JPH08211222A

JPH08211222A - カラーフィルタの製造法

Info

Publication number: JPH08211222A
Application number: JP29019795A
Authority: JP
Inventors: Hideyuki Hashimoto; 秀行橋本; Masahiko Itabashi; 雅彦板橋; Nobuaki Takane; 信明高根; Koji Yamazaki; 浩二山崎; Shiyouichi Sasaki; 晶市佐々木; Yoichi Kimura; 陽一木村; Yuji Kobayashi; 雄二小林
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1994-11-08
Filing date: 1995-11-08
Publication date: 1996-08-20

Abstract

(57)【要約】【目的】クリーンルーム内での連続工程に好適なカラ−
フィルタの製造法を提供する。【構成】フィルム転写法カラーフィルター製造法におい
て、耐酸素障害性を有する感光性樹脂層を含んだカラー
フィルター製造用転写フィルムを使用する。【効果】酸素阻害膜としてのベースフィルムは必要なく
なり感光性樹脂層単独での露光・現像が可能となり、ベ
ースフィルムを転写工程直後に連続剥離することによ
り、転写フィルムの切断およびそれに伴うダスト発生を
未然に防ぐことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置等に使用されるカラーフィルタの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ティスプレイ（以下ＬＣＤと略す）
は、薄型、小型、低消費電力などの特長を生かし、現
在、時計、電卓、ＴＶ、パソコン等の表示部に用いられ
ている。更に近年、カラーＬＣＤが開発されＯＡ・ＡＶ
機器を中心にナビゲーションシステム、ビュウファイン
ダーなど数多くの用途に使われ始めており、その市場は
今後、急激に拡大するものと予想されている。

【０００３】ＬＣＤをカラー表示させるためのカラーフ
ィルタは、格子状パターンのＢＭ（ブラックマトリック
ス）１が形成されたガラス板等の基板２上に、Ｒ（赤）
Ｇ（緑）Ｂ（青）からなるカラー画素３（約１００×１
００×２μｍ）を順次形成し、その上に透明なオーバー
コート層（ＯＣ）４を形成したものである。５は偏光
板、６はＩＴＯ電極である。

【０００４】カラーＬＣＤは、カラーフィルタ７をＬＣ
Ｄ内部に設置し、バックライト光をカラーフィルタに透
過することによって表示画面をカラー化できる。８は配
向膜、９は液晶、１０はシ−ル材、１１はトップコ−ト
層、１２はＩＴＯ電極、１３はガラス板等の基板、１４
は偏光板である。

【０００５】現在、カラーフィルタは主に染色法を用い
て製造されている。しかし、この方法はガラス基板上に
透明な感光性樹脂を塗布、乾燥、露光、現像によって画
素を形成後、染料を用いて染色しその後、混色防止層を
形成するといった工程を３回繰り返し行う必要があるた
め、工程数が多くコスト高となる。また、着色剤として
染料を用いているため、カラーフィルタの重要課題であ
る信頼性（耐候性・耐熱性）が劣るという欠点がある。
そこで、着色剤として顔料を用いたカラーフィルタがい
くつか提案されており、その中に電着法、印刷法、フォ
トリソ法（フォトリソグラフィー法）がある。

【０００６】しかし、電着法は電極パターンを形成する
必要があるため（１）パターンの自由度が少ない、
（２）コストが高い、また印刷法は（１）大型基板の位
置合わせが難しく解像度が低いため微細化の対応が困
難、（２）パターンの平坦性が劣る、などの問題があ
り、現状ではフォトリソ法が主流と考えられている。フ
ォトリソ法には、液状レジストとフィルムが考えられ
る。液状レジストは、感光性樹脂中に顔料を分散させた
ワニスをスピナーでガラス基板上に塗布、乾燥後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。一方、フィ
ルムは、プリント板用感光性フィルムと同様にワニスを
フィルム化したものであり、基板にラミネート後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】フィルム転写法カラー
フィルター製造法において使用されている転写フィルム
はベースフィルム、顔料を含有する感光性樹脂層、カバ
ーフィルムの三層構造より構成されている。使用時にカ
バーフィルムが剥離され、感光性樹脂層とベースフィル
ムの二層が基板ガラス上に転写される。従来の感光性樹
脂は酸素障害が発生するため、露光終了時まで上層のベ
ースフィルムを剥離することができない。一方転写フィ
ルムは連続ロールで供給されるため、転写後、フィルム
を切断する必要があった。カラーフィルターの製造は通
常高レベルのクリーンルームで行われるため、フィルム
切断はダスト発生を伴い、製造工程に悪影響を与える。
本発明はクリーンルーム内での連続工程に好適なカラ−
フィルタの製造法を提供するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、連続工程に好
適な転写フィルムおよびこれらを使用したカラーフィル
タ製造法である。すなわち、フィルム転写法によるカラ
ーフィルタ製造法において、量産化および連続工程に適
した転写フィルムの供給およびこれらを使用したカラー
フィルタ製造法である。

【０００９】本発明は、透明プラスチックまたはガラス
基板等の透明基板上に、一色に着色された感光性樹脂フ
ィルムを転写しフォトリソ法によりパターンを形成する
工程により着色画素の形成を行うカラーフィルタの製造
法において、感光性樹脂フィルムとして耐酸素障害性を
有するフィルムを使用することを特徴とするカラーフィ
ルタの製造法である。

【００１０】又、本発明は透明基板上に、ベースフィル
ム、クッション層、耐酸素障害性を有する一色に着色さ
れた感光性樹脂フィルムを順次積層した転写フィルムを
ラミネートし、転写フィルムのベースフィルムとクッシ
ョン層を剥離し、耐酸素障害性を有する一色に着色され
た感光性樹脂フィルムを露光・現像するフォトリソ法に
よりパターンを形成する着色画素形成を、所定回数行う
ことを特徴とするカラーフィルタの製造法である。

【００１１】更に、本発明は透明基板上に、ベースフィ
ルム、クッション層、耐酸素障害性を有する一色に着色
された感光性樹脂フィルムを順次積層した転写フィルム
をロール状で連続的に供給してラミネートし、ラミネー
ト終了後転写フィルムのベースフィルムとクッション層
を切断することなく連続的に剥離する、例えばラミネー
ト終了後転写フィルムのベースフィルムとクッション層
をロールで連続的に巻き取りながら剥離するカラーフィ
ルタの製造法である。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明ではクリーンルーム内での
連続工程に好適な耐酸素障害性を有する着色感光性樹脂
層を含んだカラーフィルタ製造用転写フィルムを使用す
る。耐酸素障害性を有する着色感光性樹脂層を含んだカ
ラーフィルタ製造用転写フィルムとしては、ベースフィ
ルム、クッション層、着色感光性樹脂層、カバーフィル
ムを順次積層してなるものが好ましく、永久支持体であ
る透明基板へ着色感光性樹脂層を密着後、クッション層
と着色感光性樹脂層との界面で剥離できるものであり、
ベースフィルム、クッション層を剥離した後、フォトマ
スク等を通して露光し、現像することによって、永久支
持体である透明基板上に、着色樹脂パターンを形成する
ことができる。これにより感光性樹脂層の転写の際に、
すでに形成された永久支持体上の画素又はブラックマト
リックス等による凹凸に起因する転写不良及び画像の平
坦性の低下を防止し、かつクッション層の着色感光層か
らの剥離が申し分なく、現像後、画素平坦性の良好なカ
ラーフィルタを得ることができる。

【００１３】ベースフィルムとしては、化学的、熱的に
安定であり、シートまたは板状に成形できるものを用い
ることができる。具体的には、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化
ビニリデン等のポリハロゲン化ビニル類、セルロースア
セテート、ニトロセルロース、セロハン等のセルロース
誘導体、ポリアミド類、ポリスチレン、ポリカーボネー
ト、ポリイミド類である。これらの中で特に好ましいの
は寸法安定性及び透過性に優れた２軸延伸ポリエチレン
テレフタレートである。ベースフィルムの膜厚は６〜１
００μｍが好ましい。６μｍ以下では、ラミネート時に
ラミネートロール等の表面粗さを下地のクッション層、
着色感光性樹脂層に転写し、着色感光性樹脂層の表面が
荒れるおそれがあるからである。

【００１４】着色感光性樹脂層は、感光性樹脂組成物に
顔料を分散させたものでありフィルム状で使用される。
感光性樹脂としては、例えば（１）酸価が２０〜３０
０、重量平均分子量が１，５００〜２００，０００の樹
脂、（２）光重合性不飽和結合を分子内に一つ以上有す
るモノマ、（３）光開始剤を含む感光性樹脂組成物が用
いられる。

【００１５】（１）酸価が２０〜３００、重量平均分子
量が１，５００〜２００，０００の樹脂としては、酸価
及び重量平均分子量がこの範囲に入っていれば特に制限
はなく、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン
酸等のカルボキシル基含有重合性モノマと、アクリル酸
エステル、メタクリル酸エステル、スチレン等の重合性
モノマとの共重合体が代表的なものとして挙げられる。

【００１６】（２）光重合性不飽和結合を分子内に一つ
以上有するモノマとしては、例えば、メチルメタクリレ
ート、ベンジルメタクリレート、ブトキシエチルメタク
リレート、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシトリ
エチレングリコールアクリレート、ＥＣＨ（エピクロル
ヒドリン）変性ブチルアクリレート、ジシクロペンタニ
ルアクリレート、ＥＯ（エチレンオキシド）変性ジシク
ロペンテニルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエ
チルメタクリレート、エチルジエチレングリコールアク
リレート、２−エチルヘキシルアクリレート、グリセロ
ールメタクリレート、ヘプタデカフロロデシルアクリレ
ート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、カプロラ
クトン変性−２−ヒドロキシエチルアクリレート、イソ
ボルニルアクリレート、メトキシジプロピレングリコー
ルアクリレート、メトキシ化シクロデカトリエンアクリ
レート、フェノキシヘキサエチレングリコールアクリレ
ート、ＥＯ変性リン酸アクリレート、カプロラクトン変
性テトラヒドロフルフリルアクリレート、ＥＯ変性ビス
フェノールＡジアクリレート、ＥＣＨ変性ビスフェノー
ルＡジアクリレート、ビスフェノールＡジメタクリレー
ト、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，３−
ブチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコ
ールジメタクリレート、グリセロールジメタクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ＥＯ変性
リン酸ジアクリレート、ＥＣＨ変性フタル酸ジアクリレ
ート、ポリエチレングリコール４００ジアクリレート、
ポリプロピレングリコール４００ジメタクリレート、テ
トラエチレングリコールジアクリレート、ＥＣＨ変性
１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロ
ールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトール
トリアクリレート、ＥＯ変性リン酸トリアクリレート、
ＥＯ変性トリメチロールプロパントリアクリレート、Ｐ
Ｏ（プロピレンオキシド）変性トリメチロールプロパン
トリアクリレート、トリス（メタクリロキシエチル）イ
ソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエ
リスリトールペンタアクリレート等のアクリレート、こ
れらに対応するメタクリレートなどが挙げられる。これ
らのモノマは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用
される。

【００１７】（３）光開始剤としては、例えば、ベンゾ
フェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミ
ノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミ
ノベンゾフェノン、ベンジル、２，２−ジエトキシアセ
トフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、
ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタ
ール、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、チオキサン
トン、２−クロロチオキサントン、１−ヒドロキシシク
ロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−
（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−１−プロ
パン、ｔ−ブチルアントラキノン、１−クロロアントラ
キノン、２，３−ジクロロアントラキノン、３−クロル
−２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノ
ン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントラキ
ノン、１，２−ベンゾアントラキノン、１，４−ジメチ
ルアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２−
（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾ
ール二量体等が挙げられる。これらの光開始剤は単独で
又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００１８】顔料としては、無機顔料と有機顔料がある
が、通常、黒色のカーボンブラック、黒鉛等を除いて
は、色調の豊富さなどから、有機顔料が使用される。有
機顔料としては、例えば、アゾ系、フタロシアニン系、
インジゴ系、アントラキノン系、ペリレン系、キナクリ
ドン系、メチン・アゾメチン系、イソインドリノン系等
が挙げられる。

【００１９】着色感光性樹脂の製造で使用される有機溶
剤としては、特に制限はなく、例えば、ケトン系有機溶
剤（アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン
等）、セロソルブ系有機溶剤（メチルセロソルブ、エチ
ルセロソルブ、ブチロセロソルブ、メチルセロソルブア
セテート、エチルセロソルブアセテート、ブチロセロソ
ルブアセテート等）、グリコール系有機溶剤（エチレン
グリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコール
モノヘキシルエーテル、エチレングリコールジメチルエ
ーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、トリエ
チレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコ
ールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエ
チルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエー
テル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等）、
アルコール系有機溶剤（メチルアルコール、エチルアル
コール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコー
ル、３−メチル−３−メトキシブタノール等）、芳香族
系有機溶剤（ベンゼン、トルエン、キシレン等）、３−
メチル−３−メトキシブチルアセテート、Ｎ−メチル−
２−ピロリドン、Ｎ−ヒドロキシメチル−２−ピロリド
ン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、酢酸エチルなど
が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合
せて使用される。このような本発明の着色感光性樹脂フ
ィルムは耐酸素障害性を有するフィルムであり、クッシ
ョン層を剥離して露光が可能なため、解像度に優れた着
色樹脂パターンを得ることができる。

【００２０】クッション層は、シート状に成膜可能で、
常温では粘着性がなく、膜としての平滑性が０．０５μ
ｍ以下のものが望ましい。また、着色感光性樹脂フィル
ムを透明基板にラミネートする温度での硬度（ＪＩＳＫ
６３０１）が８０度以下のものがより好ましい。この理
由は、硬度が堅いと透明基板上に形成した画像パターン
の縁部分に圧力が浸透せず、泡が入ったり、縁部分に転
写した感光層の膜厚が大きくなり、形成した画像の平坦
性を損なうためである。またこの層の膜厚は該感光層の
膜厚よりも厚いことが望ましく、少なくとも２倍の厚さ
が必要である。着色感光性樹脂フィルムの膜厚が１．５
μｍの場合は３μｍ以上であることが好ましい。

【００２１】またクッション層は、転写後着色感光性樹
脂フィルムから良好な剥離性を示すために、着色感光性
樹脂フィルムとの密着力が低い材料を用いるか、着色感
光性樹脂フィルムとクッション層の界面にシリコン化合
物等を塗膜するなどして離型処理を施してもよい。ま
た、あらかじめクッション層をベースフィルムに塗工し
ておき、着色感光性樹脂フィルムと貼り合わせることに
よってクッション層との密着力を弱くすることもでき
る。

【００２２】クッション層に用いる材料として、ポリエ
チレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレ
ンと酢酸ビニル、エチレンとアクリル酸エステル、エチ
レンとビニルアルコールのようなエチレン共重合体、ポ
リ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニル、塩化ビニルと
ビニルアルコールの共重合体、ポリ塩化ビニリデン、ポ
リ塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと
（メタ）アクリル酸エステルのようなスチレン共重合
体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと（メタ）ア
クリル酸エステルの様なビニルトルエン共重合体、ポリ
（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチ
ルと酢酸ビニルのような（メタ）アクリル酸エステルの
共重合体、合成ゴム、セルローズ誘導体等から選ばれ
た、少なくとも１種類以上の有機高分子を用いることが
できる。

【００２３】本発明の転写材料のカバーフィルムとして
は、化学的および熱的に安定であって、感光層との剥離
が容易であるものが望ましい。具体的にはポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リビニルアルコール等の薄いシート状のもので表面の平
滑性が高いものが好ましい。剥離性を付与するために表
面に離型処理をしたものも含まれる。

【００２４】

【実施例】ベースフィルムとして厚さ５０μｍのポリエ
チレンテレフタレートを用い、このフィルム上に、下記
組成のクッション層形成溶塗布液とグラビヤロールを用
いて、乾燥膜厚が５μｍとなるように塗布乾燥し、エチ
レン−エチルアクリレート共重合体樹脂膜を形成し、こ
れによりベースフィルムであるポリエチレンテレフタレ
ートフィルム上に、クッション層が形成された支持体を
得た。クッション層形成溶液：エチレン−エチルアクリレート共重合樹脂１０ｇ（三井−デュポンポリケミカル社製、商品名ＥＶＡＦＬ
ＥＸ−ＥＥＡ−７０９、エチルアクリレート含有量３５
％）トルエン１００ｇ一方、カバーフィルムとして、４０μｍのポリプロピレ
ンフィルムに、次の着色感光樹脂層分散液を、グラビヤ
ロールを用いて、乾燥膜厚が１．５μｍになるように着
色感光性樹脂層を形成した。形成した着色感光性樹脂層
とエチレン−エチルアクリレート共重合樹脂クッション
層とを貼り合わせて、ベースフィルム、着色感光性樹脂
層、クッション層、カバーフィルムを順次積層したカラ
ーフィルタ製造用転写フィルムを作製した。赤色の感光
分散液は以下のように調整した。赤色の分散物はＣ．
Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＲｅｄ１７８とＣ．Ｉ．Ｐｉｇ
ｍｅｎｔＹｅｌｌｏｗ１５を８：２の比率で混合
し、これに顔料誘導体、ポリマー、溶媒等を加え分散さ
せた物を使用した。この赤色分散物３７４６．３ｇにメ
タクリル酸、エチルアクリレート、エチルアクリレート
からなる共重合体１４５．９ｇ、複数のマレイン酸モノ
アルキルエステルからなるモノマー３０９．０ｇ、溶媒
としてジエチレングリコールモノメチルエーテル３５
９．３ｇ、増感剤として２−ベンジル−２−ジメチルア
ミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１
−オン１７８．６ｇを加えた。これらの混合物を氷水で
冷却しながらホモミキサで９０分間の再分散処理を行っ
た。未溶解の成分を除去するため、１μｍメッシュのフ
ィルタを通して加圧ろ過し、感光分散液に供した。次に
クロム膜（膜厚０．１μｍ）付きガラス基板（１．１ｍ
ｍ×２００ｍｍ×３００ｍｍ、ジオマテック社製）でブ
ラックマトリックスを形成したガラス基板に、ロールラ
ミネータＨＬＭ１５００（日立化成テクノプラント社
製）を用いて、基板温度１００℃、ロール温度１００
℃、ロール圧力６ｋｇ／ｃｍ²、速度０．５ｍ／分で、
前記カラーフィルタ製造用転写フィルムのカバーフィル
ムのポリプロピレンフィルムを剥がしながら、着色感光
性樹脂フィルムがガラス基板に面するようにラミネート
した。ガラス基板／着色感光性樹脂フィルム／クッショ
ン層／ポリエチレンテレフタレートの順に積層されたガ
ラス基板よりポリエチレンテレフタレートをロールで卷
き取りながら剥がすとクッション層はポリエチレンテレ
フタレートフィルム側に接着したまま剥がれ、ガラス基
板には着色感光性樹脂フィルムのみが残った。次に所定
のネガマスクを通して、平行光露光機ＭＡＰ１２００Ｌ
（大日本スクリーン社製）を用いて１００ｍＪ／ｃｍ²
露光、スプレー式現像装置ＤＶＷ９１１（大日本スクリ
ーン社製）を用いて、現像液を用いて、２５℃で６０秒
間スプレー現像して未露光部を除去し、クリーンオーブ
ンＣＳＯ−４０２（楠本化成製）で１５０℃に加熱、硬
化を行って１色の着色パターンを形成した。この着色形
成工程をＲ、Ｇ、Ｂの順に各色のフィルムを用いて繰り
返し行い、ＲＧＢ画素パターンを形成した。

【００２５】

【発明の効果】耐酸素障害性を有する感光性樹脂層を含
んだカラーフィルター製造用転写フィルムの使用によ
り、酸素阻害膜としてのベースフィルムは必要なくな
り、感光性樹脂層単独での露光・現像が可能となる。ま
たベースフィルムを転写工程直後に連続剥離することに
より、転写フィルムの切断およびそれに伴うダスト発生
を未然に防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】液晶ティスプレイの断面図である。

【符号の説明】

１．ＢＭ（ブラックマトリックス）２．ガラス基板３．カラー画素４．オーバーコート層（ＯＣ）５．偏光板６．ＩＴＯ電極７．カラーフィルタ８．配向膜９．液晶１０．シ−ル材１１．トップコ−ト層１２．ＩＴＯ電極１３．ガラス基板１４．偏光板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山崎浩二千葉県市原市五井南海岸14番地日立化成工業株式会社五井工場内 (72)発明者佐々木晶市茨城県日立市東町四丁目13番１号日立化成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者木村陽一千葉県市原市五井南海岸14番地日立化成工業株式会社五井工場内 (72)発明者小林雄二茨城県日立市東町四丁目13番１号日立化成工業株式会社茨城研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板上に、一色に着色された感光性
樹脂フィルムを転写し露光・現像するフォトリソ法によ
りパターンを形成する着色画素形成を所定回数行うカラ
ーフィルタの製造法において、感光性樹脂フィルムとし
て耐酸素障害性を有するフィルムを使用することを特徴
とするカラーフィルタの製造法。
【請求項２】透明基板上に、ベースフィルム、クッシ
ョン層、耐酸素障害性を有する一色に着色された感光性
樹脂フィルムを順次積層した転写フィルムをラミネート
し、転写フィルムのベースフィルムとクッション層を剥
離し、耐酸素障害性を有する一色に着色された感光性樹
脂フィルムを露光・現像するフォトリソ法によりパター
ンを形成する着色画素形成を、所定回数行うことを特徴
とするカラーフィルタの製造法。
【請求項３】透明基板上に、ベースフィルム、クッシ
ョン層、耐酸素障害性を有する一色に着色された感光性
樹脂フィルムを順次積層した転写フィルムをロール状で
連続的に供給してラミネートし、ラミネート終了後転写
フィルムのベースフィルムとクッション層を切断するこ
となく連続的に剥離する請求項２記載のカラーフィルタ
の製造法。
【請求項４】透明基板上に、ベースフィルム、クッシ
ョン層、耐酸素障害性を有する一色に着色された感光性
樹脂フィルムを順次積層した転写フィルムをロール状で
連続的に供給してラミネートし、ラミネート終了後転写
フィルムのベースフィルムとクッション層をロールで連
続的に巻き取りながら剥離する請求項２又は３記載のカ
ラーフィルタの製造法。