JPH08210572A - 真空シール絶縁継ぎ手 - Google Patents
真空シール絶縁継ぎ手Info
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- JPH08210572A JPH08210572A JP7037722A JP3772295A JPH08210572A JP H08210572 A JPH08210572 A JP H08210572A JP 7037722 A JP7037722 A JP 7037722A JP 3772295 A JP3772295 A JP 3772295A JP H08210572 A JPH08210572 A JP H08210572A
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- Japan
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- ring
- vacuum
- clamp
- insulating
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空配管の絶縁結合部の部品点数を減らし、
結合部をコンパクトに構成すること。 【構成】 配管２１，２２のフランジ２１ａ，２２ａ
は、シール平面部２１ａ1，２２ａ1とテーパ部２１
ａ2，２２ａ2を有する。二つのフランジ間に、絶縁物で
形成されたセンターリング２３と、その周囲に嵌合する
Ｏリング２４を配置する。クランプ２５は両フランジの
テーパ部に係合し、両フランジの何れか一方に対するク
ランプの係合部２５ａ’は絶縁物２６で形成されてい
る。クランプを締め付けることにより、両フランジは電
気的に絶縁された状態で真空シール結合される。配管の
フランジがボルトで結合されるものにあっても、フラン
ジ間に絶縁物製のセンターリングとＯリングを配置する
ことにより、絶縁機能を持たせて真空シール結合でき
る。
結合部をコンパクトに構成すること。 【構成】 配管２１，２２のフランジ２１ａ，２２ａ
は、シール平面部２１ａ1，２２ａ1とテーパ部２１
ａ2，２２ａ2を有する。二つのフランジ間に、絶縁物で
形成されたセンターリング２３と、その周囲に嵌合する
Ｏリング２４を配置する。クランプ２５は両フランジの
テーパ部に係合し、両フランジの何れか一方に対するク
ランプの係合部２５ａ’は絶縁物２６で形成されてい
る。クランプを締め付けることにより、両フランジは電
気的に絶縁された状態で真空シール結合される。配管の
フランジがボルトで結合されるものにあっても、フラン
ジ間に絶縁物製のセンターリングとＯリングを配置する
ことにより、絶縁機能を持たせて真空シール結合でき
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、荷電粒子加速器を含む
真空装置一般の真空配管系に用いる電気的絶縁機能を備
えた真空シール絶縁継ぎ手に関する。
真空装置一般の真空配管系に用いる電気的絶縁機能を備
えた真空シール絶縁継ぎ手に関する。
【０００２】
【従来の技術】イオン等、荷電粒子加速器のビーム搬送
ラインの真空配管系、或いはビーム搬送ラインに結合さ
れる真空ゲージ配管系にあっては、サージカット、ノイ
ズカット、グラウンドループカット等のために絶縁（電
気的絶縁）箇所を有して配管系を構成しなければならな
い場合がある。図５はビーム搬送ラインにクイックカッ
プリング形式の継ぎ手機構を用いて真空ゲージを接続す
る従来例の一例を示す断面構成図である。ビーム搬送ラ
インの真空ダクトないし配管１にフランジを有する配管
２が分岐接続されており、同配管は、両端にフランジを
有する絶縁物（電気的絶縁物）製の絶縁ニップル３を介
して、真空ゲージヘッド４のフランジを有する入力配管
５に電気的に絶縁して真空シール結合される。
ラインの真空配管系、或いはビーム搬送ラインに結合さ
れる真空ゲージ配管系にあっては、サージカット、ノイ
ズカット、グラウンドループカット等のために絶縁（電
気的絶縁）箇所を有して配管系を構成しなければならな
い場合がある。図５はビーム搬送ラインにクイックカッ
プリング形式の継ぎ手機構を用いて真空ゲージを接続す
る従来例の一例を示す断面構成図である。ビーム搬送ラ
インの真空ダクトないし配管１にフランジを有する配管
２が分岐接続されており、同配管は、両端にフランジを
有する絶縁物（電気的絶縁物）製の絶縁ニップル３を介
して、真空ゲージヘッド４のフランジを有する入力配管
５に電気的に絶縁して真空シール結合される。
【０００３】配管２のフランジ２ａにはシール平面部２
ａ1とその反対側のテーパ部２ａ2が形成されており、絶
縁ニップル３の両端のフランジ３ａ，３ａ’と入力配管
５のフランジ５ａも同様にシール平面部及びテーパ部を
有する。配管２のフランジ２ａと絶縁ニップル３のフラ
ンジ３ａ、同絶縁ニップルのフランジ３ａ’と真空ゲー
ジヘッドにおける入力配管５のフランジ５ａの間には、
それぞれステンレス、アルミニウム等による金属製のセ
ンターリング６とその周囲に嵌合しているＯリング７が
設けられている。各センターリングは、図６の断面図に
示すように、配管２，絶縁ニップル３，入力配管５のフ
ランジ開口部に設けられた段部、例えば配管２と絶縁ニ
ップル３に形成された段部２ｂ，３ｂとの嵌入部６ａ、
結合される二つのフランジにおけるシール平面部間の間
隔規制部６ｂ、この間隔規制部の周囲に形成されている
Ｏリング保持溝６ｃを有し、Ｏリング７はこの保持溝に
嵌合している。
ａ1とその反対側のテーパ部２ａ2が形成されており、絶
縁ニップル３の両端のフランジ３ａ，３ａ’と入力配管
５のフランジ５ａも同様にシール平面部及びテーパ部を
有する。配管２のフランジ２ａと絶縁ニップル３のフラ
ンジ３ａ、同絶縁ニップルのフランジ３ａ’と真空ゲー
ジヘッドにおける入力配管５のフランジ５ａの間には、
それぞれステンレス、アルミニウム等による金属製のセ
ンターリング６とその周囲に嵌合しているＯリング７が
設けられている。各センターリングは、図６の断面図に
示すように、配管２，絶縁ニップル３，入力配管５のフ
ランジ開口部に設けられた段部、例えば配管２と絶縁ニ
ップル３に形成された段部２ｂ，３ｂとの嵌入部６ａ、
結合される二つのフランジにおけるシール平面部間の間
隔規制部６ｂ、この間隔規制部の周囲に形成されている
Ｏリング保持溝６ｃを有し、Ｏリング７はこの保持溝に
嵌合している。
【０００４】シール結合されるフランジ２ａと３ａ，３
ａ’と５ａにはクイックカップリングのクランプ８が嵌
合しており、各クランプは内側に、フランジ２ａのテー
パ部２ａ2等、各フランジのテーパ部に係合するテーパ
係合部８ａを有する。クイックカップリングのクランプ
８は図７の平面図に示すように、全体として二つに分割
された半円リング状のものであり、二つのクランプ８の
一端側はヒンジ片８ａで結合し、クランプの他端側をボ
ルト８ｂと蝶ナット８ｃで締め付けるように構成されて
おり、図５の断面構成図は図７のＡ−Ａ線での断面図に
対応する。クランプ８を締め付けることにより、図５に
おけるフランジ３ａ’と５ａの部分に示すように、Ｏリ
ング７はセンターリング６の間隔規制部６ｂの厚さにま
で潰され、真空ゲージヘッド４の入力配管５は配管２に
絶縁ニップル３を介して電気的に絶縁された状態で真空
シール結合される。
ａ’と５ａにはクイックカップリングのクランプ８が嵌
合しており、各クランプは内側に、フランジ２ａのテー
パ部２ａ2等、各フランジのテーパ部に係合するテーパ
係合部８ａを有する。クイックカップリングのクランプ
８は図７の平面図に示すように、全体として二つに分割
された半円リング状のものであり、二つのクランプ８の
一端側はヒンジ片８ａで結合し、クランプの他端側をボ
ルト８ｂと蝶ナット８ｃで締め付けるように構成されて
おり、図５の断面構成図は図７のＡ−Ａ線での断面図に
対応する。クランプ８を締め付けることにより、図５に
おけるフランジ３ａ’と５ａの部分に示すように、Ｏリ
ング７はセンターリング６の間隔規制部６ｂの厚さにま
で潰され、真空ゲージヘッド４の入力配管５は配管２に
絶縁ニップル３を介して電気的に絶縁された状態で真空
シール結合される。
【０００５】真空ゲージヘッド４と入力配管５は真空コ
ントローラ、プログラマブル・コントローラのグラウン
ド、接地点に接続されており、荷電粒子加速器、荷電粒
子源（イオン源）に放電が生ずるとビーム搬送ライン
（真空チャンバ）を介してこれらコントローラにサージ
が流入し種々のトラブルの原因となる。しかし、上述の
ように配管２と入力配管５が電気的に絶縁されているこ
とにより、加速器等の高電圧ないし高電力部に放電が生
じても、ビ−ム搬送ラインを介して真空ゲージヘッド４
側にサージが流入するのをカットすることができ、ビー
ム搬送ライン側と微小信号測定に係る真空ゲージヘッド
側のグラウンド（接地）ループがカットされていること
により、ゲージヘッド側に入り込むノイズをカットする
ことができる。
ントローラ、プログラマブル・コントローラのグラウン
ド、接地点に接続されており、荷電粒子加速器、荷電粒
子源（イオン源）に放電が生ずるとビーム搬送ライン
（真空チャンバ）を介してこれらコントローラにサージ
が流入し種々のトラブルの原因となる。しかし、上述の
ように配管２と入力配管５が電気的に絶縁されているこ
とにより、加速器等の高電圧ないし高電力部に放電が生
じても、ビ−ム搬送ラインを介して真空ゲージヘッド４
側にサージが流入するのをカットすることができ、ビー
ム搬送ライン側と微小信号測定に係る真空ゲージヘッド
側のグラウンド（接地）ループがカットされていること
により、ゲージヘッド側に入り込むノイズをカットする
ことができる。
【０００６】図８は上述のゲージ配管系より径の大き
い、例えばビ−ム搬送ラインのビ−ムダクトないし配管
を電気的に絶縁して真空シール結合する場合の従来技術
の一例を示す断面構成図である。二つの配管１０，１１
のフラットなフランジ１０ａ，１１ａは絶縁フランジ板
１２を挾んで結合される。両フランジに形成された環状
溝１０ｂ，１１ｂにはＯリング１３，１４が配置されて
おり、両フランジと絶縁フランジ板には取付けボルト１
５に対する貫通孔１０ｃ，１１ｃ，１２ｃが形成されて
いる。一方のフランジ１１の貫通孔１１ｃは貫通孔１０
ｃ，１２ｃより大きく形成されており、貫通孔１１ｃに
絶縁ワッシャ１６を嵌めて取付けボルト１５を各貫通孔
に通し、ナット１７で締め付けることにより、Ｏリング
１３，１４を潰して、両配管を電気的に絶縁した状態で
真空シール結合する。これにより、一方の配管側にサー
ジが生じても、他方の配管側に伝わるのを防ぎ、或いは
両配管を通してグラウンド（接地）ループが形成される
のを防いでいる。
い、例えばビ−ム搬送ラインのビ−ムダクトないし配管
を電気的に絶縁して真空シール結合する場合の従来技術
の一例を示す断面構成図である。二つの配管１０，１１
のフラットなフランジ１０ａ，１１ａは絶縁フランジ板
１２を挾んで結合される。両フランジに形成された環状
溝１０ｂ，１１ｂにはＯリング１３，１４が配置されて
おり、両フランジと絶縁フランジ板には取付けボルト１
５に対する貫通孔１０ｃ，１１ｃ，１２ｃが形成されて
いる。一方のフランジ１１の貫通孔１１ｃは貫通孔１０
ｃ，１２ｃより大きく形成されており、貫通孔１１ｃに
絶縁ワッシャ１６を嵌めて取付けボルト１５を各貫通孔
に通し、ナット１７で締め付けることにより、Ｏリング
１３，１４を潰して、両配管を電気的に絶縁した状態で
真空シール結合する。これにより、一方の配管側にサー
ジが生じても、他方の配管側に伝わるのを防ぎ、或いは
両配管を通してグラウンド（接地）ループが形成される
のを防いでいる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このように、図５に示
したクイックカップリング形式のものでは、電気的絶縁
のために絶縁ニップルを要すると共に、ニップルの両側
に真空シール継ぎ手機構を要し、また、図８に示したフ
ラットなフランジをボルトで結合する形式による場合に
は、結合される二つの配管のフランジには、それぞれＯ
リングを配置する環状溝を形成すると共に、絶縁フラン
ジ板を要し、これも真空シール部が２ヵ所になり、部品
点数も多くなるという欠点を有する。
したクイックカップリング形式のものでは、電気的絶縁
のために絶縁ニップルを要すると共に、ニップルの両側
に真空シール継ぎ手機構を要し、また、図８に示したフ
ラットなフランジをボルトで結合する形式による場合に
は、結合される二つの配管のフランジには、それぞれＯ
リングを配置する環状溝を形成すると共に、絶縁フラン
ジ板を要し、これも真空シール部が２ヵ所になり、部品
点数も多くなるという欠点を有する。
【０００８】本発明は、絶縁（電気的絶縁）部分を有し
て真空配管系を構成する場合に、配管結合部の部品点数
を減らし、結合部をよりコンパクトに構成することがで
きる絶縁機能を備えた真空シール絶縁継ぎ手の提供を目
的とするものである。
て真空配管系を構成する場合に、配管結合部の部品点数
を減らし、結合部をよりコンパクトに構成することがで
きる絶縁機能を備えた真空シール絶縁継ぎ手の提供を目
的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段、その作用】本発明は、シ
ール平面部とテーパ部を有し、真空シール結合される二
つのフランジの間に配置され、周囲にＯリングが嵌合す
るセンターリングと、前記二つのフランジのテーパ部に
係合するクランプとを備えた真空シール絶縁継ぎ手であ
って、前記センターリングが絶縁物で形成されていると
共に、前記二つのフランジの何れか一方に対する前記ク
ランプの係合部が絶縁物で形成されていることを特徴と
するものである。
ール平面部とテーパ部を有し、真空シール結合される二
つのフランジの間に配置され、周囲にＯリングが嵌合す
るセンターリングと、前記二つのフランジのテーパ部に
係合するクランプとを備えた真空シール絶縁継ぎ手であ
って、前記センターリングが絶縁物で形成されていると
共に、前記二つのフランジの何れか一方に対する前記ク
ランプの係合部が絶縁物で形成されていることを特徴と
するものである。
【００１０】真空シール結合される二つのフランジ間に
配置されるセンターリングと、両フランジに係合するク
ランプにおける一つのフランジとの係合部が絶縁物で形
成されていることにより、一つの継ぎ手箇所で絶縁機能
を持たせて真空シール結合することができる。
配置されるセンターリングと、両フランジに係合するク
ランプにおける一つのフランジとの係合部が絶縁物で形
成されていることにより、一つの継ぎ手箇所で絶縁機能
を持たせて真空シール結合することができる。
【００１１】また本発明は、シール平面部とテーパ部を
有し、真空シール結合される二つのフランジの間に配置
され、周囲にＯリングが嵌合するセンターリングと、前
記二つのフランジのテーパ部に係合するクランプとを備
えた真空シール継ぎ手において、絶縁物で形成された前
記センターリングと、前記二つのフランジの何れか一方
と前記クランプの係合部との間に設けられた絶縁スペー
サとを備えてなることを特徴とする。これにより、クラ
ンプと一つのフランジとの間の絶縁は絶縁スペーサで保
たれ、クランプに絶縁部を設けずに済む。
有し、真空シール結合される二つのフランジの間に配置
され、周囲にＯリングが嵌合するセンターリングと、前
記二つのフランジのテーパ部に係合するクランプとを備
えた真空シール継ぎ手において、絶縁物で形成された前
記センターリングと、前記二つのフランジの何れか一方
と前記クランプの係合部との間に設けられた絶縁スペー
サとを備えてなることを特徴とする。これにより、クラ
ンプと一つのフランジとの間の絶縁は絶縁スペーサで保
たれ、クランプに絶縁部を設けずに済む。
【００１２】さらに本発明の真空シール絶縁継ぎ手は、
シール平面部とテーパ部を有し、真空シール結合される
二つのフランジの間に配置され、周囲にＯリングが嵌合
する金属製インナーリングと、前記二つのフランジの周
縁間に嵌合し、前記二つのフランジ間のＯリング・シー
ル間隔を規制する絶縁物製アウターリングと、前記二つ
のフランジのテーパ部に係合すると共に二つのフランジ
の何れか一方に対する係合部が絶縁物で形成されている
クランプとを備えてなることを特徴とするものである。
シール平面部とテーパ部を有し、真空シール結合される
二つのフランジの間に配置され、周囲にＯリングが嵌合
する金属製インナーリングと、前記二つのフランジの周
縁間に嵌合し、前記二つのフランジ間のＯリング・シー
ル間隔を規制する絶縁物製アウターリングと、前記二つ
のフランジのテーパ部に係合すると共に二つのフランジ
の何れか一方に対する係合部が絶縁物で形成されている
クランプとを備えてなることを特徴とするものである。
【００１３】二つのフランジ間のＯリング・シール間隔
は二つのフランジの周縁間に嵌合する絶縁物製アウター
リングで規制し、金属製インナーリングでＯリングの配
置位置を規制することにより、真空中にはＯリング以外
の樹脂等の絶縁物は存在せず、脱ガス、アウトガス量増
加させずに、一つの継ぎ手箇所で二つのフランジは絶縁
機能を有して真空シール結合される。
は二つのフランジの周縁間に嵌合する絶縁物製アウター
リングで規制し、金属製インナーリングでＯリングの配
置位置を規制することにより、真空中にはＯリング以外
の樹脂等の絶縁物は存在せず、脱ガス、アウトガス量増
加させずに、一つの継ぎ手箇所で二つのフランジは絶縁
機能を有して真空シール結合される。
【００１４】そして、さらに本発明の真空シール絶縁継
ぎ手は、取付けボルトにより互いに絶縁して結合される
二つのフランジの間に、周囲にＯリングが嵌合している
絶縁物製センターリングを備えてなることを特徴とする
ものである。これにより、フラットなフランジにあって
も、二つのフランジ間に、単に、一つのＯリングと絶縁
物製センターリングが介在していることにより、両フラ
ンジは絶縁機能を有して真空シール結合される。
ぎ手は、取付けボルトにより互いに絶縁して結合される
二つのフランジの間に、周囲にＯリングが嵌合している
絶縁物製センターリングを備えてなることを特徴とする
ものである。これにより、フラットなフランジにあって
も、二つのフランジ間に、単に、一つのＯリングと絶縁
物製センターリングが介在していることにより、両フラ
ンジは絶縁機能を有して真空シール結合される。
【００１５】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１はクイックカップリング形式による実施例の
構成図であり、図５ないし図７と同一符号は同等部分を
示す。絶縁箇所を有して真空シール結合される配管２１
と同２２はそれぞれフランジ２１ａ，２２ａを有し、フ
ランジ２１ａにはシール平面部２１ａ1とその反対側の
テーパ部２１ａ2が形成されており、配管２２のフラン
ジ２２ａも同様にシール平面部２２ａ1及びテーパ部２
２ａ2を有する。
する。図１はクイックカップリング形式による実施例の
構成図であり、図５ないし図７と同一符号は同等部分を
示す。絶縁箇所を有して真空シール結合される配管２１
と同２２はそれぞれフランジ２１ａ，２２ａを有し、フ
ランジ２１ａにはシール平面部２１ａ1とその反対側の
テーパ部２１ａ2が形成されており、配管２２のフラン
ジ２２ａも同様にシール平面部２２ａ1及びテーパ部２
２ａ2を有する。
【００１６】配管２１のフランジ２１ａと配管２２のフ
ランジ２２ａの間には、絶縁物で形成された絶縁センタ
ーリング２３とその周囲に嵌合しているＯリング２４が
設けられている。この絶縁センターリングは、図６の断
面図に示したものと形状は同じであり、配管２１，２２
のフランジ開口部に形成された段部２１ｂ，２２ｂとの
嵌入部２３ａ、結合される二つのフランジにおけるシー
ル平面部間の間隔規制部２３ｂ、この間隔規制部の周囲
に形成されているＯリング保持溝２３ｃを有し、Ｏリン
グ２４はこの保持溝に嵌合している。
ランジ２２ａの間には、絶縁物で形成された絶縁センタ
ーリング２３とその周囲に嵌合しているＯリング２４が
設けられている。この絶縁センターリングは、図６の断
面図に示したものと形状は同じであり、配管２１，２２
のフランジ開口部に形成された段部２１ｂ，２２ｂとの
嵌入部２３ａ、結合される二つのフランジにおけるシー
ル平面部間の間隔規制部２３ｂ、この間隔規制部の周囲
に形成されているＯリング保持溝２３ｃを有し、Ｏリン
グ２４はこの保持溝に嵌合している。
【００１７】シール結合されるフランジ２１ａと２２ａ
にはクイックカップリングのクランプ２５が嵌合する。
同クランプは内側に、両フランジのテーパ部２１ａ2，
２２ａ2に係合するテーパ状の係合部２５ａ，２５ａ’
を有し、二つのフランジの一方、例えばフランジ２１ａ
のテーパ部２１ａ2と係合するテーパ状の係合部２５
ａ’は絶縁物２６で形成されており、クランプ２５に絶
縁材料をコーティングするか、あるいは絶縁物を貼付る
ことにより形成する。図１には、絶縁物２６がクランプ
２５の内面に、フランジ２２ａのテーパ部２２ａ2に対
する係合部２５ａを除いて設けたものを示している。
にはクイックカップリングのクランプ２５が嵌合する。
同クランプは内側に、両フランジのテーパ部２１ａ2，
２２ａ2に係合するテーパ状の係合部２５ａ，２５ａ’
を有し、二つのフランジの一方、例えばフランジ２１ａ
のテーパ部２１ａ2と係合するテーパ状の係合部２５
ａ’は絶縁物２６で形成されており、クランプ２５に絶
縁材料をコーティングするか、あるいは絶縁物を貼付る
ことにより形成する。図１には、絶縁物２６がクランプ
２５の内面に、フランジ２２ａのテーパ部２２ａ2に対
する係合部２５ａを除いて設けたものを示している。
【００１８】クランプ２５を締め付けることにより、Ｏ
リング２４は絶縁センターリング２３の間隔規制部２３
ｂの厚さにまで潰され、配管２１と同２２のフランジ２
１ａ，２２ａは真空シール結合されると共に、絶縁セン
ターリング２３とクランプ２５の絶縁物２６で形成され
た係合部２５ａ’により両配管は電気的に絶縁される。
クランプ２５のテーパ部２５ａには絶縁物が設けられて
いないから、同クランプ片は配管２２と電気的に接触
し、同クランプ片が電気的に浮動電位になることを防止
することができる。
リング２４は絶縁センターリング２３の間隔規制部２３
ｂの厚さにまで潰され、配管２１と同２２のフランジ２
１ａ，２２ａは真空シール結合されると共に、絶縁セン
ターリング２３とクランプ２５の絶縁物２６で形成され
た係合部２５ａ’により両配管は電気的に絶縁される。
クランプ２５のテーパ部２５ａには絶縁物が設けられて
いないから、同クランプ片は配管２２と電気的に接触
し、同クランプ片が電気的に浮動電位になることを防止
することができる。
【００１９】図２はクイックカップリング形式による他
の実施例の断面構成図である。図１と同一符号は同等部
分を示す。図１に示した実施例の欠点は、樹脂等の絶縁
物製の絶縁センターリング２３が真空中に位置すること
により、脱ガス、アウトガス量が増加する点にある。こ
れを避けるために真空中に金属製のインナーリング２７
が位置するようにし、同インナーリングは配管２１，２
２内を真空にしたとき、Ｏリング２４がこれら配管内に
入り込まないようにする部材として機能させ、真空シー
ル結合された二つの配管フランジに同時に接触しない厚
さに形成されている。Ｏリング２４が押し潰される締め
しろ、すなわちフランジ２１ａと２２ａとの間のＯリン
グ・シール間隔は、これらフランジの周縁部に嵌合して
いる絶縁物製のアウターリング２８で規制する。二つの
フランジのテーパ部の一方、フランジ２１ａのテーパ部
２１ａ2と係合するクランプ２５の係合部は絶縁物２６
で形成されている。
の実施例の断面構成図である。図１と同一符号は同等部
分を示す。図１に示した実施例の欠点は、樹脂等の絶縁
物製の絶縁センターリング２３が真空中に位置すること
により、脱ガス、アウトガス量が増加する点にある。こ
れを避けるために真空中に金属製のインナーリング２７
が位置するようにし、同インナーリングは配管２１，２
２内を真空にしたとき、Ｏリング２４がこれら配管内に
入り込まないようにする部材として機能させ、真空シー
ル結合された二つの配管フランジに同時に接触しない厚
さに形成されている。Ｏリング２４が押し潰される締め
しろ、すなわちフランジ２１ａと２２ａとの間のＯリン
グ・シール間隔は、これらフランジの周縁部に嵌合して
いる絶縁物製のアウターリング２８で規制する。二つの
フランジのテーパ部の一方、フランジ２１ａのテーパ部
２１ａ2と係合するクランプ２５の係合部は絶縁物２６
で形成されている。
【００２０】さらに他のクイックカップリング形式によ
る実施例の構成を図３に示す。図１と同一符号は同等部
分を示している。図１と異なるところはクランプ２５と
して、図５の従来技術で用いられている通常のクランプ
を用いているところにある。この点、配管２１における
フランジ２１ａのテーパ部２１ａ2がクランプ２５と電
気的に接触せずに係合するように、主としてテーパ部２
１ａ2とクランプ片２５との間に絶縁スペーサ２９を配
置しており、同スペーサは、例えば、フランジ２２ａの
テーパ部２２ａ2に対する係合部２５ａを除くクランプ
の内側に配置されるように形成されている。
る実施例の構成を図３に示す。図１と同一符号は同等部
分を示している。図１と異なるところはクランプ２５と
して、図５の従来技術で用いられている通常のクランプ
を用いているところにある。この点、配管２１における
フランジ２１ａのテーパ部２１ａ2がクランプ２５と電
気的に接触せずに係合するように、主としてテーパ部２
１ａ2とクランプ片２５との間に絶縁スペーサ２９を配
置しており、同スペーサは、例えば、フランジ２２ａの
テーパ部２２ａ2に対する係合部２５ａを除くクランプ
の内側に配置されるように形成されている。
【００２１】図４は二つの配管のフランジが取付けボル
トにより互いに絶縁して結合される実施例の断面構成図
である。図１及び図８と同一符号は同等部分を示す。二
つの配管１０，１１におけるフラットなフランジ１０
ａ，１１ａの間には、絶縁物で形成された絶縁センター
リング２３とその周囲に嵌合しているＯリング２４を設
ける。この絶縁センターリングは、図１に示したものと
形状的には同じである。フランジ１１ａの貫通孔１１ｃ
に絶縁ワッシャ１６を嵌めて取付けボルト１５を各貫通
孔１０ｃ，１１ｃに通し、ナット１７で締め付けること
により、Ｏリング２４を絶縁センターリング２３の間隔
規制部２３ｂの厚さまで押し潰すことにより、両配管は
電気的に絶縁された状態で真空シール結合される。な
お、取付けボルト１５として絶縁物製のボルトを用いる
ことにより、絶縁ワッシャ１６が不要となり、貫通孔１
０ｃと１１ｃの孔径を同じにすることができ、図１ない
し図３と同様、二つの配管のフランジを全く同じ形状に
加工すればよいことになる。そして二つのフランジ１０
ａ，１１ａ間には絶縁センターリング２３とＯリング２
４を配置するだけでよいから、配管１０，１１の全体寸
法は絶縁フランジ板を用いる従来と同じにすることがで
きる。
トにより互いに絶縁して結合される実施例の断面構成図
である。図１及び図８と同一符号は同等部分を示す。二
つの配管１０，１１におけるフラットなフランジ１０
ａ，１１ａの間には、絶縁物で形成された絶縁センター
リング２３とその周囲に嵌合しているＯリング２４を設
ける。この絶縁センターリングは、図１に示したものと
形状的には同じである。フランジ１１ａの貫通孔１１ｃ
に絶縁ワッシャ１６を嵌めて取付けボルト１５を各貫通
孔１０ｃ，１１ｃに通し、ナット１７で締め付けること
により、Ｏリング２４を絶縁センターリング２３の間隔
規制部２３ｂの厚さまで押し潰すことにより、両配管は
電気的に絶縁された状態で真空シール結合される。な
お、取付けボルト１５として絶縁物製のボルトを用いる
ことにより、絶縁ワッシャ１６が不要となり、貫通孔１
０ｃと１１ｃの孔径を同じにすることができ、図１ない
し図３と同様、二つの配管のフランジを全く同じ形状に
加工すればよいことになる。そして二つのフランジ１０
ａ，１１ａ間には絶縁センターリング２３とＯリング２
４を配置するだけでよいから、配管１０，１１の全体寸
法は絶縁フランジ板を用いる従来と同じにすることがで
きる。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、真空シール結合される二つのフランジ間に配置さ
れるセンターリングと、両フランジに係合するクランプ
における一つのフランジとの係合部が絶縁物で形成され
ていることにより、少ない部品点数による一つの継ぎ手
で、二つの配管のフランジをその形状を変更することな
く、コンパクトに電気的に絶縁して真空シール結合する
ことができる。
ので、真空シール結合される二つのフランジ間に配置さ
れるセンターリングと、両フランジに係合するクランプ
における一つのフランジとの係合部が絶縁物で形成され
ていることにより、少ない部品点数による一つの継ぎ手
で、二つの配管のフランジをその形状を変更することな
く、コンパクトに電気的に絶縁して真空シール結合する
ことができる。
【００２３】二つのフランジの何れか一方と前記クラン
プの係合部とが絶縁スペーサで絶縁できるから、クラン
プに絶縁物による係合部を形成しなくても済み、クラン
プとして、従来技術で用いているクランプをそのまま使
用することができる。
プの係合部とが絶縁スペーサで絶縁できるから、クラン
プに絶縁物による係合部を形成しなくても済み、クラン
プとして、従来技術で用いているクランプをそのまま使
用することができる。
【００２４】二つのフランジ間のＯリング・シール間隔
は二つのフランジの周縁間に嵌合する絶縁物製アウター
リングで規制し、金属製インナーリングでＯリングの配
置位置を規制することにより、配管内の真空中にはＯリ
ング以外の樹脂等の絶縁物を存在させずに済み、脱ガ
ス、アウトガス量増加させずに、絶縁機能を有する真空
シール結合を一つの継ぎ手で行える。
は二つのフランジの周縁間に嵌合する絶縁物製アウター
リングで規制し、金属製インナーリングでＯリングの配
置位置を規制することにより、配管内の真空中にはＯリ
ング以外の樹脂等の絶縁物を存在させずに済み、脱ガ
ス、アウトガス量増加させずに、絶縁機能を有する真空
シール結合を一つの継ぎ手で行える。
【００２５】フラットなフランジにあっても、二つのフ
ランジ間に一つのＯリングと絶縁物製センターリングを
介在させることにより、少ない部品点数によるコンパク
トな一つの継ぎ手で、二つの配管の全体の寸法を変えず
に、コンパクトに絶縁して真空シール結合することがで
きる。
ランジ間に一つのＯリングと絶縁物製センターリングを
介在させることにより、少ない部品点数によるコンパク
トな一つの継ぎ手で、二つの配管の全体の寸法を変えず
に、コンパクトに絶縁して真空シール結合することがで
きる。
【図１】クランプカップリング形式による本発明の実施
例の断面構成図である。
例の断面構成図である。
【図２】クランプカップリング形式による他の実施例の
断面構成図である。
断面構成図である。
【図３】クランプカップリング形式による更に他の実施
例の断面構成図である。
例の断面構成図である。
【図４】フランジをボルトで結合する形式の実施例の断
面構成図である。
面構成図である。
【図５】クイックカップリング形式の継ぎ手機構を用
い、絶縁箇所を有して真空シール結合される従来の配管
系の一例を示す断面構成図である。
い、絶縁箇所を有して真空シール結合される従来の配管
系の一例を示す断面構成図である。
【図６】センターリングの断面図である。
【図７】クイックカップリング形式継ぎ手機構における
クランプ部の平面図である。
クランプ部の平面図である。
【図８】フランジをボルトで結合する従来の真空シール
絶縁配管系の一例を示す断面構成図である。
絶縁配管系の一例を示す断面構成図である。
１，５， 配管 ３ 絶縁ニップル ６ 金属製センターリング ７ Ｏリング ８ クランプ １０，１１，２１，２２ 配管 １０ａ，１１ａ，２１ａ，２２ａ 配管のフランジ ２１ａ1，２２ａ1 フランジのシール平面部 ２１ａ2，２２ａ2 フランジのテーパ部 ２３ 絶縁物製センターリング ２４ Ｏリング ２５ クランプ ２５ａ，２５ａ’ クランプの係合部 ２６ 絶縁物 ２７ 金属製のインナーリング ２８ 絶縁物製アウターリング ２９ 絶縁スペーサ
Claims (4)
- 【請求項１】 シール平面部とテーパ部を有し、真空シ
ール結合される二つのフランジの間に配置され、周囲に
Ｏリングが嵌合するセンターリングと、前記二つのフラ
ンジのテーパ部に係合するクランプとを備えた真空シー
ル継ぎ手において、前記センターリングが絶縁物で形成
されていると共に、前記二つのフランジの何れか一方に
対する前記クランプの係合部が絶縁物で形成されている
ことを特徴とする真空シール絶縁継ぎ手。 - 【請求項２】 シール平面部とテーパ部を有し、真空シ
ール結合される二つのフランジの間に配置され、周囲に
Ｏリングが嵌合するセンターリングと、前記二つのフラ
ンジのテーパ部に係合するクランプとを備えた真空シー
ル継ぎ手において、絶縁物で形成された前記センターリ
ングと、前記二つのフランジの何れか一方と前記クラン
プの係合部との間に設けられた絶縁スペーサとを備えて
なることを特徴とする真空シール絶縁継ぎ手。 - 【請求項３】 シール平面部とテーパ部を有し、真空シ
ール結合される二つのフランジの間に配置され、周囲に
Ｏリングが嵌合する金属製インナーリングと、前記二つ
のフランジの周縁間に嵌合し、前記二つのフランジ間の
Ｏリング・シール間隔を規制する絶縁物製アウターリン
グと、前記二つのフランジのテーパ部に係合すると共に
二つのフランジの何れか一方に対する係合部が絶縁物で
形成されているクランプとを備えてなることを特徴とす
る真空シール絶縁継ぎ手。 - 【請求項４】 取付けボルトにより互いに絶縁して結合
される二つのフランジの間に、周囲にＯリングが嵌合し
ている絶縁物製センターリングを備えてなることを特徴
とする真空シール絶縁継ぎ手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7037722A JPH08210572A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 真空シール絶縁継ぎ手 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7037722A JPH08210572A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 真空シール絶縁継ぎ手 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08210572A true JPH08210572A (ja) | 1996-08-20 |
Family
ID=12505404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7037722A Pending JPH08210572A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 真空シール絶縁継ぎ手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08210572A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020016231A (ko) * | 2000-08-25 | 2002-03-04 | 박장주 | 상·하수관 연결구조 |
| JP2002317889A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-31 | Toyoko Kagaku Co Ltd | ステンレスフランジと石英スリーブとの接続体 |
| JP2003083486A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-19 | Anelva Corp | クランプ形継手およびそのセンターリング |
| JP2008082358A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Ckd Corp | 流体機器モジュール、及び流体機器モジュール接続構造 |
| KR100823867B1 (ko) * | 2006-09-09 | 2008-04-24 | 최인성 | 관연결구조 |
| WO2013137713A1 (en) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | Petroliam Nasional Berhad (Petronas) | Insulating flange gasket with inner perimeter lip |
| CN104717823A (zh) * | 2015-03-30 | 2015-06-17 | 同方威视技术股份有限公司 | 绝缘密封结构和电子帘加速器 |
| KR20180115837A (ko) * | 2017-04-13 | 2018-10-24 | (주)유니엠 | 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체 |
-
1995
- 1995-02-03 JP JP7037722A patent/JPH08210572A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020016231A (ko) * | 2000-08-25 | 2002-03-04 | 박장주 | 상·하수관 연결구조 |
| JP2002317889A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-31 | Toyoko Kagaku Co Ltd | ステンレスフランジと石英スリーブとの接続体 |
| JP2003083486A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-19 | Anelva Corp | クランプ形継手およびそのセンターリング |
| KR100823867B1 (ko) * | 2006-09-09 | 2008-04-24 | 최인성 | 관연결구조 |
| JP2008082358A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Ckd Corp | 流体機器モジュール、及び流体機器モジュール接続構造 |
| WO2013137713A1 (en) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | Petroliam Nasional Berhad (Petronas) | Insulating flange gasket with inner perimeter lip |
| CN104717823A (zh) * | 2015-03-30 | 2015-06-17 | 同方威视技术股份有限公司 | 绝缘密封结构和电子帘加速器 |
| KR20180115837A (ko) * | 2017-04-13 | 2018-10-24 | (주)유니엠 | 배관 연결용 가스켓 및 이를 포함하는 배관 조립체 |
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