JPH08206952A - 曲面研磨具 - Google Patents
曲面研磨具Info
- Publication number
- JPH08206952A JPH08206952A JP29192991A JP29192991A JPH08206952A JP H08206952 A JPH08206952 A JP H08206952A JP 29192991 A JP29192991 A JP 29192991A JP 29192991 A JP29192991 A JP 29192991A JP H08206952 A JPH08206952 A JP H08206952A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- hollow dome
- polishing
- polished
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000013505 freshwater Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 239000013049 sediment Substances 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】被研磨面が球面であっても非球面であっても、
又、モールドレンズのような曲面であっても曲率の変化
に追随して効率よく研磨することができる、構造が簡単
で安価かつ取扱の容易な曲面研磨具を提供すること。 【構成】揺動あるいは角度調整可能な回転軸の端部に固
定された皿の上に弾性材よりなる中空ドームを形成し、
その天井外表面に研磨パッドを密着させると共に、中空
ドーム内へのエアー供給調整手段を設けて中空ドームを
変形させるようにした。
又、モールドレンズのような曲面であっても曲率の変化
に追随して効率よく研磨することができる、構造が簡単
で安価かつ取扱の容易な曲面研磨具を提供すること。 【構成】揺動あるいは角度調整可能な回転軸の端部に固
定された皿の上に弾性材よりなる中空ドームを形成し、
その天井外表面に研磨パッドを密着させると共に、中空
ドーム内へのエアー供給調整手段を設けて中空ドームを
変形させるようにした。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、特にレンズ等の曲面の
研磨等に用いて最適な曲面研磨具に関するものである。
研磨等に用いて最適な曲面研磨具に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般にレンズは、その曲面が単一の球面
レンズと複数の曲面を有する非球面レンズとに分類され
ている。ところで、従来の球面レンズの製造工程は、カ
ーブゼネレーター(ダイヤホイール)にて一定のカーブ
に研削する研削精度が25μ程度の荒研削工程と、ダイ
ヤモンドペレットの貼られたカーブ皿で研削する研削精
度が3μ程度の精研削工程と、前工程と同一のカーブで
研磨パッドが貼られたカーブ皿にて鏡状に研磨する仕上
研磨工程の3工程から構成されている。
レンズと複数の曲面を有する非球面レンズとに分類され
ている。ところで、従来の球面レンズの製造工程は、カ
ーブゼネレーター(ダイヤホイール)にて一定のカーブ
に研削する研削精度が25μ程度の荒研削工程と、ダイ
ヤモンドペレットの貼られたカーブ皿で研削する研削精
度が3μ程度の精研削工程と、前工程と同一のカーブで
研磨パッドが貼られたカーブ皿にて鏡状に研磨する仕上
研磨工程の3工程から構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の方
法は工具の曲面精度をレンズの曲面に転写する方法であ
るため、仕上研磨工程においては前工程と同一の特定の
曲率カーブを有する専用の研磨皿が必要となり、レンズ
の球面の形状に応じて用意すべき研磨皿の数が増え、し
かも取換作業等も面倒であるという欠点があった。
法は工具の曲面精度をレンズの曲面に転写する方法であ
るため、仕上研磨工程においては前工程と同一の特定の
曲率カーブを有する専用の研磨皿が必要となり、レンズ
の球面の形状に応じて用意すべき研磨皿の数が増え、し
かも取換作業等も面倒であるという欠点があった。
【0004】又、この方法では、研磨皿を揺動させつつ
回転させているため、単一の曲面を有する球面レンズし
か研磨することができず、複数の曲面を有する非球面レ
ンズの研磨をこの方法で行うことは不可能であった。
回転させているため、単一の曲面を有する球面レンズし
か研磨することができず、複数の曲面を有する非球面レ
ンズの研磨をこの方法で行うことは不可能であった。
【0005】他方、最近は、NC制御の発達でNC制御
されたバイトによりガラス素材の表面を所望の曲率に切
削することが可能となり、非球面レンズの自動加工への
道が開けて来た。この方法によって切削しても、ミクロ
的に見るとその切削面はバイトの切削跡がギザギザとな
っているため、切削後その表面を同じ非球面の鏡状に平
滑に研磨しなければならないが、非球面を効率よく仕上
研磨する方法は未だ確立されておらず、非球面を仕上研
磨することができる曲面研磨具の出現が強く望まれてい
た。
されたバイトによりガラス素材の表面を所望の曲率に切
削することが可能となり、非球面レンズの自動加工への
道が開けて来た。この方法によって切削しても、ミクロ
的に見るとその切削面はバイトの切削跡がギザギザとな
っているため、切削後その表面を同じ非球面の鏡状に平
滑に研磨しなければならないが、非球面を効率よく仕上
研磨する方法は未だ確立されておらず、非球面を仕上研
磨することができる曲面研磨具の出現が強く望まれてい
た。
【0006】又、最近は眼鏡に使用するプラスチックレ
ンズの需要が増えているが、プラスチックレンズにはフ
ァッション性を重視してますます大口径のレンズが求め
られている。しかしながら、プラスチックレンズは口径
が大きくなるとレンズの縁が厚くなり、それだけ重量も
増加するため、逆に機能性とファッション性に支障が生
じることになる。
ンズの需要が増えているが、プラスチックレンズにはフ
ァッション性を重視してますます大口径のレンズが求め
られている。しかしながら、プラスチックレンズは口径
が大きくなるとレンズの縁が厚くなり、それだけ重量も
増加するため、逆に機能性とファッション性に支障が生
じることになる。
【0007】そこで最近は、プラスチックレンズを成形
する際にレンズの外周部の余分な厚みの部分を前もって
薄く成型する方法が採用され、その成形用として特殊形
状のモールドレンズが必要となってきた。そのため、こ
のモールドレンズの仕上研磨を効率よく行い得る曲面研
磨具の出現も強く望まれていた。
する際にレンズの外周部の余分な厚みの部分を前もって
薄く成型する方法が採用され、その成形用として特殊形
状のモールドレンズが必要となってきた。そのため、こ
のモールドレンズの仕上研磨を効率よく行い得る曲面研
磨具の出現も強く望まれていた。
【0008】本発明は、前記従来の技術の実情に鑑みて
提案されたもので、被研磨面の曲面が球面であっても非
球面であっても、又、モールドレンズのような曲面であ
っても、任意に対応することができ、曲率が変化しても
これに追随して効率よく研磨することができるばかり
か、構造がきわめて簡単で、安価に製作することがで
き、取扱いの容易な曲面研磨具を提供せんとするもので
ある。
提案されたもので、被研磨面の曲面が球面であっても非
球面であっても、又、モールドレンズのような曲面であ
っても、任意に対応することができ、曲率が変化しても
これに追随して効率よく研磨することができるばかり
か、構造がきわめて簡単で、安価に製作することがで
き、取扱いの容易な曲面研磨具を提供せんとするもので
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、揺動あるいは角度調整可能な回転軸の端
部に固定された皿と、その皿の上に形成された弾性材よ
りなる中空ドームと、その中空ドームの天井外表面に密
着された研磨パッドと、回転軸を介して中空ドーム内に
エアーを供給しかつその量を調整するエアー供給調整手
段、とを設けて曲面研磨具を構成したことを特徴とする
もので、さらには、中空ドームを弾性材よりなる肉厚の
基縁部とその基縁部に連続する膜とにより構成せしめた
ことを特徴とするものである。
決するために、揺動あるいは角度調整可能な回転軸の端
部に固定された皿と、その皿の上に形成された弾性材よ
りなる中空ドームと、その中空ドームの天井外表面に密
着された研磨パッドと、回転軸を介して中空ドーム内に
エアーを供給しかつその量を調整するエアー供給調整手
段、とを設けて曲面研磨具を構成したことを特徴とする
もので、さらには、中空ドームを弾性材よりなる肉厚の
基縁部とその基縁部に連続する膜とにより構成せしめた
ことを特徴とするものである。
【0010】
【作用】本発明の曲面研磨具は前記のような手段をもっ
て構成されているので、回転するドーム内にエアーを供
給すると、中空ドームの天井部が膨張して外方に突出す
るので、その突出部を被研磨面に押圧すれば突出した中
空ドームの天井外表面に付着された研磨パッドにより押
圧部が研磨されることになる。又、中空ドーム内のエア
ーを少しずつ抜いていくと、天井部の突出量が徐々に減
少し、研磨パッドによる押圧部が回転中心から徐々に外
方に向って移動するので、被研磨面の曲面に追随しなが
ら全曲面が研磨されることになる。
て構成されているので、回転するドーム内にエアーを供
給すると、中空ドームの天井部が膨張して外方に突出す
るので、その突出部を被研磨面に押圧すれば突出した中
空ドームの天井外表面に付着された研磨パッドにより押
圧部が研磨されることになる。又、中空ドーム内のエア
ーを少しずつ抜いていくと、天井部の突出量が徐々に減
少し、研磨パッドによる押圧部が回転中心から徐々に外
方に向って移動するので、被研磨面の曲面に追随しなが
ら全曲面が研磨されることになる。
【0011】
【実施例】以下、本発明を図1〜図3に示す実施例に基
づいて具体的に説明する。図1は本発明に係わる曲面研
磨具を用いてレンズを研磨する要領を示す一部破断側面
図で、図2はレンズの中心部を、又は図3はレンズの周
辺部を研磨中のレンズと中空ドームの形状との関係を示
す説明図である。
づいて具体的に説明する。図1は本発明に係わる曲面研
磨具を用いてレンズを研磨する要領を示す一部破断側面
図で、図2はレンズの中心部を、又は図3はレンズの周
辺部を研磨中のレンズと中空ドームの形状との関係を示
す説明図である。
【0012】図中、1は被研磨用のレンズで、チャック
2を介して支持具3により支持されている。4は揺動あ
るいは角度調整可能な回転軸で、その端部には皿5が固
定されている。次に6は皿5の上に形成された弾性材よ
りなる中空ドームで、弾性材よりなる肉厚の基縁部7と
その基縁部7に連続する膜8とによりドーム状に形成さ
れており、例えば膜8はゴム、基縁部7はスポンジゴム
製とし、押圧時に弾力によって押圧力を分散させ曲面に
なじみやすいように配慮されている。
2を介して支持具3により支持されている。4は揺動あ
るいは角度調整可能な回転軸で、その端部には皿5が固
定されている。次に6は皿5の上に形成された弾性材よ
りなる中空ドームで、弾性材よりなる肉厚の基縁部7と
その基縁部7に連続する膜8とによりドーム状に形成さ
れており、例えば膜8はゴム、基縁部7はスポンジゴム
製とし、押圧時に弾力によって押圧力を分散させ曲面に
なじみやすいように配慮されている。
【0013】但し、基縁部7と膜8とは一体成形しても
よいし、貼り合せて成形してもよく、内部に適当な空間
9が確保され、この空間9内にエアーが充満されると膜
8が半球状に膨張するようになっていれば良い。10は
中空ドーム6の天井外表面に密着された研磨パッドで、
弾性材よりなる中空ドーム6がその弾性によって変形し
てもそれと一体的に変形し、かつ表面にシワが生じない
よう伸縮性や柔軟性に富んだ不織物が基材として使用さ
れている
よいし、貼り合せて成形してもよく、内部に適当な空間
9が確保され、この空間9内にエアーが充満されると膜
8が半球状に膨張するようになっていれば良い。10は
中空ドーム6の天井外表面に密着された研磨パッドで、
弾性材よりなる中空ドーム6がその弾性によって変形し
てもそれと一体的に変形し、かつ表面にシワが生じない
よう伸縮性や柔軟性に富んだ不織物が基材として使用さ
れている
【0014】11は図示せざるエアー供給源に接続され
たエアー供給用パイプで、連通用リング12を介して回
転軸4の内部に配設されたエアー供給用パイプ13と連
通され、回転軸4が回転中であっても中空ドーム6の空
間9内にエアーを供給し得るようになっている。
たエアー供給用パイプで、連通用リング12を介して回
転軸4の内部に配設されたエアー供給用パイプ13と連
通され、回転軸4が回転中であっても中空ドーム6の空
間9内にエアーを供給し得るようになっている。
【0015】なお、14は中空ドーム6に供給されるエ
アーの量を任意に調整するためのコックである。又、1
5は被研磨面に供給されるスラリー状の遊離砥粒であ
る。上記構成よりなる本発明の曲面研磨具においては、
レンズ1の中心部を研磨するには、レンズ1の中心部の
曲率に応じてエアー供給調整手段であるエアー供給用パ
イプ11、連通用リング12、エアー供給用パイプ13
を介して、空間9内にエアーを供給し、中空ドーム6の
天井部を突出させて、天井外表面に密着された研磨パッ
ド10をレンズ1の被研磨面に押圧して研磨すればよ
い。
アーの量を任意に調整するためのコックである。又、1
5は被研磨面に供給されるスラリー状の遊離砥粒であ
る。上記構成よりなる本発明の曲面研磨具においては、
レンズ1の中心部を研磨するには、レンズ1の中心部の
曲率に応じてエアー供給調整手段であるエアー供給用パ
イプ11、連通用リング12、エアー供給用パイプ13
を介して、空間9内にエアーを供給し、中空ドーム6の
天井部を突出させて、天井外表面に密着された研磨パッ
ド10をレンズ1の被研磨面に押圧して研磨すればよ
い。
【0016】この時、中空ドーム6は回転軸4の回転に
よって回転されるが、回転軸4は揺動あるいは角度調整
可能となっているので、図2に示すように回転軸4を揺
動させながら、あるいは一定の角度を保持させながら回
転させることによりレンズ1の中心部は均一に精度よく
研磨されることになる。次に、コック14を操作して中
空ドーム6内に供給されたエアーの量を徐々に抜いてい
けば図3に示すように、中空ドーム6の突出量が徐々に
減少し、研磨パッド10のレンズ1の被研磨面に押圧さ
れる部分が回転軸4の回転中心から徐々に外周部に移行
しながら被研磨面が全面にわたって研磨されることにな
る。
よって回転されるが、回転軸4は揺動あるいは角度調整
可能となっているので、図2に示すように回転軸4を揺
動させながら、あるいは一定の角度を保持させながら回
転させることによりレンズ1の中心部は均一に精度よく
研磨されることになる。次に、コック14を操作して中
空ドーム6内に供給されたエアーの量を徐々に抜いてい
けば図3に示すように、中空ドーム6の突出量が徐々に
減少し、研磨パッド10のレンズ1の被研磨面に押圧さ
れる部分が回転軸4の回転中心から徐々に外周部に移行
しながら被研磨面が全面にわたって研磨されることにな
る。
【0017】本発明の曲面研磨具は、中空ドーム6の変
形によって、球面でも非球面でも、又その他の曲面であ
っても研磨し得るようにしているが、これはすでに確定
した曲面に研磨パッド10を押圧してその表面を平滑に
するだけであり、それに要する押圧力もそれ程強くはな
いので精度的にも全然問題はない。但、エアー調整供給
手段や回転軸4の揺動機構、あるいは角度付与機構等は
必要に応じ既知の手段を採用して任意に設計することが
できることは言うまでもない。
形によって、球面でも非球面でも、又その他の曲面であ
っても研磨し得るようにしているが、これはすでに確定
した曲面に研磨パッド10を押圧してその表面を平滑に
するだけであり、それに要する押圧力もそれ程強くはな
いので精度的にも全然問題はない。但、エアー調整供給
手段や回転軸4の揺動機構、あるいは角度付与機構等は
必要に応じ既知の手段を採用して任意に設計することが
できることは言うまでもない。
【0018】
【発明の効果】以上具体的に説明したように、本発明に
よれば中空ドーム内に供給されるエアーの量に応じて中
空ドームの天井部の突出量を回転軸が回転中であっても
任意に調整することができるので、被研削面が非球面で
あっても自由に追随して連続的に効率よく研磨すること
ができる。
よれば中空ドーム内に供給されるエアーの量に応じて中
空ドームの天井部の突出量を回転軸が回転中であっても
任意に調整することができるので、被研削面が非球面で
あっても自由に追随して連続的に効率よく研磨すること
ができる。
【0019】又、構造がきわめて簡単で、安価に製作す
ることができると共に、研磨皿等を取り換えることな
く、一台で色々な曲率に対応することができるので、維
持費も安く、取扱いもきわめて容易である等、多くの利
点を有し、実用上きわめて有効かつ応用範囲の広い曲面
研磨具を提供し得るものである。
ることができると共に、研磨皿等を取り換えることな
く、一台で色々な曲率に対応することができるので、維
持費も安く、取扱いもきわめて容易である等、多くの利
点を有し、実用上きわめて有効かつ応用範囲の広い曲面
研磨具を提供し得るものである。
【図1】本発明に係わる曲面研磨具を用いてレンズを研
磨する要領を示す一部破断側面図である。
磨する要領を示す一部破断側面図である。
【図2】図1に示す曲面研磨具を用いてレンズの中心部
を研磨中のレンズと中央ドームの形状との関係を示す説
明図である。
を研磨中のレンズと中央ドームの形状との関係を示す説
明図である。
【図3】図1に示す曲面研磨具を用いてレンズの周辺部
を研磨中のレンズと中央ドームの形状との関係を示す説
明図である。
を研磨中のレンズと中央ドームの形状との関係を示す説
明図である。
1 被研磨用のレンズ 2 チャック 3 支持具 4 回転軸 5 皿 6 中空ドーム 7 基縁部 8 膜 9 空間 10 研磨パッド 11 エアー供給用パイプ 12 連通用リング 13 エアー供給用パイプ 14 コック 15 スラリー状の遊離砥粒 19 小プーリ 20 ベルト 21 トイシ 21A 周面(研削面) 21B 端面(研削面) 22 トイシホルダー 23 ホルダー軸 24 中プーリ 25 トイシ駆動用モータ 26 中プーリ 27 ベルト 28 レール 29 ガイド 30 昇降用ネジ 31 トイシ昇降用モータ 32 小プーリ 33 大プーリ 34 ベルト 35 ドレッサー(X軸方向に対応) 36 ドレッサー(Y軸方向に対応) 37 ドレッサー(Z軸方向に対応) 38 研削水タンク 39 切粉 40 冷却水 41 研削水 42 底面 43 仕切壁 44 液面 45 ポンプ 46 サイクロン 47 清水 48 スラッジ 49 スラッジタンク 50 沈澱物 51 掻き出しシャベル 52 汚水 53 冷却水系 54 冷却ノズル 55 絞り弁 56 洗水系 57 リリーフバルブ 58 洗水 59 ノズル 60 開閉扉 61 電磁開閉弁
Claims (2)
- 【請求項1】 揺動あるいは角度調整可能な回転軸の端
部に固定された皿と、その皿の上に形成された弾性材よ
りなる中空ドームと、その中空ドームの天井外表面に密
着された研磨パッドと、回転軸を介して中空ドーム内に
エアーを供給しかつその量を調整するエアー供給調整手
段、とを有することを特徴とする曲面研磨具。 - 【請求項2】 中空ドームが弾性材よりなる肉厚の基縁
部とその基縁部に連続する膜とにより構成されているこ
とを特徴とする請求項1記載の曲面研磨具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29192991A JPH08206952A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 曲面研磨具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29192991A JPH08206952A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 曲面研磨具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08206952A true JPH08206952A (ja) | 1996-08-13 |
Family
ID=17775298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29192991A Pending JPH08206952A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 曲面研磨具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08206952A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004306190A (ja) * | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Kosumotekku:Kk | 研磨治具用曲率設定装置 |
| JP2005074550A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Kosumotekku:Kk | 研磨治具用曲率設定装置および研磨治具へのエア注入方法 |
| DE102004003131A1 (de) * | 2004-01-15 | 2005-08-11 | Carl Zeiss | Vorrichtung und Verfahren zum Polieren einer optischen Fläche, optisches Bauelement, sowie Verfahren zum Herstellen eines Polierwerkzeugs |
| US7500903B2 (en) | 2002-01-09 | 2009-03-10 | Hoya Corporation | Polishing apparatus |
| JP2011173204A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Hoya Corp | 光学レンズの製造方法 |
| CN102275119A (zh) * | 2010-06-08 | 2011-12-14 | 罗伯特·博世有限公司 | 用于具有旋转振动驱动装置的磨削机的磨削刀具 |
| CN107471103A (zh) * | 2017-08-07 | 2017-12-15 | 东莞华晶粉末冶金有限公司 | 一种陶瓷弧面研磨加工设备及加工方法 |
-
1991
- 1991-10-14 JP JP29192991A patent/JPH08206952A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7500903B2 (en) | 2002-01-09 | 2009-03-10 | Hoya Corporation | Polishing apparatus |
| JP2004306190A (ja) * | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Kosumotekku:Kk | 研磨治具用曲率設定装置 |
| JP2005074550A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Kosumotekku:Kk | 研磨治具用曲率設定装置および研磨治具へのエア注入方法 |
| DE102004003131A1 (de) * | 2004-01-15 | 2005-08-11 | Carl Zeiss | Vorrichtung und Verfahren zum Polieren einer optischen Fläche, optisches Bauelement, sowie Verfahren zum Herstellen eines Polierwerkzeugs |
| US7503834B2 (en) | 2004-01-15 | 2009-03-17 | Carl Zeiss Vision Gmbh | Apparatus and a method of polishing an optical surface; an optical component; and a method of manufacturing a polishing tool |
| JP2011173204A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Hoya Corp | 光学レンズの製造方法 |
| CN102275119A (zh) * | 2010-06-08 | 2011-12-14 | 罗伯特·博世有限公司 | 用于具有旋转振动驱动装置的磨削机的磨削刀具 |
| CN107471103A (zh) * | 2017-08-07 | 2017-12-15 | 东莞华晶粉末冶金有限公司 | 一种陶瓷弧面研磨加工设备及加工方法 |
| CN107471103B (zh) * | 2017-08-07 | 2023-03-14 | 东莞华晶粉末冶金有限公司 | 一种陶瓷弧面研磨加工设备及加工方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW467795B (en) | Wafer transporting device, wafer polishing device and method for making wafers | |
| US7144305B2 (en) | Polishing apparatus | |
| KR100644144B1 (ko) | 폴리싱 기계 및 방법 | |
| JPS643620B2 (ja) | ||
| JP4086722B2 (ja) | 基板保持装置及び研磨装置 | |
| US20150024662A1 (en) | Flexible diaphragm post-type floating and rigid abrading workholder | |
| KR100581708B1 (ko) | 연마 방법 및 연마 장치 | |
| GB2315694A (en) | Wafer polishing machine | |
| US5577950A (en) | Conformal tool operating apparatus and process for an ophthalmic lens finer/polisher | |
| US20070054603A1 (en) | Wafer carrier with pressurized membrane and retaining ring actuator | |
| JPS63300852A (ja) | 光ファイバの端面研磨装置 | |
| CN101262981B (zh) | 抛光方法和抛光装置以及用于控制抛光装置的程序 | |
| TWI236949B (en) | Dressing apparatus and polishing apparatus | |
| US6929534B2 (en) | Polisher and polishing method | |
| JPH08206952A (ja) | 曲面研磨具 | |
| US20050113009A1 (en) | Polishing pad conditioner and chemical mechanical polishing apparatus having the same | |
| US3889426A (en) | Optical lens generating machine having an air rotatable spherical bearing workpiece holder | |
| US7448942B2 (en) | Grinding method | |
| JP2002263998A (ja) | ポリシャ及び研磨方法 | |
| JP3791862B2 (ja) | 研磨装置 | |
| WO2002062523A1 (en) | Surface polishing method and apparatus | |
| JP2003039305A (ja) | 研磨装置 | |
| JPH10151556A (ja) | 光学素材研磨用保持具 | |
| JP2001353650A (ja) | ポリッシャーとこれを用いた光学部品の研磨方法および研磨装置 | |
| US6217419B1 (en) | Chemical-mechanical polisher |