JPH0821959A - 倍率拡大装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 顕微鏡の作動距離が十分確保できてしかも倍
率を上げることが可能な操作性の優れた倍率拡大装置を
提供する。 【構成】 倍率拡大装置１は、筒状の本体１０と、該本
体１０内に挿着されたレンズ枠２０と、該レンズ枠２０
内に配設された１組の合わせレンズ３０ａと２枚の凸レ
ンズ３０ｂ、３０ｃからなるレンズ群３０とを具備し、
上記本体１０の一端開口部にはＣ−マウント４０がねじ
込み式で装着されており、上記本体１０の一方Ａを図示
しない光学顕微鏡の接眼部（三眼鏡筒式顕微鏡の場合は
三眼鏡筒）に接続し、他方Ｂ（Ｃ−マウント４０側）を
図示しないカメラ、テレビカメラ等の撮像装置に接続で
きるように構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は倍率拡大装置に関するも
のであり、詳しくは顕微鏡とテレビカメラ等との中間に
接続し、顕微鏡の光学系をいじらずに倍率を拡大してそ
の像をモニターテレビ等に映し出すようにした倍率拡大
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、理化学実験、工業製品の検査等
に顕微鏡が頻繁に利用されていることは言うまでもない
が、例えば光学顕微鏡の場合、一般に市販されているも
のでは最大倍率は大体１０００倍程度のものである。ま
た、それ以上の倍率を必要とする目的には高倍率の電子
顕微鏡が使用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】最近の工業製品、特に
半導体部品関係は細密化の一途をたどっており、このよ
うな製品の検査には従来の光学顕微鏡では対応が困難に
なってきている。

【０００４】そこで、従来このような場合には、光学顕
微鏡の対物側と被検査物との間に別のレンズを介在させ
ることにより倍率を上げるようにする工夫を行っていた
が、このようにすると倍率を上げるほど作動距離が短く
なってしまうために操作がしづらくなり、さらに高倍率
にしようとすると作動距離がほとんどなくなってしまう
事態が生じる（例えば、１０００倍ぐらいまで倍率を上
げようとすると、その時の焦点距離は０．１ｍｍ前後に
なる。）。たとえば工業製品の検査のように短時間で大
量に処理する必要がある場合には操作性が悪いことが最
大のネックになる。また、一定の作動距離を確保しよう
とすると倍率を上げることは困難である。一方、このよ
うな工業製品の検査に高倍率の電子顕微鏡を使用するこ
とは、操作面においてもコスト面においても明らかに不
向きである。

【０００５】本発明は上記従来の問題に鑑み為されたも
のであり、その目的とするところは、顕微鏡の作動距離
が十分確保できてしかも倍率を上げることが可能な操作
性の優れた倍率拡大装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、本発明の倍率拡大装置は、筒状の本体と、該本体内
に挿着され該本体内を軸方向に所定距離だけ移動可能な
レンズ枠と、該レンズ枠内に配設された１枚のレンズも
しくは２枚以上の組み合わせのレンズ群とを具備し、前
記本体の一方を顕微鏡の接眼部又は三眼鏡筒式顕微鏡の
場合は三眼鏡筒に接続し、他方をカメラ、テレビカメラ
等の撮像装置に接続出来るようにしたことを特徴として
いる。

【０００７】また、本発明の倍率拡大装置は、前記レン
ズ枠内に、１組の合わせレンズと２枚の凸レンズが配設
されていることを特徴としている。

【０００８】また、本発明の倍率拡大装置は、前記本体
の一端開口部に交換式のＣ−マウントを接合してなるこ
とを特徴としている。

【０００９】さらに、本発明の倍率拡大装置は、前記本
体の顕微鏡接続部側開口部に絞りを有することを特徴と
している。

【００１０】

【作用】本発明の倍率拡大装置によると、筒状の本体
と、該本体内に挿着され該本体内を軸方向に所定距離だ
け移動可能なレンズ枠と、該レンズ枠内に配設された１
枚のレンズもしくは２枚以上の組み合わせのレンズ群と
を具備し、前記本体の一方を顕微鏡の接眼部又は三眼鏡
筒式顕微鏡の場合は三眼鏡筒に接続し、他方をカメラ、
テレビカメラ等の撮像装置に接続出来るようにしたこと
により、顕微鏡と例えばテレビカメラとの中間に本発明
の倍率拡大装置を接続すると、顕微鏡の光学系をいじら
ずに、つまり対物レンズの焦点距離が変わらず顕微鏡の
作動距離を十分確保できる状態で倍率を上げて、その拡
大した像をモニターテレビ等に映し出すことが出来る。
したがって、従来使用されている光学顕微鏡よりもさら
に高い倍率を必要とする工業製品の検査等が容易に行え
て操作性が良い。

【００１１】また、本発明の倍率拡大装置を使用する
と、電子顕微鏡に準じた倍率も得られるため、従来高価
な電子顕微鏡を用いていた理化学実験等に本発明の倍率
拡大装置を使用すれば光学顕微鏡をそのまま使用するこ
とが出来、操作が容易である上にコストメリットが非常
に高い。

【００１２】

【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
詳述する。

【００１３】図１は本発明の倍率拡大装置の一実施例の
構成を示す一部切り欠き正面図である。

【００１４】図１に示すように、本発明の倍率拡大装置
１は、筒状の本体１０と、該本体１０内に挿着されたレ
ンズ枠２０と、該レンズ枠２０内に配設されたレンズ群
３０とを具備し、上記本体１０の一端開口部にはＣ−マ
ウント４０がねじ込み式で装着されており、上記本体１
０の一方Ａを図示しない光学顕微鏡の接眼部（三眼鏡筒
式顕微鏡の場合は三眼鏡筒、以下同様）に接続し、他方
Ｂ（Ｃ−マウント４０側）を図示しないカメラ、テレビ
カメラ等の撮像装置に接続できるように構成されてい
る。

【００１５】図２は上記本体１０の構成を示す一部切り
欠き正面図、図３は上記レンズ枠２０の構成を示す一部
切り欠き正面図及び側面図、図４は上記レンズ枠２０内
にレンズ群３０を配設した状態の構成を示す一部切り欠
き正面図、図５は上記Ｃ−マウント４０の構成を示す正
面図である。

【００１６】上記本体１０は全体が筒状に形成され、そ
の一方Ａの開口部は径が小さくなっており、光学顕微鏡
の接眼部に差し込んで接続できるようにその径が調整さ
れている。また、本体１０の該開口部には絞り１１を有
しており、試料面からの反射光量を減らして画面が見や
すくなるようにしている。

【００１７】上記レンズ枠２０は、上記本体１０の顕微
鏡接続部側とは反対側の開口部内にねじ込み式で挿着さ
れ、そのねじ込み量により本体１０内を軸方向（図１の
左右方向）に所定距離だけ移動可能になっている。この
際、レンズ枠２０の側面に設けられた２箇所のキリ穴２
１（図３（ｂ）参照）を円周方向に回転させることによ
りレンズ枠２０を移動させることが出来る。

【００１８】上記レンズ枠２０内には、図１、図４に示
すように、１組の合わせレンズ３０ａと２枚の凸レンズ
３０ｂ、３０ｃからなるレンズ群３０が配設されてい
る。具体的には、１枚の両凸レンズと１枚の凹凸レンズ
を密着させた合わせレンズ３０ａ（ｆ＝３８ｍｍ）、両
凸レンズ３０ｂ（ｆ＝３２ｍｍ）、及び両凸レンズ３０
ｃ（ｆ＝３６．５ｍｍ）は第１間隔環３１、第２間隔環
３２、絞り並びに目盛（光学スケール）枠３３、および
押さえ環３４によって所定の間隔で配置固定されてお
り、さらに、上記絞り並びに目盛枠３３と押さえ環３４
との間に十線スケール３５を有している。該十線スケー
ル３５は測長に用いられる。

【００１９】上記Ｃ−マウント４０は、ねじ込み式で本
体１０と接続できるようになっているため簡単に交換が
可能で、本体１０の軸方向（長手方向）の長さを調整す
ることが出来る。

【００２０】本実施例の倍率拡大装置１は以上の如く構
成されており、その本体の一方（図１のＡ部）を光学顕
微鏡の接眼部に接続し、他方（図１のＢ部）をカメラ、
テレビカメラ等の撮像装置に接続して用いる。

【００２１】そして、顕微鏡の光学系はいじらずに、つ
まり顕微鏡の対物レンズの焦点距離は変わらず顕微鏡の
作動距離を十分確保できる状態で倍率を上げることが出
来、その拡大した像をモニターテレビ等に映して見るこ
とが出来る。すなわち、本実施例の倍率拡大装置を顕微
鏡に接続することにより、顕微鏡自体の倍率は変わらな
いが、全体の倍率を上げることが出来て、しかも顕微鏡
の作動距離は十分確保できるため操作上の不都合は全く
生じない。したがって、光学顕微鏡よりもさらに高い倍
率を必要とするような工業製品の検査等も容易に行え
る。

【００２２】たとえば、接眼レンズ１０Ｘ、対物レンズ
１Ｘで総合倍率が１０Ｘの光学顕微鏡に本実施例の倍率
拡大装置を接続すると、総合倍率が１００Ｘぐらいで使
用することが出来る。また、前記のように顕微鏡の倍率
を１０００倍ぐらいまで上げようとすると焦点距離が
０．１ｍｍ前後になってしまうが、本実施例の倍率拡大
装置を接続すると２０００倍ぐらいまで倍率が上げら
れ、しかもその時の焦点距離は４０ｍｍ程度になる。

【００２３】なお、上記レンズ枠２０内に配設されるレ
ンズ群３０の構成は本実施例に勿論限定されるわけでは
ない。本実施例のように２枚以上のレンズを組み合わせ
るのではなく、１枚のレンズでも構わない。また、２枚
以上のレンズを組み合わせる場合でも、組み合わせるレ
ンズの枚数及び組み合わせる方法は任意であり、その組
み合わせによって倍率拡大装置の倍率を変えることが可
能である。

【００２４】また、前述したように、上記レンズ枠２０
は本体１０内を移動させることが出来（レンズ枠２０の
移動とともにレンズ群３０も移動する）、この移動によ
って倍率拡大装置の倍率を変えることも可能である。

【００２５】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の倍
率拡大装置によれば、筒状の本体と、該本体内に挿着さ
れ該本体内を軸方向に所定距離だけ移動可能なレンズ枠
と、該レンズ枠内に配設された１枚のレンズもしくは２
枚以上の組み合わせのレンズ群とを具備し、前記本体の
一方を顕微鏡の接眼部又は三眼鏡筒式顕微鏡の場合は三
眼鏡筒に接続し、他方をカメラ、テレビカメラ等の撮像
装置に接続出来るようにしたことにより、顕微鏡と例え
ばテレビカメラとの中間に本発明の倍率拡大装置を接続
すると、顕微鏡の光学系をいじらずに、つまり対物レン
ズの焦点距離が変わらず顕微鏡の作動距離を十分確保で
きる状態で倍率を上げて、その拡大した像をモニターテ
レビ等に映し出すことが出来るので、従来使用されてい
る光学顕微鏡よりもさらに高い倍率を必要とする工業製
品の検査等が容易に行えて操作性が良いという優れた効
果を奏する。

【００２６】また、本発明の倍率拡大装置によれば、電
子顕微鏡に準じた倍率も得られるため、従来高価な電子
顕微鏡を用いていた理化学実験等に本発明の倍率拡大装
置を使用すれば光学顕微鏡をそのまま使用することが出
来、操作が容易である上にコストメリットが非常に高い
という優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の倍率拡大装置の一実施例の構成を示す
一部切り欠き正面図である。

【図２】上記倍率拡大装置の本体の構成を示す一部切り
欠き正面図である。

【図３】上記倍率拡大装置のレンズ枠の構成を示す一部
切り欠き正面図及び側面図である。

【図４】上記倍率拡大装置のレンズ枠内にレンズ群を配
設した状態の構成を示す一部切り欠き正面図である。

【図５】上記倍率拡大装置のＣ−マウントの構成を示す
正面図である。

【符号の説明】

１ 倍率拡大装置 １０ 本体 １１ 絞り ２０ レンズ枠 ３０ レンズ群 ３１ 第１間隔環 ３２ 第２間隔環 ３３ 絞り並びに目盛枠 ３４ 押さえ環 ３５ 十線スケール ４０ Ｃ−マウント

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 筒状の本体と、該本体内に挿着され該本
   体内を軸方向に所定距離だけ移動可能なレンズ枠と、該
   レンズ枠内に配設された１枚のレンズもしくは２枚以上
   の組み合わせのレンズ群とを具備し、前記本体の一方を
   顕微鏡の接眼部又は三眼鏡筒式顕微鏡の場合は三眼鏡筒
   に接続し、他方をカメラ、テレビカメラ等の撮像装置に
   接続出来るようにしたことを特徴とする倍率拡大装置。
2. 【請求項２】 前記レンズ枠内に、１組の合わせレンズ
   と２枚の凸レンズが配設されていることを特徴とする請
   求項１記載の倍率拡大装置。
3. 【請求項３】 前記本体の一端開口部に交換式のＣ−マ
   ウントを接合してなることを特徴とする請求項１又は２
   記載の倍率拡大装置。
4. 【請求項４】 前記本体の顕微鏡接続部側開口部に絞り
   を有することを特徴とする請求項１、２又は３記載の倍
   率拡大装置。