ
ド10が対応するTCP6とそれぞれ熱圧着し得るよう
になされている。
ヘツド10に対応して液晶パネル5上の所定位置に位置
合わせされており、各加圧シリンダ9の駆動制御によつ
てそれぞれ熱圧着ヘツド10は矢印zで示す方向及びこ
れと逆方向に上下動し得、これにより当該各熱圧着ヘツ
ド10が対応するTCP6とそれぞれ熱圧着し得るよう
になされている。
【0007】この場合、図12に示すようにTCP6に
おいて、フイルム6A上の中央部にはICチツプ6Bが
実装され、当該フイルム6A上の一面端側にはフイルム
配列方向に沿つて所定の電極パターン6Cが配設される
と共に当該電極パターン6Cの両端部にはそれぞれ位置
合わせマーク6D及び6Eが設けられている。また図1
3に示すように、液晶パネル5上の一面端側にはフイル
ム配列方向に沿つて所定の電極パターン5Aが配設され
ると共に当該電極パターン5Aの両端部にはそれぞれ位
置合わせマーク5B及び5Cが設けられている。
おいて、フイルム6A上の中央部にはICチツプ6Bが
実装され、当該フイルム6A上の一面端側にはフイルム
配列方向に沿つて所定の電極パターン6Cが配設される
と共に当該電極パターン6Cの両端部にはそれぞれ位置
合わせマーク6D及び6Eが設けられている。また図1
3に示すように、液晶パネル5上の一面端側にはフイル
ム配列方向に沿つて所定の電極パターン5Aが配設され
ると共に当該電極パターン5Aの両端部にはそれぞれ位
置合わせマーク5B及び5Cが設けられている。
【0008】ここで液晶パネル5の所定位置上にTCP
6が熱圧着された状態においては、液晶パネル5上に配
設された電極パターン5CとTCP6上に配設された電
極パターン6Cとが互いに対応して位置合わせされるよ
うになされている。このとき液晶パネル5に設けられた
位置合わせマーク5BとTCP6に設けられた位置合わ
せマーク6Dとが互いに位置合わせされると共に、液晶
パネル5に設けられた位置合わせマーク5CとTCP6
に設けられた位置合わせマーク6Eとが互いに位置合わ
せされるようになされている。
6が熱圧着された状態においては、液晶パネル5上に配
設された電極パターン5CとTCP6上に配設された電
極パターン6Cとが互いに対応して位置合わせされるよ
うになされている。このとき液晶パネル5に設けられた
位置合わせマーク5BとTCP6に設けられた位置合わ
せマーク6Dとが互いに位置合わせされると共に、液晶
パネル5に設けられた位置合わせマーク5CとTCP6
に設けられた位置合わせマーク6Eとが互いに位置合わ
せされるようになされている。
【0009】また、パネル受け台3の内部には第1及び
第2のビデオカメラ(図示せず)が共に移動ガイドレー
ル(図示せず)上に設けられており、当該移動ガイドレ
ールによつてフイルム配列方向に搬送され得るようにな
されている。
第2のビデオカメラ(図示せず)が共に移動ガイドレー
ル(図示せず)上に設けられており、当該移動ガイドレ
ールによつてフイルム配列方向に搬送され得るようにな
されている。
【0010】第1及び第2のビデオカメラにおいて、そ
れぞれ第1及び第2のカメラ部からは撮像光が投射さ
れ、圧着受け台4を介して液晶パネル5に設けられた位
置合わせマーク5B及び5Cをそれぞれ照射するように
なされている。さらに液晶パネル5上にTCP6が熱圧
着された状態においては、第1及び第2のビデオカメラ
からの撮像光は、それぞれ位置合わせマーク5B及び5
Cを介して対応するTCP6に設けられた位置合わせマ
ーク6D及び6Eに照射される。
れぞれ第1及び第2のカメラ部からは撮像光が投射さ
れ、圧着受け台4を介して液晶パネル5に設けられた位
置合わせマーク5B及び5Cをそれぞれ照射するように
なされている。さらに液晶パネル5上にTCP6が熱圧
着された状態においては、第1及び第2のビデオカメラ
からの撮像光は、それぞれ位置合わせマーク5B及び5
Cを介して対応するTCP6に設けられた位置合わせマ
ーク6D及び6Eに照射される。
【0011】これにより第1及び第2のビデオカメラの
撮像結果を例えばモニタ等に表示することにより、オペ
レータは位置合わせマーク5B及び5Cとこれに対応す
る位置合わせマーク6D及び6Eとの位置ずれ状態(以
下、これをマーク位置ずれ状態と呼ぶ)を確認すること
ができる。
撮像結果を例えばモニタ等に表示することにより、オペ
レータは位置合わせマーク5B及び5Cとこれに対応す
る位置合わせマーク6D及び6Eとの位置ずれ状態(以
下、これをマーク位置ずれ状態と呼ぶ)を確認すること
ができる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この場合熱
圧着ヘツド10にはパルスヒータ(図示せず)が内蔵さ
れており、当該パルスヒータの加熱に基づきTCP6上
の熱圧着ヘツド10の当接箇所全体が加熱されることか
ら、圧着受け台4及び液晶パネル5よりも熱膨張率の高
いTCP6が熱膨張によつてフイルム配列方向に伸張
し、このため液晶パネル5上の所定の固定位置から位置
ずれするおそれがある
圧着ヘツド10にはパルスヒータ(図示せず)が内蔵さ
れており、当該パルスヒータの加熱に基づきTCP6上
の熱圧着ヘツド10の当接箇所全体が加熱されることか
ら、圧着受け台4及び液晶パネル5よりも熱膨張率の高
いTCP6が熱膨張によつてフイルム配列方向に伸張
し、このため液晶パネル5上の所定の固定位置から位置
ずれするおそれがある
【0013】このため、熱圧着中にTCP6の液晶パネ
ル5に対する圧着状態を外部から目視確認することが困
難であるため、位置ずれがあるか否かを確認するには後
処理工程において所定の検査を行わなければならず、こ
の結果工程が煩雑となる問題があつた。
ル5に対する圧着状態を外部から目視確認することが困
難であるため、位置ずれがあるか否かを確認するには後
処理工程において所定の検査を行わなければならず、こ
の結果工程が煩雑となる問題があつた。
【0014】またTCP6を熱圧着するための条件が一
定であるため、TCPの部品にばらつきが生じた場合で
も当該ばらつきを吸収して全てのTCPを適用すること
が困難となる。すなわちTCPの部品の形状及び厚みが
ロツト毎に変化した場合には、熱膨張率や吸湿率(保管
状態や季節的な影響による)等の熱的特性により、熱圧
着時のフイルムの伸張量や吸湿による形状寸法も変化す
ることとなる。
定であるため、TCPの部品にばらつきが生じた場合で
も当該ばらつきを吸収して全てのTCPを適用すること
が困難となる。すなわちTCPの部品の形状及び厚みが
ロツト毎に変化した場合には、熱膨張率や吸湿率(保管
状態や季節的な影響による)等の熱的特性により、熱圧
着時のフイルムの伸張量や吸湿による形状寸法も変化す
ることとなる。
【0015】このためTCP6の熱圧着後の液晶パネル
5との位置合わせ精度が低くなり、TCPにおける配線
導体幅の微細化(フアインパターン)による接続が困難
となり、実用上、約80〔μm〕ピツチ以下のパターン接
続は不可能となる問題があつた。
5との位置合わせ精度が低くなり、TCPにおける配線
導体幅の微細化(フアインパターン)による接続が困難
となり、実用上、約80〔μm〕ピツチ以下のパターン接
続は不可能となる問題があつた。
【0016】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、液晶パネルに対するTCPの位置合わせを容易にす
ると共に、フイルム状基板におけるフアインパターン接
続をし得る熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置を提案し
ようとするものである。
で、液晶パネルに対するTCPの位置合わせを容易にす
ると共に、フイルム状基板におけるフアインパターン接
続をし得る熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置を提案し
ようとするものである。
【0017】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、複数の第1の電極6Cが配設され
たフイルム状基板6を、上記各第1の電極6Cに対応し
てそれぞれ第2の電極5Aが配設された透過性基板5
に、上記各第1の電極6C及び上記各第2の電極5Aが
位置合わせして接続するように導電手段24を介して実
装する熱圧着実装方法において、上記フイルム状基板6
を上記透過性基板5の所定位置上に上記導電手段24に
より仮固定した状態において、上記フイルム状基板6の
上記透過性基板5との当接面に対して裏面側から上記複
数の第1の電極6Cに並設された複数の加熱手段21A
〜21Cを圧接する第1の工程と、上記複数の加熱手段
21A〜21Cのうち、外側両端部の加熱手段21A及
び21Cを中央部の加熱手段21Bより先に加熱して、
上記フイルム状基板6における上記外側両端部の加熱手
段21A及び21Cとの当接部分を硬化状態にする第2
の工程と、上記中央部の加熱手段21Bを加熱制御する
ことにより、上記各第1の電極6C及び上記各第2の電
極5Aを位置合わせする第3の工程とを備えるようにす
る。
め本発明においては、複数の第1の電極6Cが配設され
たフイルム状基板6を、上記各第1の電極6Cに対応し
てそれぞれ第2の電極5Aが配設された透過性基板5
に、上記各第1の電極6C及び上記各第2の電極5Aが
位置合わせして接続するように導電手段24を介して実
装する熱圧着実装方法において、上記フイルム状基板6
を上記透過性基板5の所定位置上に上記導電手段24に
より仮固定した状態において、上記フイルム状基板6の
上記透過性基板5との当接面に対して裏面側から上記複
数の第1の電極6Cに並設された複数の加熱手段21A
〜21Cを圧接する第1の工程と、上記複数の加熱手段
21A〜21Cのうち、外側両端部の加熱手段21A及
び21Cを中央部の加熱手段21Bより先に加熱して、
上記フイルム状基板6における上記外側両端部の加熱手
段21A及び21Cとの当接部分を硬化状態にする第2
の工程と、上記中央部の加熱手段21Bを加熱制御する
ことにより、上記各第1の電極6C及び上記各第2の電
極5Aを位置合わせする第3の工程とを備えるようにす
る。
【0018】また本発明においては、複数の第1の電極
6Cが配設されたフイルム状基板6を、上記各第1の電
極6Cに対応してそれぞれ第2の電極5Aが配設された
透過性基板5に、上記各第1の電極6C及び上記各第2
の電極5Aが位置合わせして接続するように導電手段2
4を介して実装する熱圧着実装装置20において、上記
フイルム状基板6を上記透過性基板5の所定位置上に上
記導電手段24により仮固定した状態において、上記フ
イルム状基板6の上記透過性基板5との当接面に対して
裏面側から圧接する圧接手段21と、上記圧接手段21
に設けられ、上記複数の第1の電極6Cに並設された複
数の加熱手段21A〜21Bと、上記複数の加熱手段2
1A〜21Cをそれぞれ別個に加熱制御する加熱制御手
段25、26とを備えるようにする。
6Cが配設されたフイルム状基板6を、上記各第1の電
極6Cに対応してそれぞれ第2の電極5Aが配設された
透過性基板5に、上記各第1の電極6C及び上記各第2
の電極5Aが位置合わせして接続するように導電手段2
4を介して実装する熱圧着実装装置20において、上記
フイルム状基板6を上記透過性基板5の所定位置上に上
記導電手段24により仮固定した状態において、上記フ
イルム状基板6の上記透過性基板5との当接面に対して
裏面側から圧接する圧接手段21と、上記圧接手段21
に設けられ、上記複数の第1の電極6Cに並設された複
数の加熱手段21A〜21Bと、上記複数の加熱手段2
1A〜21Cをそれぞれ別個に加熱制御する加熱制御手
段25、26とを備えるようにする。
【0019】
【作用】フイルム状基板6を透過性基板5の所定位置に
仮固定した状態において、複数の第1の電極6Cに並設
された複数の加熱手段21A〜21Cを有する圧接手段
21をフイルム状基板6の透過性基板5との当接面に対
して裏面側から圧接して、当該複数の加熱手段21A〜
21Cをそれぞれ別個に加熱制御するようにしたことに
より、各第1の電極5A及び各第2の電極6Cを位置合
わせした状態で透過性基板5にフイルム状基板6を実装
することができる。かくして透過性基板5に対するフイ
ルム状基板6の位置合わせを容易にすると共に、フイル
ム状基板6におけるフアインパターン接続をすることが
できる。
仮固定した状態において、複数の第1の電極6Cに並設
された複数の加熱手段21A〜21Cを有する圧接手段
21をフイルム状基板6の透過性基板5との当接面に対
して裏面側から圧接して、当該複数の加熱手段21A〜
21Cをそれぞれ別個に加熱制御するようにしたことに
より、各第1の電極5A及び各第2の電極6Cを位置合
わせした状態で透過性基板5にフイルム状基板6を実装
することができる。かくして透過性基板5に対するフイ
ルム状基板6の位置合わせを容易にすると共に、フイル
ム状基板6におけるフアインパターン接続をすることが
できる。
【0020】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【0021】図11との対応部分に同一符号を付して示
す図1において、20は全体として熱圧着装置を示し、
熱圧着ヘツド21が異なることを除いて図11における
熱圧着装置1とほぼ同様に構成されている。
す図1において、20は全体として熱圧着装置を示し、
熱圧着ヘツド21が異なることを除いて図11における
熱圧着装置1とほぼ同様に構成されている。
【0022】すなわちこの熱圧着装置20の場合、図2
に示すように、熱圧着ヘツド21はフイルム配列方向に
3分割されてなる第1のヘツド部21A、第2のヘツド
部21B及び第3のヘツド部21Cから構成されてお
り、各ヘツド部21A〜21C内にはそれぞれパルスヒ
ータ(図示せず)が内蔵されている。また熱圧着ヘツド
21及び圧着受け台4は、共に平行度調整部(図示せ
ず)の駆動制御に基づいて、熱圧着ヘツド21のTCP
6との当接面が圧着受け台4の液晶パネル5との当接面
に対して常に平行関係を保つように調整されている。
に示すように、熱圧着ヘツド21はフイルム配列方向に
3分割されてなる第1のヘツド部21A、第2のヘツド
部21B及び第3のヘツド部21Cから構成されてお
り、各ヘツド部21A〜21C内にはそれぞれパルスヒ
ータ(図示せず)が内蔵されている。また熱圧着ヘツド
21及び圧着受け台4は、共に平行度調整部(図示せ
ず)の駆動制御に基づいて、熱圧着ヘツド21のTCP
6との当接面が圧着受け台4の液晶パネル5との当接面
に対して常に平行関係を保つように調整されている。
【0023】また、パネル受け台3の内部には第1及び
第2のビデオカメラ22及び23がそれぞれフイルム配
列方向に搬送され得るようになされ、当該第1及び第2
のビデオカメラ22及び23の第1及び第2のカメラ部
22A及び23Aから投射された撮像光が、圧着受け台
4を介して液晶パネル5に設けられた位置合わせマーク
5B及び5Cにそれぞれ照射されるようになされてい
る。
第2のビデオカメラ22及び23がそれぞれフイルム配
列方向に搬送され得るようになされ、当該第1及び第2
のビデオカメラ22及び23の第1及び第2のカメラ部
22A及び23Aから投射された撮像光が、圧着受け台
4を介して液晶パネル5に設けられた位置合わせマーク
5B及び5Cにそれぞれ照射されるようになされてい
る。
【0024】図3は、図2に示す熱圧着ヘツド10が加
圧シリンダ9の駆動制御によつてTCP6に圧接され、
TCP6が液晶パネル5の所定位置上に熱圧着されてい
る状態を表している。このとき液晶パネル5とTCP6
との間には、ACF24が接合材料として挟み込まれて
いる。因にACF24は、熱圧着ヘツド10を圧接又は
離間する方向(矢印zで示す方向及びこれと逆方向)の
みに導電性を示し、液晶パネル5及びTCP6の面に平
行な方向には導電性を示さない性質を有する。
圧シリンダ9の駆動制御によつてTCP6に圧接され、
TCP6が液晶パネル5の所定位置上に熱圧着されてい
る状態を表している。このとき液晶パネル5とTCP6
との間には、ACF24が接合材料として挟み込まれて
いる。因にACF24は、熱圧着ヘツド10を圧接又は
離間する方向(矢印zで示す方向及びこれと逆方向)の
みに導電性を示し、液晶パネル5及びTCP6の面に平
行な方向には導電性を示さない性質を有する。
【0025】図4において熱圧着装置20のうちシステ
ム制御系ブロツクについて説明する。第1〜第3のヘツ
ド部21A〜21Cにはそれぞれ第1〜第3のパルスヒ
ータが内蔵されており、当該各パルスヒータにはそれぞ
れ例えば熱電対等でなる温度測定用のセンサが設けられ
ている。
ム制御系ブロツクについて説明する。第1〜第3のヘツ
ド部21A〜21Cにはそれぞれ第1〜第3のパルスヒ
ータが内蔵されており、当該各パルスヒータにはそれぞ
れ例えば熱電対等でなる温度測定用のセンサが設けられ
ている。
【0026】温度制御部25は、第1〜第3のヘツド部
21A〜21Cにそれぞれ電源供給信号S1〜S3を供
給して電源を供給することにより、当該第1〜第3のヘ
ツド部21A〜21Cに対応する第1〜第3のパルスヒ
ータをそれぞれ加熱させる。このとき当該第1〜第3の
パルスヒータの各センサからはそれぞれ温度信号S4〜
S6が温度制御部25に送出される。温度制御部25は
当該温度信号S4〜S6に基づく温度信号群S7をシス
テム制御部26に送出する。
21A〜21Cにそれぞれ電源供給信号S1〜S3を供
給して電源を供給することにより、当該第1〜第3のヘ
ツド部21A〜21Cに対応する第1〜第3のパルスヒ
ータをそれぞれ加熱させる。このとき当該第1〜第3の
パルスヒータの各センサからはそれぞれ温度信号S4〜
S6が温度制御部25に送出される。温度制御部25は
当該温度信号S4〜S6に基づく温度信号群S7をシス
テム制御部26に送出する。
【0027】またビデオカメラ22及び23において、
カメラ部22A及び23Aは、圧着受け台4を介して液
晶パネル5の位置合わせマーク5B及び5Cとこれに対
応するTCP6の位置合わせマーク6D及び6Eとを撮
像し、撮像結果をそれぞれ画像信号S8及びS9として
画像処理部27に送出する。画像処理部27は、画像信
号S8及びS9に基づいて、位置合わせマーク5B及び
5Cと、これに対応する位置合わせマーク6D及び6E
との位置ずれ量を検出し、検出結果を画像処理情報信号
S10としてシステム制御部26に送出する。
カメラ部22A及び23Aは、圧着受け台4を介して液
晶パネル5の位置合わせマーク5B及び5Cとこれに対
応するTCP6の位置合わせマーク6D及び6Eとを撮
像し、撮像結果をそれぞれ画像信号S8及びS9として
画像処理部27に送出する。画像処理部27は、画像信
号S8及びS9に基づいて、位置合わせマーク5B及び
5Cと、これに対応する位置合わせマーク6D及び6E
との位置ずれ量を検出し、検出結果を画像処理情報信号
S10としてシステム制御部26に送出する。
【0028】システム制御部26は、内蔵されたコンピ
ユータ(図示せず)に予め所定のヒータ温度がプログラ
ム設定されており、当該プログラムに従つて第1〜第3
のヘツド部21A〜21Cに対応する第1〜第3のパル
スヒータの加熱温度をそれぞれ別個に調整し得るように
なされている。
ユータ(図示せず)に予め所定のヒータ温度がプログラ
ム設定されており、当該プログラムに従つて第1〜第3
のヘツド部21A〜21Cに対応する第1〜第3のパル
スヒータの加熱温度をそれぞれ別個に調整し得るように
なされている。
【0029】システム制御部26は、画像処理情報信号
S10及び温度制御部25から出力された温度信号群S
7に基づいて、内部コンピユータの設定プログラムに応
じた所定の加熱制御情報を温度制御信号S11として温
度制御部25に送出する。温度制御部25は、システム
制御部26から出力された温度制御信号S11に基づい
て第1〜第3のパルスヒータに供給する電力を調整する
ことにより、現時点における第1〜第3のパルスヒータ
を加熱制御し得るようになされている。
S10及び温度制御部25から出力された温度信号群S
7に基づいて、内部コンピユータの設定プログラムに応
じた所定の加熱制御情報を温度制御信号S11として温
度制御部25に送出する。温度制御部25は、システム
制御部26から出力された温度制御信号S11に基づい
て第1〜第3のパルスヒータに供給する電力を調整する
ことにより、現時点における第1〜第3のパルスヒータ
を加熱制御し得るようになされている。
【0030】この実施例の場合、第1〜第3のパルスヒ
ータは図5において特性曲線K1〜K3で示すように、
ACF24の温度特性に応じた時間及び温度で制御され
得る。すなわちACF24は、約0〜50〔℃〕において
は固化状態でなり(以下、これを固体領域と呼ぶ)、約
50〜100 〔℃〕においては液化状態でなり(以下、これ
を液状化領域と呼ぶ)、また約 100〜 200〔℃〕におい
ては約15秒程度経過後に硬化状態となり(以下、これを
遅硬化領域と呼ぶ)、さらに約 150〜 200〔℃〕におい
ては約5秒以内に硬化状態となる(以下、これを速硬化
領域と呼ぶ)ような特性を有する。
ータは図5において特性曲線K1〜K3で示すように、
ACF24の温度特性に応じた時間及び温度で制御され
得る。すなわちACF24は、約0〜50〔℃〕において
は固化状態でなり(以下、これを固体領域と呼ぶ)、約
50〜100 〔℃〕においては液化状態でなり(以下、これ
を液状化領域と呼ぶ)、また約 100〜 200〔℃〕におい
ては約15秒程度経過後に硬化状態となり(以下、これを
遅硬化領域と呼ぶ)、さらに約 150〜 200〔℃〕におい
ては約5秒以内に硬化状態となる(以下、これを速硬化
領域と呼ぶ)ような特性を有する。
【0031】ここで、図6(A)、図7(A)、図8
(A)及び図9(A)に示すように、ビデオカメラ22
及び23における撮像結果は、それぞれ画像処理部27
(図4)を介してモニタMに送出され、これによりマー
ク位置ずれ状態(図6(B)、図7(B)、図8(B)
及び図9(B))が表示される。
(A)及び図9(A)に示すように、ビデオカメラ22
及び23における撮像結果は、それぞれ画像処理部27
(図4)を介してモニタMに送出され、これによりマー
ク位置ずれ状態(図6(B)、図7(B)、図8(B)
及び図9(B))が表示される。
【0032】以下、図5に示す第1〜第3のパルスヒー
タの特性曲線K1〜K3について、図6〜図9に示すモ
ニタMに表示されるACF24の状態変化に伴うマーク
位置ずれ状態の変化と共に説明する。因に、図5におい
ては第1及び第3のパルスヒータは同一の特性を有する
こととし、このとき特性曲線K1及びK3を同一曲線で
表すようにしたが、第1及び第3のパルスヒータの特性
が互いに異なる場合には、これに応じて特性曲線K1及
びK3も別個の曲線として表すようにする。
タの特性曲線K1〜K3について、図6〜図9に示すモ
ニタMに表示されるACF24の状態変化に伴うマーク
位置ずれ状態の変化と共に説明する。因に、図5におい
ては第1及び第3のパルスヒータは同一の特性を有する
こととし、このとき特性曲線K1及びK3を同一曲線で
表すようにしたが、第1及び第3のパルスヒータの特性
が互いに異なる場合には、これに応じて特性曲線K1及
びK3も別個の曲線として表すようにする。
【0033】まず時刻0〜5秒までの間は、第1及び第
3のパルスヒータはACF24が遅硬化領域となる温度
に加熱制御され、第2のパルスヒータはACF24が固
体領域となる温度に加熱制御される。このとき図6
(A)に示すマーク位置ずれ状態は、図6(B)及び図
7(B)に示すようにTCP6の外側両端部が外側方向
すなわちフイルム配列方向に伸張し始めることから、こ
れに伴つて図7(A)に示すように位置合わせマーク5
B及び5Cとこれに対応する位置合わせマーク6D及び
6Eとがそれぞれ重なり合い始める。
3のパルスヒータはACF24が遅硬化領域となる温度
に加熱制御され、第2のパルスヒータはACF24が固
体領域となる温度に加熱制御される。このとき図6
(A)に示すマーク位置ずれ状態は、図6(B)及び図
7(B)に示すようにTCP6の外側両端部が外側方向
すなわちフイルム配列方向に伸張し始めることから、こ
れに伴つて図7(A)に示すように位置合わせマーク5
B及び5Cとこれに対応する位置合わせマーク6D及び
6Eとがそれぞれ重なり合い始める。
【0034】続いて時刻5〜10秒までの間は、第1及び
第3のパルスヒータはACF24が遅硬化領域内を保つ
温度にそれぞれ加熱制御され、第2のパルスヒータはA
CF24が固定領域から液状化領域内に移行する温度に
加熱制御される。このとき図7(A)に示すマーク位置
ずれ状態は、ACF24が液状化領域内を保つ温度に加
熱されれば、図7(B)及び図8(B)に示すようにT
CP6の中央部もフイルム配列方向に伸張し始める。
第3のパルスヒータはACF24が遅硬化領域内を保つ
温度にそれぞれ加熱制御され、第2のパルスヒータはA
CF24が固定領域から液状化領域内に移行する温度に
加熱制御される。このとき図7(A)に示すマーク位置
ずれ状態は、ACF24が液状化領域内を保つ温度に加
熱されれば、図7(B)及び図8(B)に示すようにT
CP6の中央部もフイルム配列方向に伸張し始める。
【0035】さらに時刻10〜15秒までの間は、第1及び
第3のパルスヒータはそのままACF24が遅硬化領域
内を保つ温度にそれぞれ加熱制御される。また第2のパ
ルスヒータは、ACF24が図5に示す固体領域及び液
状化領域内を保つ温度の範囲(以下、これを加熱制御範
囲と呼ぶ)CA内で加熱制御され、これに伴つてTCP
6の中央部のフイルム配列方向に伸張する度合いが調整
される。この結果、図8(A)に示すように位置合わせ
マーク5B及び5Cとこれに対応する位置合わせマーク
6D及び6Eとが重なり合わせることができる。因に、
第2のパルスヒータの加熱制御範囲内の所定温度はTC
P6の精度により種々異なる。
第3のパルスヒータはそのままACF24が遅硬化領域
内を保つ温度にそれぞれ加熱制御される。また第2のパ
ルスヒータは、ACF24が図5に示す固体領域及び液
状化領域内を保つ温度の範囲(以下、これを加熱制御範
囲と呼ぶ)CA内で加熱制御され、これに伴つてTCP
6の中央部のフイルム配列方向に伸張する度合いが調整
される。この結果、図8(A)に示すように位置合わせ
マーク5B及び5Cとこれに対応する位置合わせマーク
6D及び6Eとが重なり合わせることができる。因に、
第2のパルスヒータの加熱制御範囲内の所定温度はTC
P6の精度により種々異なる。
【0036】この後時刻15〜20秒までの間は、第1及び
第3のパルスヒータはACF24が硬化状態になり始
め、さらに速硬化領域内を保つ温度までそれぞれ加熱制
御され、これによりTCP6の外側両端部が硬化状態と
なる。また第2のパルスヒータは、ACF24が速硬化
領域内を保つ温度になるように急激に加熱制御され、こ
れによりTCP6の中央部も硬化状態となる。
第3のパルスヒータはACF24が硬化状態になり始
め、さらに速硬化領域内を保つ温度までそれぞれ加熱制
御され、これによりTCP6の外側両端部が硬化状態と
なる。また第2のパルスヒータは、ACF24が速硬化
領域内を保つ温度になるように急激に加熱制御され、こ
れによりTCP6の中央部も硬化状態となる。
【0037】このときTCP6の中央部は熱膨張により
フイルム配列方向に伸張力を生じるが、既にTCP6の
外側両端部が硬化状態にあるため、TCP6全体がフイ
ルム配列方向に伸張することはない。さらにこのときT
CP6の中央部は熱圧着ヘツド21を圧接又は離間する
方向に伸び応力を生じるが、熱圧着ヘツド21の圧着力
によつて押され込まれるため、TCP6全体が熱圧着ヘ
ツド21を圧接又は離間する方向に伸張することがな
い。従つて図9(A)及び(B)に示すように位置合わ
せマーク5B及び5Cとこれに対応する位置合わせマー
ク6D及び6Eとは位置ずれがない状態に保たれる。続
いて時刻20〜25秒までの間は、TCP6の全域に亘つて
硬化状態となり、熱圧着ヘツド21の加熱を止めること
により熱圧着を終了する。
フイルム配列方向に伸張力を生じるが、既にTCP6の
外側両端部が硬化状態にあるため、TCP6全体がフイ
ルム配列方向に伸張することはない。さらにこのときT
CP6の中央部は熱圧着ヘツド21を圧接又は離間する
方向に伸び応力を生じるが、熱圧着ヘツド21の圧着力
によつて押され込まれるため、TCP6全体が熱圧着ヘ
ツド21を圧接又は離間する方向に伸張することがな
い。従つて図9(A)及び(B)に示すように位置合わ
せマーク5B及び5Cとこれに対応する位置合わせマー
ク6D及び6Eとは位置ずれがない状態に保たれる。続
いて時刻20〜25秒までの間は、TCP6の全域に亘つて
硬化状態となり、熱圧着ヘツド21の加熱を止めること
により熱圧着を終了する。
【0038】以上の構成において、まず前処理工程とし
て図10に示すステツプSP1から当該処理手順に入
り、ステツプSP2においてTCP6上にACF24を
張り付けた後、ステツプSP3においてTCP6を液晶
パネル5に仮固定する。この後ステツプSP4におい
て、熱圧着装置20の圧着受け台4上に液晶パネル5を
載置する。このようにステツプSP1〜SP4は、所定
の駆動制御装置又は人手を介して予め処理される。
て図10に示すステツプSP1から当該処理手順に入
り、ステツプSP2においてTCP6上にACF24を
張り付けた後、ステツプSP3においてTCP6を液晶
パネル5に仮固定する。この後ステツプSP4におい
て、熱圧着装置20の圧着受け台4上に液晶パネル5を
載置する。このようにステツプSP1〜SP4は、所定
の駆動制御装置又は人手を介して予め処理される。
【0039】続いてステツプSP5から本発明による処
理手順に入り、熱圧着装置20は、熱圧着ヘツド21を
加圧シリンダ9の駆動制御によつて下降してTCP6に
圧接した後、ステツプSP6に移る。この状態におい
て、システム制御部26は、ステツプSP6において第
1〜第3の加熱ヘツド21A〜21Cの各パルスヒータ
を加熱制御する。このとき第1及び第3のパルスヒータ
を急速に加熱して約 100〔℃〕に保つようにすると共
に、第2のパルスヒータはゆつくりと加熱してACF2
4が硬化状態にならない程度まで昇温させる。
理手順に入り、熱圧着装置20は、熱圧着ヘツド21を
加圧シリンダ9の駆動制御によつて下降してTCP6に
圧接した後、ステツプSP6に移る。この状態におい
て、システム制御部26は、ステツプSP6において第
1〜第3の加熱ヘツド21A〜21Cの各パルスヒータ
を加熱制御する。このとき第1及び第3のパルスヒータ
を急速に加熱して約 100〔℃〕に保つようにすると共
に、第2のパルスヒータはゆつくりと加熱してACF2
4が硬化状態にならない程度まで昇温させる。
【0040】続いてステツプSP7において、システム
制御部26は、第2のパルスヒータをさらに加熱昇温さ
せて加熱制御範囲CA(図5)内で加熱制御すると共
に、続くステツプSP8においてシステム制御部26
は、予め画像処理部27で認識しておいたマーク位置ず
れ状態に基づいて第2のパルスヒータの加熱温度を制御
した後、ステツプSP9に移る。
制御部26は、第2のパルスヒータをさらに加熱昇温さ
せて加熱制御範囲CA(図5)内で加熱制御すると共
に、続くステツプSP8においてシステム制御部26
は、予め画像処理部27で認識しておいたマーク位置ず
れ状態に基づいて第2のパルスヒータの加熱温度を制御
した後、ステツプSP9に移る。
【0041】このステツプSP9において、システム制
御部26は、位置合わせマーク5B及び5Cとこれに対
応する位置合わせマーク6D及び6Eとが位置合わせさ
れているか否かを判断し、否定結果が得られたときには
ステツプSP7に戻つて、再度第2のパルスヒータの加
熱温度を調整する。これに対してステツプSP9におい
て肯定結果が得られると、システム制御部26は、その
ままステツプSP10に移る。
御部26は、位置合わせマーク5B及び5Cとこれに対
応する位置合わせマーク6D及び6Eとが位置合わせさ
れているか否かを判断し、否定結果が得られたときには
ステツプSP7に戻つて、再度第2のパルスヒータの加
熱温度を調整する。これに対してステツプSP9におい
て肯定結果が得られると、システム制御部26は、その
ままステツプSP10に移る。
【0042】このステツプSP10において、システム
制御部26は、TCP6の外側両端部が硬化状態である
か否かを判断し、否定結果が得られたときには再度ステ
ツプSP10に戻る。これに対してステツプSP10に
おいて肯定結果が得られると、システム制御部26は、
そのままステツプSP11に移つてACF24が速硬化
領域内を保つ温度になるように第1〜第3のパルスヒー
タを加熱制御した後、ステツプSP12に移る。
制御部26は、TCP6の外側両端部が硬化状態である
か否かを判断し、否定結果が得られたときには再度ステ
ツプSP10に戻る。これに対してステツプSP10に
おいて肯定結果が得られると、システム制御部26は、
そのままステツプSP11に移つてACF24が速硬化
領域内を保つ温度になるように第1〜第3のパルスヒー
タを加熱制御した後、ステツプSP12に移る。
【0043】このステツプSP12において、システム
制御部26は第1〜第3のパルスヒータを加熱させるに
あたつて、ACF24が全域に亘つて硬化状態となるま
でに必要な所定の加熱時間が経過したか否かを判断す
る。
制御部26は第1〜第3のパルスヒータを加熱させるに
あたつて、ACF24が全域に亘つて硬化状態となるま
でに必要な所定の加熱時間が経過したか否かを判断す
る。
【0044】このステツプSP12において肯定結果を
得ると、このことはTCP6の外側両端部及び中央部が
全て硬化状態になつたことを表しており、このときシス
テム制御部26はステツプSP13に移つて第1〜第3
のパルスヒータの加熱を停止させて圧着を完了させる。
この後そのままステツプSP14に移つて当該処理手順
を終了する。これに対してステツプSP12において否
定結果が得られると、システム制御部26は、再度ステ
ツプSP12に戻つて必要な所定の加熱時間を経過させ
るようにする。
得ると、このことはTCP6の外側両端部及び中央部が
全て硬化状態になつたことを表しており、このときシス
テム制御部26はステツプSP13に移つて第1〜第3
のパルスヒータの加熱を停止させて圧着を完了させる。
この後そのままステツプSP14に移つて当該処理手順
を終了する。これに対してステツプSP12において否
定結果が得られると、システム制御部26は、再度ステ
ツプSP12に戻つて必要な所定の加熱時間を経過させ
るようにする。
【0045】以上の構成によれば、熱圧着ヘツド21を
フイルム配列方向に第1〜第3のヘツド部21A〜21
Cに3分割してそれぞれに対応して第1〜第3のパルス
ヒータを設け、このうちまず第1及び第3のパルスヒー
タを加熱することにより、TCP6の外側両端部を硬化
状態にする。このときマーク位置ずれ状態をビデオカメ
ラ22及び23により画像認識しておき、当該画像認識
結果に基づいて第2のパルスヒータを加熱制御してTC
P6の中央部の伸張度合いを調整するようにしたことに
より、TCP6及び液晶パネル5の電極パターン6C及
び5Aを位置合わせすることができる。かくして液晶パ
ネル5に対するTCP6の位置合わせを容易にし得る熱
圧着装置を実現することができる。
フイルム配列方向に第1〜第3のヘツド部21A〜21
Cに3分割してそれぞれに対応して第1〜第3のパルス
ヒータを設け、このうちまず第1及び第3のパルスヒー
タを加熱することにより、TCP6の外側両端部を硬化
状態にする。このときマーク位置ずれ状態をビデオカメ
ラ22及び23により画像認識しておき、当該画像認識
結果に基づいて第2のパルスヒータを加熱制御してTC
P6の中央部の伸張度合いを調整するようにしたことに
より、TCP6及び液晶パネル5の電極パターン6C及
び5Aを位置合わせすることができる。かくして液晶パ
ネル5に対するTCP6の位置合わせを容易にし得る熱
圧着装置を実現することができる。
【0046】なお上述の実施例においては、熱圧着ヘツ
ド21を第1〜第3のヘツド部21A〜21Cに3分割
した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、熱
圧着ヘツド21を3分割以外の複数に分割するようにし
ても良い。
ド21を第1〜第3のヘツド部21A〜21Cに3分割
した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、熱
圧着ヘツド21を3分割以外の複数に分割するようにし
ても良い。
【0047】また上述の実施例においては、熱圧着ヘツ
ド21に内蔵される加熱手段としてパルスヒータを用い
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、温度
制御することができるヒータであれば種々のヒータを適
用しても良い。
ド21に内蔵される加熱手段としてパルスヒータを用い
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、温度
制御することができるヒータであれば種々のヒータを適
用しても良い。
【0048】さらに上述の実施例においては、液晶パネ
ル5及びTCP6間に介挿する導電手段として異方性導
電膜24を用いた場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、熱圧着ヘツド21を圧接又は離間する方向の
みに導電性を示すものであれば、例えば樹脂等を用いる
ようにしても良い。
ル5及びTCP6間に介挿する導電手段として異方性導
電膜24を用いた場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、熱圧着ヘツド21を圧接又は離間する方向の
みに導電性を示すものであれば、例えば樹脂等を用いる
ようにしても良い。
【0049】さらに上述の実施例においては、TCP6
の伸張の度合いを熱圧着ヘツド21の加熱制御により調
整する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
加熱制御に加えて圧力制御により調整するようにしても
良い。
の伸張の度合いを熱圧着ヘツド21の加熱制御により調
整する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
加熱制御に加えて圧力制御により調整するようにしても
良い。
【0050】さらに上述の実施例においては、本発明と
して液晶パネル5を用いた場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、プラズマデイスプレイパネル(PD
P)やエレクトロルミネセンス(EL)等の種々の透過
性パネルを適用するようにしても良い。
して液晶パネル5を用いた場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、プラズマデイスプレイパネル(PD
P)やエレクトロルミネセンス(EL)等の種々の透過
性パネルを適用するようにしても良い。
【0051】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、フイルム
状基板を透過性基板の所定位置に仮固定した状態におい
て、複数の第1の電極に並設された複数の加熱手段を有
する圧接手段をフイルム状基板の透過性基板との当接面
に対して裏面側から圧接して、当該複数の加熱手段をそ
れぞれ別個に加熱制御するようにしたことにより、各第
1の電極及び各第2の電極を位置合わせした状態で透過
性基板にフイルム状基板を実装することができる。かく
して透過性基板に対するフイルム状基板の位置合わせを
容易にすると共に、フイルム状基板におけるフアインパ
ターン接続をし得る熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置
を実現することができる。
状基板を透過性基板の所定位置に仮固定した状態におい
て、複数の第1の電極に並設された複数の加熱手段を有
する圧接手段をフイルム状基板の透過性基板との当接面
に対して裏面側から圧接して、当該複数の加熱手段をそ
れぞれ別個に加熱制御するようにしたことにより、各第
1の電極及び各第2の電極を位置合わせした状態で透過
性基板にフイルム状基板を実装することができる。かく
して透過性基板に対するフイルム状基板の位置合わせを
容易にすると共に、フイルム状基板におけるフアインパ
ターン接続をし得る熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置
を実現することができる。
【図1】本発明による熱圧着装置の全体構成の一実施例
を示す略線図である。
を示す略線図である。
【図2】本発明による熱圧着ヘツドによる液晶パネル及
びTCPの熱圧着工程の説明に供する略線図である。
びTCPの熱圧着工程の説明に供する略線図である。
【図3】熱圧着ヘツドによる液晶パネル及びTCPの熱
圧着状態を示す略線図である。
圧着状態を示す略線図である。
【図4】熱圧着装置のシステム制御系の構成の一実施例
を示すブロツク図である。
を示すブロツク図である。
【図5】第1〜第3のパルスヒータにおける異方性導電
膜の温度特性に応じた加熱状態曲線図である。
膜の温度特性に応じた加熱状態曲線図である。
【図6】本発明による熱圧着工程の説明に供する平面図
及び部分的断面図である。
及び部分的断面図である。
【図7】本発明による熱圧着工程の説明に供する平面図
及び部分的断面図である。
及び部分的断面図である。
【図8】本発明による熱圧着工程の説明に供する平面図
及び部分的断面図である。
及び部分的断面図である。
【図9】本発明による熱圧着工程の説明に供する平面図
及び部分的断面図である。
及び部分的断面図である。
【図10】システム制御部による処理手順を示すフロー
チヤートである。
チヤートである。
【図11】従来の熱圧着装置の全体装置を示す略線図で
ある。
ある。
【図12】TCPの構成を示す平面図である。
【図13】液晶パネルの構成を示す平面図である。
1、20……熱圧着装置、4……圧着受け台、5……液
晶パネル、5A、6C……電極パターン、5B、5C、
6D、6E……位置合わせマーク、6……TCP、21
……熱圧着ヘツド、21A……第1のヘツド部、21B
……第2のヘツド部、21C……第3のヘツド部、2
2、23……ビデオカメラ、24……異方性導電膜、2
5……温度制御部、26……システム制御部、27……
画像処理部。
晶パネル、5A、6C……電極パターン、5B、5C、
6D、6E……位置合わせマーク、6……TCP、21
……熱圧着ヘツド、21A……第1のヘツド部、21B
……第2のヘツド部、21C……第3のヘツド部、2
2、23……ビデオカメラ、24……異方性導電膜、2
5……温度制御部、26……システム制御部、27……
画像処理部。
Claims (13)
- 【請求項1】複数の第1の電極が配設されたフイルム状
基板を、上記各第1の電極に対応してそれぞれ第2の電
極が配設された透過性基板に、上記各第1の電極及び上
記各第2の電極が位置合わせして接続するように導電手
段を介して実装する熱圧着実装方法において、 上記フイルム状基板を上記透過性基板の所定位置上に上
記導電手段により仮固定した状態において、上記フイル
ム状基板の上記透過性基板との当接面に対して裏面側か
ら上記複数の第1の電極に並設された複数の加熱手段を
圧接する第1の工程と、 上記複数の加熱手段のうち、外側両端部の加熱手段を中
央部の加熱手段より先に加熱して、上記フイルム状基板
における上記外側両端部の加熱手段との当接部分を硬化
状態にする第2の工程と、 上記中央部の加熱手段を加熱制御することにより、上記
各第1の電極及び上記各第2の電極を位置合わせする第
3の工程とを具えることを特徴とする熱圧着実装方法。 - 【請求項2】上記第2の工程では、 上記各第1の電極及び上記各第2の電極の位置合わせ状
態を撮像手段により撮像し、上記撮像手段による撮像結
果に基づいて、上記複数の加熱手段を加熱制御すること
を特徴とする請求項1に記載の熱圧着実装方法。 - 【請求項3】上記各第1の電極及び上記各第2の電極の
配線導体幅は、それぞれ 100〔μm〕ピツチ以下でなる
ことを特徴とする請求項1に記載の熱圧着実装方法。 - 【請求項4】上記透過性基板は、液晶パネルでなること
を特徴とする請求項1に記載の熱圧着実装方法。 - 【請求項5】上記フイルム状基板は、TCPでなること
を特徴とする請求項1に記載の熱圧着実装方法。 - 【請求項6】上記導電手段は、異方性導電膜でなること
を特徴とする請求項1に記載の熱圧着実装方法。 - 【請求項7】複数の第1の電極が配設されたフイルム状
基板を、上記各第1の電極に対応してそれぞれ第2の電
極が配設された透過性基板に、上記各第1の電極及び上
記各第2の電極が位置合わせして接続するように導電手
段を介して実装する熱圧着実装装置において、 上記フイルム状基板を上記透過性基板の所定位置上に上
記導電手段により仮固定した状態において、上記フイル
ム状基板の上記透過性基板との当接面に対して裏面側か
ら圧接する圧接手段と、 上記圧接手段に設けられ、上記複数の第1の電極に並設
された複数の加熱手段と、 上記複数の加熱手段をそれぞれ別個に加熱制御する加熱
制御手段とを具えたことを特徴とする熱圧着実装装置。 - 【請求項8】上記加熱制御手段は、 上記複数の加熱手段のうち、外側両端部の加熱手段を中
央部の加熱手段より先に加熱して、上記フイルム状基板
における上記外側両端部の加熱手段との当接部分を硬化
状態にした後、 続いて上記中央部の加熱手段を加熱制御することによ
り、上記各第1の電極及び上記各第2の電極を位置合わ
せすることを特徴とする請求項7に記載の熱圧着実装装
置。 - 【請求項9】上記熱圧着実装装置では、 上記各第1の電極及び上記各第2の電極の位置合わせ状
態を撮像する撮像手段を具え、上記撮像手段による撮像
結果に基づいて、上記加熱制御手段は、上記複数の加熱
手段を加熱制御することを特徴とする請求項7に記載の
熱圧着実装装置。 - 【請求項10】上記各第1の電極及び上記各第2の電極
の配線導体幅は、それぞれ 100〔μm〕ピツチ以下でな
ることを特徴とする請求項7に記載の熱圧着実装装置。 - 【請求項11】上記透過性基板は、液晶パネルでなるこ
とを特徴とする請求項7に記載の熱圧着実装装置。 - 【請求項12】上記フイルム状基板は、TCPでなるこ
とを特徴とする請求項7に記載の熱圧着実装装置。 - 【請求項13】上記導電手段は、異方性導電膜でなるこ
とを特徴とする請求項7に記載の熱圧着実装装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3005895A JPH08204329A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3005895A JPH08204329A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08204329A true JPH08204329A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=12293236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3005895A Pending JPH08204329A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08204329A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485012B1 (ko) * | 1997-09-13 | 2005-08-29 | 삼성전자주식회사 | 얼라인 및 핫프레스 겸용 장치 |
-
1995
- 1995-01-25 JP JP3005895A patent/JPH08204329A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485012B1 (ko) * | 1997-09-13 | 2005-08-29 | 삼성전자주식회사 | 얼라인 및 핫프레스 겸용 장치 |
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