JPH08206984A - 移載ハンド及び移載方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】レンズを、自動で、立て置きのマガジンから横
置きのマガジンに移載することが出来る移載ハンドを提
供する。 【構成】レンズ１２を立て置き状態で安置された状態か
ら、横置き状態で安置された状態に置き変えるための移
載ハンド１００であって、レンズ１２を、立て置き状態
において、外周方向から把持するためのフィンガ１０,
１１を有するハンド１と、レンズ１２を水平状態にする
ために、フィンガ１０,１１を垂直面内で回動させるた
めの回動部２と、回動部２により回動されて水平状態に
なったレンズ１２の表面を吸着して保持するための吸着
具３と、吸着具３を上下動させてレンズ１２を所定の位
置に横置き状態で安置するための上下動シリンダ５とを
具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、円板状の部材を、立て
置きマガジンから横置きマガジンに移し換えるための移
載ハンド及び移載方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】レンズ等の光学部品を製造する場合に
は、最終工程において、ガラスやプラスチック等から精
密に製造されたレンズの本体に、反射防止膜や光の透過
性を調整するための光学膜等のコーティングを施すこと
が行われる。そして、このコーティングを施すために
は、その前工程でレンズの本体を洗浄することが必要と
なる。

【０００３】このレンズの洗浄を行う場合には、レンズ
の両面を均等に洗浄するために、レンズを立て置きにし
た状態で行うのが一般的である。なぜならば、レンズを
横置きにしたままでレンズの両面を洗浄しようとする
と、レンズの上下から洗浄液を吹きかけなければなら
ず、レンズの両面を均等に洗浄するのが難しくなると共
に、洗浄装置や洗浄に使用される治具等も複雑になるか
らである。従って、この洗浄工程では、レンズを立て置
き状態で多数保持する立て置きマガジンが使用される。

【０００４】一方、光学膜等のコーティングは、真空蒸
着等により行われるため、レンズの表面に光学膜を均等
に形成するためには、レンズを横置きにする必要があ
り、レンズの片面ずつコーティングが行われる。従っ
て、レンズをコーティング工程に送るときには、レンズ
を横置き状態で多数保持する横置きマガジンが使用され
る。

【０００５】すなわち、レンズを洗浄工程からコーティ
ングの工程に送る場合には、レンズを立て置きマガジン
から横置きマガジンに移し換える必要があり、従来、こ
の作業は人手によって行われていた。そのため、人手に
よる作業に時間がかかり生産タクトが長くなり、生産性
を向上させるためには、この置き換え作業を自動で行う
ことが要望されていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来より、このように
別々のマガジン間でレンズ等を自動で移載する装置がな
かったわけではなく、例えば特公昭５７−５８２５７号
に開示されているような移載装置が知られている。しか
しながら、この装置では、横置きのレンズを別のマガジ
ンに横置きで移載することはできるが、立て置きのレン
ズを横置きに置き換えるということは出来なかった。

【０００７】したがって、本発明は上述した課題に鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、円板
状の部材を、自動で、立て置きのマガジンから横置きの
マガジンに移載することが出来る移載ハンド及び移載方
法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる移載ハンドは、
略円板状に形成された円板状部材を立て置き状態で安置
された状態から、横置き状態で安置された状態に置き変
えるための移載ハンドであって、前記円板状部材を、前
記立て置き状態において、外周方向から把持するための
把持爪を有する把持手段と、前記円板状部材を水平状態
にするために、前記把持手段を垂直面内で回動させるた
めの回動手段と、該回動手段により回動されて水平状態
になった前記円板状部材の表面を吸着して保持するため
の吸着手段と、該吸着手段を上下動させて前記円板状部
材を所定の位置に横置き状態で安置するための上下動手
段とを具備することを特徴としている。

【０００９】また、この発明に係わる移載ハンドにおい
て、前記把持手段は、前記円板状部材を前記立て置き状
態で把持するときに、前記把持爪を前記円板状部材の外
周部に対してわずかな隙間を残して把持する様に動作さ
せることを特徴としている。

【００１０】また、この発明に係わる移載ハンドにおい
て、前記把持爪は、前記円板状部材が水平になった状態
において、該円板状部材を下方から支持するテーパ部を
有し、前記円板状部材は、前記テーパ部によりセンタリ
ングされることを特徴としている。

【００１１】また、この発明に係わる移載ハンドにおい
て、前記把持手段の把持爪の移動量と、前記上下動手段
による前記吸着手段の上下動量は、ＮＣ制御により調節
されることを特徴としている。

【００１２】また、この発明に係わる移載ハンドにおい
て、前記把持爪は、前記ＮＣ制御により、前記円板状部
材の外周部を把持する第１の位置と、前記円板状部材の
外周部をわずかな隙間を持った状態で把持する第２の位
置と、前記円板状部材の把持を解除する第３の位置とに
移動されることを特徴としている。

【００１３】また、本発明の移載方法は、略円板状に形
成された円板状部材を立て置き状態で安置された状態か
ら、横置き状態で安置された状態に置き変えるための移
載方法であって、前記円板状部材を、前記立て置き状態
において、把持爪により外周方向から把持する把持工程
と、前記円板状部材を水平状態にするために、前記把持
爪を垂直面内で回動させる回動工程と、該回動工程によ
り回動されて水平状態になった前記円板状部材の表面を
吸着部材により吸着して保持するための吸着工程と、前
記吸着部材を上下動させて前記円板状部材を所定の位置
に横置き状態で安置する安置工程とを具備することを特
徴としている。

【００１４】また、この発明に係わる移載方法におい
て、前記把持爪は、前記円板状部材を前記立て置き状態
で把持するときに、前記円板状部材の外周部に対してわ
ずかな隙間を残して把持することを特徴としている。

【００１５】また、この発明に係わる移載方法におい
て、前記把持爪は、前記円板状部材が水平になった状態
において、該円板状部材を下方から支持するテーパ部を
有し、前記円板状部材は、前記テーパ部によりセンタリ
ングされることを特徴としている。

【００１６】また、この発明に係わる移載方法におい
て、前記把持爪の移動量と、前記吸着部材の上下動量
は、ＮＣ制御により調節されることを特徴としている。

【００１７】また、この発明に係わる移載方法におい
て、前記把持爪は、前記ＮＣ制御により、前記円板状部
材の外周部を把持する第１の位置と、前記円板状部材の
外周部をわずかな隙間を持った状態で把持する第２の位
置と、前記円板状部材の把持を解除する第３の位置とに
移動されることを特徴としている。

【００１８】

【作用】以上のようにこの発明に係わる移載ハンド及び
移載装置は構成されているので、この移載ハンドを装着
されたロボットが移動している途中で、円板状部材を立
てた状態から横にした状態に位置変換でき、そのまま吸
着手段で吸着して、横置きのマガジンに載置することが
できるので、生産タクトを飛躍的に短縮することができ
る。

【００１９】また、円板状部材を把持手段で把持した状
態で、把持爪のテーパ部を利用して円板状部材の自重に
よりセンタリングすることができるので、吸着手段によ
り横置きマガジンに載置するときに正確な位置に挿入す
ることができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例について、添付
図面を参照して詳細に説明する。 （第１の実施例）図１は第１の実施例の移載ハンドの構
造を示す側面図で、１はハンド、２はハンド１を回転中
心軸ｃの回りに、図中二点鎖線で示した位置から実線で
示した位置まで回動する回動部、３はレンズ１２を吸着
する吸着具で材質は硬質テフロンである。４は中空のロ
ッドで先端に吸着具３を固定した状態で上下動可能な摺
動ロッド、５は摺動ロッド４を、ブシュ６に対し上下方
向に駆動するシリンダであり、このシリンダ５には上端
ストッパ７と下端ストッパ８が設けられている。

【００２１】回動部２にはドグ２１が取り付けられてお
り、ハンド１が図中二点鎖線で示した第１の回動位置に
あるときには、ドグ２１は、第１回動位置センサ２０で
検出され、ハンド１が図中実線で示した第２の回動位置
にあるときには、ドグ２１は第２回動位置センサ１９で
検出される。

【００２２】ハンド１には、フィンガ１０,１１が取り
付けられ、レンズ１２を図２のように３点でレンズとフ
ィンガの間にすきまをつくった状態で把持する。また、
フィンガ１０,１１の先端は、図１において実線で示し
た第１の回動位置で、摺動ロッド４の上下動に干渉しな
いよう加工されていてる（図２参照）。また、フィンガ
１０,１１は剛性を高め、高精度に開閉するように、Ｌ
Ｍガイド１３で連結されている。さらに、１８はフィン
ガ１０,１１が閉じた状態（レンズを把持した状態）に
あるか開いた状態（レンズの把持を解除した状態）にあ
るかを検出するハンド把持センサである。

【００２３】また１４はロボット２００に図３のように
配置されたロボットアームで、レンズ移載ハンド１００
は、ロボットアーム１４の先端に取付けられる。図３に
おいて、１５はマガジン載置台で、その上には、レンズ
立て置きマガジン１６、レンズ横置きマガジン１７が図
示されないマガジン搬送装置により順次搬送される。各
マガジン１６，１７の平面図は、図５のようになってお
り、レンズ１２がマトリックス状に配置可能になってい
る。

【００２４】以上のような構成をとることにより、洗浄
工程を終えた立て置きマガジン１６内のレンズを、成膜
（コーティング）工程に送るために、横置きマガジン１
７内に移載する動作を以下に図７のフローチャートにそ
って説明する。

【００２５】まず、プログラムがスタートすると、ステ
ップＳ１において、ハンド１が把持解除状態にあるかと
いうことと回動部２が第１の回動位置にあるかというこ
とをハンド把持センサ１８と、第１回動位置センサ２０
で確認する。その後、ロボット２００により、レンズ移
載ハンド１００を移動させ（ステップＳ２，ステップＳ
３）、縦置きマガジン１６内で、レンズ１２を１個把持
するべく図４のように水平微小移動（ステップＳ４）さ
せる。そして、図示されない電磁弁がＯＮすることによ
り、ハンド１のフィンガ１０，１１が閉じ、レンズ１２
を把持する（ステップＳ５）。このときフィンガ１０，
１１は、ハンド１の開閉量を調整できるストッパ２３に
当接する。フィンガ１０，１１が閉じたことをハンド把
持センサ１８で確認後（ステップＳ６）、ロボット２０
０により、レンズ移載ハンド１００を上昇させる（ステ
ップＳ７）。その後、図示されない電磁弁をＯＮして、
吸着具３の吸引を開始し（ステップＳ８）、回動部２を
第２の回動位置へ回動しながら（ステップＳ９）、ロボ
ット２００により、レンズ移載ハンド１００を、横置き
マガジン１７のレンズ挿入位置へ移動する（ステップＳ
１０）。ロボット２００による移動中に第２の回動位置
に到達したかどうかの確認（ステップＳ１１）を第２回
動位置センサ１９で行う。

【００２６】このハンド１の回動中に、吸着具３の軸心
に対して、レンズ１２の軸心が合い、回動終了と同時
に、レンズ１２は吸着具３に吸着される。吸着具３と第
２の回動位置でのレンズ１２の距離は図８に示すように
０．５〜１ｍｍ程度になるようにストッパ７により吸着
具３の位置を調節する。

【００２７】レンズ１２を把持した状態でのフィンガ１
０，１１の位置は、ハンド１内のストッパ２３により、
レンズ径に対し、０．０１ｍｍ程度すきまが生ずるよう
に調整されており、レンズ１２の軸心が吸着具３の軸心
に合う様になされている。また、フィンガ１０,１１に
は、図１，図４，図６から分かるように、洗浄カゴ（立
て置きマガジン）１６内で設置ガタが考えられるレンズ
１２を容易に把持できるように、テーパ部１０ａ,１１
ａ形成されている。テーパ部１０ａ,１１ａは、ハンド
１が図１の第１の回動位置から第２の回動位置へ回動す
る過程において、レンズ１２がハンド１に把持されてる
ことにより、自重によりセンタリングされるよう機能す
る。さらに吸着具３のテーパ部でレンズ１２を吸着する
ことにより、レンズ１２が吸着具３にセンタリングされ
吸着される（図８）。レンズ１２の吸着が、図示されな
い吸着センサにより確認される（ステップＳ１２）。

【００２８】次に、レンズ１２の把持解除（ステップＳ
１３）が行われ、センサ１８で解除を確認後、吸着具３
を上下動シリンダ５により下降させレンズ１２を横置き
パレット１７に挿入する（ステップＳ１５）。このと
き、シリンダ５の下降端センサ２２により、挿入良否の
判定を行なう。例えば、センサ２２がシリンダ下降を検
出すればレンズ１２の挿入は良とする。逆に、検出しな
ければ、レンズ１２が挿入穴にかじったりして、正確に
挿入されていないと判定し、ＮＧとなる。

【００２９】挿入方法に関して、もう１つ方法がある。
これは、シリンダ５の下降を下降端センサ２２により、
検出した後（図６）、ロボット２００の下降により挿入
を行なう方法である。この挿入は、ＮＣ制御により行わ
れるため、よりスムーズな挿入が行える。また、アプリ
ケーション上で、挿入スピードを可変できる。

【００３０】上記の、シリンダ５の下降、及びロボット
２００の下降は、吸着力、レンズ重量を考慮した上で、
最適な加減速移動を行なうようにする。例えば、シリン
ダ下降の場合、加減速が大きすぎると、レンズ１２の吸
着がはずれ、レンズが落下したりする。最適な加減速を
得るために、シリンダ５においてはスピードコントロー
ラ２４の調整が行われ、ロボット２００においてはアプ
リケーション上の設定が行なわれる。

【００３１】ロボット２００による挿入の場合の良否の
判定は、ロボット上下軸の電流値を常に測定管理するこ
とにより行なわれる。例えば、ロボット上下の電流値
は、図９のような波形となる。挿入が否のときは、レン
ズ１２が、挿入穴に衝突し、図１０のような電流波形を
示すため、大きな電流変動がおこる。これにより挿入ミ
スを検出できる。また、加速度センサを吸着具３に設置
して、加減速を測定管理することにより、挿入良否の判
定が可能である。

【００３２】挿入動作が終了後、吸着を解除する前に、
再度吸着の確認を行ない、挿入の良を確認して（ステッ
プＳ１８）、吸着を解除する（ステップＳ１９）。この
あと、ロボット２００が上昇し、回動部２が第１の位置
へ移動して（ステップＳ２０，ステップＳ２１）、一連
の動作を終了する。 （第２の実施例）図１１は、第２の実施例の移載ハンド
の構成を示しており、レンズ移載ハンドにＮＣハンド２
５、ＮＣ上下機構３５を用いたものである。なお、この
第２の実施例では第１の実施例と共通する部分が多いの
で、同一機能部分には同一符号を付して、その説明を省
略する。

【００３３】図１１において、２５はＮＣハンドであ
り、Ｍ1はＮＣハンド２５内のモータ、Ｅ2はモータＭ1
の回転量検出のためのエンコーダ、２６はモータの駆動
をボールネジ２７に伝達するためのプーリ・ベルトであ
る。また、ボールネジ２７には逆ネジが切ってあり、モ
ータＭ1の回転によって、フィンガ１０，１１は互いに
逆方向に動作し、レンズ１２の把持、及び把持解除がで
きる。

【００３４】３５はＮＣ上下機構を表しており、Ｍ2は
モータ、Ｅ2はエンコーダである。３０はボールネジナ
ット３２にモータＭ2の回転を伝えるプーリベルトであ
る。ボールネジナット３２が回転することにより、ボー
ルネジ３１が上下動する。またボールネジ３１は、中空
構造になっていて、下端にレンズ１２吸着のための吸着
具３（硬質テフロン）、上端に配管３３がついて真空を
引いている。モータＭ1，Ｍ2、エンコーダＥ1，Ｅ2は制
御装置４６に接続されており、この制御装置４６によ
り、モータの位置制御が行なわれる。

【００３５】図１２は、図１１の制御装置４６のブロッ
ク構成図である。

【００３６】５０は中央演算処理装置（ＣＰＵ）であ
り、５２はＣＰＵとバス結合され、一連の制御アルゴリ
ズムのプログラム及びマンマシーンインターフェースプ
ログラムを含む不揮発性のメモリ（ＲＯＭ）である。５
４は教示データを記憶可能な電源バックアップされたメ
モリ（ＲＡＭ）である。５６はサーボモータ５８と連結
されたエンコーダ６０に接続され、サーボモータ５８の
現在位置をカウントするカウンタ。

【００３７】６２はサーボモータ５８とトルクアンプ６
４を通して接続されるＤ／Ａコンバータであり、ＣＰＵ
５０の指示で電流指示をトルクアンプ６４へ出力する。

【００３８】６６は他の制御装置６８、ソレノイドバル
ブ７０、センサー７２等の情報をＣＰＵ５０へ取り込む
ためのＩ／Ｏインタフェースである。

【００３９】７４は、外部教示装置７６、表示装置７
８、入力キーボード８０とＣＰＵ５０とを結ぶ通信用イ
ンターフェースである。

【００４０】ＲＯＭ、ＲＡＭ、カウンタ、コンバータ、
Ｉ／Ｏ、Ｉ／Ｆ、はバス８２によってＣＰＵ５０と接続
している。

【００４１】次に、レンズ移載ハンド（図１１）の動作
を図１３乃至図１５のフローチャートに従って説明す
る。

【００４２】洗浄工程を終えた立て置きマガジン１６内
のレンズを、成膜（コーティング）工程に送るための横
置きマガジン１７に移載するのに、まず、図１２の制御
装置４６内のデータメモリＲＡＭへ、レンズの径、コバ
厚、曲率、重量などのレンズデータを読み込む（ステッ
プＳ３１）。その後、このレンズデータにより、モータ
Ｍ1，Ｍ2が回転し、ハンド１、吸着具３が初期位置へ移
動する（ステップＳ３２,ステップＳ３３）。次にハン
ド回動部２が第１回動位置へ回動し（ステップＳ３
４）、同時にロボットアーム１４が、立て置きマガジン
１６上へ水平移動する（ステップＳ３５）。ハンド１が
ロボットアーム１４により位置決めされた後、第１の回
動位置確認を行なう（ステップＳ３６）。センサ２０が
ドグ２１によりＯＮしてるのを確認した後、ロボットア
ーム１４を下降させ（ステップＳ３７）、図４のような
レンズのハンドリング動作を行なう（ステップＳ３８〜
ステップＳ４０）。

【００４３】このとき、レンズ１２の把持は、図１２の
制御装置のアンプに流れる電流変化により、確認でき
る。レンズ把持確認後（ステップＳ４１）、ロボットが
上昇して（ステップＳ４２）、図１２のソレノイドバル
ブ７０をＯＮすることにより、図示されない真空装置に
より、吸着動作が始まる（ステップＳ４３）。第２回動
位置への回動開始（ステップＳ４４）と同時にロボット
アーム１４が横置きマガジン１７上へ移動し（ステップ
Ｓ４５）、センサ１９により、第２回動位置の確認を行
なう（ステップＳ４６）。確認後に、モータＭ1を微小
回転することにより、読み込まれたレンズ径よりハンド
を微小量開き、モータＭ2を微小回転することにより、
読み込まれたレンズコバ厚、曲率から算出したレンズ表
面位置に吸着具を微小接近させる（ステップＳ４７,ス
テップＳ４８）。

【００４４】このとき、レンズ１２、フィンガ１０,１
１、吸着具３の関係は図８のようになり、レンズ１２
は、フィンガ１０,１１のテーパ面１０ａ,１１ａで自重
によりセンタリングされると同時に、軸芯の合った吸着
具３に吸着される。

【００４５】図示されない吸着センサがＯＮしたのを確
認して、モータＭ1が回転し（ステップＳ５１）、フィ
ンガ１０,１１が開く（ステップＳ５１）。このとき、
レンズが余裕をもって上下動できるようにフィンガ１
０,１１は全開している。ロボットアーム１４が下降す
ると共に、モータＭ2が回転し（ステップＳ５２,ステッ
プＳ５３）、吸着具３が下降し（ステップＳ５４）、図
６のような状態になり、レンズを横置きマガジン１７に
挿入する。ロボットアーム１４と吸着具３が同時下降す
るとき、記憶されてる吸着力と、ＲＡＭから読み込まれ
たレンズ重量を用いて、吸着がはずれないような下降時
の加速度を算出し、下降する。下降後、吸着センサによ
り、レンズが吸着されているのを確認して（ステップＳ
５５）、レンズ１２の挿入が正常と判断し、吸着を解除
する（ステップＳ５６）。ロボットアーム１４が上昇
し、立て置きマガジン１６から横置きマガジン１７内へ
のレンズの移載の一連の動作を終了する。

【００４６】また、レンズの機種変えがおこったとき
は、図１２のキーボード８０により、機種データをＲＡ
Ｍ５４に読み込むことにより、上記の一連の動作が可能
でＮＣ化により、レンズの機種変えに柔軟に対応でき
る。例えば、図１６(ａ),(ｂ)のような凸レンズや凹レ
ンズに対して、移載作業を柔軟に切り換えられる。

【００４７】以上説明したように、上述した実施例によ
れば、以下の効果が得られる。 （１）立て置きマガジンから横置きマガジンへのレンズ
の移載を自動化でき、生産性が向上できる。 （２）ＮＣ化により、レンズの機種変えに柔軟に対応で
き、多品種少量生産及び、変動生産が可能となる。 （３）レンズをつかんだままで仮位置決めすることがで
きる。 （４）レンズを立てた状態から横にした状態へ位置変換
すると同時にセンタリングされたレンズを吸着できる。 （５）ハンドが退避する必要がなく、フィンガのわずか
な開閉により、吸着部がレンズの挿入動作を行える。 以上により、レンズ移載の生産タクトを短縮することが
できる。

【００４８】尚、本発明は、複数の機器から構成される
システムに適用しても、１つの機器から成る装置に適用
しても良い。また、本発明はシステム或は装置にプログ
ラムを供給することによって達成される場合にも適用で
きることはいうまでもない。また、本発明はその趣旨を
逸脱しない範囲で、上記実施例を修正または変形したも
のに適用可能である。

【００４９】例えば、上記実施例では、移載されるワー
クとしてレンズを例に上げて説明したが、これに限定さ
れることなく、レンズのような略円板状のワークで、立
て置き状態から横置き状態に移載することが必要なもの
であれば、どのようなものにも適用可能である。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように本発明の移載ハンド
及び移載装置によれば、この移載ハンドを装着されたロ
ボットが移動している途中で、円板状部材を立てた状態
から横にした状態に位置変換でき、そのまま吸着手段で
吸着して、横置きのマガジンに載置することができるの
で、生産タクトを飛躍的に短縮することができる。

【００５１】また、円板状部材を把持手段で把持した状
態で、把持爪のテーパ部を利用して円板状部材の自重に
よりセンタリングすることができるので、吸着手段によ
り横置きマガジンに載置するときに正確な位置に挿入す
ることができる。

【００５２】

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例のレンズ移載ハンドの構造を示す
側面図である。

【図２】図１を下方から見た図である。

【図３】移載ハンドが取り付けられるロボットを示す図
である。

【図４】立て置きマガジンにおいて、フィンガによりレ
ンズを把持する様子を示した図である。

【図５】立て置きマガジンと横置きマガジンを上方から
みた平面図である。

【図６】フィンガの把持を解除して、吸着具によりレン
ズを横置きマガジンに挿入する様子を示した図である。

【図７】レンズを移載する動作を示すフローチャートで
ある。

【図８】吸着具によりレンズを吸着するときの、レンズ
と吸着具及びフィンガとのクリアランスを示す図であ
る。

【図９】レンズを横置きマガジンに挿入するときのロボ
ット上下軸の電流値の変化を示す図である。

【図１０】レンズを横置きマガジンに挿入するときのロ
ボット上下軸の電流値の変化を示す図である。

【図１１】第２の実施例のレンズ移載ハンドの構造を示
す図である。

【図１２】レンズ移載ハンドの制御装置のブロック図で
ある。

【図１３】レンズを移載する動作を示すフローチャート
である。

【図１４】レンズを移載する動作を示すフローチャート
である。

【図１５】レンズを移載する動作を示すフローチャート
である。

【図１６】レンズの形状を示した図である。

【符号の説明】

１ ハンド ２ 回動部 ３ 吸着具 ４ 摺動ロッド ５ シリンダ ６ ブシュ ７ 上端ストッパ ８ 下端ストッパ １０,１１ フィンガ １２ レンズ １３ ＬＭガイド １４ ロボットアーム １５ マガジン載置台 １６ 立て置きマガジン １７ 横置きマガジン １８ 把持センサ １９ 第２回動位置センサ ２０ 第１回動位置センサ ２１ ドグ ２２ 下降端センサ ２３ ストッパ ２５ ＮＣハンド ２６ プーリベルト ２７ ボールネジ ３０ プーリベルト ３２ ボールネジナット ３３ 配管 ４６ 制御装置

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 略円板状に形成された円板状部材を立て
   置き状態で安置された状態から、横置き状態で安置され
   た状態に置き変えるための移載ハンドであって、 前記円板状部材を、前記立て置き状態において、外周方
   向から把持するための把持爪を有する把持手段と、 前記円板状部材を水平状態にするために、前記把持手段
   を垂直面内で回動させるための回動手段と、 該回動手段により回動されて水平状態になった前記円板
   状部材の表面を吸着して保持するための吸着手段と、 該吸着手段を上下動させて前記円板状部材を所定の位置
   に横置き状態で安置するための上下動手段とを具備する
   ことを特徴とする移載ハンド。
2. 【請求項２】 前記把持手段は、前記円板状部材を前記
   立て置き状態で把持するときに、前記把持爪を前記円板
   状部材の外周部に対してわずかな隙間を残して把持する
   様に動作させることを特徴とする請求項１に記載の移載
   ハンド。
3. 【請求項３】 前記把持爪は、前記円板状部材が水平に
   なった状態において、該円板状部材を下方から支持する
   テーパ部を有し、前記円板状部材は、前記テーパ部によ
   りセンタリングされることを特徴とする請求項２に記載
   の移載ハンド。
4. 【請求項４】 前記把持手段の把持爪の移動量と、前記
   上下動手段による前記吸着手段の上下動量は、ＮＣ制御
   により調節されることを特徴とする請求項１に記載の移
   載ハンド。
5. 【請求項５】 前記把持爪は、前記ＮＣ制御により、前
   記円板状部材の外周部を把持する第１の位置と、前記円
   板状部材の外周部をわずかな隙間を持った状態で把持す
   る第２の位置と、前記円板状部材の把持を解除する第３
   の位置とに移動されることを特徴とする請求項４に記載
   の移載ハンド。
6. 【請求項６】 略円板状に形成された円板状部材を立て
   置き状態で安置された状態から、横置き状態で安置され
   た状態に置き変えるための移載方法であって、 前記円板状部材を、前記立て置き状態において、把持爪
   により外周方向から把持する把持工程と、 前記円板状部材を水平状態にするために、前記把持爪を
   垂直面内で回動させる回動工程と、 該回動工程により回動されて水平状態になった前記円板
   状部材の表面を吸着部材により吸着して保持するための
   吸着工程と、 前記吸着部材を上下動させて前記円板状部材を所定の位
   置に横置き状態で安置する安置工程とを具備することを
   特徴とする移載方法。
7. 【請求項７】 前記把持爪は、前記円板状部材を前記立
   て置き状態で把持するときに、前記円板状部材の外周部
   に対してわずかな隙間を残して把持することを特徴とす
   る請求項６に記載の移載方法。
8. 【請求項８】 前記把持爪は、前記円板状部材が水平に
   なった状態において、該円板状部材を下方から支持する
   テーパ部を有し、前記円板状部材は、前記テーパ部によ
   りセンタリングされることを特徴とする請求項７に記載
   の移載方法。
9. 【請求項９】 前記把持爪の移動量と、前記吸着部材の
   上下動量は、ＮＣ制御により調節されることを特徴とす
   る請求項６に記載の移載方法。
10. 【請求項１０】 前記把持爪は、前記ＮＣ制御により、
    前記円板状部材の外周部を把持する第１の位置と、前記
    円板状部材の外周部をわずかな隙間を持った状態で把持
    する第２の位置と、前記円板状部材の把持を解除する第
    ３の位置とに移動されることを特徴とする請求項９に記
    載の移載方法。