JPH08210432A - 振動制御装置及び振動制御方法 - Google Patents
振動制御装置及び振動制御方法Info
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- JPH08210432A JPH08210432A JP1799795A JP1799795A JPH08210432A JP H08210432 A JPH08210432 A JP H08210432A JP 1799795 A JP1799795 A JP 1799795A JP 1799795 A JP1799795 A JP 1799795A JP H08210432 A JPH08210432 A JP H08210432A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で回転運動モードの振動と並進運
動モードの振動の制御を行う。 【構成】 振動検出器２０から信号が入力すると、振動
情報演算部２４が対象物体１０の並進運動および回転運
動を演算し、演算結果を並進運動制御器２６、回転運動
制御器２８及び並進運動制御器３０に出力する。矢印Ｙ
方向の並進振動時には、並進運動制御器２６の出力信号
がアクチュエーター１４，１６へ出力され、アクチュエ
ーター１４，１６が振動を打ち消すように同じ方向に力
を発生する。回転振動時には、回転運動制御器２８の出
力信号がアクチュエーター１４，１６へ出力されるが、
アクチュエーター１６には回転運動制御器２８の出力信
号が減じられて出力するのでアクチュエーター１４とア
クチュエーター１６とは、回転振動を打ち消すように互
いに逆向きの力を発生する。
動モードの振動の制御を行う。 【構成】 振動検出器２０から信号が入力すると、振動
情報演算部２４が対象物体１０の並進運動および回転運
動を演算し、演算結果を並進運動制御器２６、回転運動
制御器２８及び並進運動制御器３０に出力する。矢印Ｙ
方向の並進振動時には、並進運動制御器２６の出力信号
がアクチュエーター１４，１６へ出力され、アクチュエ
ーター１４，１６が振動を打ち消すように同じ方向に力
を発生する。回転振動時には、回転運動制御器２８の出
力信号がアクチュエーター１４，１６へ出力されるが、
アクチュエーター１６には回転運動制御器２８の出力信
号が減じられて出力するのでアクチュエーター１４とア
クチュエーター１６とは、回転振動を打ち消すように互
いに逆向きの力を発生する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動制御装置及び振動制
御方法に係り、特に、内部または外部から励振力を受け
て振動する対象物体に対し加振力を与え、対象物の振動
を低減する振動制御装置及び振動制御方法に関する。
御方法に係り、特に、内部または外部から励振力を受け
て振動する対象物体に対し加振力を与え、対象物の振動
を低減する振動制御装置及び振動制御方法に関する。
【０００２】
【従来技術】従来、内部または外部から励振力を受けて
振動する対象物体に対し加振力を与えて対象物の振動を
低減する振動制御装置では、制御対象の多自由度の振動
をコントロールするために生成する振動制御モデル及び
制御器設計は複雑なものであり、実現する上でも難しい
ものとなる傾向にあった。
振動する対象物体に対し加振力を与えて対象物の振動を
低減する振動制御装置では、制御対象の多自由度の振動
をコントロールするために生成する振動制御モデル及び
制御器設計は複雑なものであり、実現する上でも難しい
ものとなる傾向にあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は係る点に鑑み
なされたもので、その目的とする処は回転運動モードの
振動と並進運動モードの振動の制御系の構成を簡素なも
のとし、容易に制御器の設計ができる実用的な振動制御
装置及び振動制御方法を提供する点にある。
なされたもので、その目的とする処は回転運動モードの
振動と並進運動モードの振動の制御系の構成を簡素なも
のとし、容易に制御器の設計ができる実用的な振動制御
装置及び振動制御方法を提供する点にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、防振支持手段を介して支持された防振対象物の振動
を打ち消すように加振手段の振動を前記防振支持手段に
加えて前記防振対象物の振動を低減させる振動制御装置
であって、前記制振対象物を予め定めた異なる方向に加
振させるための複数の加振手段と、前記制振対象物の振
動に対応する信号に基づいて前記制振対象物の予め定め
た回転方向の第１の振動及び並進方向の第２の振動をそ
れぞれ独立に演算し、演算した第１の振動が打ち消され
るように前記複数の加振手段を各々同時に制御すると共
に演算した第２の振動が打ち消されるように複数の加振
手段を同時に制御し、前記複数の加振手段を組み合わせ
た加振力をもって前記制振対象物の振動制御力とするこ
とを特徴としている。
は、防振支持手段を介して支持された防振対象物の振動
を打ち消すように加振手段の振動を前記防振支持手段に
加えて前記防振対象物の振動を低減させる振動制御装置
であって、前記制振対象物を予め定めた異なる方向に加
振させるための複数の加振手段と、前記制振対象物の振
動に対応する信号に基づいて前記制振対象物の予め定め
た回転方向の第１の振動及び並進方向の第２の振動をそ
れぞれ独立に演算し、演算した第１の振動が打ち消され
るように前記複数の加振手段を各々同時に制御すると共
に演算した第２の振動が打ち消されるように複数の加振
手段を同時に制御し、前記複数の加振手段を組み合わせ
た加振力をもって前記制振対象物の振動制御力とするこ
とを特徴としている。
【０００５】また、請求項２に記載の振動制御方法は、
防振支持手段を介して支持された防振対象物の振動を打
ち消すように加振手段の振動を前記防振支持手段に加え
て前記防振対象物の振動を低減させる振動制御方法であ
って、前記制振対象物の振動に対応する信号に基づいて
前記制振対象物の予め定めた回転方向の第１の振動及び
並進方向の第２の振動をそれぞれ独立に演算し、演算し
た第１の振動が打ち消されるように前記防振対象物を予
め定めた異なる方向に加振させるための複数の加振手段
を各々同時に制御すると共に演算した第２の振動が打ち
消されるように前記複数の加振手段を同時に制御し、前
記複数の加振手段を組み合わせた加振力をもって前記制
振対象物の振動制御力とすることを特徴としている。
防振支持手段を介して支持された防振対象物の振動を打
ち消すように加振手段の振動を前記防振支持手段に加え
て前記防振対象物の振動を低減させる振動制御方法であ
って、前記制振対象物の振動に対応する信号に基づいて
前記制振対象物の予め定めた回転方向の第１の振動及び
並進方向の第２の振動をそれぞれ独立に演算し、演算し
た第１の振動が打ち消されるように前記防振対象物を予
め定めた異なる方向に加振させるための複数の加振手段
を各々同時に制御すると共に演算した第２の振動が打ち
消されるように前記複数の加振手段を同時に制御し、前
記複数の加振手段を組み合わせた加振力をもって前記制
振対象物の振動制御力とすることを特徴としている。
【０００６】
【作用】請求項１に記載の振動制御装置によれば、制振
対象物が振動している場合、制御手段は制振対象物の振
動に対応する信号に基づいて制振対象物の回転方向の第
１の振動及び予め定められた方向の第２の振動を演算
し、演算した第１の振動が打ち消されるように複数の加
振手段を各々同時に制御すると共に演算した第２の振動
が打ち消されるように複数の加振手段を同時に制御す
る。制振対象物の振動は、これら複数の加振手段を組み
合わせた加振力でもって低減または打ち消される。
対象物が振動している場合、制御手段は制振対象物の振
動に対応する信号に基づいて制振対象物の回転方向の第
１の振動及び予め定められた方向の第２の振動を演算
し、演算した第１の振動が打ち消されるように複数の加
振手段を各々同時に制御すると共に演算した第２の振動
が打ち消されるように複数の加振手段を同時に制御す
る。制振対象物の振動は、これら複数の加振手段を組み
合わせた加振力でもって低減または打ち消される。
【０００７】また、請求項２に記載の振動制御方法によ
れば、先ず、制振対象物の振動に対応する信号に基づい
て制振対象物の予め定めた回転方向の第１の振動及び並
進方向の第２の振動がそれぞれ独立に演算される。その
後、演算した第１の振動が打ち消されるように防振対象
物を予め定めた異なる方向に加振させるための複数の加
振手段が各々同時に制御されると共に演算した第２の振
動が打ち消されるように複数の加振手段が同時に制御さ
れ、複数の加振手段を組み合わせた加振力でもって制振
対象物の振動が低減または打ち消される。
れば、先ず、制振対象物の振動に対応する信号に基づい
て制振対象物の予め定めた回転方向の第１の振動及び並
進方向の第２の振動がそれぞれ独立に演算される。その
後、演算した第１の振動が打ち消されるように防振対象
物を予め定めた異なる方向に加振させるための複数の加
振手段が各々同時に制御されると共に演算した第２の振
動が打ち消されるように複数の加振手段が同時に制御さ
れ、複数の加振手段を組み合わせた加振力でもって制振
対象物の振動が低減または打ち消される。
【０００８】以下、図３乃至図７に基づき本発明につい
て詳述する。図３（Ａ），（Ｂ）には、並進運動と回転
運動の制御を目的とした振動制御装置の構成が表されて
いる。
て詳述する。図３（Ａ），（Ｂ）には、並進運動と回転
運動の制御を目的とした振動制御装置の構成が表されて
いる。
【０００９】図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、防振マ
ウント１０４で基礎１０６上に支持された制御対象１０
０の両端部には、制御対象１００に力を与えるための加
振手段１０２Ａ，１０２Ｂが各々取り付けられている。
各々の加振手段１０２Ａ，１０２Ｂは、図のＹ方向に加
振力を発生するようになっている。
ウント１０４で基礎１０６上に支持された制御対象１０
０の両端部には、制御対象１００に力を与えるための加
振手段１０２Ａ，１０２Ｂが各々取り付けられている。
各々の加振手段１０２Ａ，１０２Ｂは、図のＹ方向に加
振力を発生するようになっている。
【００１０】このような構成をとれば、各々の加振手段
１０２Ａ，１０２Ｂが並進方向の力および回転モーメン
トを発生し互いに干渉する構成となるため、実質的な制
御対象１００の振動制御モデルおよび制御手段の設計は
複雑なものとならざるを得ず、実現する上でも難しいも
のとなる傾向にあった。
１０２Ａ，１０２Ｂが並進方向の力および回転モーメン
トを発生し互いに干渉する構成となるため、実質的な制
御対象１００の振動制御モデルおよび制御手段の設計は
複雑なものとならざるを得ず、実現する上でも難しいも
のとなる傾向にあった。
【００１１】しかし、本発明では、このような制御目的
に対し、図４のように２台の加振手段１０２Ａ，１０２
Ｂを同相で駆動するモードと、図５のように２台の加振
手段１０２Ａ，１０２Ｂを逆相で駆動するモードとの２
つのモードをもつ２つの加振手段１０２Ａ，１０２Ｂと
みなすことにより、それぞれ並進運動制御および回転運
動制御を完全に分離して役割分担させ、あたかも１方向
の制御系を独立に２つ用意したように構成されている。
したがって、本発明では２つの運動方向の制御器設計が
独立にできるので、どちらの運動を重点的に制御するか
など制御手段の設計が自在にできるという利点がある。
に対し、図４のように２台の加振手段１０２Ａ，１０２
Ｂを同相で駆動するモードと、図５のように２台の加振
手段１０２Ａ，１０２Ｂを逆相で駆動するモードとの２
つのモードをもつ２つの加振手段１０２Ａ，１０２Ｂと
みなすことにより、それぞれ並進運動制御および回転運
動制御を完全に分離して役割分担させ、あたかも１方向
の制御系を独立に２つ用意したように構成されている。
したがって、本発明では２つの運動方向の制御器設計が
独立にできるので、どちらの運動を重点的に制御するか
など制御手段の設計が自在にできるという利点がある。
【００１２】実際の制御手段は１１２は、図６のように
並進運動用制御手段１０８の出力と回転運動用制御手段
１１０の出力とを演算し、各々の加振手段１０２Ａ，１
０２Ｂの駆動用アンプ１１４に出力することにより実現
される。
並進運動用制御手段１０８の出力と回転運動用制御手段
１１０の出力とを演算し、各々の加振手段１０２Ａ，１
０２Ｂの駆動用アンプ１１４に出力することにより実現
される。
【００１３】このため、従来より簡素な制御系とするこ
とができ、しかも容易に制御系が設計可能となり、実用
的な振動制御装置を供することができる。
とができ、しかも容易に制御系が設計可能となり、実用
的な振動制御装置を供することができる。
【００１４】なお、一般的な制御対象の場合、制御対象
の重心位置、加振手段取り付け位置等、物理的な制約か
ら必ずしも図６のように対称な位置に同一の特性を持つ
加振手段１０２Ａ，１０２Ｂを配置できるとは限らな
い。このような場合には、図７のように、加振手段１０
２Ａ，１０２Ｂの取り付け位置から重心Ｇまでの距離、
およびアクチュエータ推力に応じて算出した定数Ａを乗
じるアンプ１１６を入れて出力する構成とすることによ
り回転モーメントを釣り合わせることができ、図６と同
様の制御を行うことが可能となる。
の重心位置、加振手段取り付け位置等、物理的な制約か
ら必ずしも図６のように対称な位置に同一の特性を持つ
加振手段１０２Ａ，１０２Ｂを配置できるとは限らな
い。このような場合には、図７のように、加振手段１０
２Ａ，１０２Ｂの取り付け位置から重心Ｇまでの距離、
およびアクチュエータ推力に応じて算出した定数Ａを乗
じるアンプ１１６を入れて出力する構成とすることによ
り回転モーメントを釣り合わせることができ、図６と同
様の制御を行うことが可能となる。
【００１５】
【実施例】以下図１にしたがって、本発明に係る実施例
について説明する。本実施例は、本発明の振動制御装置
を精密機器の振動の制御に応用したものである。
について説明する。本実施例は、本発明の振動制御装置
を精密機器の振動の制御に応用したものである。
【００１６】図１には、防振マウント１２を介して基礎
上に設置された対象物体（精密機器）１０が示されてい
る。対象物体１０には図示しない移動機構（例えばモー
ター等によって動作する機構）が組み込まれており、移
動による慣性力が外乱となって対象物体１０が並進およ
び回転モーメントを受け振動する。本実施例の対象物体
１０は、外乱に応じ、おもに水平２方向（矢印Ｘ方向及
び矢印Ｙ方向）の並進運動と回転運動方向（矢印Ｒ方
向）の計３自由度の振動を起こす。
上に設置された対象物体（精密機器）１０が示されてい
る。対象物体１０には図示しない移動機構（例えばモー
ター等によって動作する機構）が組み込まれており、移
動による慣性力が外乱となって対象物体１０が並進およ
び回転モーメントを受け振動する。本実施例の対象物体
１０は、外乱に応じ、おもに水平２方向（矢印Ｘ方向及
び矢印Ｙ方向）の並進運動と回転運動方向（矢印Ｒ方
向）の計３自由度の振動を起こす。
【００１７】対象物体１０には、電気信号で駆動される
アクチュエーター１４，１６，１８が取り付けられてい
る。アクチュエーター１４は、対象物体１０の図の左下
側の角部に取り付けられており、アクチュエーター１６
は重心Ｇを挟んでアクチュエーター１４とは反対側の角
部に取り付けられている。また、アクチュエーター１８
は、対象物体１０の図の右側面中央に取り付けられてい
る。なお、対象物体１０の重心Ｇは、対象物体１０の中
央に位置している。
アクチュエーター１４，１６，１８が取り付けられてい
る。アクチュエーター１４は、対象物体１０の図の左下
側の角部に取り付けられており、アクチュエーター１６
は重心Ｇを挟んでアクチュエーター１４とは反対側の角
部に取り付けられている。また、アクチュエーター１８
は、対象物体１０の図の右側面中央に取り付けられてい
る。なお、対象物体１０の重心Ｇは、対象物体１０の中
央に位置している。
【００１８】ここで用いるアクチュエータ１４，１６，
１８は、内部のマスを駆動しその慣性力により力を発生
するタイプのものや、外部の支持点との間に力を発生す
るタイプのものなど、様々なものを用いることが可能で
ある。
１８は、内部のマスを駆動しその慣性力により力を発生
するタイプのものや、外部の支持点との間に力を発生す
るタイプのものなど、様々なものを用いることが可能で
ある。
【００１９】対象物体１０の図の左上側の角部には、振
動検出器２０が取り付けられている。この振動検出器２
０は、対象物体１０の矢印Ｘ方向の振動及び矢印Ｙ方向
の振動を各々検出して、各々の振動に対応した信号を出
力するようになっている。
動検出器２０が取り付けられている。この振動検出器２
０は、対象物体１０の矢印Ｘ方向の振動及び矢印Ｙ方向
の振動を各々検出して、各々の振動に対応した信号を出
力するようになっている。
【００２０】振動検出器２０から出力された矢印Ｘ方向
の振動に対応した信号ＳX 及び矢印Ｙ方向の振動に対応
した信号ＳY は、制御装置２２の振動情報演算部２４に
入力される。振動情報演算部２４は、マイクロコンピュ
ータ等から構成され信号ＳXと信号ＳY とを基にして、
対象物体１０の並進運動および回転運動の情報を演算す
るものである。演算結果は、デジタル信号として矢印Ｙ
方向の並進運動制御用の並進運動制御器２６、矢印Ｒ方
向の回転運動制御用の回転運動制御器２８及び矢印Ｘ方
向の並進運動制御用の並進運動制御器３０に出力され
る。
の振動に対応した信号ＳX 及び矢印Ｙ方向の振動に対応
した信号ＳY は、制御装置２２の振動情報演算部２４に
入力される。振動情報演算部２４は、マイクロコンピュ
ータ等から構成され信号ＳXと信号ＳY とを基にして、
対象物体１０の並進運動および回転運動の情報を演算す
るものである。演算結果は、デジタル信号として矢印Ｙ
方向の並進運動制御用の並進運動制御器２６、矢印Ｒ方
向の回転運動制御用の回転運動制御器２８及び矢印Ｘ方
向の並進運動制御用の並進運動制御器３０に出力され
る。
【００２１】並進運動制御器２６は合成器３２、増幅器
３４を介してアクチュエーター１４に接続されており、
回転運動制御器２８は合成器３２、増幅器３６を介して
アクチュエーター１６に接続されている。また、並進運
動制御器３０は、増幅器３８を介してアクチュエーター
１８に接続されている。これらの並進運動制御器２６、
回転運動制御器２８及び並進運動制御器３０は、入力し
たデジタル信号をアナログ信号に変換して出力するよう
になっている。
３４を介してアクチュエーター１４に接続されており、
回転運動制御器２８は合成器３２、増幅器３６を介して
アクチュエーター１６に接続されている。また、並進運
動制御器３０は、増幅器３８を介してアクチュエーター
１８に接続されている。これらの並進運動制御器２６、
回転運動制御器２８及び並進運動制御器３０は、入力し
たデジタル信号をアナログ信号に変換して出力するよう
になっている。
【００２２】合成器３２は、２つの混合器４０，４２を
備えており、混合器４０は並進運動制御器２６の出力と
回転運動制御器２８の出力とを加えて増幅器３４に出力
し、混合器４２は並進運動制御器２６の出力から回転運
動制御器２８の出力を減じて増幅器３６に出力するよう
になっている。
備えており、混合器４０は並進運動制御器２６の出力と
回転運動制御器２８の出力とを加えて増幅器３４に出力
し、混合器４２は並進運動制御器２６の出力から回転運
動制御器２８の出力を減じて増幅器３６に出力するよう
になっている。
【００２３】本実施例では、アクチュエーター１４，１
６、振動検出器２０及び制御装置２２等で振動制御装置
が構成されている。
６、振動検出器２０及び制御装置２２等で振動制御装置
が構成されている。
【００２４】次に、本実施例の作用を説明する。対象物
体１０が振動して振動検出器２０から信号ＳX ，ＳY が
出力されると、振動情報演算部２４は対象物体１０の並
進運動および回転運動を演算し、演算結果を並進運動制
御器２６、回転運動制御器２８及び並進運動制御器３０
に出力する。
体１０が振動して振動検出器２０から信号ＳX ，ＳY が
出力されると、振動情報演算部２４は対象物体１０の並
進運動および回転運動を演算し、演算結果を並進運動制
御器２６、回転運動制御器２８及び並進運動制御器３０
に出力する。
【００２５】例えば、信号ＳX のみが変化していれば対
象物体１０は矢印Ｘ方向に振動していると見なされ、信
号ＳY のみが変化していれば対象物体１０は矢印Ｙ方向
に振動していると見なすことができる。また、信号ＳX
と信号ＳY の両者が同じ割合で変化していれば対象物体
１０は矢印Ｘ方向（または矢印Ｙ方向）とは傾斜した方
向に振動していると見なすことができる。さらに、信号
ＳX と信号ＳY とが異なる割合で変化していれば対象物
体１０は回転振動をしていると見なすことができる。
象物体１０は矢印Ｘ方向に振動していると見なされ、信
号ＳY のみが変化していれば対象物体１０は矢印Ｙ方向
に振動していると見なすことができる。また、信号ＳX
と信号ＳY の両者が同じ割合で変化していれば対象物体
１０は矢印Ｘ方向（または矢印Ｙ方向）とは傾斜した方
向に振動していると見なすことができる。さらに、信号
ＳX と信号ＳY とが異なる割合で変化していれば対象物
体１０は回転振動をしていると見なすことができる。
【００２６】ここで、対象物体１０が矢印Ｘ方向に並進
振動している場合には、並進運動制御器３０の出力信号
に対応してアクチュエーター１８が振動を打ち消す方向
に力を発生し、これによって矢印Ｘ方向の振動が打ち消
される。
振動している場合には、並進運動制御器３０の出力信号
に対応してアクチュエーター１８が振動を打ち消す方向
に力を発生し、これによって矢印Ｘ方向の振動が打ち消
される。
【００２７】対象物体１０が矢印Ｙ方向に並進振動して
いる場合には、並進運動制御器２６の出力信号に対応し
てアクチュエーター１４，１６が振動を打ち消すよう
に、同じ方向に力を発生し、これによって矢印Ｙ方向の
並進振動が打ち消される。
いる場合には、並進運動制御器２６の出力信号に対応し
てアクチュエーター１４，１６が振動を打ち消すよう
に、同じ方向に力を発生し、これによって矢印Ｙ方向の
並進振動が打ち消される。
【００２８】また、対象物体１０が矢印Ｒ方向に回転振
動している場合には、回転運動制御器２８の出力信号に
対応してアクチュエーター１４，１６が振動を打ち消す
ように互いに逆向きの力を発生し、これによって矢印Ｒ
方向の回転振動が打ち消される。
動している場合には、回転運動制御器２８の出力信号に
対応してアクチュエーター１４，１６が振動を打ち消す
ように互いに逆向きの力を発生し、これによって矢印Ｒ
方向の回転振動が打ち消される。
【００２９】また、矢印Ｘ方向、矢印Ｙ方向及び矢印Ｒ
方向の振動が組み合わされた場合においても、各々の方
向の成分に応じて並進運動制御器２６、回転運動制御器
２８及び並進運動制御器３０が信号を出力し、互いに干
渉することなくアクチュエーター１４，１６，１８が振
動を打ち消すように力を発生する。
方向の振動が組み合わされた場合においても、各々の方
向の成分に応じて並進運動制御器２６、回転運動制御器
２８及び並進運動制御器３０が信号を出力し、互いに干
渉することなくアクチュエーター１４，１６，１８が振
動を打ち消すように力を発生する。
【００３０】本実施例では、水平並進運動の１方向（矢
印Ｙ方向）と回転運動（矢印Ｒ方向）を本発明の構成を
探ることにより制御し、さらにこれらの運動と独立な残
り１方向（矢印Ｘ方向）の制御を組み合わせることによ
り、効果的な振動低減を図ることが可能となっている。
印Ｙ方向）と回転運動（矢印Ｒ方向）を本発明の構成を
探ることにより制御し、さらにこれらの運動と独立な残
り１方向（矢印Ｘ方向）の制御を組み合わせることによ
り、効果的な振動低減を図ることが可能となっている。
【００３１】なお、本実施例のようなフィードバック制
御では、振動情報演算部２４なしに、一方向（矢印Ｙ方
向）の振動情報のみでその方向（矢印Ｙ方向）の並進振
動制御入力および回転運動制御入力とすることもでき
る。これは、本制御方法が互いに干渉しない複数のアク
チュエータで構成されているために可能なものである。
御では、振動情報演算部２４なしに、一方向（矢印Ｙ方
向）の振動情報のみでその方向（矢印Ｙ方向）の並進振
動制御入力および回転運動制御入力とすることもでき
る。これは、本制御方法が互いに干渉しない複数のアク
チュエータで構成されているために可能なものである。
【００３２】なお、本発明は、図１のように対象物体１
０の振動を振動検出器２０で検出して演算するフィード
バック制御の方法を採ることもできるが、予め外乱の情
報がとれる場合には図２に示すようにこれらの情報に基
づくフィードフォワード制御の構成をとったりすること
もでき、さらにその双方を組み合わせた構成をとること
も可能である。
０の振動を振動検出器２０で検出して演算するフィード
バック制御の方法を採ることもできるが、予め外乱の情
報がとれる場合には図２に示すようにこれらの情報に基
づくフィードフォワード制御の構成をとったりすること
もでき、さらにその双方を組み合わせた構成をとること
も可能である。
【００３３】なお、図２の中で示す外乱情報演算部５０
とは、例えば外乱の加振入力信号、加振位置と大きさな
どから発生する並進力およびモーメントを計算した結果
得られる信号等、様々な信号を採ることができる。
とは、例えば外乱の加振入力信号、加振位置と大きさな
どから発生する並進力およびモーメントを計算した結果
得られる信号等、様々な信号を採ることができる。
【００３４】また、前記実施例では、対象物体１０の並
進運動および回転運動の情報をマイクロコンピュータ等
でデジタルで演算したが、同様の機能を、アナログの演
算回路で行うこともできる。
進運動および回転運動の情報をマイクロコンピュータ等
でデジタルで演算したが、同様の機能を、アナログの演
算回路で行うこともできる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように請求項１に係る振動
制御装置によれば、簡素な制御系の構成で対象物体の振
動を効果的に低減または打ち消すことがきるという優れ
た効果を有する。また、制御系の設計自由度及び実用性
も高い。
制御装置によれば、簡素な制御系の構成で対象物体の振
動を効果的に低減または打ち消すことがきるという優れ
た効果を有する。また、制御系の設計自由度及び実用性
も高い。
【００３６】また、請求項２に記載の振動制御方法によ
れば、簡単な制御で対象物体の振動を効果的に低減また
は打ち消すことがきるという優れた効果を有する。ま
た、制御が簡単なため、制御プログラムも簡単であり、
迅速に制御を行える。
れば、簡単な制御で対象物体の振動を効果的に低減また
は打ち消すことがきるという優れた効果を有する。ま
た、制御が簡単なため、制御プログラムも簡単であり、
迅速に制御を行える。
【図１】本発明の一実施例に係る振動制御装置の構成図
である。
である。
【図２】他の実施例に係る振動制御装置に構成図であ
る。
る。
【図３】（Ａ）は、本発明の制振対象物の平面図であ
り、（Ｂ）は本発明の制振対象物の側面図である。
り、（Ｂ）は本発明の制振対象物の側面図である。
【図４】並進運動制御を説明するための制振対象物の平
面図である。
面図である。
【図５】回転運動制御を説明するための制振対象物の平
面図である。
面図である。
【図６】並進運動制御と回転運動制御とを説明する振動
制御装置に構成図である。
制御装置に構成図である。
【図７】制振対象物の重心位置が中央に無い場合の並進
運動制御と回転運動制御とを説明する振動制御装置に構
成図である。
運動制御と回転運動制御とを説明する振動制御装置に構
成図である。
１０ 対象物体（制振対象物） １４ アクチュエーター（加振手段） １６ アクチュエーター（加振手段） １８ アクチュエーター（加振手段） ２０ 振動検出器（信号発生手段） ２２ 制御装置（制御手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ１０Ｋ 11/178
Claims (2)
- 【請求項１】防振支持手段を介して支持された防振対象
物の振動を打ち消すように加振手段の振動を前記防振支
持手段に加えて前記防振対象物の振動を低減させる振動
制御装置であって、 前記制振対象物を予め定めた異なる方向に加振させるた
めの複数の加振手段と、 前記制振対象物の振動に対応する信号に基づいて前記制
振対象物の予め定めた回転方向の第１の振動及び並進方
向の第２の振動をそれぞれ独立に演算し、演算した第１
の振動が打ち消されるように前記複数の加振手段を各々
同時に制御すると共に演算した第２の振動が打ち消され
るように複数の加振手段を同時に制御し、前記複数の加
振手段を組み合わせた加振力をもって前記制振対象物の
振動制御力とすることを特徴とした振動制御装置。 - 【請求項２】防振支持手段を介して支持された防振対象
物の振動を打ち消すように加振手段の振動を前記防振支
持手段に加えて前記防振対象物の振動を低減させる振動
制御方法であって、 前記制振対象物の振動に対応する信号に基づいて前記制
振対象物の予め定めた回転方向の第１の振動及び並進方
向の第２の振動をそれぞれ独立に演算し、演算した第１
の振動が打ち消されるように前記防振対象物を予め定め
た異なる方向に加振させるための複数の加振手段を各々
同時に制御すると共に演算した第２の振動が打ち消され
るように前記複数の加振手段を同時に制御し、前記複数
の加振手段を組み合わせた加振力をもって前記制振対象
物の振動制御力とすることを特徴とした振動制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1799795A JPH08210432A (ja) | 1995-02-06 | 1995-02-06 | 振動制御装置及び振動制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1799795A JPH08210432A (ja) | 1995-02-06 | 1995-02-06 | 振動制御装置及び振動制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08210432A true JPH08210432A (ja) | 1996-08-20 |
Family
ID=11959371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1799795A Pending JPH08210432A (ja) | 1995-02-06 | 1995-02-06 | 振動制御装置及び振動制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08210432A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09129167A (ja) * | 1995-11-01 | 1997-05-16 | Bridgestone Corp | 荷電粒子線装置 |
| WO2013122258A1 (en) * | 2012-02-17 | 2013-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Active vibration isolator |
| WO2025118689A1 (zh) * | 2023-12-06 | 2025-06-12 | 歌尔股份有限公司 | 一种振动装置的驱动电路及电子设备 |
-
1995
- 1995-02-06 JP JP1799795A patent/JPH08210432A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09129167A (ja) * | 1995-11-01 | 1997-05-16 | Bridgestone Corp | 荷電粒子線装置 |
| WO2013122258A1 (en) * | 2012-02-17 | 2013-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Active vibration isolator |
| JP2013190104A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-09-26 | Canon Inc | アクティブ除振装置 |
| WO2025118689A1 (zh) * | 2023-12-06 | 2025-06-12 | 歌尔股份有限公司 | 一种振动装置的驱动电路及电子设备 |
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