JPH0732880B2 - クリーンドラフトチャンバー - Google Patents
クリーンドラフトチャンバーInfo
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- JPH0732880B2 JPH0732880B2 JP3255653A JP25565391A JPH0732880B2 JP H0732880 B2 JPH0732880 B2 JP H0732880B2 JP 3255653 A JP3255653 A JP 3255653A JP 25565391 A JP25565391 A JP 25565391A JP H0732880 B2 JPH0732880 B2 JP H0732880B2
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 31
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 31
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 13
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 5
- 239000003570 air Substances 0.000 description 87
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 13
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 3
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 3
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000003915 air pollution Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、揮発性の有機溶剤や酸
など有害な蒸気やガスを発生する薬液を用いる一方で無
塵の環境を必要とする作業を行う際に用いるクリーンド
ラフトチャンバーに関するものである。
など有害な蒸気やガスを発生する薬液を用いる一方で無
塵の環境を必要とする作業を行う際に用いるクリーンド
ラフトチャンバーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製品や精密機械部品等の製造工程
において、揮発性の有機溶剤や酸を用いる洗浄やエッチ
ングの作業を無塵の環境で行う必要がある場合、クリー
ンドラフトチャンバーが用いられる。有害ガス排出用の
排気装置だけを備えた通常のドラフトチャンバーはその
作業用開口部からドラフトチャンバー周辺の有塵空気を
取り込むが、クリーンドラフトチャンバーは、図４に示
したように、天井部に高性能エアフィルター31付き送風
機32を設置して清浄化空気を天井部より作業空間33に供
給し、作業台34またはその周辺に排気口35を設けて汚染
空気を排気装置36により強制排出するようにしたもので
あるから、作業空間33はドラフトチャンバー周辺よりも
浮遊塵埃の少ない清浄な環境に保たれる。
において、揮発性の有機溶剤や酸を用いる洗浄やエッチ
ングの作業を無塵の環境で行う必要がある場合、クリー
ンドラフトチャンバーが用いられる。有害ガス排出用の
排気装置だけを備えた通常のドラフトチャンバーはその
作業用開口部からドラフトチャンバー周辺の有塵空気を
取り込むが、クリーンドラフトチャンバーは、図４に示
したように、天井部に高性能エアフィルター31付き送風
機32を設置して清浄化空気を天井部より作業空間33に供
給し、作業台34またはその周辺に排気口35を設けて汚染
空気を排気装置36により強制排出するようにしたもので
あるから、作業空間33はドラフトチャンバー周辺よりも
浮遊塵埃の少ない清浄な環境に保たれる。
【０００３】このクリーンドラフトチャンバーを用いる
場合、容器37に入っている有機溶剤や酸の蒸気をチャン
バーの作業用開口部38から外に漏れないようにするため
には、高性能エアフィルター31を経由して供給する清浄
空気の流量（ｍ3 ／min ）Ｑ1 を上回る量のチャンバー
内汚染空気Ｑ3 を排気装置36により排出し、それにより
Ｑ3 −Ｑ1 に等しい量Ｑ2 の周辺空気が作業用開口部38
から風速ｖで常にチャンバー内に流れ込むようにする。
しかしながら、浮遊塵埃の多い周辺空気の流入量Ｑ2 が
多いほどチャンバー内清浄度は低下するから、その量を
あまり多くすることは好ましくなく、チャンバー内で行
われる作業の種類に応じて、風速ｖとして 0.25 ｍ／se
c 以下、 0.4ｍ／sec 以下、または 0.5ｍ／sec 以下に
制限される。
場合、容器37に入っている有機溶剤や酸の蒸気をチャン
バーの作業用開口部38から外に漏れないようにするため
には、高性能エアフィルター31を経由して供給する清浄
空気の流量（ｍ3 ／min ）Ｑ1 を上回る量のチャンバー
内汚染空気Ｑ3 を排気装置36により排出し、それにより
Ｑ3 −Ｑ1 に等しい量Ｑ2 の周辺空気が作業用開口部38
から風速ｖで常にチャンバー内に流れ込むようにする。
しかしながら、浮遊塵埃の多い周辺空気の流入量Ｑ2 が
多いほどチャンバー内清浄度は低下するから、その量を
あまり多くすることは好ましくなく、チャンバー内で行
われる作業の種類に応じて、風速ｖとして 0.25 ｍ／se
c 以下、 0.4ｍ／sec 以下、または 0.5ｍ／sec 以下に
制限される。
【０００４】風速ｖを所定の値に保つ場合、周辺空気流
入量Ｑ2 は、上下動するシャッター39により可変の開口
部高さＨに比例するから、開口部高さＨを高くするほど
周辺空気流入量Ｑ2 は多くなる。従って、作業上の必要
性から開口部高さＨを高くした場合、周辺の空調空気が
ドラフトチャンバーに大量に取り込まれて廃棄されるこ
とになり、ドラフトチャンバー設置室の空調コストを上
昇させることになる。また、周辺空気を取り込みながら
チャンバー内の清浄度を確保するには、清浄化空気供給
量Ｑ1 を高い水準に設定しなければならず、このためチ
ャンバー内汚染空気Ｑ3 も多くなり、送風機32および排
気装置36の動力費が高いという問題があった。そこで、
ドラフトチャンバーに取り込まれる周辺空気の量を少な
くし、且つチャンバー内の清浄度を確保するために、作
業台の上方から作業台周辺部分を横切って作業範囲に流
下するクリーンジェットエアを生じさせた装置が開発さ
れたが、揮発性の高い溶剤を使用する場合は、上記クリ
ーンジェットエアではカバーできない領域が生じる。
入量Ｑ2 は、上下動するシャッター39により可変の開口
部高さＨに比例するから、開口部高さＨを高くするほど
周辺空気流入量Ｑ2 は多くなる。従って、作業上の必要
性から開口部高さＨを高くした場合、周辺の空調空気が
ドラフトチャンバーに大量に取り込まれて廃棄されるこ
とになり、ドラフトチャンバー設置室の空調コストを上
昇させることになる。また、周辺空気を取り込みながら
チャンバー内の清浄度を確保するには、清浄化空気供給
量Ｑ1 を高い水準に設定しなければならず、このためチ
ャンバー内汚染空気Ｑ3 も多くなり、送風機32および排
気装置36の動力費が高いという問題があった。そこで、
ドラフトチャンバーに取り込まれる周辺空気の量を少な
くし、且つチャンバー内の清浄度を確保するために、作
業台の上方から作業台周辺部分を横切って作業範囲に流
下するクリーンジェットエアを生じさせた装置が開発さ
れたが、揮発性の高い溶剤を使用する場合は、上記クリ
ーンジェットエアではカバーできない領域が生じる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、クリ
ーンドラフトチャンバーにおける上述のような問題点を
解決し、周辺空気取り込み量が少なく且つ少ない動力費
で、清浄且つ広い作業空間を確保できるクリーンドラフ
トチャンバーを提供することにある。
ーンドラフトチャンバーにおける上述のような問題点を
解決し、周辺空気取り込み量が少なく且つ少ない動力費
で、清浄且つ広い作業空間を確保できるクリーンドラフ
トチャンバーを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】天井部に高性能フィルタ
ー付き送風機を設置して清浄化空気を天井部より作業空
間に供給可能にすると共に、排気口を作業台またはその
周辺に設けて汚染空気を排気装置により強制排出するよ
うにしたクリーンドラフトチャンバーにおいて、作業台
に、その開口部の縁部に沿って吸気口を設けてこれを上
記送風機の空気取り入れ口とし、作業台に薬液容器設置
用凹部を設け、上記薬液容器設置用凹部の側壁および作
業台の上記薬液容器設置用凹部と上記吸気口との間に排
気口を設けてこれらの排気口を排気ダクトで排気装置に
連通させ、作業台の上記薬液容器設置用凹部が設置され
ていない部分の上方を横切って薬液容器設置用凹部に流
入する高速空気流を生じさせる清浄化空気噴射ノズルを
天井部に設置した。
ー付き送風機を設置して清浄化空気を天井部より作業空
間に供給可能にすると共に、排気口を作業台またはその
周辺に設けて汚染空気を排気装置により強制排出するよ
うにしたクリーンドラフトチャンバーにおいて、作業台
に、その開口部の縁部に沿って吸気口を設けてこれを上
記送風機の空気取り入れ口とし、作業台に薬液容器設置
用凹部を設け、上記薬液容器設置用凹部の側壁および作
業台の上記薬液容器設置用凹部と上記吸気口との間に排
気口を設けてこれらの排気口を排気ダクトで排気装置に
連通させ、作業台の上記薬液容器設置用凹部が設置され
ていない部分の上方を横切って薬液容器設置用凹部に流
入する高速空気流を生じさせる清浄化空気噴射ノズルを
天井部に設置した。
【０００７】
【作用】本発明のクリーンドラフトチャンバーを使用す
る場合は、作業に必要な有機溶剤や酸を入れた薬液容器
を原則として薬液容器設置用凹部に置く。これにより、
作業中発生する汚染空気は作業空間全体に拡散すること
なく主として薬液容器設置用凹部内に停滞する。この汚
染空気は、排気装置を運転すると凹部側壁の排気口から
ダクトに入り、屋外に排出される。一方、清浄空気供給
用送風機を運転すると、チャンバー開口部付近の比較的
清浄なチャンバー内空気と周辺空気が吸気口から吸い込
まれて高性能エアフィルターで瀘過され、清浄空気とな
って天井部から作業台方向に流下する。この清浄空気の
大部分は吸気口から吸い込まれるから、清浄空気の大部
分は上記経路で循環することになる。
る場合は、作業に必要な有機溶剤や酸を入れた薬液容器
を原則として薬液容器設置用凹部に置く。これにより、
作業中発生する汚染空気は作業空間全体に拡散すること
なく主として薬液容器設置用凹部内に停滞する。この汚
染空気は、排気装置を運転すると凹部側壁の排気口から
ダクトに入り、屋外に排出される。一方、清浄空気供給
用送風機を運転すると、チャンバー開口部付近の比較的
清浄なチャンバー内空気と周辺空気が吸気口から吸い込
まれて高性能エアフィルターで瀘過され、清浄空気とな
って天井部から作業台方向に流下する。この清浄空気の
大部分は吸気口から吸い込まれるから、清浄空気の大部
分は上記経路で循環することになる。
【０００８】作業台の薬液容器設置用凹部以外の部分に
薬液容器等空気汚染源となるものを置いた場合、それに
より作業台上で発生する汚染空気の大部分は、清浄化空
気噴射装置から噴射されて凹部に流入する高速空気流に
誘引されて凹部に流入し、凹部内で発生した汚染空気と
合流して排気装置により屋外に排出される。作業台上で
発生した汚染空気のうち凹部に流入しなかった部分は、
吸気口に流入する前に凹部と吸気口の間の排気口に吸い
込まれ、凹部排気口からの汚染空気と合流して屋外に排
出される。
薬液容器等空気汚染源となるものを置いた場合、それに
より作業台上で発生する汚染空気の大部分は、清浄化空
気噴射装置から噴射されて凹部に流入する高速空気流に
誘引されて凹部に流入し、凹部内で発生した汚染空気と
合流して排気装置により屋外に排出される。作業台上で
発生した汚染空気のうち凹部に流入しなかった部分は、
吸気口に流入する前に凹部と吸気口の間の排気口に吸い
込まれ、凹部排気口からの汚染空気と合流して屋外に排
出される。
【０００９】清浄化空気噴射ノズルからの空気噴射量は
送風機による清浄化空気循環量と比べると無視できる程
度の少量で良く、従って、チャンバー開口部からの周辺
空気流入量および流入風速は、事実上、排気口からの排
出空気量のみによって決まる。
送風機による清浄化空気循環量と比べると無視できる程
度の少量で良く、従って、チャンバー開口部からの周辺
空気流入量および流入風速は、事実上、排気口からの排
出空気量のみによって決まる。
【００１０】
【実施例】本発明クリーンドラフトチャンバー１の実施
の一例を図面と共に次に説明する。
の一例を図面と共に次に説明する。
【００１１】本発明クリーンドラフトチャンバー１は、
チャンバー２内の作業空間３の天井部に高性能フィルタ
ー４とチャンバー２内にクリーンエアを送るための送風
機５とを設置し、チャンバー２外には作業空間３の下部
の作業台６周辺の空気を吸引しチャンバー２外に排出す
る排気装置７を設置し、作業空間３の開口部８付近の空
気を前記天井部に設けた送風機５に導く循環ダクト９を
有している。作業台６は二箇所に薬液容器設置用凹部10
を有し、またその手前の開口部８側の縁に沿って吸気口
11を、吸引口11と薬液容器設置用凹部10との間にスリッ
ト状の排気口12をそれぞれ設ける。
チャンバー２内の作業空間３の天井部に高性能フィルタ
ー４とチャンバー２内にクリーンエアを送るための送風
機５とを設置し、チャンバー２外には作業空間３の下部
の作業台６周辺の空気を吸引しチャンバー２外に排出す
る排気装置７を設置し、作業空間３の開口部８付近の空
気を前記天井部に設けた送風機５に導く循環ダクト９を
有している。作業台６は二箇所に薬液容器設置用凹部10
を有し、またその手前の開口部８側の縁に沿って吸気口
11を、吸引口11と薬液容器設置用凹部10との間にスリッ
ト状の排気口12をそれぞれ設ける。
【００１２】薬液容器設置用凹部10は薬液容器13を完全
に収容できる深さのもので、その側壁14には排気口15が
あり、また底板16には図示してない排水管（洗浄水等を
流すためのもの）が接続されている。吸気口11は樋状に
成形された有孔板をもって形成されており、チャンバー
２の底部および作業空間３の背面を通るダクト９により
天井部の送風機５に通じている。送風機５の下には高性
能フィルター４があり、送風機５が送り出す空気はすべ
てこの高性能フィルター４を瀘過して作業空間３に流下
するようになっている。
に収容できる深さのもので、その側壁14には排気口15が
あり、また底板16には図示してない排水管（洗浄水等を
流すためのもの）が接続されている。吸気口11は樋状に
成形された有孔板をもって形成されており、チャンバー
２の底部および作業空間３の背面を通るダクト９により
天井部の送風機５に通じている。送風機５の下には高性
能フィルター４があり、送風機５が送り出す空気はすべ
てこの高性能フィルター４を瀘過して作業空間３に流下
するようになっている。
【００１３】薬液容器設置用凹部10の周囲とその下は排
気ダクト17になっていて、その端部は、前述の、開口部
８側の縁に沿う吸気口11と薬液容器設置用凹部10との間
に設けた排気口12に通じ、且つ薬液容器設置用凹部10の
排気口15を開口している。この排気ダクト17は排気装置
７に通じている。チャンバー２の天井部には、清浄化空
気噴射用のノズル19が固定されている。その取り付け姿
勢は、ノズル19の中心軸線Ｘが、作業台６上、薬液容器
設置用凹部10がない部分の上方の作業空間３を横切って
薬液容器設置用凹部10の中心に向かうように選定されて
いる。ノズル19はパイプ20により高性能フィルター21付
きコンプレッサー22に連結されている。
気ダクト17になっていて、その端部は、前述の、開口部
８側の縁に沿う吸気口11と薬液容器設置用凹部10との間
に設けた排気口12に通じ、且つ薬液容器設置用凹部10の
排気口15を開口している。この排気ダクト17は排気装置
７に通じている。チャンバー２の天井部には、清浄化空
気噴射用のノズル19が固定されている。その取り付け姿
勢は、ノズル19の中心軸線Ｘが、作業台６上、薬液容器
設置用凹部10がない部分の上方の作業空間３を横切って
薬液容器設置用凹部10の中心に向かうように選定されて
いる。ノズル19はパイプ20により高性能フィルター21付
きコンプレッサー22に連結されている。
【００１４】開口部８には上下動可能なシャッター23が
あり、これを上下動させることにより開口部８の有効高
さＨの調節が可能である。
あり、これを上下動させることにより開口部８の有効高
さＨの調節が可能である。
【００１５】このクリーンドラフトチャンバー１を使用
して洗浄，エッチング等の作業をする場合、作業に必要
な有機溶剤や酸を入れた平バット等の薬液容器13を薬液
容器設置用凹部10に置いて送風機５，排気装置７および
コンプレッサー22を運転すると、高性能フィルター４か
らは清浄空気が流量Ｑ1 で流下し、作業空間３を清浄に
保つ。さらに、ノズル19から薬液容器設置用凹部10に向
かって清浄化空気噴射気流が流れ、作業台６の薬液容器
設置用凹部10以外の部分に、薬液のガスや蒸気が拡散し
た場合に、そのガスや蒸気の大部分を薬液容器設置用凹
部10に誘導する。
して洗浄，エッチング等の作業をする場合、作業に必要
な有機溶剤や酸を入れた平バット等の薬液容器13を薬液
容器設置用凹部10に置いて送風機５，排気装置７および
コンプレッサー22を運転すると、高性能フィルター４か
らは清浄空気が流量Ｑ1 で流下し、作業空間３を清浄に
保つ。さらに、ノズル19から薬液容器設置用凹部10に向
かって清浄化空気噴射気流が流れ、作業台６の薬液容器
設置用凹部10以外の部分に、薬液のガスや蒸気が拡散し
た場合に、そのガスや蒸気の大部分を薬液容器設置用凹
部10に誘導する。
【００１６】薬液容器設置用凹部10内では薬液容器13中
の溶剤や酸からガスや蒸気が発生するが、それらは空気
よりも重いので、薬液容器設置用凹部10の開口部から上
のほうに拡散することはなく、薬液容器設置用凹部10内
に溜まる。
の溶剤や酸からガスや蒸気が発生するが、それらは空気
よりも重いので、薬液容器設置用凹部10の開口部から上
のほうに拡散することはなく、薬液容器設置用凹部10内
に溜まる。
【００１７】薬液容器設置用凹部10に誘導された汚染空
気および薬液容器設置用凹部10内で発生した汚染空気
は、排気口15経由で、排気装置７により吸引されて負圧
状態になっている排気ダクト17に逐次流入する。作業台
６上で発生した汚染空気のうち、上記ノズル19からの噴
射気流の誘引作用が及ばずに開口部８方向に拡散したも
のも、排気ダクト17に通じている排気口12から吸入され
て排気ダクト17に入る。上記二つの汚染気流は排気ダク
ト17中で合流して流量Ｑ4 の汚染気流となり、排気装置
７を経由して屋外に誘導され、必要に応じて浄化処理さ
れたのち大気中に放出される。
気および薬液容器設置用凹部10内で発生した汚染空気
は、排気口15経由で、排気装置７により吸引されて負圧
状態になっている排気ダクト17に逐次流入する。作業台
６上で発生した汚染空気のうち、上記ノズル19からの噴
射気流の誘引作用が及ばずに開口部８方向に拡散したも
のも、排気ダクト17に通じている排気口12から吸入され
て排気ダクト17に入る。上記二つの汚染気流は排気ダク
ト17中で合流して流量Ｑ4 の汚染気流となり、排気装置
７を経由して屋外に誘導され、必要に応じて浄化処理さ
れたのち大気中に放出される。
【００１８】高性能エアフィルター４から流下した流量
Ｑ1 の清浄空気のうち排気ダクト17に吸引されなかった
残りの部分Ｑ1 −Ｑ4 は開口部８方向に向かうが、開口
部８から出る前に、吸気口11から送風機５で吸引されて
いるダクト９に流入する。そして、高性能フィルター４
で瀘過され、清浄空気となって作業空間３に流下する循
環経路に入る。
Ｑ1 の清浄空気のうち排気ダクト17に吸引されなかった
残りの部分Ｑ1 −Ｑ4 は開口部８方向に向かうが、開口
部８から出る前に、吸気口11から送風機５で吸引されて
いるダクト９に流入する。そして、高性能フィルター４
で瀘過され、清浄空気となって作業空間３に流下する循
環経路に入る。
【００１９】作業空間３において発生する汚染物質の量
に応じて送風機５による送風量と排気装置７の排気量と
を調節することにより、事実上汚染されていない空気の
殆どすべてを吸気口11から回収して循環させ、最少限度
の空気を汚染物質放出のため装置外に排出する運転が可
能である。チャンバー２内で単位時間内に発生するガス
や蒸気の量にもよるが、通常、汚染物質排出のために必
要な流量Ｑ4 の空気は、流量Ｑ1 で供給される清浄空気
のごく一部で済む。
に応じて送風機５による送風量と排気装置７の排気量と
を調節することにより、事実上汚染されていない空気の
殆どすべてを吸気口11から回収して循環させ、最少限度
の空気を汚染物質放出のため装置外に排出する運転が可
能である。チャンバー２内で単位時間内に発生するガス
や蒸気の量にもよるが、通常、汚染物質排出のために必
要な流量Ｑ4 の空気は、流量Ｑ1 で供給される清浄空気
のごく一部で済む。
【００２０】送風機５のための吸気口は吸気口11以外に
はないから、汚染空気となって排出される空気量Ｑ4 に
実質的に等しい量Ｑ2 の周辺空気が吸気口11から吸い込
まれる。流入空気量Ｑ2 は、シャッター23を操作するこ
とによる開口部高さＨの変化によって左右されない。こ
の周辺空気は有塵空気であるが、高性能フィルター４か
ら集中的に吸気口11へ向かうエアカーテン状の清浄空気
量が遮断膜となるため、吸気口11に入る前にチャンバー
内に進入して作業空間３を浮遊塵埃で汚染することはな
い。
はないから、汚染空気となって排出される空気量Ｑ4 に
実質的に等しい量Ｑ2 の周辺空気が吸気口11から吸い込
まれる。流入空気量Ｑ2 は、シャッター23を操作するこ
とによる開口部高さＨの変化によって左右されない。こ
の周辺空気は有塵空気であるが、高性能フィルター４か
ら集中的に吸気口11へ向かうエアカーテン状の清浄空気
量が遮断膜となるため、吸気口11に入る前にチャンバー
内に進入して作業空間３を浮遊塵埃で汚染することはな
い。
【００２１】送風機５等を運転したまま作業を休止する
場合は、薬液容器設置用薬液容器設置用凹部10に薬液蒸
気拡散防止用の適当な有孔蓋をすると良い。これにより
薬液蒸気の漏れは一層少なくなり、一方、排気装置７に
よる流量Ｑ4 の空気排出は排気口18を経由して続けられ
て、風量バランスの安定が保たれる。
場合は、薬液容器設置用薬液容器設置用凹部10に薬液蒸
気拡散防止用の適当な有孔蓋をすると良い。これにより
薬液蒸気の漏れは一層少なくなり、一方、排気装置７に
よる流量Ｑ4 の空気排出は排気口18を経由して続けられ
て、風量バランスの安定が保たれる。
【００２２】
【発明の効果】本発明のクリーンドラフトチャンバー
は、上述のような構成に基づき、使用薬液蒸気の拡散を
最少限度にし、少量の重度汚染空気だけをその発生部位
から速やかに屋外に排出してしまうので、チャンバー内
空気全量を吸引排気する従来のクリーンドラフトチャン
バーにおける必要排気量よりも遥かに少ない排気量で汚
染空気の漏出を抑えることができる。従って本発明のク
リーンドラフトチャンバーは、汚染空気の拡散を防ぐた
めに開口部から著量の周辺空気を流入させると共に大量
の清浄空気を流す必要があった従来のクリーンドラフト
チャンバーと比べて、ドラフトチャンバー設置室の空調
空気を大量に消費して空調費用を著増させることがな
く、また、送風機や排気装置の動力費が低廉であるとい
う特長がある。また、屋外排出量に見合った量だけ給気
系に取り込まれる有塵の周辺空気は、高性能エアフィル
ターから吸気口に向かうエアカーテン状清浄空気流に妨
げられてチャンバー内には進入せず直接吸気口に入るか
ら、チャンバー内に浮遊塵埃を持ち込む恐れがない。さ
らに、清浄空気の大部分を循環再利用するから高性能エ
アフィルターが長持ちする。
は、上述のような構成に基づき、使用薬液蒸気の拡散を
最少限度にし、少量の重度汚染空気だけをその発生部位
から速やかに屋外に排出してしまうので、チャンバー内
空気全量を吸引排気する従来のクリーンドラフトチャン
バーにおける必要排気量よりも遥かに少ない排気量で汚
染空気の漏出を抑えることができる。従って本発明のク
リーンドラフトチャンバーは、汚染空気の拡散を防ぐた
めに開口部から著量の周辺空気を流入させると共に大量
の清浄空気を流す必要があった従来のクリーンドラフト
チャンバーと比べて、ドラフトチャンバー設置室の空調
空気を大量に消費して空調費用を著増させることがな
く、また、送風機や排気装置の動力費が低廉であるとい
う特長がある。また、屋外排出量に見合った量だけ給気
系に取り込まれる有塵の周辺空気は、高性能エアフィル
ターから吸気口に向かうエアカーテン状清浄空気流に妨
げられてチャンバー内には進入せず直接吸気口に入るか
ら、チャンバー内に浮遊塵埃を持ち込む恐れがない。さ
らに、清浄空気の大部分を循環再利用するから高性能エ
アフィルターが長持ちする。
【００２３】さらに、天井部から薬液容器設置用凹部に
向けての空気噴射と作業台上の吸気口よりも奥に設けた
排気口からの排気の併用により、薬液容器設置用凹部以
外の作業台上で発生する汚染空気も循環気流に混入する
ことなく確実に排出するので、循環空気の汚染度を高め
る恐れなしに、作業の内容に応じて薬液容器設置用凹部
内と作業台上の何れをも使用することができる。そし
て、上記空気噴射によっても、薬液容器設置用凹部周辺
に拡散しているガス，蒸気等が存在しても、それらは、
開口部側の縁に沿う吸気口と薬液容器設置用凹部との間
に設けた排気口から排気装置を経てチャンバー外に排出
されるので、作業空間の汚染度を高めることがない。
向けての空気噴射と作業台上の吸気口よりも奥に設けた
排気口からの排気の併用により、薬液容器設置用凹部以
外の作業台上で発生する汚染空気も循環気流に混入する
ことなく確実に排出するので、循環空気の汚染度を高め
る恐れなしに、作業の内容に応じて薬液容器設置用凹部
内と作業台上の何れをも使用することができる。そし
て、上記空気噴射によっても、薬液容器設置用凹部周辺
に拡散しているガス，蒸気等が存在しても、それらは、
開口部側の縁に沿う吸気口と薬液容器設置用凹部との間
に設けた排気口から排気装置を経てチャンバー外に排出
されるので、作業空間の汚染度を高めることがない。
【００２４】以上により、本発明のクリーンドラフトチ
ャンバーは、清浄な作業環境を従来よりも遥かに低いコ
ストで安定して実現することができるきわめて有利なも
のである。
ャンバーは、清浄な作業環境を従来よりも遥かに低いコ
ストで安定して実現することができるきわめて有利なも
のである。
【図１】本発明実施例の略縦断側面図である。
【図２】本発明実施例の略縦断正面図である。
【図３】上記実施例における作業台１の平面図である。
【図４】従来のクリーンドラフトチャンバーの例を示す
略縦断面図である。
略縦断面図である。
１ クリーンドラフトチャンバー ３，33 作業空間 ４，31 高性能エアフィルター ５，32 送風機 ６，34 作業台 ７，36 排気装置 ８，38 開口部 ９ 循環ダクト 10 薬液容器設置用凹部 11 吸気口 12，15 排気口 13，37 薬液容器 14 薬液容器設置用凹部の側壁 17 排気ダクト 19 ノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関 斎 東京都大田区雪谷大塚町一番七号 アルプ ス電気株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−12355（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】 天井部に高性能フィルター付き送風機を
設置して清浄化空気を天井部より作業空間に供給可能に
すると共に、排気口を作業台またはその周辺に設けて汚
染空気を排気装置により強制排出するようにしたクリー
ンドラフトチャンバーにおいて、作業台に、その開口部
の縁部に沿って吸気口を設けてこれを上記送風機の空気
取り入れ口とし、作業台に薬液容器設置用凹部を設け、
上記薬液容器設置用凹部の側壁および作業台の上記薬液
容器設置用凹部と上記吸気口との間に排気口を設けてこ
れらの排気口を排気ダクトで排気装置に連通させ、作業
台の上記凹部が設置されていない部分の上方を横切って
薬液容器設置用凹部に流入する高速空気流を生じさせる
清浄化空気噴射ノズルを天井部に設置したことを特徴と
するクリーンドラフトチャンバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3255653A JPH0732880B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | クリーンドラフトチャンバー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3255653A JPH0732880B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | クリーンドラフトチャンバー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0576781A JPH0576781A (ja) | 1993-03-30 |
| JPH0732880B2 true JPH0732880B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=17281746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3255653A Expired - Fee Related JPH0732880B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | クリーンドラフトチャンバー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0732880B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003075962A1 (en) * | 2002-03-08 | 2003-09-18 | Olympus Corporation | Sterilizer and sterilizing method |
| WO2007089057A1 (en) | 2006-02-02 | 2007-08-09 | Dongwon Metal Ind. Co., Ltd. | Automobile impact beam with integrated brackets and the manufacturing method thereof |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005223087A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | ドラフトチャンバ |
| JP6434248B2 (ja) * | 2014-08-01 | 2018-12-05 | 日本エアーテック株式会社 | 安全キャビネット |
| KR100748634B1 (ko) * | 2006-08-23 | 2007-08-14 | 주식회사 그린퓨어텍 | 바이오 세이프티 배기형 크린벤치 |
| TWM326441U (en) * | 2007-06-01 | 2008-02-01 | Inst Of Occupational Safety & Health Council Of Labor Affairs | Biological safety cabinet with air curtain |
| WO2017126310A1 (ja) * | 2016-01-21 | 2017-07-27 | 株式会社日立産機システム | クリーンエア装置 |
| CN107999501A (zh) * | 2017-11-13 | 2018-05-08 | 京华建设科技有限公司 | 一种智能换气型通风柜 |
| JP6844878B1 (ja) * | 2020-01-20 | 2021-03-17 | 株式会社日本医化器械製作所 | 陰圧作業台、及び陰圧作業台付キャビネット |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6312355A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-19 | Kyoritsu Seisakusho:Kk | ドラフトチヤンバ− |
-
1991
- 1991-09-05 JP JP3255653A patent/JPH0732880B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003075962A1 (en) * | 2002-03-08 | 2003-09-18 | Olympus Corporation | Sterilizer and sterilizing method |
| WO2007089057A1 (en) | 2006-02-02 | 2007-08-09 | Dongwon Metal Ind. Co., Ltd. | Automobile impact beam with integrated brackets and the manufacturing method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0576781A (ja) | 1993-03-30 |
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