JPH08219086A - 回転体の支持構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転軸及びロータが温度上昇及び遠心力の影
響を受けてもロータの支持強度の低下を招くことなく、
回転時における固有値を高く維持して、回転軸及びロー
タの高速回転を可能にする。 【構成】 回転軸６よりも熱膨張率が高くヤング率が低
いロータ７を回転軸６の上端部に組付けたターボ分子ポ
ンプのロータ支持構造に対し、回転軸６の上端面に擂鉢
状の凹陥部２１を形成する。ロータ中央部の下面に円錐
台状の突出部２４を形成する。ロータ７の突出部２４を
回転軸６の凹陥部２１に嵌め込んだ状態でロータ７を回
転軸６にボルト止めする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばターボ分子ポン
プのロータ等のような回転体を回転軸に回転一体に支持
する支持構造に係り、特に、回転体を回転軸の先端面に
取付ける構成の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、回転体を回転軸の上端面に固
定する構成として、例えば特開昭６０−４５７９２号公
報に開示されているようなターボ分子ポンプでは、回転
軸の上端部にロータをボルト止めしている。以下、この
種の構造について説明する。図３に示すものでは、回転
軸(a) の上端部に偏平円盤状のロータ支持部(b) を設
け、このロータ支持部(b) の上面の複数箇所にボルト孔
(c),(c) を形成する。一方、ロータ(d) 下面の中央部
に、上記ロータ支持部(b) が嵌り込む凹陥部(e) を形成
し、この凹陥部(e) に、上記ボルト孔(c) に対応して上
下方向に貫通する貫通孔(f),(f) を形成する。そして、
この貫通孔(f) をボルト孔(c) に位置合せした状態で凹
陥部(e) をロータ支持部(b) に対して焼き嵌めし、ロー
タ(d) の上側から貫通孔(f),(f) 及びボルト孔(c),(c)
に亘ってボルト(g),(g) を挿入、螺合させる。これによ
り、ロータ(d) が回転軸(a) に回転一体に組付けられて
いる。

【０００３】また、他の構造としては、図４に示すよう
に、回転軸(a) の上端部を円錐台状に形成し、その中心
部にボルト孔(c) を形成する。一方、ロータ(d) 下面中
央部に、この回転軸(a) 上端部の形状に略合致する擂鉢
状の凹陥部(e) を形成し、その中央部に貫通孔(f) を形
成する。そして、回転軸(a) の上端部がロータ(d) の凹
陥部(e) に嵌り込むように、ロータ(d) を回転軸(a) の
上端部に載置し、ロータ(d) 上側から貫通孔(f) 及びボ
ルト孔(c) に亘ってボルト(g) を挿入、螺合させる。こ
れにより、ロータ(d) の凹陥部(e) の内側面であるテー
パ面が、回転軸(a) の上端部の外側面であるテーパ面に
押圧されながらロータ(d) が回転軸(a)に回転一体に組
付けられている。尚、この構成にあっては、ボルト(g)
の螺合による締結力を十分に得るために、回転軸(a) の
上端面とロータ(d) の凹陥部(e)の底面との間に隙間が
生じるように、回転軸(a) 及び凹陥部(e) の形状が設定
されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この種の構
成にあっては、一般的には、ロータ(d) はアルミニウム
等のような比強度の高い材料で形成されているのに対
し、回転軸(a) は鉄系材料で形成されており、回転軸
(a) に対してロータ(d) の熱膨張率が高く且つヤング率
が低くなっている。また、ポンプ駆動時には、回転軸
(a) 及びロータ(d) は高速回転する。このため、上述し
たようなロータ(d) の支持構造にあっては、以下に述べ
るような不具合があった。

【０００５】先ず、図３に示す構造では、ポンプ駆動に
伴って回転軸(a) 及びロータ(d) の温度が上昇し、ま
た、この両者(a),(d) には大きな遠心力が作用してい
る。このため、熱膨張率が高く且つヤング率が低いロー
タ(d) は、外周側への伸びが回転軸(a) よりも大きくな
り、該回転軸(a) に対する焼き嵌めによる締結力が低下
することになる。つまり、ロータ(d) の凹陥部(e) の内
径寸法が回転軸(a) のロータ支持部(b) の外径寸法より
も大きくなって焼き嵌めによる効果が殆どなくなってし
まう。このため、ロータ(d) は回転軸(a) に対してボル
ト(g),(g) のみで締結された状態となるので、ロータ
(d) の支持強度が低下し、この運転時における固有値
（共振回転数）が低下することになって、回転軸(a) 及
びロータ(d) を高速回転させることができなくなる。

【０００６】一方、図４に示す構造にあっても同様に、
温度上昇及び遠心力によってロータ(d) の支持強度が低
下してしまう。そればかりでなく、この温度上昇及び遠
心力の影響によりロータ(d) の凹陥部(e) の径が大きく
なることに伴って、テーパ面同士の間に隙間が生じてロ
ータ(d) が下側に移動し、ロータ(d) 上面とボルト(g)
の頭との間に隙間が生じてしまい、ボルト(g) による締
結力が大幅に低下してしまう。このような状況では、更
に、運転時における固有値が低下し、回転軸(a) 及びロ
ータ(d) を高速回転させることができなくなる。

【０００７】本発明は、これらの点に鑑みてなされたも
のであって、回転軸及びロータが温度上昇及び遠心力の
影響を受けてもロータの支持強度の低下を招くことな
く、運転時における固有値を高く維持して、回転軸及び
ロータの高速回転を可能にすることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、ロータと回転軸との締結部分におい
て、ロータを内側に、回転軸をその外側に位置させ、ロ
ータの外周側への伸びにより、ロータと回転軸との接触
力を高めるようにした。

【０００９】具体的に、請求項１記載の発明は、図２に
示すように、回転可能な回転軸(6)の先端部に回転体(7)
が締結手段(26)により回転一体に締結される回転体の
支持構造を前提としている。そして、上記回転軸(6) の
先端部の端面(20a) に凹陥部(21)を、回転体(7) におけ
る回転軸(6) の先端部の端面(20a) に対向する対向面(2
3a) に上記凹陥部(21)に嵌り込む突出部(24)を夫々形成
する。また、上記回転軸(6) に形成された凹陥部(21)の
内側面を、該回転軸(6) の先端部の端面(20a)から凹陥
部(21)の底部(21a) に向うにしたがって回転軸(6) の中
心に向ってテーパ状に傾斜する回転軸側テーパ面(21b)
で形成し、上記回転体(7) に形成された突出部(24)の外
側面を、上記凹陥部(21)の回転軸側テーパ面(21b) の形
状に略合致し、突出部(24)が凹陥部(21)に嵌り込んだ状
態で締結手段(26)により締結されることにより上記回転
軸側テーパ面(21b) に当接する回転体側テーパ面(24a)
で形成した構成としている。

【００１０】請求項２記載の発明は、上記請求項１記載
の回転体の支持構造において、凹陥部(21)の底部(21a)
に、内部にメネジが形成されたボルト孔(21c) を形成
し、回転体(7) に、一端が突出部(24)の先端に開口する
ように貫通形成された貫通孔(24b) を形成する。また、
締結手段(26)を、上記貫通孔(24b) に挿通され、且つボ
ルト孔(21c) に螺合されたボルトとした構成としてい
る。

【００１１】請求項３記載の発明は、上記請求項１また
は２記載の回転体の支持構造において、回転体(7) を回
転軸(6) よりも熱膨張率が高く且つヤング率が低い材料
で形成した構成としている。

【００１２】請求項４記載の発明は、上記請求項３記載
の回転体の支持構造において、回転軸(6) を鉄系材料で
形成し、回転体(7) をアルミニウムで形成した構成とし
ている。

【００１３】請求項５記載の発明は、上記請求項１、
２、３または４記載の回転体の支持構造において、回転
体(7) が回転軸(6) に締結された状態で、回転軸(6) の
先端部の端面(20a) と、回転体(7) の対向面(23a) との
間に隙間が形成されるようにし、回転体(7) に、一端が
回転軸(6) の先端部の端面(20a) に臨む計測孔(25)を貫
通形成した構成としている。

【００１４】請求項６記載の発明は、上記請求項１、
２、３、４または５記載の回転体の支持構造において、
回転体(7) をターボ分子ポンプに備えられたロータとし
た構成としている。

【００１５】

【作用】上記の構成により、本発明では以下に述べるよ
うな作用が得られる。請求項１記載の発明では、回転軸
(6) の回転に伴って回転体(7) が回転すると、該回転体
(7) は遠心力により突出部(24)に外側への伸びが生じ
る。また、雰囲気温度の上昇に伴っても突出部(24)が外
側に膨張することになる。これにより、この突出部(24)
の回転体側テーパ面(24a) は、凹陥部(21)の回転軸側テ
ーパ面(21b) に押圧されることになる。このため、回転
軸(6) による回転体(7) の締結強度が高く維持されるこ
とになる。つまり、回転体(7) が遠心力や温度上昇の影
響を受けた場合であっても、この回転体(7) の支持強度
が低下することはない。

【００１６】請求項２記載の発明では、回転体(7) が遠
心力や温度上昇の影響を受けて外側への伸びが生じた場
合、上記テーパ面(21b),(24a) 間の押圧力により回転体
(7)は、突出部(24)が凹陥部(21)から抜け出る方向へ移
動しようとするが、この回転体(7) はボルト(26)により
押え込まれているために、この移動は阻止され、回転体
(7) とボルト(26)との接触力が増大して、該ボルト(26)
による締結強度が高く維持されることになる。

【００１７】請求項３及び４記載の発明では、回転体
(7) が遠心力や温度上昇の影響を受けた場合には、回転
軸(6) に比べて外周側への伸び量が大きくなる。このた
め、従来の構成では、回転体(7) の支持強度が低下する
ような材料の設定であっても、回転体側テーパ面(24a)
の回転軸側テーパ面(21b) に対する押圧力が大きくなっ
て回転体(7) の支持強度が増大する。

【００１８】請求項５記載の発明では、回転体(7) を回
転軸(6) に締結手段(26)によって締結する際には、締結
手段(26)を締結した状態で計測孔(25)に計測器を差し込
んで、回転体(7) の回転軸(6) に対する締結位置を計測
する。これにより、回転体(7) の回転軸(6) への取付け
位置に対して他部材の位置を最適に調整することが可能
となる。例えば、回転体(7) に回転翼を、ケーシングに
静翼を夫々備え、この各翼を上下に小間隔を存して配置
し、静翼の下端部にスペーサを配置して、スペーサの厚
さを変更することにより静翼の回転翼に対する位置を調
整するようにしたターボ分子ポンプにあっては、回転翼
に対する静翼の位置を最適に得るためのスペーサの厚さ
寸法を容易に得ることができる。

【００１９】請求項６記載の発明では、上記発明が適用
される装置を具体的に得ることができ、ロータ(7) の高
回転化が可能になりターボ分子ポンプの性能が向上す
る。

【００２０】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基いて説明す
る。図１は本例に係るターボ分子ポンプを示す。この図
１において、(1) は略円筒状に形成されたケーシングで
あって、該ケーシング(1) の上面には真空空間へ連通す
る吸込口(2) が、側面下部には該吸込口(2) と流路(3)
を介して連通する吐出口(4) がそれぞれ形成されてい
る。該ケーシング(1) 内には、略円筒状の支持部材(5)
がその基部をケーシング(1) に密着固定して配置されて
いると共に、該支持部材(5) 内には上下方向に延びる鉄
系材料で成る回転軸(6) が挿入され、該回転軸(6) の上
部先端には回転一体に且つ支持部材(5) の先端部（上端
部）の外周を囲むようにアルミニウム製の回転体として
のロータ(7) が装着されている。

【００２１】上記支持部材(5) の内周面には、下側から
上側に向って順にスラスト磁気軸受(10)、下部ラジアル
位置センサ(11)、下部ラジアル磁気軸受(12)、駆動モー
タ(13)、上部ラジアル磁気軸受(14)及び上部ラジアル位
置センサ(15)が夫々回転軸(6) の外周を囲むように配置
されている。

【００２２】上記上部及び下部のラジアル磁気軸受(1
4),(12) 並びに、スラスト磁気軸受(10)は、いずれも回
転軸(6) を支持部材(5) に対して非接触で回転自在に支
持する磁気軸受である。上記両ラジアル磁気軸受(14),
(12),…は、例えば、支持部材(5) の内周面の中心に対
し対称に４対の電磁石(14a),(12a) を配置している場
合、該電磁石(14a),(12a) によって回転軸(6) を吸引し
て該回転軸(6) を上記支持部材(5) の内周面に対してラ
ジアル方向に非接触で回転自在に支持している。

【００２３】上記スラスト磁気軸受(10)は、例えば、回
転軸(6) の下端部に取付けられたフランジ(6a)を上下方
向で挟んだ一対の電磁石(10a),(10a) によってフランジ
(6a)を吸引して該回転軸(6) をスラスト方向に非接触で
回転自在に支持している。

【００２４】上記両ラジアル位置センサ(15),(11) は、
いずれも上記支持部材(5) の内周面の中心に対する回転
軸(6) の軸心のラジアル方向位置を検出して位置信号を
出力している。また、回転軸(6) の下端面に対向してス
ラスト位置センサ(16)が配設されており、回転軸(6) の
スラスト方向の非接触状態で支持されている位置を検出
して位置信号を出力している。尚、上記両ラジアル磁気
軸受(14),(12) に対向する回転軸(6) 上の外周面の部分
には積層板(18),(19) が装着されている。

【００２５】上記駆動モータ(13)は、回転軸(6) を回転
駆動することにより、該回転軸(6)の上部先端に取付け
られたロータ(7) を回転させるようになっている。ま
た、該ロータ(7) は、上部が閉鎖された略円筒状に形成
されており、その外周面には水平方向に延びる回転翼(7
a)が設けられている。更に、上記ケーシング(1) の内面
には静翼(8) がその間に間座(9) を夫々介装して配置さ
れている。また、最下部に位置する間座(9) と支持部材
(5) との間にはリング状のスペーサ(S) が配設されてお
り、このスペーサ(S) を厚さ寸法の異なるものに変更す
ることにより静翼(8) の回転翼(7a)に対する高さ位置が
変更可能となっている。

【００２６】そして、本例の特徴とする構成は、上記ロ
ータ(7) の回転軸(6) 上端部に対する支持構造にある。
以下、この支持構造について詳述する。図２に示すよう
に、回転軸(6) の上端部には、この上端部分のみが僅か
に大径に形成されて成る偏平円盤状のロータ支持部(20)
が一体形成されている。そして、このロータ支持部(20)
の上面中央部には擂鉢状に凹陥された凹陥部(21)が形成
されている。この凹陥部(21)は、ロータ支持部(20)の上
面(20a) から該凹陥部(21)の底面(21a) に向って次第に
小径となるようなテーパ面(21b) を備えており、その底
面(21a) の中心部には内部にメネジが形成されたボルト
孔(21c) が形成されている。

【００２７】一方、ロータ(7) 下面の中央部には、上記
ロータ支持部(20)よりも僅かに大径の凹陥部で成る嵌合
部(23)が形成されており、この嵌合部(23)の中心部に
は、上記ロータ支持部(20)の凹陥部(21)の形状に略合致
してテーパ面(24a) を備えた円錐台状の突出部(24)が一
体形成されている。また、この突出部(24)の中心部に
は、ロータ(7) の上面から突出部(24)の下端面に亘って
貫通する貫通孔(24b) が形成されている。更に、上記嵌
合部(23)における突出部(24)の外周囲には、一端がロー
タ支持部(20)の上面(20a) に臨むように上下方向に貫通
する貫通孔で成る計測孔(25),(25),…が複数箇所（本例
では突出部(24)の周囲の４箇所）に形成されている。

【００２８】そして、このような形状とされたロータ
(7) を回転軸(6) の上端部に組付ける際の動作として
は、先ず、ロータ(7) に形成された突出部(24)が回転軸
(6) に形成された凹陥部(21)に嵌り込むように、該ロー
タ(7) を回転軸(6) の上端面に載置する。その後、この
状態で、ロータ(7) の上側から貫通孔(24b) 及びボルト
孔(21c) に亘って締結手段としてのボルト(26)を挿入、
螺合させる。これにより、ロータ(7) が回転軸(6) に対
して回転一体に組付けられる。そして、この状態では、
ボルト(26)の締結力により、突出部(24)のテーパ面(24
a) が凹陥部(21)のテーパ面(21b) に押圧されている。
尚、この押圧力が十分に得られるように、突出部(24)の
下端面(24c) とロータ支持部(20)に形成された凹陥部(2
1)の底面(21a)との間及びロータ(7) の嵌合部(23)の底
面(23a) とロータ支持部(20)の上面(20a) との間には夫
々僅かな隙間が形成されるように凹陥部(21)及び突出部
(24)の形状が夫々設定されている。また、このようにボ
ルト(26)が挿入、螺合された後、計測孔(25),(25),…に
図示しない計測器を差し込んで、ロータ(7) の上面(7b)
とロータ支持部(20)の上面(20a) との間隔寸法を測定す
ることにより、回転翼(7a)に対する静翼(8) の高さ位置
を最適な位置に設定するためのスペーサ(S) の厚さ寸法
を得ることができ、これに基いてスペーサ(S) を選定す
ることにより、ケーシング(1) 、静翼(8) 及び間座(9)
の高さ位置を適切に設定して、回転翼(7a)に対して静翼
(8) が最適な高さ位置に設定されることになる。

【００２９】このような組付け状態であるので、回転軸
(6) のロータ支持部(20)にあっては、外周側に鉄系材料
で成る回転軸(6) のロータ支持部(20)が、内周側にアル
ミニウム製のロータ(7) の突出部(24)が配置された構
成、つまり、内周側に熱膨張率が高く且つヤング率が低
い部材が位置された構成となっている。

【００３０】次に、上述の如く構成されたターボ分子ポ
ンプの駆動時について説明する。駆動モータ(13)への通
電に伴い回転軸(6) が回転すると、これに回転一体のロ
ータ(7) も回転する。これにより、ロータ(7) 外周面の
ネジ溝(7a)により吸込口(2)から吐出口(4) へ向う気流
が発生し、吸込口(2) に繋がる空間が高真空状態とされ
る。

【００３１】このような駆動時において、ケーシング
(1) 内部は駆動モータ(13)からの発熱等によって高温雰
囲気となり、また、回転軸(6) 及びロータ(7) には大き
な遠心力が作用している。このため、熱膨張率が高く且
つヤング率が低いロータ(7) は、回転軸(6) に比べて外
周側への伸び量が大きくなる。つまり、ロータ(7) の突
出部(24)の外径寸法の増加割合が、回転軸(6) の凹陥部
(21)の内径寸法の増加割合に比べて大きくなる。そし
て、このような状況では、突出部(24)が凹陥部(21)の内
部に嵌り込んでいるために、突出部(24)のテーパ面(24
a) が凹陥部(21)のテーパ面(21b) に向って押圧される
ことになる。この押圧力によりロータ(7) は上方へ移動
しようとするが、ロータ(7) 上面はボルト(26)の頭が当
接しているので、この上方への移動は阻止されている。
従って、このロータ(7) の突出部(24)が形成されている
部分では、突出部(24)のテーパ面(24a) が凹陥部(21)の
テーパ面(21b) に、ロータ(7) 上面がボルト(26)の頭に
夫々押圧されることにより、その締結強度が高く維持さ
れることになり、場合によっては、ポンプの停止時より
も高い締結強度が得られることになる。

【００３２】このように、本例の構成によれば、回転軸
(6) 及びロータ(7) が温度上昇及び遠心力の影響を受け
てもロータ(7) の支持強度の低下を招くことはなく、逆
に、この温度上昇及び遠心力の影響を有効に利用してロ
ータ(7) の支持強度を高く維持できるので、運転時にお
ける固有値を高く維持して回転軸(6) 及びロータ(7)の
高速回転を可能にすることができる。このため、ポンプ
の高速運転が可能になってその性能を大幅に向上するこ
とができる。

【００３３】尚、本実施例では、本発明に係る回転体支
持構造をターボ分子ポンプのロータ支持部分に適用した
場合について説明したが、本発明はこれに限らず、回転
機械全般における回転体支持構造に対して適用可能であ
る。

【００３４】また、ロータ(7) の材質としてはアルミニ
ウムに限らずチタン等であってもよく、場合によっては
回転軸(6) と同一材料で形成してもよい。

【００３５】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば以下に述べるような効果が発揮される。請求項１記載
の発明によれば、回転軸の凹陥部及び回転体の突出部に
夫々互いに当接するテーパ面を形成して、回転体が遠心
力や温度上昇の影響を受けて外周側への伸びが生じた場
合にテーパ面同士の接触力が高く維持されるようにした
ために、従来のような高速回転時などにおける回転体の
支持強度の低下を招くことが抑制でき、回転軸及び回転
体の固有値を高く維持できてその高速回転を可能にでき
る。

【００３６】請求項２記載の発明によれば、回転体が遠
心力や温度上昇の影響を受けて外側への伸びが生じた場
合には、回転体とボルトとの接触力が増大して、該ボル
トによる締結強度が高く維持されるようにしたために、
これによっても回転軸及び回転体の固有値を高く維持で
きてその高速回転を可能にすることができる。

【００３７】請求項３及び４記載の発明によれば、従来
の構成では、回転体の支持強度が低下するような回転軸
及び回転体の材料の設定であっても、回転体側テーパ面
の回転軸側テーパ面に対する押圧力が大きくなって回転
体の支持強度の増大を図ることができ、その高速回転化
を可能にできる。

【００３８】請求項５記載の発明によれば、回転体を回
転軸に締結手段によって締結する際に、締結手段を締結
した状態で計測孔に計測器を差し込んで、回転体の回転
軸に対する締結位置を計測するようにしているので、回
転体の回転軸への取付け位置に対して他部材の位置を最
適に調整することが可能となり、上述した各請求項記載
の発明に係る効果に加えて回転体とその他の部材との組
付け精度の向上を図ることができる。例えば、回転体の
回転翼を、ケーシングに静翼を夫々備え、この静翼の位
置をスペーサの厚さを変更することにより調整するよう
にしたターボ分子ポンプに適用した場合では、回転翼に
対する静翼の位置を最適に得るためのスペーサの厚さ寸
法を容易に得ることができ、ポンプ効率の向上を図るこ
とができる。

【００３９】請求項６記載の発明によれば、上記発明が
適用される装置を具体的に得ることができ、ロータの高
回転化が可能になりターボ分子ポンプの性能の向上を図
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ターボ分子ポンプの断面図である。

【図２】ロータ支持部分を拡大して示す断面図である。

【図３】従来例における図２相当図である。

【図４】他の従来例における図２相当図である。

【符号の説明】

(6) 回転軸 (7) ロータ（回転体） (20a) 上面 (21) 凹陥部 (21a) 底面 (21b),(24a) テーパ面 (21c) ボルト孔 (23a) 底面 (24) 突出部 (24b) 貫通孔 (25) 計測孔 (26) ボルト（締結手段）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転可能な回転軸(6) の先端部に回転体
   (7) が締結手段(26)により回転一体に締結される回転体
   の支持構造において、 上記回転軸(6) の先端部の端面(20a) には凹陥部(21)
   が、回転体(7) における回転軸(6) の先端部の端面(20
   a) に対向する対向面(23a) には上記凹陥部(21)に嵌り
   込む突出部(24)が夫々形成されており、 上記回転軸(6) に形成された凹陥部(21)の内側面は、該
   回転軸(6) の先端部の端面(20a) から凹陥部(21)の底部
   (21a) に向うにしたがって回転軸(6) の中心に向ってテ
   ーパ状に傾斜する回転軸側テーパ面(21b) で形成され、 上記回転体(7) に形成された突出部(24)の外側面は、上
   記凹陥部(21)の回転軸側テーパ面(21b) の形状に略合致
   し、突出部(24)が凹陥部(21)に嵌り込んだ状態で締結手
   段(26)により締結されることにより上記回転軸側テーパ
   面(21b) に当接する回転体側テーパ面(24a) で形成され
   ていることを特徴とする回転体の支持構造。
2. 【請求項２】 凹陥部(21)の底部(21a) には内部にメネ
   ジが形成されたボルト孔(21c) が形成されており、 回転体(7) には一端が突出部(24)の先端に開口するよう
   に貫通形成された貫通孔(24b) が形成されており、 締結手段(26)は、上記貫通孔(24b) に挿通され、且つボ
   ルト孔(21c) に螺合されたボルトであることを特徴とす
   る請求項１記載の回転体の支持構造。
3. 【請求項３】 回転体(7) は回転軸(6) よりも熱膨張率
   が高く且つヤング率が低い材料で形成されていることを
   特徴とする請求項１または２記載の回転体の支持構造。
4. 【請求項４】 回転軸(6) は鉄系材料で形成され、回転
   体(7) はアルミニウムで形成されていることを特徴とす
   る請求項３記載の回転体の支持構造。
5. 【請求項５】 回転体(7) が回転軸(6) に締結された状
   態では、回転軸(6)の先端部の端面(20a) と、回転体(7)
   の対向面(23a) との間には、隙間が形成されており、
   回転体(7) には、一端が回転軸(6) の先端部の端面(20
   a) に臨む計測孔(25)が貫通形成されていることを特徴
   とする請求項１、２、３または４記載の回転体の支持構
   造。
6. 【請求項６】 回転体(7) はターボ分子ポンプに備えら
   れたロータであることを特徴とする請求項１、２、３、
   ４または５記載の回転体の支持構造。