JPH08214570A - 振動型モーター装置 - Google Patents
振動型モーター装置Info
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- JPH08214570A JPH08214570A JP7016820A JP1682095A JPH08214570A JP H08214570 A JPH08214570 A JP H08214570A JP 7016820 A JP7016820 A JP 7016820A JP 1682095 A JP1682095 A JP 1682095A JP H08214570 A JPH08214570 A JP H08214570A
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動波モーターにおける駆動不能判定を効率
良く行なう。 【構成】 振動波モーターの駆動力にて移動される部材
の移動検知を行なうことで駆動不能判定を行なう判定手
段を設け、該判定手段による判定基準をモーターの振動
状態に応じて変更する変更手段を設ける。
良く行なう。 【構成】 振動波モーターの駆動力にて移動される部材
の移動検知を行なうことで駆動不能判定を行なう判定手
段を設け、該判定手段による判定基準をモーターの振動
状態に応じて変更する変更手段を設ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は振動波(振動型)モータ
を駆動するための振動波(振動型)モータ駆動装置に関
するものである。
を駆動するための振動波(振動型)モータ駆動装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】モータによる制御では過負荷等が原因で
駆動できなくなった時の判定方法として、一定時間以上
駆動部が駆動されなかったことをもって駆動不能と判断
する方法がよく用いられる。たとえば、電圧制御の直流
モータ等では最高電圧を印加した状態でこの判定を行え
ばよいが、近年実用化されている周波数制御による振動
波モータにおいてはその特性上、共振周波数付近は最も
高回転・高トルクを発生するが、一方この共振周波数は
温度等の環境により変化するので、駆動不能判定を行う
周波数が共振周波数から大きくずれていると負荷にかか
わりなく駆動できないことがあり、適切な駆動不能判定
ができない。
駆動できなくなった時の判定方法として、一定時間以上
駆動部が駆動されなかったことをもって駆動不能と判断
する方法がよく用いられる。たとえば、電圧制御の直流
モータ等では最高電圧を印加した状態でこの判定を行え
ばよいが、近年実用化されている周波数制御による振動
波モータにおいてはその特性上、共振周波数付近は最も
高回転・高トルクを発生するが、一方この共振周波数は
温度等の環境により変化するので、駆動不能判定を行う
周波数が共振周波数から大きくずれていると負荷にかか
わりなく駆動できないことがあり、適切な駆動不能判定
ができない。
【0003】このような問題を解決する為に、従来は駆
動不能判定の時間を長くとり、その間に周波数をスイー
プする方法がある。
動不能判定の時間を長くとり、その間に周波数をスイー
プする方法がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記方
法では共振周波数に近い遠いにかかわらず、駆動不能判
定を一定時間に設定しているため、共振周波数近傍では
必要以上に長い時間駆動不能の判定がだされるまで通電
しっぱなしになり、消費電力が多くなるといった問題が
ある。
法では共振周波数に近い遠いにかかわらず、駆動不能判
定を一定時間に設定しているため、共振周波数近傍では
必要以上に長い時間駆動不能の判定がだされるまで通電
しっぱなしになり、消費電力が多くなるといった問題が
ある。
【0005】本出願に係わる第1の発明の目的は、振動
波モータの振動状態信号を用い、駆動不能判定を適切な
周波数にて行うことである。
波モータの振動状態信号を用い、駆動不能判定を適切な
周波数にて行うことである。
【0006】本出願に係わる第2の発明の目的は、振動
波モータの振動状態信号を用い、駆動不能判定基準(時
間)を適切な基準で行なわせることにより無駄な電力の
消費を防ぐことである。
波モータの振動状態信号を用い、駆動不能判定基準(時
間)を適切な基準で行なわせることにより無駄な電力の
消費を防ぐことである。
【0007】本出願に係わる第3の発明の目的は、振動
波モータの振動状態信号と駆動量を用い、駆動不能判定
基準(時間)を適切な基準で行なわせることにより無駄
な電力の消費を防ぐことである。
波モータの振動状態信号と駆動量を用い、駆動不能判定
基準(時間)を適切な基準で行なわせることにより無駄
な電力の消費を防ぐことである。
【0008】
【課題を解決するための手段】課題を解決するため請求
項1では、振動波モータ駆動装置において、振動波モー
タの振動状態を検知して、振動波モータが共振または共
振付近の駆動状態にあるか否かを出力する振動状態検知
手段と、振動波モータによって駆動される部材の駆動を
検出する駆動状態検出手段と、該検出手段結果に基づい
て振動波モータによる駆動不能を判定する駆動不能判別
手段とを有し、駆動不能判別手段は、前記振動状態検出
手段の出力に応じて、動作または不動作とする様構成し
たものである。又請求項2では共振近傍にて判別手段を
作動させたものであり、また、請求項3では駆動不能判
定手段は駆動検出手段からの出力が所定時間変化しなか
った時、駆動不能と判断する作用を有するものである。
項1では、振動波モータ駆動装置において、振動波モー
タの振動状態を検知して、振動波モータが共振または共
振付近の駆動状態にあるか否かを出力する振動状態検知
手段と、振動波モータによって駆動される部材の駆動を
検出する駆動状態検出手段と、該検出手段結果に基づい
て振動波モータによる駆動不能を判定する駆動不能判別
手段とを有し、駆動不能判別手段は、前記振動状態検出
手段の出力に応じて、動作または不動作とする様構成し
たものである。又請求項2では共振近傍にて判別手段を
作動させたものであり、また、請求項3では駆動不能判
定手段は駆動検出手段からの出力が所定時間変化しなか
った時、駆動不能と判断する作用を有するものである。
【0009】又、課題を解決するため請求項4では、振
動波モータ駆動装置において、振動波モータの振動状態
を検知して、振動波モータが共振または共振付近の駆動
状態にあるか否かを出力する振動状態検知手段と、振動
波モータによって駆動される部材の駆動を検出する駆動
検出手段と、振動波モータによる駆動不能を判定する駆
動不能判別手段とを有し、駆動不能判別手段は、前記振
動状態検出手段の出力に応じて、駆動不能判定基準を切
り替える様構成したものである。また、請求項5,6で
は駆動不能判定手段は駆動検出手段からの出力が所定時
間変化しなかった時、駆動不能と判断し、前記所定時間
は駆動状態検知手段の出力が振動波モータが共振または
共振付近の駆動状態にある時は第1の基準(第1の時
間)に、また駆動状態検知手段からの出力が振動波モー
タが共振または共振付近の駆動状態にない時は第2の基
準(第1の時間より短くない第2の時間)に切り替える
作用を有する。
動波モータ駆動装置において、振動波モータの振動状態
を検知して、振動波モータが共振または共振付近の駆動
状態にあるか否かを出力する振動状態検知手段と、振動
波モータによって駆動される部材の駆動を検出する駆動
検出手段と、振動波モータによる駆動不能を判定する駆
動不能判別手段とを有し、駆動不能判別手段は、前記振
動状態検出手段の出力に応じて、駆動不能判定基準を切
り替える様構成したものである。また、請求項5,6で
は駆動不能判定手段は駆動検出手段からの出力が所定時
間変化しなかった時、駆動不能と判断し、前記所定時間
は駆動状態検知手段の出力が振動波モータが共振または
共振付近の駆動状態にある時は第1の基準(第1の時
間)に、また駆動状態検知手段からの出力が振動波モー
タが共振または共振付近の駆動状態にない時は第2の基
準(第1の時間より短くない第2の時間)に切り替える
作用を有する。
【0010】課題を解決するため請求項7では、振動波
モータにおいて、振動波モータの駆動状態を検知して、
振動波モータが共振または共振付近の駆動状態にあるか
否かを出力する駆動状態検知手段と、振動波モータによ
って駆動される部材の駆動量を検出する駆動量検出手段
と、振動波モータによる駆動不能を判定する駆動不能判
別手段とを有し、駆動不能判別手段は、前記駆動状態検
出手段の出力および駆動量検出手段の出力に応じて、駆
動不能判定基準を切り替える様構成したものである。ま
た、請求項8では駆動不能判定手段は駆動量検出手段か
らの出力が所定時間変化しなかった時、駆動不能と判断
し、前記所定時間は駆動状態検知手段の出力が振動波モ
ータが共振または共振付近の駆動状態にある時は第1の
時間に、また駆動状態検知手段からの出力が振動波モー
タが共振または共振付近の駆動状態にない時には駆動量
検出手段の出力が所定値以下なら第1の時間より短くな
い第2の時間に、駆動量検出手段の出力が所定値以下で
なかったら第2の時間よりも短い第3の時間に切り替え
る作用を有する。
モータにおいて、振動波モータの駆動状態を検知して、
振動波モータが共振または共振付近の駆動状態にあるか
否かを出力する駆動状態検知手段と、振動波モータによ
って駆動される部材の駆動量を検出する駆動量検出手段
と、振動波モータによる駆動不能を判定する駆動不能判
別手段とを有し、駆動不能判別手段は、前記駆動状態検
出手段の出力および駆動量検出手段の出力に応じて、駆
動不能判定基準を切り替える様構成したものである。ま
た、請求項8では駆動不能判定手段は駆動量検出手段か
らの出力が所定時間変化しなかった時、駆動不能と判断
し、前記所定時間は駆動状態検知手段の出力が振動波モ
ータが共振または共振付近の駆動状態にある時は第1の
時間に、また駆動状態検知手段からの出力が振動波モー
タが共振または共振付近の駆動状態にない時には駆動量
検出手段の出力が所定値以下なら第1の時間より短くな
い第2の時間に、駆動量検出手段の出力が所定値以下で
なかったら第2の時間よりも短い第3の時間に切り替え
る作用を有する。
【0011】
【実施例】図1は第1の実施例にかかわる振動波(振動
型)モータの駆動回路構成図を示したものである。
型)モータの駆動回路構成図を示したものである。
【0012】図1において、1は振動波(振動型)モー
タの固定子を示し、固定子1の表面には分極処理なされ
た2群の電歪素子又は圧電素子等の周波信号の印加にて
振動を起生する電気−機械エネルギー変換素子が配され
ている。1−1、および1−2は前記各群の電歪素子
(圧電素子)上に互いに90度位相の異なる周波電圧を
印加するための駆動電極、1−3は固定子の振動状態を
検出するモニタ電極であり、モニタ電極1−3は、駆動
電極1−1、1−2とは電気的に絶縁された電歪素子
(圧電素子)上に配されている。1−4は1−1、1−
2、1−3の各電極に対する共通電極である。
タの固定子を示し、固定子1の表面には分極処理なされ
た2群の電歪素子又は圧電素子等の周波信号の印加にて
振動を起生する電気−機械エネルギー変換素子が配され
ている。1−1、および1−2は前記各群の電歪素子
(圧電素子)上に互いに90度位相の異なる周波電圧を
印加するための駆動電極、1−3は固定子の振動状態を
検出するモニタ電極であり、モニタ電極1−3は、駆動
電極1−1、1−2とは電気的に絶縁された電歪素子
(圧電素子)上に配されている。1−4は1−1、1−
2、1−3の各電極に対する共通電極である。
【0013】2は処理回路としてのマイクロコンピュー
タ(以下、CPUと記す)で、P1・P2・P3・P5
・P6・P7・P10・P11は出力ポート、P4・P
8・P12は入力ポート、またP9は入力ポートで入力
信号の立ち上がりエッジで割り込みを発生する。3はD
/A変換器、4は電圧制御発振器(以下、VCOと記
す)である。すなわち、CPU2の出力ポートP1から
出力されるのデジタル信号をD/A変換器3でアナログ
信号に変換し、そのアナログ信号に応じた周波信号がV
CO4から出力される。本実施例ではD/A変換器3の
入力は8ビットで構成されており、VCO4は、入力電
圧が高いほど出力周波数が低くなるようにしてある。従
って出力ポートP1が00Hの時、VCO4の出力周波
数が最も高くなり、逆にFFHの時、VCO4の出力周
波数は最も低くなる。
タ(以下、CPUと記す)で、P1・P2・P3・P5
・P6・P7・P10・P11は出力ポート、P4・P
8・P12は入力ポート、またP9は入力ポートで入力
信号の立ち上がりエッジで割り込みを発生する。3はD
/A変換器、4は電圧制御発振器(以下、VCOと記
す)である。すなわち、CPU2の出力ポートP1から
出力されるのデジタル信号をD/A変換器3でアナログ
信号に変換し、そのアナログ信号に応じた周波信号がV
CO4から出力される。本実施例ではD/A変換器3の
入力は8ビットで構成されており、VCO4は、入力電
圧が高いほど出力周波数が低くなるようにしてある。従
って出力ポートP1が00Hの時、VCO4の出力周波
数が最も高くなり、逆にFFHの時、VCO4の出力周
波数は最も低くなる。
【0014】5はVCO4の出力周波数を4分周する分
周回路、6はシフトレジスタで、シフトレジスタ6のデ
ータ入力端子には分周回路5の出力が入力され、またク
ロック入力端子にはVCO4の出力が入力されており、
出力端子Qからはデータ入力端子の入力信号に対して9
0度おくれ周波信号が出力される。
周回路、6はシフトレジスタで、シフトレジスタ6のデ
ータ入力端子には分周回路5の出力が入力され、またク
ロック入力端子にはVCO4の出力が入力されており、
出力端子Qからはデータ入力端子の入力信号に対して9
0度おくれ周波信号が出力される。
【0015】7はエクスクルージブオア(以下、EXO
Rと記す)でEXOR7の一方の入力端子はシフトレジ
スタ6の出力端子Qに、他方の入力端子はCPU2の出
力ポートP2に接続されている。
Rと記す)でEXOR7の一方の入力端子はシフトレジ
スタ6の出力端子Qに、他方の入力端子はCPU2の出
力ポートP2に接続されている。
【0016】8、9はアンドゲート(以下、ANDと記
す)でAND8の一方の入力端子は分周回路5の出力端
子に、AND9の一方の入力端子はEXOR7の出力端
子に、またAND8およびAND9の他方の入力端子は
共にCPU2の出力ポートP3に接続されている。
す)でAND8の一方の入力端子は分周回路5の出力端
子に、AND9の一方の入力端子はEXOR7の出力端
子に、またAND8およびAND9の他方の入力端子は
共にCPU2の出力ポートP3に接続されている。
【0017】10、11は増幅回路で、増幅回路10は
AND8の出力信号を、増幅回路11はAND9の出力
信号をそれぞれ増幅している。12、13はコイルで、
増幅回路10の出力信号はコイル12を通して駆動電極
1−1に印加され、増幅回路11の出力信号はコイル1
3を通して駆動電極1−2に印加される。
AND8の出力信号を、増幅回路11はAND9の出力
信号をそれぞれ増幅している。12、13はコイルで、
増幅回路10の出力信号はコイル12を通して駆動電極
1−1に印加され、増幅回路11の出力信号はコイル1
3を通して駆動電極1−2に印加される。
【0018】図2は、VCO4の出力信号、CPU2の
出力ポートP2およびP3の出力信号、増幅回路10、
11の入力信号の関係を示したタイミング図である。図
2のように、CPU2の出力ポートP3の出力信号によ
り増幅回路10、11への周波信号の許可・禁止、すな
わち振動波モータへの通電の許可・禁止を制御してい
る。またCPU2の出力ポートP2の出力信号により増
幅回路10と11の入力信号の位相関係を+90度また
は−90度に切り替えて振動波モータの回転方向を制御
している。本実施例ではCPU2のP2の出力信号がロ
ウレベルの時に振動波モータが時計回りの方向に回転
し、P2の出力信号がハイレベルの時に振動波モータが
反時計回りに回転するものとする。なお、印加される周
波信号の周波数はVCO4の出力信号の周波数は4分周
した周波数となる。
出力ポートP2およびP3の出力信号、増幅回路10、
11の入力信号の関係を示したタイミング図である。図
2のように、CPU2の出力ポートP3の出力信号によ
り増幅回路10、11への周波信号の許可・禁止、すな
わち振動波モータへの通電の許可・禁止を制御してい
る。またCPU2の出力ポートP2の出力信号により増
幅回路10と11の入力信号の位相関係を+90度また
は−90度に切り替えて振動波モータの回転方向を制御
している。本実施例ではCPU2のP2の出力信号がロ
ウレベルの時に振動波モータが時計回りの方向に回転
し、P2の出力信号がハイレベルの時に振動波モータが
反時計回りに回転するものとする。なお、印加される周
波信号の周波数はVCO4の出力信号の周波数は4分周
した周波数となる。
【0019】14は正入力端子を駆動電極1−1に、負
入力端子を基準電圧(以下、Vrefと記す)に接続さ
れたコンパレータ、15は正入力端子をモニタ電極1−
3に、負入力端子をVrefに接続されたコンパレータ
であり、コンパレータ14、15により駆動電極1−1
および、1−3の信号をデジタルレベルの周波信号に変
換している。16は位相比較回路で、S入力端子はコン
パレータ14の出力に、R入力端子はコンパレータ15
の出力端子にそれぞれ接続されている。位相比較回路1
6は、S入力端子に立ち上がり信号が入力されると出力
端子はハイレベルとなり、R入力端子に立ち上がり信号
が入力されると出力端にはロウレベルが出力される。す
なわちコンパレータ14の出力の立ち上がりから、コン
パレータ15の出力信号の立ち上がりまでの期間、位相
比較回路16の出力端子にはハイレベルが出力されるの
で、この時間が駆動電極1−1に対するモニタ電極1−
3の位相遅れ時間を示す事になる。17は基準クロック
を出力するクロック発生回路、18はアップカウンタ
で、カウンタ18のクロック入力端子はクロック発生回
路17に接続され、またカウント制御入力端子は位相比
較回路16の出力端子に接続されている。本実施例では
カウンタ18のカウント制御入力端子に立ち上がり信号
が入力されると、カウント値がクリアされると共にアッ
プカウンタが動作し、カウント制御端子に立ち下がり信
号が入力されるとカウントを停止すると共にカウント値
を出力にラッチするものとする。カウンタ18の出力は
CPU2の入力ポートP4に接続されているので、CP
U2は入力ポートP4により最新の位相遅れ時間をクロ
ック発生回路17のクロック数として読むことができ
る。
入力端子を基準電圧(以下、Vrefと記す)に接続さ
れたコンパレータ、15は正入力端子をモニタ電極1−
3に、負入力端子をVrefに接続されたコンパレータ
であり、コンパレータ14、15により駆動電極1−1
および、1−3の信号をデジタルレベルの周波信号に変
換している。16は位相比較回路で、S入力端子はコン
パレータ14の出力に、R入力端子はコンパレータ15
の出力端子にそれぞれ接続されている。位相比較回路1
6は、S入力端子に立ち上がり信号が入力されると出力
端子はハイレベルとなり、R入力端子に立ち上がり信号
が入力されると出力端にはロウレベルが出力される。す
なわちコンパレータ14の出力の立ち上がりから、コン
パレータ15の出力信号の立ち上がりまでの期間、位相
比較回路16の出力端子にはハイレベルが出力されるの
で、この時間が駆動電極1−1に対するモニタ電極1−
3の位相遅れ時間を示す事になる。17は基準クロック
を出力するクロック発生回路、18はアップカウンタ
で、カウンタ18のクロック入力端子はクロック発生回
路17に接続され、またカウント制御入力端子は位相比
較回路16の出力端子に接続されている。本実施例では
カウンタ18のカウント制御入力端子に立ち上がり信号
が入力されると、カウント値がクリアされると共にアッ
プカウンタが動作し、カウント制御端子に立ち下がり信
号が入力されるとカウントを停止すると共にカウント値
を出力にラッチするものとする。カウンタ18の出力は
CPU2の入力ポートP4に接続されているので、CP
U2は入力ポートP4により最新の位相遅れ時間をクロ
ック発生回路17のクロック数として読むことができ
る。
【0020】19は固定子1の振動によって回転または
移動する部材と供に回転するパルス板で、このパルス板
19は所定間隔の透光パターンが配されている。20は
発光光源及びフォトトランジスタを含むフォトリフレク
タで、パルス板19の回転により透光パターンがフォト
リフレクター20を通過するごとに出力を形成し、パル
ス板19の回転量に応じた信号を形成する。21はコン
パレターで、コンパレータ21はフォトリフレクター2
0の出力信号をデジタルレベルに変換している。
移動する部材と供に回転するパルス板で、このパルス板
19は所定間隔の透光パターンが配されている。20は
発光光源及びフォトトランジスタを含むフォトリフレク
タで、パルス板19の回転により透光パターンがフォト
リフレクター20を通過するごとに出力を形成し、パル
ス板19の回転量に応じた信号を形成する。21はコン
パレターで、コンパレータ21はフォトリフレクター2
0の出力信号をデジタルレベルに変換している。
【0021】22はコンパレータ21の出力をクロック
入力とするアップ/ダウンカウンタで、カウンタ22の
リセット端子はCPU2の出力ポートP5に、カウンタ
22のアップ/ダウン制御端子は出力ポートP6に、カ
ウント許可/禁止制御端子は出力ポートP7に接続され
ている。また、カウンタ22の出力端子はCPU2の入
力ポートP8に接続されている。カウンタ22はパルス
板19の回転量をその出力パルス数の変換するためのも
のである。
入力とするアップ/ダウンカウンタで、カウンタ22の
リセット端子はCPU2の出力ポートP5に、カウンタ
22のアップ/ダウン制御端子は出力ポートP6に、カ
ウント許可/禁止制御端子は出力ポートP7に接続され
ている。また、カウンタ22の出力端子はCPU2の入
力ポートP8に接続されている。カウンタ22はパルス
板19の回転量をその出力パルス数の変換するためのも
のである。
【0022】コンパレータ21の出力信号はカウンタ2
2のクロック端子に接続されると供に、CPU2の割り
込み入力端子P9にも接続されている。
2のクロック端子に接続されると供に、CPU2の割り
込み入力端子P9にも接続されている。
【0023】23は基準クロックを出力するためのクロ
ック発生回路、24はアップカウンタである。アップカ
ウンタ24のクロック入力端子はクロック発生回路23
に接続され、カウンタ24のリセット端子はCPU2の
出力ポートP10に、カウンタ24のカウント許可/禁
止制御端子は出力ポートP11に接続されている。ま
た、カウンタ24の出力端子はCPU2の入力ポートP
12に接続されている。
ック発生回路、24はアップカウンタである。アップカ
ウンタ24のクロック入力端子はクロック発生回路23
に接続され、カウンタ24のリセット端子はCPU2の
出力ポートP10に、カウンタ24のカウント許可/禁
止制御端子は出力ポートP11に接続されている。ま
た、カウンタ24の出力端子はCPU2の入力ポートP
12に接続されている。
【0024】カウンタ24は振動波(振動型)モータ1
を駆動中に入力ポートP9に割り込みが発生する度にポ
ートP12よりカウンタ値を入力、さらにポートP10
でカウンタ24をリセットすることで、コンパレータ2
1から出力されるパルス信号のエッジから次のエッジま
での時間をクロック発生回路23のクロック数で得るた
めのものである。
を駆動中に入力ポートP9に割り込みが発生する度にポ
ートP12よりカウンタ値を入力、さらにポートP10
でカウンタ24をリセットすることで、コンパレータ2
1から出力されるパルス信号のエッジから次のエッジま
での時間をクロック発生回路23のクロック数で得るた
めのものである。
【0025】図3は本実施例で用いている振動波(振動
型)モータの周波数と回転数および駆動電極1−1に対
するモニタ電極1−3の位相遅れ量(以下、位相差と記
す)の関係を示したものである。横軸に周波数、縦軸に
回転数および位相差をとっている。図3より周波数を高
周波側から低周波側にスイープさせてやると、ある周波
数で起動しはじめ、さらに低周波側にスイープすると徐
々に回転数があがり、振動波(振動型)モータの共振周
波数よりさらに低周波となると、急激に回転数が低下す
る。一方、図3より位相差は周波数を低周波側へスイー
プするほど小さくなるので、この特性より加速時すなわ
ち低周波側へスイープ時、位相差を監視してやり、共振
周波数での位相差をより位相差が大きい範囲内で周波数
をスイープしてあげれば前記のような急激な回転数の低
下を防ぐ事ができる。本実施例では共振周波数での位相
差をθ0,また共振周波数より所定量高周波側での位相
差をθAとし、駆動中の位相差がθ0より小さい時は、
駆動速度によらず周波数を上げ、また、位相差がθAと
θ0の間にある時は加速の為の周波数低下を禁止するこ
とで、急激な回転数の低下を防いでいる。
型)モータの周波数と回転数および駆動電極1−1に対
するモニタ電極1−3の位相遅れ量(以下、位相差と記
す)の関係を示したものである。横軸に周波数、縦軸に
回転数および位相差をとっている。図3より周波数を高
周波側から低周波側にスイープさせてやると、ある周波
数で起動しはじめ、さらに低周波側にスイープすると徐
々に回転数があがり、振動波(振動型)モータの共振周
波数よりさらに低周波となると、急激に回転数が低下す
る。一方、図3より位相差は周波数を低周波側へスイー
プするほど小さくなるので、この特性より加速時すなわ
ち低周波側へスイープ時、位相差を監視してやり、共振
周波数での位相差をより位相差が大きい範囲内で周波数
をスイープしてあげれば前記のような急激な回転数の低
下を防ぐ事ができる。本実施例では共振周波数での位相
差をθ0,また共振周波数より所定量高周波側での位相
差をθAとし、駆動中の位相差がθ0より小さい時は、
駆動速度によらず周波数を上げ、また、位相差がθAと
θ0の間にある時は加速の為の周波数低下を禁止するこ
とで、急激な回転数の低下を防いでいる。
【0026】ところで、振動波モータにより駆動される
部材に大きな負荷等がかかり周波数数をスイープしても
駆動できない場合がある。この時はパルス板19が回転
しないので、フォトリフレクター20から信号が出力さ
れない。したがって、コンパレータ21のパルス出力の
変化が所定時間なかった時には駆動不能と判断でき、振
動波モータ1への通電を切ることで無駄な電力を消費し
ないで済む。
部材に大きな負荷等がかかり周波数数をスイープしても
駆動できない場合がある。この時はパルス板19が回転
しないので、フォトリフレクター20から信号が出力さ
れない。したがって、コンパレータ21のパルス出力の
変化が所定時間なかった時には駆動不能と判断でき、振
動波モータ1への通電を切ることで無駄な電力を消費し
ないで済む。
【0027】このときの駆動不能判定時間(以下、T0
と記す)は、電圧制御の直流モータ等ではフルパワー供
給状態でT0を設定しておけば良いが、周波数で制御さ
れる振動波モータでは共振周波数が環境等により変化す
るので、前述したような急激な回転数の低下する周波数
が特定できない。よって、駆動不能判定時間は現在振動
波モータに印加中の周波数が実際に十分駆動出来得る周
波数なのかによって変えてやる必要がある。すなわち本
来十分駆動可能な周波数であれば駆動不能判定時間T0
の判定ができ、そうでなければ、十分駆動可能な周波数
までスイープしてから駆動不能判定時間T0の判定をす
る必要がある。本実施例では、十分駆動可能な周波数で
あるかどうかを駆動電極1−1に対するモニタ電極1−
3の位相遅れ量(位相差)が図3のθAより小さいかど
うかをもって判別している。
と記す)は、電圧制御の直流モータ等ではフルパワー供
給状態でT0を設定しておけば良いが、周波数で制御さ
れる振動波モータでは共振周波数が環境等により変化す
るので、前述したような急激な回転数の低下する周波数
が特定できない。よって、駆動不能判定時間は現在振動
波モータに印加中の周波数が実際に十分駆動出来得る周
波数なのかによって変えてやる必要がある。すなわち本
来十分駆動可能な周波数であれば駆動不能判定時間T0
の判定ができ、そうでなければ、十分駆動可能な周波数
までスイープしてから駆動不能判定時間T0の判定をす
る必要がある。本実施例では、十分駆動可能な周波数で
あるかどうかを駆動電極1−1に対するモニタ電極1−
3の位相遅れ量(位相差)が図3のθAより小さいかど
うかをもって判別している。
【0028】CPU2の持つメモリについて説明する。
メモリDRV_DATAは目標駆動量をあらわし、目標
駆動量DRV_DATAの内容とカウンタ22のカウン
ト値が一致した位置で振動波モータを停止させる。メモ
リDRV_REMEは駆動残量を示し、駆動残量DRV
_REMEは目標駆動量DEV_DATAとカウンタ2
2のカウント値の差で表される。メモリDRV_SPE
Dは目標駆動速度を示し、目標駆動速度DRV_SPE
Dはコンパレータ21の出力パルスのパルス間隔、すな
わちカウンタ24のカウント値で表され、本実施例にお
けるシステムでは、各駆動残量ごとにDRV_SPED
が設定されている。メモリDRV_SPDOは現駆動残
量DRV_REMEに対応した目標駆動速度DRV_D
PEDの内容を格納するためのものである。メモリDR
V_TOUTは駆動不能と判定するカウンタ24のカウ
ント値で、カウンタ24のカウント値がDEV_TOU
Tより大きい時、駆動不能と判断し振動波モータへの通
電を切る。
メモリDRV_DATAは目標駆動量をあらわし、目標
駆動量DRV_DATAの内容とカウンタ22のカウン
ト値が一致した位置で振動波モータを停止させる。メモ
リDRV_REMEは駆動残量を示し、駆動残量DRV
_REMEは目標駆動量DEV_DATAとカウンタ2
2のカウント値の差で表される。メモリDRV_SPE
Dは目標駆動速度を示し、目標駆動速度DRV_SPE
Dはコンパレータ21の出力パルスのパルス間隔、すな
わちカウンタ24のカウント値で表され、本実施例にお
けるシステムでは、各駆動残量ごとにDRV_SPED
が設定されている。メモリDRV_SPDOは現駆動残
量DRV_REMEに対応した目標駆動速度DRV_D
PEDの内容を格納するためのものである。メモリDR
V_TOUTは駆動不能と判定するカウンタ24のカウ
ント値で、カウンタ24のカウント値がDEV_TOU
Tより大きい時、駆動不能と判断し振動波モータへの通
電を切る。
【0029】図4および図5はそれぞれCPU2の動作
を説明するメインルーチンと割り込みルーチンのフロー
チャートである。図4より、ステップごとに説明する。
を説明するメインルーチンと割り込みルーチンのフロー
チャートである。図4より、ステップごとに説明する。
【0030】ステップ50:最初に各出力ポートをロウ
レベルに、またメモリDRV_DSPDO・DRV_T
OUTを零に初期化する。
レベルに、またメモリDRV_DSPDO・DRV_T
OUTを零に初期化する。
【0031】ステップ51:振動波モータの駆動方向を
設定する。すなわち、振動波モータを時計回りの方向に
回転させる時は出力ポートP2にロウレベルを、逆に反
時計回りの方向に回転させる時はP2をハイレベルを出
力する。
設定する。すなわち、振動波モータを時計回りの方向に
回転させる時は出力ポートP2にロウレベルを、逆に反
時計回りの方向に回転させる時はP2をハイレベルを出
力する。
【0032】ステップ52:出力ポートP5にハイレベ
ルを出力し、パルス板19の回転量を示すカウンタ22
の出力をクリアする。
ルを出力し、パルス板19の回転量を示すカウンタ22
の出力をクリアする。
【0033】ステップ53:カウンタ22をアップカウ
ンタにするか、ダウンカウンタにするかを出力ポートP
6で設定する。本実施例では、振動波モータを時計回り
の方向に回転させるときはP6にハイレベルを出力して
アップカウンタとし、逆に反時計回りの方向に回転させ
る時はP6にロウレベルを出力してダウンカウンタとす
る。
ンタにするか、ダウンカウンタにするかを出力ポートP
6で設定する。本実施例では、振動波モータを時計回り
の方向に回転させるときはP6にハイレベルを出力して
アップカウンタとし、逆に反時計回りの方向に回転させ
る時はP6にロウレベルを出力してダウンカウンタとす
る。
【0034】ステップ54:出力ポートP5をロウレベ
ル、またP7をハイレベルにしてカウンタ22のカウン
トを許可する。
ル、またP7をハイレベルにしてカウンタ22のカウン
トを許可する。
【0035】ステップ55:出力ポートP3にハイレベ
ルを出力して振動波モータに通電を開始する。
ルを出力して振動波モータに通電を開始する。
【0036】ステップ56:振動波モータへの通電を開
始したので出力ポートP10をロウレベルに、またP1
1をハイレベルにしてカウンタ24のカウントを許可す
る。
始したので出力ポートP10をロウレベルに、またP1
1をハイレベルにしてカウンタ24のカウントを許可す
る。
【0037】ステップ58:目標駆動量DRV_DAT
Aおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計算
し、メモリDRV_REMEに格納する。
Aおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計算
し、メモリDRV_REMEに格納する。
【0038】ステップ59:駆動残量DEV_REME
が零ならば駆動終了なので、ステップ69へ進む。
が零ならば駆動終了なので、ステップ69へ進む。
【0039】ステップ60:入力ポートP4よりカウン
タ18のカウント値、すなわち位相差を読みθ0と比較
する。比較結果、θ0より小さければステップ61にて
周波数を高周波側にずらす。位相差がθ0より小さくな
ければステップ63に進む。
タ18のカウント値、すなわち位相差を読みθ0と比較
する。比較結果、θ0より小さければステップ61にて
周波数を高周波側にずらす。位相差がθ0より小さくな
ければステップ63に進む。
【0040】ステップ61:現在ポート1より出力され
ているデータを−1し、駆動周波数を高周波側にずらし
ステップ66へ進む。
ているデータを−1し、駆動周波数を高周波側にずらし
ステップ66へ進む。
【0041】ステップ62:駆動残量DRV_REME
に対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだし、
メモリDRV_SPDOに格納す。
に対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだし、
メモリDRV_SPDOに格納す。
【0042】ステップ63:メモリDRV_SPDOと
実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウント
値を比較し、DRV_SPDOのほうが小さければ、目
標に対して実際が遅いのでステップ64へ進み、加速の
ための処理を行う。また、DRV_SPDOのほうが大
きければステップ67へ進む。
実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウント
値を比較し、DRV_SPDOのほうが小さければ、目
標に対して実際が遅いのでステップ64へ進み、加速の
ための処理を行う。また、DRV_SPDOのほうが大
きければステップ67へ進む。
【0043】ステップ64:ステップ63にて目標速度
に対して実際の速度が遅いので加速する必要があるが、
図3の特性図で示した様に位相差がθAより小さい時は
共振周波数に近いので周波数を変えずステップ66へ進
む。また、位相差がθAより小さくなかったら共振周波
数までまだ余裕があるのでステップ65へ進み、加速を
実行する。
に対して実際の速度が遅いので加速する必要があるが、
図3の特性図で示した様に位相差がθAより小さい時は
共振周波数に近いので周波数を変えずステップ66へ進
む。また、位相差がθAより小さくなかったら共振周波
数までまだ余裕があるのでステップ65へ進み、加速を
実行する。
【0044】ステップ65:ポートP1に出力されてい
るデータを+1し、周波数を下げて加速した後、ステッ
プ67へ進む。
るデータを+1し、周波数を下げて加速した後、ステッ
プ67へ進む。
【0045】ステップ66:位相差がθ0よりも小さ
い、またはθAより小さいので、振動波モータとしては
十分駆動できる周波数であるので、メモリDRV_TO
UTに駆動不能判定時間T0を格納する。
い、またはθAより小さいので、振動波モータとしては
十分駆動できる周波数であるので、メモリDRV_TO
UTに駆動不能判定時間T0を格納する。
【0046】ステップ67:ステップ50にてメモリD
RV_TOUTは0に初期化されるが、一度でも位相差
がθ0よりも小さい、またはθAより小さくなると、メ
モリDRV_TOUTには駆動不能判定時間T0が格納
される。もし、DRV_TOUTが0ならば、振動波モ
ータはまだ十分に駆動できる周波数に達していないので
駆動不能は行わずステップ58へ戻る。
RV_TOUTは0に初期化されるが、一度でも位相差
がθ0よりも小さい、またはθAより小さくなると、メ
モリDRV_TOUTには駆動不能判定時間T0が格納
される。もし、DRV_TOUTが0ならば、振動波モ
ータはまだ十分に駆動できる周波数に達していないので
駆動不能は行わずステップ58へ戻る。
【0047】ステップ68:メモリDRV_TOUTと
パルス間隔を示すカウンタ24のカウント値を比較し、
DRV_TOUTのほうが小さければ、駆動不能と判断
し、ステップ69へ進む。DRV_TOUTのほうが小
さくなければステップ58へ戻る。
パルス間隔を示すカウンタ24のカウント値を比較し、
DRV_TOUTのほうが小さければ、駆動不能と判断
し、ステップ69へ進む。DRV_TOUTのほうが小
さくなければステップ58へ戻る。
【0048】ステップ69:目標駆動量に到達したか、
駆動不能と判定されたので、P3をロウレベルにして振
動波モータへの通電を終了する。
駆動不能と判定されたので、P3をロウレベルにして振
動波モータへの通電を終了する。
【0049】図5は入力ポートP9に立ち上がりエッジ
が入力され割り込みが発生した時に実行される割り込み
ルーチンを説明するためのフローチャートである。
が入力され割り込みが発生した時に実行される割り込み
ルーチンを説明するためのフローチャートである。
【0050】ステップ70:目標駆動量DRV_DAT
Aおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計算
し、メモリDRV_REMEに格納する。
Aおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計算
し、メモリDRV_REMEに格納する。
【0051】ステップ71:駆動残量DRV_REME
に対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだし、
メモリDRV_SPDOに格納する。
に対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだし、
メモリDRV_SPDOに格納する。
【0052】ステップ72:メモリDRV_SPDOと
実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウント
値を比較し、DRV_SPDOのほうが大きければ、目
標に対して実際が速いのでステップ73へ進み、減速の
ための処理を行う。また、DRV_SPDOのほうが小
さければステップ74へ進む。
実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウント
値を比較し、DRV_SPDOのほうが大きければ、目
標に対して実際が速いのでステップ73へ進み、減速の
ための処理を行う。また、DRV_SPDOのほうが小
さければステップ74へ進む。
【0053】ステップ73:ポートP1に出力されてい
るデータを−1し、周波数を上げて減速する。
るデータを−1し、周波数を上げて減速する。
【0054】ステップ74:出力ポートP10にハイレ
ベルを出力し、その後ロウレベルを出力して、次のパル
ス間隔測定のためにカウンタ24をクリアし、割り込み
ルーチンを終了する。
ベルを出力し、その後ロウレベルを出力して、次のパル
ス間隔測定のためにカウンタ24をクリアし、割り込み
ルーチンを終了する。
【0055】以上述べてきたように、位相差が共振周波
数より所定量高周波側のθAより大きい時は、振動波モ
ータがまだ十分駆動できる周波数に達していないので、
速度が遅い場合は周波数をさらに下げてより電力の入る
様にし、位相差がθAより小さくなったら、これ以上周
波数を下げると回転数が急激に低下するおそれがあるの
で、周波数を保持して、駆動不能判定時間T0時間経過
したら駆動不能と判断する。
数より所定量高周波側のθAより大きい時は、振動波モ
ータがまだ十分駆動できる周波数に達していないので、
速度が遅い場合は周波数をさらに下げてより電力の入る
様にし、位相差がθAより小さくなったら、これ以上周
波数を下げると回転数が急激に低下するおそれがあるの
で、周波数を保持して、駆動不能判定時間T0時間経過
したら駆動不能と判断する。
【0056】第2の実施例について図6の構成図、図7
および図8のフローチャートを用いて説明する。なお、
図6の構成図中、図1と同様な構成部分については同一
の番号を付し、詳細な説明は省略する。図6で30はマ
イクロコンピュータ(以下、CPUと記す)で、P1・
P2・P3・P5・P6・P7・P9・P10・P11
は出力ポート、P4・P8・P12は入力ポート、また
P9は入力ポートで入力信号の立ち上がりエッジで割り
込みを発生する。
および図8のフローチャートを用いて説明する。なお、
図6の構成図中、図1と同様な構成部分については同一
の番号を付し、詳細な説明は省略する。図6で30はマ
イクロコンピュータ(以下、CPUと記す)で、P1・
P2・P3・P5・P6・P7・P9・P10・P11
は出力ポート、P4・P8・P12は入力ポート、また
P9は入力ポートで入力信号の立ち上がりエッジで割り
込みを発生する。
【0057】続いて、図7のフローチャートにてCPU
30の動作を説明する。
30の動作を説明する。
【0058】ステップ80:最初に各出力ポートをロウ
レベルに、またメモリDRV_DSPDO・DRV_T
OUTを零に初期化する。
レベルに、またメモリDRV_DSPDO・DRV_T
OUTを零に初期化する。
【0059】ステップ81:振動波モータの駆動方向を
設定する。すなわち、振動波モータを時計回りの方向に
回転させる時は出力ポートP2にロウレベルを、逆に反
時計回りの方向に回転させる時はP2にハイレベルを出
力する。
設定する。すなわち、振動波モータを時計回りの方向に
回転させる時は出力ポートP2にロウレベルを、逆に反
時計回りの方向に回転させる時はP2にハイレベルを出
力する。
【0060】ステップ82:出力ポートP5にハイレベ
ルを出力し、パルス板19の回転量を示すカウンタ22
の出力をクリアする。
ルを出力し、パルス板19の回転量を示すカウンタ22
の出力をクリアする。
【0061】ステップ83:カウンタ22をアップカウ
ンタにするか、ダウンカウンタにするかを出力ポートP
6で設定する。本実施例では、振動波モータを時計回り
の方向に回転させるときはP6にハイレベルを出力して
アップカウンタとし、逆に反時計回りの方向に回転させ
る時はP6にロウレベルを出力してダウンカウンタとす
る。
ンタにするか、ダウンカウンタにするかを出力ポートP
6で設定する。本実施例では、振動波モータを時計回り
の方向に回転させるときはP6にハイレベルを出力して
アップカウンタとし、逆に反時計回りの方向に回転させ
る時はP6にロウレベルを出力してダウンカウンタとす
る。
【0062】ステップ84:出力ポートP5をロウレベ
ル、またP7をハイレベルにしてカウンタ22のカウン
トを許可する。
ル、またP7をハイレベルにしてカウンタ22のカウン
トを許可する。
【0063】ステップ85:メモリDRV_TOUTに
駆動不能判定時間T1を格納する。
駆動不能判定時間T1を格納する。
【0064】ステップ86:出力ポートP3にハイレベ
ルを出力して振動波モータに通電を開始する。
ルを出力して振動波モータに通電を開始する。
【0065】ステップ87:振動波モータへの通電を開
始したので出力ポートP10をロウレベルに、またP1
1をハイレベルにしてカウンタ24のカウントを許可す
る。
始したので出力ポートP10をロウレベルに、またP1
1をハイレベルにしてカウンタ24のカウントを許可す
る。
【0066】ステップ88:目標駆動量DRV_DAT
Aおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計算
し、メモリDRV_REMEに格納する。
Aおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計算
し、メモリDRV_REMEに格納する。
【0067】ステップ89:駆動残量DEV_REME
が零ならば駆動終了なので、ステップ99へ進む。
が零ならば駆動終了なので、ステップ99へ進む。
【0068】ステップ90:入力ポートP4よりカウン
タ18のカウント値、すなわち位相差を読みθ0と比較
する。比較結果、φ0より小さければステップ91にて
周波数を高周波側にずらす、位相差がθ0より小さくな
ければステップ92に進む。
タ18のカウント値、すなわち位相差を読みθ0と比較
する。比較結果、φ0より小さければステップ91にて
周波数を高周波側にずらす、位相差がθ0より小さくな
ければステップ92に進む。
【0069】ステップ91:現在ポートP1より出力さ
れているデータを−1し、駆動周波数を高周波側にずら
してステップ96へ進む。
れているデータを−1し、駆動周波数を高周波側にずら
してステップ96へ進む。
【0070】ステップ92:駆動残量DRV_REME
に対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだし、
メモリDRV_SPDOに格納する。
に対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだし、
メモリDRV_SPDOに格納する。
【0071】ステップ93:メモリDRV_SPDOと
実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウント
値を比較し、DRV_SPDOのほうが小さければ、目
標に対して実際が遅いのでステップ94へ進み、加速の
ための処理を行う。また、DRV_SPDOのほうが大
きければステップ97へ進む。
実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウント
値を比較し、DRV_SPDOのほうが小さければ、目
標に対して実際が遅いのでステップ94へ進み、加速の
ための処理を行う。また、DRV_SPDOのほうが大
きければステップ97へ進む。
【0072】ステップ94:ステップ93にて目標速度
に対して実際の速度が遅いので加速する必要があるが、
図3の特性図で示した様に位相差がθAより小さい時は
共振周波数に近いので周波数を変えずステップ96へ進
む。また、位相差がθAより小さくなかったら共振周波
数までまだ余裕があるのでステップ95へ進み、加速を
実行する。
に対して実際の速度が遅いので加速する必要があるが、
図3の特性図で示した様に位相差がθAより小さい時は
共振周波数に近いので周波数を変えずステップ96へ進
む。また、位相差がθAより小さくなかったら共振周波
数までまだ余裕があるのでステップ95へ進み、加速を
実行する。
【0073】ステップ95:ポートP1に出力されてい
るデータを+1し、周波数を下げて加速した後、ステッ
プ97へ進む。
るデータを+1し、周波数を下げて加速した後、ステッ
プ97へ進む。
【0074】ステップ96:位相差がθ0よりも小さ
い、またはθAより小さいので、振動波モータとしては
十分駆動できる周波数であるので、メモリDRV_TO
UTに駆動不能判定時間T2を格納する(T1>T2)。
い、またはθAより小さいので、振動波モータとしては
十分駆動できる周波数であるので、メモリDRV_TO
UTに駆動不能判定時間T2を格納する(T1>T2)。
【0075】ステップ97:ステップ85にてメモリD
RV_TOUTには駆動不能判定時間T1が格納される
が、一度でも位相差がθ0よりも小さい、またはθAよ
り小さくなると、メモリDRV_TOUTには駆動不能
判定時間T2が格納されている。メモリDRV_TOU
Tとパルス間隔を示すカウンタ24のカウント値を比較
し、DRV_TOUTのほうが小さければ、駆動不能と
判断し、ステップ98へ進む。DRV_TOUTのほう
が小さくなければステップ88へ戻る。
RV_TOUTには駆動不能判定時間T1が格納される
が、一度でも位相差がθ0よりも小さい、またはθAよ
り小さくなると、メモリDRV_TOUTには駆動不能
判定時間T2が格納されている。メモリDRV_TOU
Tとパルス間隔を示すカウンタ24のカウント値を比較
し、DRV_TOUTのほうが小さければ、駆動不能と
判断し、ステップ98へ進む。DRV_TOUTのほう
が小さくなければステップ88へ戻る。
【0076】ステップ98:目標駆動量に到達したか、
駆動不能と判定されたので、P3をロウレベルにして振
動波モータへの通電を終了する。
駆動不能と判定されたので、P3をロウレベルにして振
動波モータへの通電を終了する。
【0077】図8は入力ポートP9に立ち上がりエッジ
が入力され割り込みが発生した時に実行される割り込み
ルーチンを説明するためのフローチャートである。
が入力され割り込みが発生した時に実行される割り込み
ルーチンを説明するためのフローチャートである。
【0078】ステップ100:目標駆動量DRV_DA
TAおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計
算し、メモリDRV_REMEに格納する。
TAおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計
算し、メモリDRV_REMEに格納する。
【0079】ステップ101:駆動残量DRV_REM
Eに対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだ
し、メモリDRV_SPDOに格納する。
Eに対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだ
し、メモリDRV_SPDOに格納する。
【0080】ステップ102:メモリDRV_SPDO
と実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウン
ト値を比較し、DRV_SPDOのほうが大きければ、
目標に対して実際が速いのでステップ103へ進み、減
速のための処理を行う。また、DRV_SPDOのほう
が小さければステップ104へ進む。
と実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウン
ト値を比較し、DRV_SPDOのほうが大きければ、
目標に対して実際が速いのでステップ103へ進み、減
速のための処理を行う。また、DRV_SPDOのほう
が小さければステップ104へ進む。
【0081】ステップ103:ポートP1に出力されて
いるデータを−1し、周波数を上げて減速する。
いるデータを−1し、周波数を上げて減速する。
【0082】ステップ104:出力ポートP10にハイ
レベルを出力し、その後ロウレベルを出力して、次のパ
ルス間隔測定のためにカウンタ24をクリアし、割り込
みルーチンを終了する。
レベルを出力し、その後ロウレベルを出力して、次のパ
ルス間隔測定のためにカウンタ24をクリアし、割り込
みルーチンを終了する。
【0083】以上述べてきたように、第2の実施例で
は、位相差がθAより小さくなったら、これ以上周波数
を下げると回転数が急激に低下するおそれがあるので、
周波数を保持して、駆動不能判定時間T2にて駆動不能
を判定し、位相差が共振周波数より所定量低周波側のθ
Aより大きい時は、振動波モータがまだ十分駆動できる
周波数に達していないので、駆動不能判定時間は前記T
2時間より長いT1時間として駆動不能判定を行う。こ
のように位相差がθAより大きいときも駆動不能判定時
間を設定しておくことで、事故によって駆動状態検知手
段、すなわち位相差が正しく出力されていなくても通電
が切れないといった事態が回避できる。
は、位相差がθAより小さくなったら、これ以上周波数
を下げると回転数が急激に低下するおそれがあるので、
周波数を保持して、駆動不能判定時間T2にて駆動不能
を判定し、位相差が共振周波数より所定量低周波側のθ
Aより大きい時は、振動波モータがまだ十分駆動できる
周波数に達していないので、駆動不能判定時間は前記T
2時間より長いT1時間として駆動不能判定を行う。こ
のように位相差がθAより大きいときも駆動不能判定時
間を設定しておくことで、事故によって駆動状態検知手
段、すなわち位相差が正しく出力されていなくても通電
が切れないといった事態が回避できる。
【0084】第3の実施例について図9の構成図、図1
0および図11のフローチャートを用いて説明する。な
お、図8の構成中、図1と同様な構成部分については同
一の番号を付し、詳細な説明は省略する。図9で31は
マイクロコンピュータ(以下、CPUと記す)で、P1
・P2・P3・P5・P6・P7・P10・P11は出
力ポート、P4・P8・P12は入力ポート、またP9
は入力ポートで入力信号の立ち上がりエッジで割り込み
を発生する。
0および図11のフローチャートを用いて説明する。な
お、図8の構成中、図1と同様な構成部分については同
一の番号を付し、詳細な説明は省略する。図9で31は
マイクロコンピュータ(以下、CPUと記す)で、P1
・P2・P3・P5・P6・P7・P10・P11は出
力ポート、P4・P8・P12は入力ポート、またP9
は入力ポートで入力信号の立ち上がりエッジで割り込み
を発生する。
【0085】続いて、図10のフローチャートにてCP
U31の動作を説明する。
U31の動作を説明する。
【0086】ステップ110:最初に各出力ポートをロ
ウレベルに、またメモリDRV_DSPDO・DRV_
TOUTを零に初期化する。
ウレベルに、またメモリDRV_DSPDO・DRV_
TOUTを零に初期化する。
【0087】ステップ111:振動波モータの駆動方向
を設定する。すなわち、振動波モータを時計回りの方向
に回転させる時は出力ポートP2にロウレベルを、逆に
反時計回りの方向に回転させる時はP2にハイレベルを
出力する。
を設定する。すなわち、振動波モータを時計回りの方向
に回転させる時は出力ポートP2にロウレベルを、逆に
反時計回りの方向に回転させる時はP2にハイレベルを
出力する。
【0088】ステップ112:出力ポートP5にハイレ
ベルを出力し、パルス板19の回転量を示すカウンタ2
2の出力をクリアする。
ベルを出力し、パルス板19の回転量を示すカウンタ2
2の出力をクリアする。
【0089】ステップ113:カウンタ22をアップカ
ウンタにするか、ダウンカウンタにするかを出力ポート
P6で設定する。本実施例では、振動波モータを時計回
りの方向に回転させるときはP6にハイレベルを出力し
てアップカウンタとし、逆に反時計回りの方向に回転さ
せる時はP6にロウレベルを出力してダウンカウンタと
する。
ウンタにするか、ダウンカウンタにするかを出力ポート
P6で設定する。本実施例では、振動波モータを時計回
りの方向に回転させるときはP6にハイレベルを出力し
てアップカウンタとし、逆に反時計回りの方向に回転さ
せる時はP6にロウレベルを出力してダウンカウンタと
する。
【0090】ステップ114:出力ポートP5をロウレ
ベル、またP7をハイレベルにしてカウンタ22のカウ
ントを許可する。
ベル、またP7をハイレベルにしてカウンタ22のカウ
ントを許可する。
【0091】ステップ115:メモリDRV_TOUT
に駆動不能判定時間T3を格納する。
に駆動不能判定時間T3を格納する。
【0092】ステップ116:出力ポートP3にハイレ
ベルを出力して振動波モータに通電を開始する。
ベルを出力して振動波モータに通電を開始する。
【0093】ステップ117:振動波モータへの通電を
開始したので出力ポートP10をロウレベルに、またP
11をハイレベルにしてカウンタ24のカウントを許可
する。
開始したので出力ポートP10をロウレベルに、またP
11をハイレベルにしてカウンタ24のカウントを許可
する。
【0094】ステップ118:パルス板19の回転量を
示すカウンタ22のカウント値の絶対値が所定値(以
下、P0と記す)以上かとうかを調べ、P0以上ならば
一度が駆動されたとみなし、ステップ119へ進む。ま
た、カウンタ22のカウント値の絶対値がP0未満なら
十分駆動されていないとみなし、ステップ121へ進
む。
示すカウンタ22のカウント値の絶対値が所定値(以
下、P0と記す)以上かとうかを調べ、P0以上ならば
一度が駆動されたとみなし、ステップ119へ進む。ま
た、カウンタ22のカウント値の絶対値がP0未満なら
十分駆動されていないとみなし、ステップ121へ進
む。
【0095】ステップ119:メモリDRV_TOUT
に格納されている駆動不能判定時間がT3なら位相差は
θAより大きいのでステップ120へ進む。DRV_T
OUTに格納されている駆動不能判定時間がT3でなけ
れば、ステップ121へ進む。
に格納されている駆動不能判定時間がT3なら位相差は
θAより大きいのでステップ120へ進む。DRV_T
OUTに格納されている駆動不能判定時間がT3でなけ
れば、ステップ121へ進む。
【0096】ステップ120:ここでは、位相差はθA
よりも大きい駆動が確認されたので、DRV_TOUT
の内容をT4時間に書き換える(T3>T4)。
よりも大きい駆動が確認されたので、DRV_TOUT
の内容をT4時間に書き換える(T3>T4)。
【0097】ステップ121:目標駆動量DRV_DA
TAおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計
算し、メモリDRV_REMEに格納する。
TAおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計
算し、メモリDRV_REMEに格納する。
【0098】ステップ122:駆動残量DRV_REM
Eが零ならば駆動終了なので、ステップ131へ進む。
Eが零ならば駆動終了なので、ステップ131へ進む。
【0099】ステップ123:入力ポートP4よりカウ
ンタ18のカウント値、すなわち位相差を読みθ0と比
較する。比較結果、φ0より小さければステップ124
にて周波数を高周波側にずらす、位相差がθ0より小さ
くなければステップ125に進む。
ンタ18のカウント値、すなわち位相差を読みθ0と比
較する。比較結果、φ0より小さければステップ124
にて周波数を高周波側にずらす、位相差がθ0より小さ
くなければステップ125に進む。
【0100】ステップ1241:現在ポートP1より出
力されているデータを−1し、駆動周波数を高周波側に
ずらしてステップ129へ進む。
力されているデータを−1し、駆動周波数を高周波側に
ずらしてステップ129へ進む。
【0101】ステップ125:駆動残量DRV_REM
Eに対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだ
し、メモリDRV_SPDOに格納する。
Eに対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだ
し、メモリDRV_SPDOに格納する。
【0102】ステップ126:メモリDRV_SPDO
と実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウン
ト値を比較し、DRV_SPDOのほうが小さければ、
目標に対して実際が遅いのでステップ127へ進み、加
速のための処理を行う。また、DRV_SPDOのほう
が大きければステップ130へ進む。
と実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウン
ト値を比較し、DRV_SPDOのほうが小さければ、
目標に対して実際が遅いのでステップ127へ進み、加
速のための処理を行う。また、DRV_SPDOのほう
が大きければステップ130へ進む。
【0103】ステップ127:ステップ126にて目標
速度に対して実際の速度が遅いので加速する必要がある
が、図3の特性図で示した様に位相差がθAより小さい
時は共振周波数に近いので周波数を変えずステップ12
9へ進む。また、位相差がθAより小さくなかったら共
振周波数までまだ余裕があるのでステップ128へ進
み、加速を実行する。
速度に対して実際の速度が遅いので加速する必要がある
が、図3の特性図で示した様に位相差がθAより小さい
時は共振周波数に近いので周波数を変えずステップ12
9へ進む。また、位相差がθAより小さくなかったら共
振周波数までまだ余裕があるのでステップ128へ進
み、加速を実行する。
【0104】ステップ128:ポートP1に出力されて
いるデータを+1し、周波数を下げて加速した後、ステ
ップ130へ進む。
いるデータを+1し、周波数を下げて加速した後、ステ
ップ130へ進む。
【0105】ステップ129:位相差がθ0よりも小さ
い、またはθAより小さいので、振動波モータとしては
十分駆動できる周波数であるので、メモリDRV_TO
UTに駆動不能判定時間T5を格納する(T4>T5)。
い、またはθAより小さいので、振動波モータとしては
十分駆動できる周波数であるので、メモリDRV_TO
UTに駆動不能判定時間T5を格納する(T4>T5)。
【0106】ステップ130:メモリDRV_TOUT
に格納されている駆動不能判定時間とパルス間隔を示す
カウンタ24のカウント値を比較し、DRV_TOUT
のほうが小さければ、駆動不能と判断し、ステップ13
1へ進む。DRV_TOUTのほうが小さくなければス
テップ118へ戻る。
に格納されている駆動不能判定時間とパルス間隔を示す
カウンタ24のカウント値を比較し、DRV_TOUT
のほうが小さければ、駆動不能と判断し、ステップ13
1へ進む。DRV_TOUTのほうが小さくなければス
テップ118へ戻る。
【0107】ステップ131:目標駆動量に到達した
か、駆動不能と判定されたので、P3をロウレベルにし
て振動波モータへの通電を終了する。
か、駆動不能と判定されたので、P3をロウレベルにし
て振動波モータへの通電を終了する。
【0108】図11は入力ポートP9に立ち上がりエッ
ジが入力され割り込みが発生した時に実行される割り込
みルーチンを説明するためのフローチャートである。
ジが入力され割り込みが発生した時に実行される割り込
みルーチンを説明するためのフローチャートである。
【0109】ステップ140:目標駆動量DRV_DA
TAおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計
算し、メモリDRV_REMEに格納する。
TAおよびカウンタ22のカウント値から駆動残量を計
算し、メモリDRV_REMEに格納する。
【0110】ステップ141:駆動残量DRV_REM
Eに対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだ
し、メモリDRV_SPDOに格納する。
Eに対応する目標駆動速度DRV_SPEDを読みだ
し、メモリDRV_SPDOに格納する。
【0111】ステップ142:メモリDRV_SPDO
と実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウン
ト値を比較し、DRV_SPDOのほうが大きければ、
目標に対して実際が速いのでステップ143へ進み、減
速のための処理を行う。また、DRV_SPDOのほう
が小さければステップ144へ進む。
と実際の現在のパルス間隔を示すカウンタ24のカウン
ト値を比較し、DRV_SPDOのほうが大きければ、
目標に対して実際が速いのでステップ143へ進み、減
速のための処理を行う。また、DRV_SPDOのほう
が小さければステップ144へ進む。
【0112】ステップ143:ポートP1に出力されて
いるデータを−1し、周波数を上げて減速する。
いるデータを−1し、周波数を上げて減速する。
【0113】ステップ144:出力ポートP10にハイ
レベルを出力し、その後ロウレベルを出力して、次のパ
ルス間隔測定のためにカウンタ24をクリアし、割り込
みルーチンを終了する。
レベルを出力し、その後ロウレベルを出力して、次のパ
ルス間隔測定のためにカウンタ24をクリアし、割り込
みルーチンを終了する。
【0114】以上述べてきたように、第3の実施例で
は、位相差がθAより小さくなったら、これ以上周波数
を下げると回転数が急激に低下するおそれがあるので、
周波数を保持して、駆動不能判定時間T5にて駆動不能
を判定し、位相差が共振周波数より所定量低周波側のθ
Aより大きい時は、振動波モータが一度でも駆動してい
たら前記T5時間より短くないT4時間として駆動不能
判定を行い、まだ全く駆動できていない時は前記T4時
間より長いT3時間で駆動不能判定を行う。このように
位相差がθAより大きい場合でも、一旦駆動されていた
時と全く駆動されていない時で駆動不能判定時間を変え
ることでより適切な駆動不能判定ができる。
は、位相差がθAより小さくなったら、これ以上周波数
を下げると回転数が急激に低下するおそれがあるので、
周波数を保持して、駆動不能判定時間T5にて駆動不能
を判定し、位相差が共振周波数より所定量低周波側のθ
Aより大きい時は、振動波モータが一度でも駆動してい
たら前記T5時間より短くないT4時間として駆動不能
判定を行い、まだ全く駆動できていない時は前記T4時
間より長いT3時間で駆動不能判定を行う。このように
位相差がθAより大きい場合でも、一旦駆動されていた
時と全く駆動されていない時で駆動不能判定時間を変え
ることでより適切な駆動不能判定ができる。
【0115】尚、上記各実施例において、用いられるモ
ータとしては固定子(振動体)の振動にてローターを駆
動する型式のものでもよいし、接触物に対してモータ自
体が移動する型式でもよい。更にモータの駆動力にて移
動させられる対象は振動体の振動力にてローターを介せ
ずに直接に給送される紙等の部材も含まれるものであ
る。
ータとしては固定子(振動体)の振動にてローターを駆
動する型式のものでもよいし、接触物に対してモータ自
体が移動する型式でもよい。更にモータの駆動力にて移
動させられる対象は振動体の振動力にてローターを介せ
ずに直接に給送される紙等の部材も含まれるものであ
る。
【0116】
【発明の効果】本出願に係わる第1の発明の効果は、駆
動不能であるか否かの判定を振動波モータの振動状態検
出手段からの出力により共振に近く十分駆動出来得る周
波数になったら行うことで、確実な駆動不能の判定がで
きる振動波モータの駆動装置を提供するものである。
動不能であるか否かの判定を振動波モータの振動状態検
出手段からの出力により共振に近く十分駆動出来得る周
波数になったら行うことで、確実な駆動不能の判定がで
きる振動波モータの駆動装置を提供するものである。
【0117】本出願に係わる本発明の他の効果は、第1
の発明の駆動不能判定手段として、駆動量検出手段から
の出力変化の時間間隔を用いることで、特に別回路を追
加する事なく簡単な振動波モータ駆動装置を提供するも
のである。
の発明の駆動不能判定手段として、駆動量検出手段から
の出力変化の時間間隔を用いることで、特に別回路を追
加する事なく簡単な振動波モータ駆動装置を提供するも
のである。
【0118】本出願に係わる本発明の他の効果は、駆動
不能であるか否かの判定を振動波モータの振動状態検出
手段からの出力により共振に近く十分駆動出来得る周波
数になったら行うと供に、事故等により駆動状態検出手
段からの出力が異常値を示しても、駆動不能判定ができ
るような振動波駆動装置を提供するものである。
不能であるか否かの判定を振動波モータの振動状態検出
手段からの出力により共振に近く十分駆動出来得る周波
数になったら行うと供に、事故等により駆動状態検出手
段からの出力が異常値を示しても、駆動不能判定ができ
るような振動波駆動装置を提供するものである。
【0119】本出願に係わる本発明の効果(第2発明の
効果)は、駆動不能であるか否かの判定基準を振動波モ
ータの振動状態検出手段からの出力のより共振に近く十
分駆動出来得る周波数の時と、最初から駆動できない時
と一度でも駆動できた時等の駆動状態に応じて切り替え
たので、より電力の無駄のない適切な振動波駆動装置を
提供することが出来るものである。
効果)は、駆動不能であるか否かの判定基準を振動波モ
ータの振動状態検出手段からの出力のより共振に近く十
分駆動出来得る周波数の時と、最初から駆動できない時
と一度でも駆動できた時等の駆動状態に応じて切り替え
たので、より電力の無駄のない適切な振動波駆動装置を
提供することが出来るものである。
【図1】本発明に係る振動型モータ装置の第1の実施例
を示す回路図である。
を示す回路図である。
【図2】図1実施例の動作を説明するための波形図であ
る。
る。
【図3】振動型モータの特性を示す特性図である。
【図4】図1実施例の動作を説明するためのフローチャ
ートである。
ートである。
【図5】図4とともに図1実施例の動作を説明するため
のフローチャートである。
のフローチャートである。
【図6】本発明に係る振動型モータ装置の第2の実施例
を示す回路図である。
を示す回路図である。
【図7】図6実施例の動作を説明するためのフローチャ
ートである。
ートである。
【図8】図7とともに図6実施例の動作を説明するため
のフローチャートである。
のフローチャートである。
【図9】本発明に係る振動型モータ装置の第3の実施例
を示す回路図である。
を示す回路図である。
【図10】図9実施例の動作を説明するためのフローチ
ャートである。
ャートである。
【図11】図10とともに図9実施例の動作を説明する
ためのフローチャートである。
ためのフローチャートである。
1 固定子 2、30、31 コンピューター 16 位相比較回路 22、24 カウンター
Claims (9)
- 【請求項1】 電気−機械エネルギー変換素子に周波信
号を印加して振動体を励振させ駆動力を得る振動型モー
ター装置において、 該モーター装置の駆動力によりモーター装置と相対的に
駆動される部材の駆動状態を検知する駆動状態検知手段
と、該駆動状態検知手段による検知結果に基づいて駆動
不能が否か判定する判定手段と、前記モーター装置の振
動状態を検知する振動状態検知手段と、該振動状態検知
手段にて検知されたモーター装置の振動状態に応じて前
記判定手段の作動不作動を制御する制御手段を設けたこ
とを特徴とする振動型モーター装置。 - 【請求項2】 前記振動状態検知手段はモーター装置が
共振側の周波数で駆動されているか又は共振から離れた
周波数で駆動されているか否かを検知すると共に前記制
御手段は共振側の周波数で駆動されていると検知された
際に前記判定手段を作動させる請求項1に記載の振動型
モーター装置。 - 【請求項3】 前記判定手段は所定時間前記部材が非駆
動状態のまま保持されている時駆動不能と判定する請求
項1又は2に記載の振動型モーター装置。 - 【請求項4】 電気−機械エネルギー変換素子に周波信
号を印加して振動体を励振させ駆動力を得る振動型モー
ター装置において、 該モーター装置の駆動力によりモーター装置と相対的に
駆動される部材の駆動状態を検知する駆動状態検知手段
と、該駆動状態検知手段による検知結果に基づいて駆動
不能が否か判定する判定手段と、前記モーター装置の振
動状態を検知する振動状態検知手段と、該振動状態検知
手段にて検知されたモーター装置の振動状態に応じて前
記判定手段による駆動不能判定基準を変更する変更手段
を設けたことを特徴とする振動型モーター装置。 - 【請求項5】 前記振動状態検知手段はモーター装置が
共振側の周波数で駆動されているか又は共振から離れた
周波数で駆動されているか否かを検知するとともに前記
変更手段は共振側の周波数で駆動されていると検知され
た際に前記判定基準を低い第1の基準に設定し、共振か
ら離れた周波数で駆動されていると検知された際に前記
判定基準を高い第2の基準に設定する請求項4に記載の
振動型モーター装置。 - 【請求項6】 前記判定手段は前記第1の基準が設定さ
れている時第1時間の間前記部材が非駆動状態のまま保
持されている時駆動不能と判定し、前記第2の基準が設
定されている時第1時間よりも長い第2時間の間前記部
材が非駆動状態のまま保持されている時駆動不能と判定
する請求項5に記載の振動型モーター装置。 - 【請求項7】 振動型モータの駆動状態を検知して、振
動波モータが共振または共振付近の駆動状態にあるか否
かを出力する駆動状態検知手段と、振動波モータによっ
て駆動される部材の駆動量を検出する駆動量検出手段
と、振動波モータによる駆動不能を判定する駆動不能判
別手段とを有する振動波モータ駆動装置において、 駆動不能判別手段は、前記駆動状態検出手段の出力およ
び駆動量検出手段の出力に応じて、駆動不能判定基準を
切り替える事を特徴とした振動波モータ駆動装置。 - 【請求項8】 前記、駆動不能判定手段は駆動量検出手
段からの出力が所定時間変化しなかった時、駆動不能と
判断し、前記所定時間は駆動状態検知手段の出力が振動
波モータが共振または共振付近の駆動状態にある時は第
1の時間に、また駆動状態検知手段からの出力が振動波
モータが共振または共振付近の駆動状態にない時には駆
動量検出手段の出力が所定値以下なら第1の時間より短
くない第2の時間に、駆動量検出手段の出力が所定値以
下でなかったら第2の時間よりも短い第3の時間に切り
替える請求項7に記載の振動波モータ駆動装置。 - 【請求項9】 前記周波信号の周波数を第1の周波数か
ら共振周波数方向の第2の周波数との間でシフトする周
波数シフト手段が設けられ、前記振動状態検知手段にて
共振から離れた周波数で駆動されていると検知されてい
る時にはシフト手段による周波数のシフト動作中に前記
判定手段を作動させ一方、前記検知手段にて共振側の周
波数で駆動されていると検知されている時はシフト手段
による周波数シフトを中止している状態で前記判定手段
を作動させる請求項5及び請求項6に記載の振動型モー
ター装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01682095A JP3382405B2 (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 振動型モーター装置 |
| US08/595,479 US5661359A (en) | 1995-02-03 | 1996-02-01 | Vibration type motor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01682095A JP3382405B2 (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 振動型モーター装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08214570A true JPH08214570A (ja) | 1996-08-20 |
| JP3382405B2 JP3382405B2 (ja) | 2003-03-04 |
Family
ID=11926818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01682095A Expired - Fee Related JP3382405B2 (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 振動型モーター装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5661359A (ja) |
| JP (1) | JP3382405B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6288473B1 (en) * | 2000-03-31 | 2001-09-11 | Sandia Corporation | Frequency modulation drive for a piezoelectric motor |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2721154B1 (fr) * | 1994-06-08 | 1996-07-05 | Moulinex Sa | Circuit d'alimentation d'un moteur piézo-électrique. |
| FR2741488B1 (fr) * | 1995-11-16 | 1998-01-09 | Asulab Sa | Procede et circuit d'excitation et de controle d'un moteur piezo-electrique en mode pas a pas |
| JP4080590B2 (ja) * | 1997-05-08 | 2008-04-23 | セイコーインスツル株式会社 | 超音波モータ装置および超音波モータ装置付き電子機器 |
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