JPH08219512A - 局所排気装置 - Google Patents
局所排気装置Info
- Publication number
- JPH08219512A JPH08219512A JP2839295A JP2839295A JPH08219512A JP H08219512 A JPH08219512 A JP H08219512A JP 2839295 A JP2839295 A JP 2839295A JP 2839295 A JP2839295 A JP 2839295A JP H08219512 A JPH08219512 A JP H08219512A
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- recess
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体等の製造プロセスに伴って発生する有
害な蒸気、ガスあるいは粉塵を、装置外部に流出させな
い局所排気装置を得ることを目的とする。 【構成】 排気口１は、処理槽受け容器４が置かれてい
る凹部の４側面と底面の全面に設けられている。薬液６
の加熱等により発生した有害な蒸気またはガスは上昇気
流となり、下向きの層流となっているクリーンエア１０
により押さえ込まれ、処理槽の液面よりも高い位置まで
設けられている凹部側面の排気口１より効率的に吸引さ
れ、ダクト２を通って排気装置３により排出される。
害な蒸気、ガスあるいは粉塵を、装置外部に流出させな
い局所排気装置を得ることを目的とする。 【構成】 排気口１は、処理槽受け容器４が置かれてい
る凹部の４側面と底面の全面に設けられている。薬液６
の加熱等により発生した有害な蒸気またはガスは上昇気
流となり、下向きの層流となっているクリーンエア１０
により押さえ込まれ、処理槽の液面よりも高い位置まで
設けられている凹部側面の排気口１より効率的に吸引さ
れ、ダクト２を通って排気装置３により排出される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、主に半導体の製造プ
ロセスに伴って発生する有害な蒸気、ガスまたは粉塵の
拡散を防ぐための局所排気装置に関するものである。
ロセスに伴って発生する有害な蒸気、ガスまたは粉塵の
拡散を防ぐための局所排気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の局所排気装置を示す略縦
断側面図であり、図において１は排気口、２は排気口よ
り排気された蒸気、ガスを屋外へ排出するダクト、３は
排気装置、４は処理槽受け容器、５は処理槽、６は半導
体基板等を処理する薬液であり、有害な蒸気、ガスの発
生源となっている。なお、図中イは作業者等が薬液処理
を行う操作面側を示す。薬液６の加熱等により発生する
蒸気、ガス８は、操作面イに対して背面に位置する排気
口１より排気され、排気装置３によりダクト２を経て屋
外へ排出される。
断側面図であり、図において１は排気口、２は排気口よ
り排気された蒸気、ガスを屋外へ排出するダクト、３は
排気装置、４は処理槽受け容器、５は処理槽、６は半導
体基板等を処理する薬液であり、有害な蒸気、ガスの発
生源となっている。なお、図中イは作業者等が薬液処理
を行う操作面側を示す。薬液６の加熱等により発生する
蒸気、ガス８は、操作面イに対して背面に位置する排気
口１より排気され、排気装置３によりダクト２を経て屋
外へ排出される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の局所排気装置は
以上のように構成されているので、排気口１が装置背面
にしか設置されておらず、強制排気が十分でないという
問題があった。このため、発生した蒸気、ガス８は操作
面イ側に漏れてしまい、作業者に有害である上に、有機
溶剤等の場合には引火、爆発の危険があった。
以上のように構成されているので、排気口１が装置背面
にしか設置されておらず、強制排気が十分でないという
問題があった。このため、発生した蒸気、ガス８は操作
面イ側に漏れてしまい、作業者に有害である上に、有機
溶剤等の場合には引火、爆発の危険があった。
【０００４】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、半導体等の製造プロセスに伴
って発生する有害な蒸気、ガスあるいは粉塵を、装置外
部に流出させない局所排気装置を得ることを目的とす
る。
るためになされたもので、半導体等の製造プロセスに伴
って発生する有害な蒸気、ガスあるいは粉塵を、装置外
部に流出させない局所排気装置を得ることを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる局所排
気装置は、薬液処理槽等の製造装置を配置し、四方側面
および底面の全面に排気口を有する凹部と、製造装置よ
り発生する蒸気、ガスまたは粉塵を排気口を経て屋外に
排出する、排気装置に接続されたダクトを備え、この凹
部の排気口を、製造装置の蒸気、ガスまたは粉塵の発生
箇所よりも高い位置にまで設けたものである。また、天
井部にフィルター付き送風機を設置し、凹部に垂直な清
浄空気の気流を作り、製造装置より発生する蒸気、ガス
または粉塵の上昇を抑制するよう構成したものである。
また、凹部の作業面側上部にフィルター付き送風機を設
置し、作業面側より装置背面へ向かう横向きの気流を作
り、製造装置より発生する蒸気、ガスまたは粉塵の上昇
を抑制するよう構成したものである。
気装置は、薬液処理槽等の製造装置を配置し、四方側面
および底面の全面に排気口を有する凹部と、製造装置よ
り発生する蒸気、ガスまたは粉塵を排気口を経て屋外に
排出する、排気装置に接続されたダクトを備え、この凹
部の排気口を、製造装置の蒸気、ガスまたは粉塵の発生
箇所よりも高い位置にまで設けたものである。また、天
井部にフィルター付き送風機を設置し、凹部に垂直な清
浄空気の気流を作り、製造装置より発生する蒸気、ガス
または粉塵の上昇を抑制するよう構成したものである。
また、凹部の作業面側上部にフィルター付き送風機を設
置し、作業面側より装置背面へ向かう横向きの気流を作
り、製造装置より発生する蒸気、ガスまたは粉塵の上昇
を抑制するよう構成したものである。
【０００６】
【作用】この発明における局所排気装置は、薬液処理槽
等の製造装置を配置する凹部の四方側面および底面の全
面に排気口を有するので、局所排気装置内に置かれた製
造装置より発生する蒸気、ガスまたは粉塵が外部に漏れ
ることなく、強力に強制排気される。また、排気口が、
製造装置の蒸気、ガスまたは粉塵の発生箇所よりも高い
位置にまで設けられているので、空気よりも軽い蒸気、
ガスまたは粉塵に対しても、効果的に排気ができる。ま
た、凹部に垂直な清浄気流により、製造装置より発生す
る蒸気、ガスまたは粉塵を押さえ込み、その上昇を抑制
し、凹部の側面に設けられた排気口より効率よく排気で
きるとともに、この垂直な気流がエアーカーテンの役割
を果たし、製造装置より発生する蒸気等が外部へ漏れる
のを防ぐ。また、凹部の作業面側より装置背面へ向かう
横向きの気流により、製造装置より発生する蒸気、ガス
または粉塵の上昇を抑制し、凹部の側面に設けられた排
気口より効率よく排気できるとともに、この横向きの気
流がエアーカーテンの役割を果たし、製造装置より発生
する蒸気等が外部へ漏れるのを防ぐ。
等の製造装置を配置する凹部の四方側面および底面の全
面に排気口を有するので、局所排気装置内に置かれた製
造装置より発生する蒸気、ガスまたは粉塵が外部に漏れ
ることなく、強力に強制排気される。また、排気口が、
製造装置の蒸気、ガスまたは粉塵の発生箇所よりも高い
位置にまで設けられているので、空気よりも軽い蒸気、
ガスまたは粉塵に対しても、効果的に排気ができる。ま
た、凹部に垂直な清浄気流により、製造装置より発生す
る蒸気、ガスまたは粉塵を押さえ込み、その上昇を抑制
し、凹部の側面に設けられた排気口より効率よく排気で
きるとともに、この垂直な気流がエアーカーテンの役割
を果たし、製造装置より発生する蒸気等が外部へ漏れる
のを防ぐ。また、凹部の作業面側より装置背面へ向かう
横向きの気流により、製造装置より発生する蒸気、ガス
または粉塵の上昇を抑制し、凹部の側面に設けられた排
気口より効率よく排気できるとともに、この横向きの気
流がエアーカーテンの役割を果たし、製造装置より発生
する蒸気等が外部へ漏れるのを防ぐ。
【０００７】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１は、この発明の実施例１である局所排気装置
の略縦断側面図であり、図において、１は排気口であ
り、処理槽受け容器４が置かれている凹部の４側面と底
面の全面に設けられている。７は高性能フィルターを有
する送風機（クリーンユニット）であり、１０はクリー
ンユニット７より送り出される清浄な空気（クリーンエ
ア）である。なお、従来例と同一部分については同符号
を付し、説明を省略する。
する。図１は、この発明の実施例１である局所排気装置
の略縦断側面図であり、図において、１は排気口であ
り、処理槽受け容器４が置かれている凹部の４側面と底
面の全面に設けられている。７は高性能フィルターを有
する送風機（クリーンユニット）であり、１０はクリー
ンユニット７より送り出される清浄な空気（クリーンエ
ア）である。なお、従来例と同一部分については同符号
を付し、説明を省略する。
【０００８】次に動作について説明する。薬液６の加熱
等により発生した有害な蒸気またはガスは上昇気流とな
り、クリーンユニット７内のフィルターでろ過され、フ
ァンにより下向きの層流となっているクリーンエア１０
により押さえ込まれ、薬液６の液面よりも高い位置まで
設けられている側面の排気口１より効率的に吸引され、
ダクト２を通って排気装置３により排出される。また、
クリーンエア１０がエアーカーテンの役割を果たし、作
業者のいる操作面イへの蒸気、ガスの漏れを防いでい
る。このため作業者は、有害な蒸気、ガスに接すること
無く安全に作業が行える。さらに、有機溶剤などの有害
な蒸気、ガスが外部に漏れることにより起こる引火、爆
発等の事故の危険も防止できる。
等により発生した有害な蒸気またはガスは上昇気流とな
り、クリーンユニット７内のフィルターでろ過され、フ
ァンにより下向きの層流となっているクリーンエア１０
により押さえ込まれ、薬液６の液面よりも高い位置まで
設けられている側面の排気口１より効率的に吸引され、
ダクト２を通って排気装置３により排出される。また、
クリーンエア１０がエアーカーテンの役割を果たし、作
業者のいる操作面イへの蒸気、ガスの漏れを防いでい
る。このため作業者は、有害な蒸気、ガスに接すること
無く安全に作業が行える。さらに、有機溶剤などの有害
な蒸気、ガスが外部に漏れることにより起こる引火、爆
発等の事故の危険も防止できる。
【０００９】本実施例において、排気口１の設けられた
凹部の寸法は、処理槽５の開口部に対し、操作面側では
最大１５０ｍｍ、装置背面側では３５０ｍｍ高く設定さ
れており、処理槽５の開口部に対して側面の排気口１は
２０ｍｍまで近接している。また、薬液６より発生する
蒸気、ガス８が、排気口１よりも高く上昇するのを抑制
するために、クリーンエア１０は下向きに０．３ｍ／ｓ
の風速で、４２ｍ3／ｍｉｎの風量を持ち、十分にその
役割を果たす。
凹部の寸法は、処理槽５の開口部に対し、操作面側では
最大１５０ｍｍ、装置背面側では３５０ｍｍ高く設定さ
れており、処理槽５の開口部に対して側面の排気口１は
２０ｍｍまで近接している。また、薬液６より発生する
蒸気、ガス８が、排気口１よりも高く上昇するのを抑制
するために、クリーンエア１０は下向きに０．３ｍ／ｓ
の風速で、４２ｍ3／ｍｉｎの風量を持ち、十分にその
役割を果たす。
【００１０】実施例２．図２に、この発明の実施例２で
ある局所排気装置の略縦断側面図を示す。実施例１で
は、薬液６より発生した蒸気、ガス８の上昇を、凹部に
対して垂直なダウンフローであるクリーンエア１０にて
抑制しているが、本実施例では、凹部上方の操作面側に
クリーンユニット７を設け、ファンによりクリーンエア
１０を装置背面側に設けられた排気口１へ向けて横向き
に流すことで、薬液６より発生した蒸気、ガス８の上昇
を抑制し、外部への漏れを防止する。この場合も排気口
１は処理槽５の開口部よりも高い位置まで設けられてお
り、さらにその上をクリーンエア１０が操作面側から装
置背面に向かって吹き出している。このように構成され
た局所排気装置でも、実施例１と同様の効果が得られ
る。
ある局所排気装置の略縦断側面図を示す。実施例１で
は、薬液６より発生した蒸気、ガス８の上昇を、凹部に
対して垂直なダウンフローであるクリーンエア１０にて
抑制しているが、本実施例では、凹部上方の操作面側に
クリーンユニット７を設け、ファンによりクリーンエア
１０を装置背面側に設けられた排気口１へ向けて横向き
に流すことで、薬液６より発生した蒸気、ガス８の上昇
を抑制し、外部への漏れを防止する。この場合も排気口
１は処理槽５の開口部よりも高い位置まで設けられてお
り、さらにその上をクリーンエア１０が操作面側から装
置背面に向かって吹き出している。このように構成され
た局所排気装置でも、実施例１と同様の効果が得られ
る。
【００１１】実施例１および２において、薬液６より発
生する蒸気、ガス８は上昇気流となると仮定したが、本
発明における局所排気装置によれば、凹部の底面にも排
気口が設けられているため、空気よりも重たい蒸気、ガ
スであっても滞留することなく、効率的に排気すること
ができる。また、有害な蒸気や引火性のガスあるいは臭
気等が局所排気装置外部に漏れないため、一般危険物取
扱所において、非防爆構造の装置を本装置の１０ｍ以内
に設置可能となるため、スペース上にも有利となる。
生する蒸気、ガス８は上昇気流となると仮定したが、本
発明における局所排気装置によれば、凹部の底面にも排
気口が設けられているため、空気よりも重たい蒸気、ガ
スであっても滞留することなく、効率的に排気すること
ができる。また、有害な蒸気や引火性のガスあるいは臭
気等が局所排気装置外部に漏れないため、一般危険物取
扱所において、非防爆構造の装置を本装置の１０ｍ以内
に設置可能となるため、スペース上にも有利となる。
【００１２】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、薬液
処理槽等の製造装置を配置する凹部の四方側面および底
面の全面に排気口を有し、さらに排気口を、製造装置の
蒸気、ガスまたは粉塵の発生箇所よりも高い位置にまで
設けたので、製造装置より発生する蒸気、ガスまたは粉
塵が上昇気流であっても、また下降気流であっても外部
に漏らすことなく、強力に排気が行える局所排気装置が
得られる。
処理槽等の製造装置を配置する凹部の四方側面および底
面の全面に排気口を有し、さらに排気口を、製造装置の
蒸気、ガスまたは粉塵の発生箇所よりも高い位置にまで
設けたので、製造装置より発生する蒸気、ガスまたは粉
塵が上昇気流であっても、また下降気流であっても外部
に漏らすことなく、強力に排気が行える局所排気装置が
得られる。
【００１３】また、凹部に対して垂直あるいは横向きに
流れる清浄気流を作ることにより、製造装置より発生す
る蒸気、ガスまたは粉塵を押さえ込み、凹部の側面に設
けられた排気口より効率よく排気し、外部へ漏れるのを
防ぐ効果がある。
流れる清浄気流を作ることにより、製造装置より発生す
る蒸気、ガスまたは粉塵を押さえ込み、凹部の側面に設
けられた排気口より効率よく排気し、外部へ漏れるのを
防ぐ効果がある。
【図１】 この発明の一実施例による局所排気装置を示
す略縦断側面図である。
す略縦断側面図である。
【図２】 この発明の実施例２による局所排気装置を示
す略縦断側面図である。
す略縦断側面図である。
【図３】 従来の局所排気装置を示す略縦断側面図であ
る。
る。
１ 排気口、２ ダクト、３ 排気装置、４ 処理槽受
け容器、５ 処理槽、６ 薬液、７ クリーンユニッ
ト、８ 薬液より発生した蒸気、ガス、９ 排気される
蒸気、ガス、１０ 清浄な空気。
け容器、５ 処理槽、６ 薬液、７ クリーンユニッ
ト、８ 薬液より発生した蒸気、ガス、９ 排気される
蒸気、ガス、１０ 清浄な空気。
Claims (3)
- 【請求項１】 薬液処理槽等の製造装置を収納し、四方
側面および底面の全面に排気口を有する凹部、 上記製造装置より発生する蒸気、ガスまたは粉塵を上記
排気口を経て屋外に排出する、排気装置に接続されたダ
クトを備え、上記凹部の排気口が上記製造装置の蒸気、
ガスまたは粉塵の発生箇所よりも高い位置にまで設けら
れていることを特徴とする局所排気装置。 - 【請求項２】 天井部にフィルター付き送風機を設置
し、凹部に垂直な清浄空気の気流を作り、製造装置より
発生する蒸気、ガスまたは粉塵の上昇を抑制するよう構
成したことを特徴とする請求項１記載の局所排気装置。 - 【請求項３】 凹部の作業面側上部にフィルター付き送
風機を設置し、作業面側より装置背面へ向かう横向きの
気流を作り、製造装置より発生する蒸気、ガスまたは粉
塵の上昇を抑制するよう構成したことを特徴とする請求
項１記載の局所排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2839295A JPH08219512A (ja) | 1995-02-16 | 1995-02-16 | 局所排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2839295A JPH08219512A (ja) | 1995-02-16 | 1995-02-16 | 局所排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08219512A true JPH08219512A (ja) | 1996-08-30 |
Family
ID=12247392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2839295A Pending JPH08219512A (ja) | 1995-02-16 | 1995-02-16 | 局所排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08219512A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5207563B1 (ja) * | 2012-04-24 | 2013-06-12 | 株式会社セフテック | エアカーテン付き作業テーブル |
-
1995
- 1995-02-16 JP JP2839295A patent/JPH08219512A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5207563B1 (ja) * | 2012-04-24 | 2013-06-12 | 株式会社セフテック | エアカーテン付き作業テーブル |
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