JPH08208003A - 基板搬送用フィンガ - Google Patents
基板搬送用フィンガInfo
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- JPH08208003A JPH08208003A JP3293795A JP3293795A JPH08208003A JP H08208003 A JPH08208003 A JP H08208003A JP 3293795 A JP3293795 A JP 3293795A JP 3293795 A JP3293795 A JP 3293795A JP H08208003 A JPH08208003 A JP H08208003A
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- JP
- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィンガの厚みおよび重量を増すことなくそ
の剛性を向上させることを目的とする。 【構成】 平板状のフィンガ本体１を水平に片持ちして
その上に基板を載せて搬送するフィンガにおいて、該フ
ィンガ本体の横断面形状を自由端側を第１の形状Ａ、固
定端側を第２の形状Ｂとし、第２の形状を第１の形状に
比べ断面積を大きくし、かつ固定端と基板重心支持位置
との距離の内、前記第１の形状の部分Ｌ1と第２の形状
の部分Ｌ2 の占める割合を１：１．３〜１：３．４に設
定する。
の剛性を向上させることを目的とする。 【構成】 平板状のフィンガ本体１を水平に片持ちして
その上に基板を載せて搬送するフィンガにおいて、該フ
ィンガ本体の横断面形状を自由端側を第１の形状Ａ、固
定端側を第２の形状Ｂとし、第２の形状を第１の形状に
比べ断面積を大きくし、かつ固定端と基板重心支持位置
との距離の内、前記第１の形状の部分Ｌ1と第２の形状
の部分Ｌ2 の占める割合を１：１．３〜１：３．４に設
定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶用ガラス基板等の
基板を搬送するフィンガに関する。
基板を搬送するフィンガに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス基板搬送用フィンガとして
は、実開平５−１２３７や実開平５−５０７３７、特開
平２−１４８７５２に記載されたものが知られている。
は、実開平５−１２３７や実開平５−５０７３７、特開
平２−１４８７５２に記載されたものが知られている。
【０００３】しかしながら、上記実開平５−１２３７の
ものは、フィンガの断面形状がロボット固定部側から先
端側まで同一であるので、大型ガラス基板に対応するた
めフィンガを大型化するとフィンガの重量が増加する。
このため重量を軽くするためにアルミニウム等の軽量材
料を使用すると剛性が低下し、たわみ量が増えたり、搬
送中に振動を発生したりする。また、これとは別に、ガ
ラス基板収納用のカセットのガラス基板の収納ピッチを
小さくすれば収納効率が上がるが、この時フィンガの剛
性が小さいとガラス基板を把持したときにフィンガ自体
のたわみによって収納が不可能になってしまうことが考
えられる。
ものは、フィンガの断面形状がロボット固定部側から先
端側まで同一であるので、大型ガラス基板に対応するた
めフィンガを大型化するとフィンガの重量が増加する。
このため重量を軽くするためにアルミニウム等の軽量材
料を使用すると剛性が低下し、たわみ量が増えたり、搬
送中に振動を発生したりする。また、これとは別に、ガ
ラス基板収納用のカセットのガラス基板の収納ピッチを
小さくすれば収納効率が上がるが、この時フィンガの剛
性が小さいとガラス基板を把持したときにフィンガ自体
のたわみによって収納が不可能になってしまうことが考
えられる。
【０００４】剛性を向上させる手段としては、他にフィ
ンガの厚みを増すことも考えられるが、カセットピッチ
の制約があり難しい。
ンガの厚みを増すことも考えられるが、カセットピッチ
の制約があり難しい。
【０００５】また、実開平５−５０７３７のものは、フ
ィンガの断面が固定部と先端部で異なるがこれはフィン
ガが基板等を吸着もしくは、解放するときに基板以外の
他の部材（コンベア等）と干渉しないためのものであ
る。さらに、特開平２−１４８７５２に示すようにロボ
ット取付部の断面形状を変えたものがあったが、これは
センサやセンサアンプ等を収納するためである。
ィンガの断面が固定部と先端部で異なるがこれはフィン
ガが基板等を吸着もしくは、解放するときに基板以外の
他の部材（コンベア等）と干渉しないためのものであ
る。さらに、特開平２−１４８７５２に示すようにロボ
ット取付部の断面形状を変えたものがあったが、これは
センサやセンサアンプ等を収納するためである。
【０００６】ところで、前記特開平２−１４８７５２に
示すフィンガ形状であれば、おのずと剛性向上になる
が、前述のように収納効率向上のため基板収納用カセッ
トのピッチを狭めたり大型基板をハンドリングできるフ
ィンガにおいては、できるかぎりフィンガ本体の自重を
軽くし、かつ剛性を向上しなければならない。
示すフィンガ形状であれば、おのずと剛性向上になる
が、前述のように収納効率向上のため基板収納用カセッ
トのピッチを狭めたり大型基板をハンドリングできるフ
ィンガにおいては、できるかぎりフィンガ本体の自重を
軽くし、かつ剛性を向上しなければならない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述の従来
例における問題点に鑑みてなされもので、ガラス基板等
の基板を搬送するためのフィンガの厚みおよび重量を増
すことなくその剛性を向上させることを目的とする。
例における問題点に鑑みてなされもので、ガラス基板等
の基板を搬送するためのフィンガの厚みおよび重量を増
すことなくその剛性を向上させることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、平板状のフィンガ本体を水平に片持ち
してその上にガラス基板等の基板を載せて搬送するフィ
ンガにおいて、該フィンガ本体の横断面形状を自由端側
を第１の形状、固定端側を第２の形状とし、第２の形状
を第１の形状に比べ断面積を大きくし、かつ固定端と基
板重心支持位置との距離の内、前記第１の形状の部分と
第２の形状の部分の占める割合を１：１．３〜１：３．
４に設定することを特徴とする。
め、本発明では、平板状のフィンガ本体を水平に片持ち
してその上にガラス基板等の基板を載せて搬送するフィ
ンガにおいて、該フィンガ本体の横断面形状を自由端側
を第１の形状、固定端側を第２の形状とし、第２の形状
を第１の形状に比べ断面積を大きくし、かつ固定端と基
板重心支持位置との距離の内、前記第１の形状の部分と
第２の形状の部分の占める割合を１：１．３〜１：３．
４に設定することを特徴とする。
【０００９】本発明の好ましい実施例においては、前記
フィンガ本体の第１の断面形状の部分に、フィンガ本体
と直角方向に張出した少なくとも４個の部材と、その部
材上に基板を支持するための部材を設け、この支持部材
は基板のたわみ量が最小となる位置で基板を支持する。
また、前記第１の形状の部分、第２の形状の部分および
４個の張出し部材を一体で形成し、長方形基板の寸法を
Ａ×Ｂとすると前記基板支持位置を該基板の端辺より
０．２１Ａおよび０．２１Ｂ内側の位置に設定してい
る。さらに、フィンガ本体の第１の形状と第２の形状と
は基板の搬送エリア内、つまり、基板を搬送する際に基
板の下側に位置する部分で変わるようにしている。
フィンガ本体の第１の断面形状の部分に、フィンガ本体
と直角方向に張出した少なくとも４個の部材と、その部
材上に基板を支持するための部材を設け、この支持部材
は基板のたわみ量が最小となる位置で基板を支持する。
また、前記第１の形状の部分、第２の形状の部分および
４個の張出し部材を一体で形成し、長方形基板の寸法を
Ａ×Ｂとすると前記基板支持位置を該基板の端辺より
０．２１Ａおよび０．２１Ｂ内側の位置に設定してい
る。さらに、フィンガ本体の第１の形状と第２の形状と
は基板の搬送エリア内、つまり、基板を搬送する際に基
板の下側に位置する部分で変わるようにしている。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
る。
【００１１】図１は、本発明の一実施例に係る基板搬送
用フィンガのフィンガ本体を上部から見た斜視図であ
る。また、図２は図１のフィンガ本体を背面から見た斜
視図、図３〜５はそれぞれ図１のフィンガ本体のＡ−
Ａ、Ｃ−ＣおよびＢ−Ｂにおける断面図である。フィン
ガ本体１は図３に示す断面形状Ａを有する第１形状部１
ａと図５に示す断面形状Ｂを有する第２形状部１ｂと複
数（図１では４か所）の基板支持用張出し部１ｃ（図４
参照）から構成される。前記張出し部１ｃには、不図示
の基板を支持するための支持部材２が設けられている。
用フィンガのフィンガ本体を上部から見た斜視図であ
る。また、図２は図１のフィンガ本体を背面から見た斜
視図、図３〜５はそれぞれ図１のフィンガ本体のＡ−
Ａ、Ｃ−ＣおよびＢ−Ｂにおける断面図である。フィン
ガ本体１は図３に示す断面形状Ａを有する第１形状部１
ａと図５に示す断面形状Ｂを有する第２形状部１ｂと複
数（図１では４か所）の基板支持用張出し部１ｃ（図４
参照）から構成される。前記張出し部１ｃには、不図示
の基板を支持するための支持部材２が設けられている。
【００１２】第１形状部１ａの中心線上には、基板を吸
着するための吸着パット３が設けられている（図１では
３か所）。フィンガ１の裏面には、図２に示すように、
基板を吸着するための吸着エアーを導くための配管部４
がある。具体的にはフィンガ本体に溝４を切り、後で帯
状部材５を接着剤等で接着し、溝４を密封することによ
って、配管路を構成している。もちろん、ロングドリル
等で丸穴をあけてもよい。前記溝４は図１の吸着パット
部において吸着パット３の穴３ａと貫通している。
着するための吸着パット３が設けられている（図１では
３か所）。フィンガ１の裏面には、図２に示すように、
基板を吸着するための吸着エアーを導くための配管部４
がある。具体的にはフィンガ本体に溝４を切り、後で帯
状部材５を接着剤等で接着し、溝４を密封することによ
って、配管路を構成している。もちろん、ロングドリル
等で丸穴をあけてもよい。前記溝４は図１の吸着パット
部において吸着パット３の穴３ａと貫通している。
【００１３】フィンガ１をロボット等と固定する部分に
は取付用ボルト穴７および吸着エア、供給用穴６があい
ている。上述のように構成されたフィンガは、図６のよ
うにロボット１０１（詳細図は図示せず）に固定され、
例えばカセット１０２にガラス基板１０３を収納した
り、逆にカセットからガラス基板１０４を取り出したり
する。
は取付用ボルト穴７および吸着エア、供給用穴６があい
ている。上述のように構成されたフィンガは、図６のよ
うにロボット１０１（詳細図は図示せず）に固定され、
例えばカセット１０２にガラス基板１０３を収納した
り、逆にカセットからガラス基板１０４を取り出したり
する。
【００１４】次に、本発明の特徴であるフィンガの断面
形状について述べる。本発明のフィンガと基板との関係
を模式的に示すと図７のようになる。つまり、フィンガ
の固定部１１とワークである基板の重心位置１０（図
１，３参照）までの距離をＬ、基板重量をＷ（図１のフ
ィンガ本体１のＡ−Ａ線より先端側（左側）の部分の重
量を含む）、断面形状Ａの部分の長さをＬ1 、断面形状
Ｂの部分の長さをＬ2 とする。このとき、断面形状Ａの
面積をＳ、断面２次モーメントをＩ1 、断面形状Ｂの面
積をＳ2 、断面２次モーメントをＩ2 とすると、Ｓ1 ＞
Ｓ2 、Ｉ1 ＞Ｉ2の関係になるように断面形状Ａ、Ｂを
決定する。例えば図１のフィンガの場合、断面積Ｓ1 ：
Ｓ2 ＝１：３．７５、断面２次モーメントＩ1 ：Ｉ2 ＝
１：１．３７７である。
形状について述べる。本発明のフィンガと基板との関係
を模式的に示すと図７のようになる。つまり、フィンガ
の固定部１１とワークである基板の重心位置１０（図
１，３参照）までの距離をＬ、基板重量をＷ（図１のフ
ィンガ本体１のＡ−Ａ線より先端側（左側）の部分の重
量を含む）、断面形状Ａの部分の長さをＬ1 、断面形状
Ｂの部分の長さをＬ2 とする。このとき、断面形状Ａの
面積をＳ、断面２次モーメントをＩ1 、断面形状Ｂの面
積をＳ2 、断面２次モーメントをＩ2 とすると、Ｓ1 ＞
Ｓ2 、Ｉ1 ＞Ｉ2の関係になるように断面形状Ａ、Ｂを
決定する。例えば図１のフィンガの場合、断面積Ｓ1 ：
Ｓ2 ＝１：３．７５、断面２次モーメントＩ1 ：Ｉ2 ＝
１：１．３７７である。
【００１５】図８はＬ1 とＬ2 の割合を変化させた時
に、フィンガ重量およびフィンガの基板重心支持位置１
０におけるたわみ量がどのように変化するかを示したも
のである。これによれば、単位長さ当りの重量が軽い断
面形状Ａの部分が増すに従って、フィンガ全体の重量が
軽くなる。しかし、フィンガ先端のたわみ量はある特定
の点で極小値をもつ概略放物線を描いている。これは、
断面形状Ｂの割合が多いときは自重が大きくなり、従っ
て、たわみ量が大きく、断面形状Ａの割合が多い時は、
自重は軽くなるが断面２次モーメントの値が低下し（剛
性低下）再びたわみ量が増えてくることによる。
に、フィンガ重量およびフィンガの基板重心支持位置１
０におけるたわみ量がどのように変化するかを示したも
のである。これによれば、単位長さ当りの重量が軽い断
面形状Ａの部分が増すに従って、フィンガ全体の重量が
軽くなる。しかし、フィンガ先端のたわみ量はある特定
の点で極小値をもつ概略放物線を描いている。これは、
断面形状Ｂの割合が多いときは自重が大きくなり、従っ
て、たわみ量が大きく、断面形状Ａの割合が多い時は、
自重は軽くなるが断面２次モーメントの値が低下し（剛
性低下）再びたわみ量が増えてくることによる。
【００１６】たわみ量が極小値となるＬ1 とＬ2 の関係
は断面形状Ａ，Ｂによって異なるが、フィンガのたわみ
量の軽減、すなわちフィンガの剛性向上、自重低減の面
から一般的にＬ1 ：Ｌ2 を１：１．３〜１：３．４の範
囲で設定するのが好ましい。このような範囲に設定する
ことにより、多くの場合、フィンガ本体１の断面形状が
ガラス基板搬送エリア内、すなわち、ガラス基板搬送
時、ガラス基板の下に隠れる部分で変わることになる。
これは、特開平２−１４８７５２のフィンガがコンベア
等との干渉を避けるため、ガラス基板搬送エリア外で断
面形状を変えている（エリア内で断面形状を変えると基
板とコンベア等の干渉が解消されないから意味がない）
とは大きな違いである。
は断面形状Ａ，Ｂによって異なるが、フィンガのたわみ
量の軽減、すなわちフィンガの剛性向上、自重低減の面
から一般的にＬ1 ：Ｌ2 を１：１．３〜１：３．４の範
囲で設定するのが好ましい。このような範囲に設定する
ことにより、多くの場合、フィンガ本体１の断面形状が
ガラス基板搬送エリア内、すなわち、ガラス基板搬送
時、ガラス基板の下に隠れる部分で変わることになる。
これは、特開平２−１４８７５２のフィンガがコンベア
等との干渉を避けるため、ガラス基板搬送エリア外で断
面形状を変えている（エリア内で断面形状を変えると基
板とコンベア等の干渉が解消されないから意味がない）
とは大きな違いである。
【００１７】次に基板支持部材２の位置であるが、図９
に示すように基板の寸法をＰ×Ｑ、基板支持部材２の各
辺から距離をｐ，ｑとすると、公知のとおり、 ｐ1 ＝０．２１Ｐ、ｑ1 ＝０．２１Ｑ‥‥（１） となる位置に概略決定すると基板のたわみ量が最小とな
る。
に示すように基板の寸法をＰ×Ｑ、基板支持部材２の各
辺から距離をｐ，ｑとすると、公知のとおり、 ｐ1 ＝０．２１Ｐ、ｑ1 ＝０．２１Ｑ‥‥（１） となる位置に概略決定すると基板のたわみ量が最小とな
る。
【００１８】ところで、本実施例では、フィンガ本体を
一体構造としているが、これは、基板吸着パット上面、
基板保持部材の上端部の高さ出しを行い易いようにする
ためである。つまり図１０のように、基板保持用張出し
部を別部材としても良いが、但しその場合は高さ調整が
難しくなる。さらに基板支持部に基板吸着用パットがあ
っても良い。
一体構造としているが、これは、基板吸着パット上面、
基板保持部材の上端部の高さ出しを行い易いようにする
ためである。つまり図１０のように、基板保持用張出し
部を別部材としても良いが、但しその場合は高さ調整が
難しくなる。さらに基板支持部に基板吸着用パットがあ
っても良い。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、限られた
厚みで重量を小さく、かつたわみ量を最小にする基板搬
送用フィンガを供給できる効果がある。
厚みで重量を小さく、かつたわみ量を最小にする基板搬
送用フィンガを供給できる効果がある。
【図１】 本発明の一実施例に係るフィンガの上面斜視
図である。
図である。
【図２】 図１のフィンガの下面斜視図である。
【図３】 図１のフィンガのＡ−Ａ断面図である。
【図４】 図１のフィンガのＣ−Ｃ断面図である。
【図５】 図１のフィンガのＢ−Ｂ断面図である。
【図６】 図１のフィンガをロボットに装着した様子を
示す図である。
示す図である。
【図７】 図１のフィンガの模式図である。
【図８】 図６における断面形状ＡおよびＢの長さ比に
対するフィンガ重量およびたわみ量の関係を示すグラフ
である。
対するフィンガ重量およびたわみ量の関係を示すグラフ
である。
【図９】 図１のフィンガにおける基板支持位置を示す
図である。
図である。
【図１０】 本発明の別な実施例に係るフィンガの上面
斜視図である。
斜視図である。
１：フィンガ本体、１ａ：第１形状部、１ｂ：第２形状
部、２：基板支持部材、３：基板吸着パット、３ａ：吸
着パットの穴、４：吸着エアー配管路（溝）、５：エア
ー配管カバー、６：吸着エアー供給穴、７：フィンガ固
定用穴、１０：基板重心支持位置、１１：フィンガ固定
位置（フィンガ固定端）、１０１：ロボット、１０２：
カセット、１０３：ガラス基板、１０４：カセットに収
納されたガラス基板。
部、２：基板支持部材、３：基板吸着パット、３ａ：吸
着パットの穴、４：吸着エアー配管路（溝）、５：エア
ー配管カバー、６：吸着エアー供給穴、７：フィンガ固
定用穴、１０：基板重心支持位置、１１：フィンガ固定
位置（フィンガ固定端）、１０１：ロボット、１０２：
カセット、１０３：ガラス基板、１０４：カセットに収
納されたガラス基板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｆ 1/1333 ５００ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｂ
Claims (5)
- 【請求項１】 水平に片持ちされた平板状のフィンガ本
体に基板を載せて搬送するフィンガにおいて、該フィン
ガ本体はその横断面形状が第１の形状の部分と第２の形
状の部分で構成され、第２の形状が第１の形状に比べ断
面積が大きくかつフィンガ本体の固定端側にあり、該固
定端と基板重心支持位置との距離の内、前記第１の形状
の部分と第２の形状の部分の占める割合が１：１．３〜
１：３．４であることを特徴とする基板搬送用フィン
ガ。 - 【請求項２】 前記フィンガ本体の第１の断面形状の部
分に、フィンガ本体と直角方向に張出した少なくとも４
個の部材と、その部材上に基板を支持するための部材を
持ち、前記支持部材は基板のたわみ量が最小となる位置
で該基板を支持することを特徴とする前記請求項１に記
載のフィンガ。 - 【請求項３】 前記第１の形状の部分、第２の形状の部
分および４個の張出し部材は、一体で形成されているこ
とを特徴とする前記請求項２に記載のフィンガ。 - 【請求項４】 寸法がＡ×Ｂの長方形基板を支持する場
合、前記基板支持位置は、該基板の端辺より０．２１Ａ
および０．２１Ｂ内側の位置である前記請求項２または
３に記載のフィンガ。 - 【請求項５】 前記フィンガ本体の第１の形状と第２の
形状の変換部はガラス基板の搬送エリア内にあることを
特徴とする前記請求項１〜４のいずれかに記載の基板搬
送用フィンガ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3293795A JPH08208003A (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 基板搬送用フィンガ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3293795A JPH08208003A (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 基板搬送用フィンガ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08208003A true JPH08208003A (ja) | 1996-08-13 |
Family
ID=12372864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3293795A Pending JPH08208003A (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 基板搬送用フィンガ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08208003A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000053246A (ja) * | 1998-08-11 | 2000-02-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ガラス基板の支持構造およびガラス基板搬送用ハンド |
| JP2005050855A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Lintec Corp | 吸着搬送装置 |
| KR100746135B1 (ko) * | 2006-05-16 | 2007-08-03 | (주)넥스컴스 | Ｌｃｄ기판 이송용 로봇팔 |
| JP2024530864A (ja) * | 2021-07-16 | 2024-08-27 | エルジー エナジー ソリューション リミテッド | 支持プレート及びそれを含むピックアンドプレース装置 |
-
1995
- 1995-01-31 JP JP3293795A patent/JPH08208003A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000053246A (ja) * | 1998-08-11 | 2000-02-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ガラス基板の支持構造およびガラス基板搬送用ハンド |
| JP2005050855A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Lintec Corp | 吸着搬送装置 |
| KR100746135B1 (ko) * | 2006-05-16 | 2007-08-03 | (주)넥스컴스 | Ｌｃｄ기판 이송용 로봇팔 |
| JP2024530864A (ja) * | 2021-07-16 | 2024-08-27 | エルジー エナジー ソリューション リミテッド | 支持プレート及びそれを含むピックアンドプレース装置 |
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