JPH08219843A - 振動式測定装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は加振器やピックアップを支持する各
支持板をセンサチューブの夫々の所定取付位置に正確に
取り付けられるよう構成した振動式測定装置及びその製
造方法を提供することを目的とする。 【構成】 質量流量計１は、加振器ユニット１９により
振動するセンサチューブ７，８に流体を通過させ、ピッ
クアップユニット２０，２１により流量に応じた大きさ
のコリオリ力、即ち時間差を検出する。加振器ユニット
１９、ピックアップユニット２０，２１は、センサチュ
ーブ７，８に固定された各支持板２３，２４により支持
されている。固定される前の各支持板２３，２４は、１
枚の板よりなり、一部分が接続部により一体に接続され
ている。この接続部は、支持板２３，２４がセンサチュ
ーブ７，８に固定された後、切断される。支持板２３，
２４は、接続部により互いの固定位置を規制され、所定
の位置に正確に固定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は振動式測定装置及びその
製造方法に係り、特に加振器やピックアップを支持する
支持板をセンサチューブの所定取付位置に正確に取り付
けられるよう構成した振動式測定装置及びその製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】流体が供給された管路を振動させて流体
の物理量を測定する振動式測定装置として、例えばコリ
オリ式質量流量計又は振動式密度計がある。コリオリ式
質量流量計では、振動するセンサチューブの流入側と流
出側との流量に比例した変位をピックアップにより検出
し、その位相差から質量流量を求めようになっている。
また、振動式密度計では、センサチューブの固有振動数
より流体の密度を測定するようになっている。このコリ
オリ式質量流量計と振動式密度計は、同一構成であるの
で、以下コリオリ式質量流量計について説明することに
する。

【０００３】この種の従来の質量流量計の一例として
は、特開昭６３−３０７２１号公報により開示された流
量計がある。この公報の質量流量計は、被測流体が通過
する際の圧力損失を低減するため直線状に延在する一対
のセンサチューブを加振器（駆動コイルと磁石とよりな
る）により半径方向に振動させ、流量に比例したコリオ
リ力による一対のセンサチューブの相対変位をピックア
ップ（センサコイルと磁石とよりなる）により検出する
よう構成されている。

【０００４】そして、加振器及びピックアップは、夫々
一対のセンサチューブの互いに平行に延在する直管部分
にろう付け等により固定された支持板に取り付けられ
る。そのため、加振器及びピックアップが取り付けられ
る各支持板を各センサチューブの直管部分に固定させる
際は、一対のセンサチューブの振動と共に動作する加振
器及びピックアップのコイルと磁石との取付方向がセン
サチューブの相対変位方向とずれないようにしなければ
ならない。

【０００５】つまり、加振器の駆動コイルと磁石とは、
互いに対向すると共に環状に形成された駆動コイルの中
空部に棒状の磁石が移動可能に挿入されるように取り付
ける必要がある。また、ピックアップのセンサコイルと
磁石の場合も、互いに対向すると共に環状に形成された
センサコイルの中空部に棒状の磁石が移動可能に挿入さ
れるように取り付ける必要がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
振動式測定装置では、加振器、ピックアップを支持する
各支持板を一対のセンサチューブの直管部分に個別に固
定する構成であり、その後加振器の駆動コイル，磁石や
ピックアップのセンサコイル，磁石をセンサチューブに
固定された各支持板に取り付けるようになっている。

【０００７】そして、従来は、支持板にセンサチューブ
を挿通させるための孔を設けておき、センサチューブの
所定位置に支持板を通した状態で固定することになる
が、各支持板をセンサチューブの直管部分に挿通させた
状態でろう付けする際、支持板がセンサチューブの外周
を軸として回転方向にずれやすかった。このようにし
て、一対の支持板の相対位置がずれた場合、加振器、ピ
ックアップのコイルと磁石との相対位置関係が各装置毎
に異なってしまい、各装置毎の計測精度がばらつくこと
になる。

【０００８】そのため、加振器及びピックアップのコイ
ルと磁石とを支持板に取り付ける際は、コイルと磁石と
の相対位置を微調整しなければならなかった。従って、
従来の装置では、加振器及びピックアップの取付位置を
微調整する調整作業が必要であるため、上記調整作業に
手間がかかって生産効率が低下するといった問題があっ
た。

【０００９】このような問題を解消するため、各支持板
をセンサチューブに固定する際に特殊な治具を用いて支
持板を所定の固定位置に保持することが考えられている
が、センサチューブに対する固定位置を位置決めすると
共に、支持板の回転を防止する機構を治具に設けなけれ
ばならず、治具の構成が複雑化して治具の装着が難しく
なるといった問題が生ずる。

【００１０】そこで、本発明は上記問題を解決した振動
式測定装置及び製造方法を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記請求項１の発明は、
被測流体が流れる複数のセンサチューブの互いに平行に
延在する直管部分に加振器又はピックアップを支持する
支持板を夫々固定し、該加振器により加振された各セン
サチューブの相対変位を該ピックアップにより検出する
振動式測定装置において、前記各支持板は一部分が接続
部により互いに接続され、前記接続部は、前記各支持板
が前記センサチューブの直管部分に固定された後に切断
可能に設けられていることを特徴とするものである。

【００１２】また、請求項２の発明は、前記接続部が前
記第１，第２の支持板の周縁部近傍に設けられたことを
特徴とするものである。また、請求項３の発明は、前記
接続部が手動工具により切断しうる程度の接続強度を有
することを特徴とするものである。

【００１３】また、請求項４の発明は、加振器又はピッ
クアップが取り付けられる各支持板の一部分を接続部に
より接続させた状態でセンサチューブの直管部分を該接
続された支持板に挿通し、その後前記接続された支持板
をセンサチューブの直管部分に固定し、次いで前記各支
持板間を接続する前記接続部を切断することを特徴とす
る振動式測定装置の製造方法である。

【００１４】

【作用】上記請求項１によれば、各支持板の一部分が接
続部により互いに接続され、各支持板が各センサチュー
ブの直管部分に固定された後に接続部が切断されるた
め、各支持板をセンサチューブに固定するまでに各支持
板の相対位置がずれることがなく、各支持板をセンサチ
ューブに固定した後も各支持板の相対位置が所定位置に
保持されるため、センサチューブを振動させる計測時に
加振器やピックアップの計測動作のばらつきを抑制する
ことができる。

【００１５】また、請求項２によれば、接続部が各支持
板の周縁部近傍に設けられているので、各支持板がセン
サチューブに固定された後、接続部を切断しやすく、作
業性が良好となる。また、請求項３によれば、接続部が
手動工具により切断しうる程度の接続強度を有するの
で、各支持板がセンサチューブに固定された後、接続部
を容易に切断することができる。

【００１６】また、請求項４によれば、加振器又はピッ
クアップが取り付けられる各支持板間の一部分を接続部
により接続させた状態でセンサチューブの直管部分を接
続された支持板に挿通し、その後接続された支持板をセ
ンサチューブの直管部分に固定し、次いで各支持板間を
接続する接続部を切断するため、各支持板をセンサチュ
ーブに固定するまでに各支持板の相対位置がずれること
を防止できると共に、各支持板をセンサチューブに固定
した後も各支持板の相対位置が所定位置に保持されて加
振器やピックアップの計測動作のばらつきを抑制するこ
とができる。

【００１７】

【実施例】図１に本発明になる振動式測定装置の第１実
施例としてのコリオリ式質量流量計を示す。尚、図１は
質量流量計１の構成を示す縦断面図である。質量流量計
１は密閉されたケーシング２内に被測流体が通過する管
路３を挿通してなる。管路３は、軸方向に変位可能なベ
ローズ４Ａ，４Ｂと、流入管５と、流入側マニホールド
６と、一対のセンサチューブ７，８と、流出側マニホー
ルド９と、流出管１０とより構成されている。

【００１８】一対のセンサチューブ７，８は流体の流れ
方向（Ｘ方向）に直線状に延在するステンレス製の直管
よりなり、上記流入側マニホールド６と流出側マニホー
ルド９との間で平行に設けられている。また、センサチ
ューブ７，８の両端近傍には、センサチューブ７，８が
貫通して固定されるサポート板１１，１２が横架されて
いる。従って、センサチューブ７，８は、サポート板１
１，１２により平行となるように支持されており、計測
時にはサポート板１１，１２を支点として振動すること
になる。

【００１９】ケーシング２は円筒状のケーシング本体１
３の両端開口を蓋部材１４，１５により閉蓋した密閉構
造になっており、ケーシング２内の収納室１６に挿入さ
れた上記管路３表面に結露が発生することが防止され
る。さらに、密閉された収納室１６には、乾燥した保護
気体（例えば、アルゴンガス等）が所定圧力に充填され
ている。

【００２０】上記流入管５は、流入側端部に上流側配管
（図示せず）に連結されるフランジ５ａを有し、流入管
５の他端はケーシング２の蓋部材１４を貫通してケーシ
ング２の内部に延出している。流入側マニホールド６
は、上流側がベローズ４Ａに接続固定され、下流側がセ
ンサチューブ７，８の上流側端部に接続固定されてい
る。

【００２１】流出側マニホールド９は、上流側がセンサ
チューブ７，８の下流側端部に接続され、下流側がベロ
ーズ４Ｂの上流側端部に接続されている。流出管１０
は、上流側端部が流出側マニホールド９に接続固定さ
れ、下流側端部がケーシング２の蓋部材１５を貫通して
下流側（Ｘ方向）へ突出している。尚、流出管１０の下
流側端部には下流側配管（図示せず）に連結されるフラ
ンジ１０ａが設けられている。

【００２２】上流側のベローズ４Ａは、軸方向に伸縮自
在な構造でセンサチューブ７，８が熱膨張あるいは収縮
した場合、センサチューブ７，８の長手方向の伸縮のみ
を吸収する。そのため、ケーシング２の蓋部材１４と流
入側マニホールド６との間には、流入側マニホールド６
が振動しないように保持する防振機構１７が設けられて
いる。

【００２３】この防振機構１７は、一端が蓋部材１４に
固定され他端がケーシング２内に延在する複数の支柱１
７ａと、複数の支柱１７ａの他端間に横架されて流入側
マニホールド６に結合された金属ダイヤフラム１７ｂと
よりなる。従って、流入側マニホールド６は、防振機構
１７により軸方向に移動可能に支持されるとともに、横
方向への移動を規制される。

【００２４】また、下流側のベローズ４Ｂも上記上流側
のベローズ４Ａと同様に伸縮自在な構造でセンサチュー
ブ７，８が熱膨張あるいは収縮した場合、センサチュー
ブ７，８の長手方向の伸縮を吸収する。そのため、ケー
シング２の側壁２ｃと流出側マニホールド９との間に
は、流入側マニホールド９が振動しないように保持する
防振機構１８が設けられている。

【００２５】この防振機構１８は、上記防振機構１７と
同様に一端が蓋部材１５に固定され他端がケーシング２
内に延在する複数の支柱１８ａと、複数の支柱１８ａの
他端間に横架されて流出側マニホールド９に結合された
金属ダイヤフラム１８ｂとよりなる。従って、流出側マ
ニホールド９は、防振機構１８により軸方向に移動可能
に支持されるとともに、横方向への移動を規制される。

【００２６】１９は加振器ユニットで、励振信号が入力
される励振コイル１９ａと磁石１９ｂとを対向させた実
質電磁ソレノイドと同様な加振器を有する構成であり、
一対のセンサチューブ７，８の略中間部間に設けられて
いる。２０は上流側ピックアップユニットで、センサチ
ューブ７，８の振幅に応じた検出信号を出力するセンサ
コイル２０ａと磁石２０ｂとを対向させたピックアップ
を有する構成であり、上記加振器ユニット１９より上流
側に位置するように配設されている。

【００２７】２１は下流側ピックアップユニットで、セ
ンサチューブ７，８の振幅に応じた検出信号を出力する
センサコイル２１ａと磁石２１ｂとを対向させたピック
アップを有する構成であり、上記加振器ユニット１９よ
り下流側に位置するように配設されている。即ち、上記
各ピックアップユニット２０，２１は、夫々電磁ソレノ
イドと同様な構成であり、加振器ユニット１９により加
振されたセンサチューブ７，８の変位に応じたセンサコ
イル２０ａ，２１ａと磁石２０ｂ，２１ｂとの相対変位
により発生する電圧値を出力する。

【００２８】また、加振器ユニット１９，ピックアップ
ユニット２０，２１は、後述するように環状に形成され
たコイル１９ａ，２０ａ，２１ａと、コイル１９ａ，２
０ａ，２１ａ内に挿入された棒状の磁石１９ｂ，２０
ｂ，２１ｂとを有する構成であり、センサチューブ７，
８の振動によりコイル１９ａ，２０ａ，２１ａと磁石１
９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの相対位置が変化するようにな
っている。そして、加振器ユニット１９，ピックアップ
ユニット２０，２１は、夫々センサチューブ７，８に固
定された支持板２３，２４に支持されている。

【００２９】流量計測時、上記構成になる質量流量計１
において、一対のセンサチューブ７，８は加振器１９に
より近接、離間する方向（Ｙ方向）に加振される。上流
側配管（図示せず）から供給された被測流体は流入管５
より上流側のベローズ４Ａを通ってマニホールド６に至
り、さらにマニホールド６の流路を通過して振動するセ
ンサチューブ７，８内に流入する。そして、センサチュ
ーブ７，８を通過した流体はマニホールド９の流路より
下流側のベローズ４Ｂを通って流出管１０より下流側配
管（図示せず）に流出する。

【００３０】このように、振動するセンサチューブ７，
８に流体が流れると、その流量に応じた大きさのコリオ
リ力が発生する。そのため、直管状のセンサチューブ
７，８の流入側と流出側で動作遅れが生じ、これにより
上流側のピックアップユニット２０の出力信号と下流側
のピックアップユニット２１の出力信号とでは位相差が
あらわれる。

【００３１】このように流入側と流出側との位相差が流
量に比例するため、流量計測制御回路２２は、ピックア
ップユニット２０からの出力信号とピックアップユニッ
ト２１からの出力信号の位相差に基づいて流量を演算す
る。図２は加振器ユニット１９，ピックアップユニット
２０，２１を個別に支持する支持板２３，２４の構成を
示す図である。

【００３２】本実施例では、各支持板２３，２４が同一
形状であり、各支持板２３，２４には加振器，ピックア
ップが２個ずつ配設されている。尚、各支持板２３，２
４に１個又は３個以上の加振器，ピックアップを取り付
ける構成としても良いのは勿論である。

【００３３】一方の支持板２３はセンサチューブ７に固
定され、他方の支持板２４はセンサチューブ８に固定さ
れる。即ち、各支持板２３，２４には、センサチューブ
７，８が挿通されるための貫通孔２３ａ，２４ａが穿設
されており、貫通孔２３ａ，２４ａに挿通されたセンサ
チューブ７，８の外周がろう付け等により固定される。

【００３４】そして、加振器ユニット１９，ピックアッ
プユニット２０，２１のコイル１９ａ，２０ａ，２１ａ
及び磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂは、支持板２３の取付
部２３ｂ，２３ｃ及び支持板２４の取付部２４ｂ，２４
ｃに取り付けられる。各加振器，ピックアップは、環状
に形成されたコイル１９ａ，２０ａ，２１ａ内に棒状の
磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂが挿入された構成であるた
め、例えば図３中に破線で示されるように一方の支持板
２３がセンサチューブ７を軸として回動した状態で固定
されてしまうと、コイル１９ａ，２０ａ，２１ａと磁石
１９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの相対位置関係がずれてしま
い、加振器ユニット１９の加振動作によりセンサチュー
ブ７，８に捩じり方向の力が加えられることになり、計
測精度がばらつくことになる。

【００３５】従って、一対の支持板２３，２４はセンサ
チューブ７，８の長手方向における加振器ユニット１
９，ピックアップユニット２０，２１の所定位置に正確
に固定されると共に、各支持板２３，２４間の相対位置
関係の取付精度も確保する必要がある。

【００３６】図３はセンサチューブ７，８に固定される
前の各支持板２３，２４を示す。固定前の各支持板２
３，２４は、１枚の板２６よりなり、各接続部２５ａ〜
２５ｄにより互いに一体に接続されている。従って、各
支持板２３，２４は、各接続部２５ａ〜２５ｄを介して
相互に規制し合うことになり、取付時も各接続部２５ａ
〜２５ｄが切断されるまで互いの相対位置を維持するこ
とができる。

【００３７】この各接続部２５ａ〜２５ｄは、板２６に
一対の溝２７，２８を設けることにより、各支持板２
３，２４間に位置するように形成される。また、コイル
１９ａ，２０ａ，２１ａ及び磁石１９ｂ，２０ｂ，２１
ｂは、ボルトとナットの締め付けにより各支持板２３，
２４に取り付けられるため、取付部２３ｂ，２３ｃ及び
取付部２４ｂ，２４ｃには、ボルト挿通用の孔２３ｄ，
２４ｄが穿設されている。

【００３８】また、溝２７，２８間には、支持板２３，
２４間に位置する接続板２９が形成される。従って、支
持板２３側の接続部２５ａ，２５ｂと支持板２４側の接
続部２５ｃ，２５ｄとの間は、接続板２９により連結さ
れる。そして、各接続部２５ａ〜２５ｄは、各支持板２
３，２４がセンサチューブ７，８に固定された後に切断
される。そのため、センサチューブ７，８に固定された
各支持板２３，２４は、各接続部２５ａ〜２５ｄが切断
されることにより、図２に示される状態に分離される。

【００３９】各接続部２５ａ〜２５ｄは、支持板２３，
２４間の両側の周縁部分に位置するように設けられ、且
つその接続強度は各接続部２５ａ〜２５ｄの長さ及び断
面の大きさ、つまり体積により決まる。つまり、各接続
部２５ａ〜２５ｄの体積は、板厚ｔ，幅ａ，長さｂによ
り設定されるため、板２６の板厚ｔ及び溝２７，２８の
長手方向の全長ｃ，幅ｂを変えることにより任意の寸法
に設定することができる。そして、各接続部２５ａ〜２
５ｄは、支持板２３，２４間を保持するのに充分な強度
を有すると共に、各支持板２３，２４がセンサチューブ
７，８に固定された後は容易に切断することができる程
度の大きさに設定されている。

【００４０】従って、各接続部２５ａ〜２５ｄは、固定
前は支持板２３，２４の相対位置を規制でき、固定後は
工具を使用して容易に切断される。尚、本実施例では、
ニッパ又はペンチ等の手動工具を使用して各接続部２５
ａ〜２５ｄを切断することができるように、各接続部２
５ａ〜２５ｄの接続強度が設定されるようにする。

【００４１】ここで、上記のように各接続部２５ａ〜２
５ｄを介して一体とされた支持板２３，２４の取り付け
方法について説明する。図４乃至図６は支持板２３，２
４の取付作業の工程を示す図である。先ず、図４に示さ
れるように、各支持板２３，２４を接続部２５ａ〜２５
ｄにより一体に接続された状態のまま、センサチューブ
７，８に固定させる。即ち、支持板２３，２４の貫通孔
２３ａ，２４ａにセンサチューブ７，８を挿通させる。
その後、センサチューブ７，８の外周と貫通孔２３ａ，
２４ａの内周をろう付けする。

【００４２】このように各支持板２３，２４は一体に接
続された状態でセンサチューブ７，８に固定されるた
め、従来の場合のように長手方向の取付位置がずれた
り、センサチューブ７，８を軸として回動した状態で固
定されることがなく、所定の固定位置に正確に固定され
る。

【００４３】次に、図５に示されるように、接続部２５
ａ，２５ｂをニッパ又はペンチ等の手動工具を使用して
切断する。続いて、他の接続部２５ｃ，２５ｄを切断す
る。そのため、支持板２３，２４間に介在していた接続
板２９を除去することができる。その結果、支持板２
３，２４は、図２に示されるように、互いに相対移動可
能に分離される。

【００４４】尚、各接続部２５ａ〜２５ｄは、支持板２
３，２４の周縁部近傍に位置すると共に、ニッパ又はペ
ンチ等の手動工具を使用して容易に切断できる程度の接
続強度を有するため、簡単に切断することができる。次
に図６に示されるように、センサチューブ７，８に固定
された支持板２３，２４に加振器，ピックアップを装着
する。即ち、加振器ユニット１９，ピックアップユニッ
ト２０，２１のコイル１９ａ，２０ａ，２１ａ及び磁石
１９ｂ，２０ｂ，２１ｂを各支持板２３，２４の各取付
部２３ｂ，２３ｃ，２４ｂ，２４ｃに装着させる。

【００４５】そして、装着作業と共に各コイル１９ａ，
２０ａ，２１ａと磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの相対
位置が一致するように各コイル１９ａ，２０ａ，２１ａ
及び磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂの取付位置の微調整を
行う。このように調整されたコイル１９ａ，２０ａ，２
１ａと磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの各相対位置は、
各支持板２３，２４がセンサチューブ７，８に正確に固
定されているため、より正確に調整することができる。

【００４６】これで、センサチューブ７，８は振動する
ことができ、計測可能な状態となる。このようにして、
各支持板２３，２４がセンサチューブ７，８の所定位置
に正確に固定されるため、コイル１９ａ，２０ａ，２１
ａと磁石１９ｂ，２０ｂ，２１ｂとの各相対位置は、取
付後も維持される。

【００４７】図７に本発明の第２実施例の斜視図を示
す。質量流量計３１は、箱状の密閉構造とされた収納ケ
ース３１Ａ（図中２点鎖線で示す）内に被測流体が流れ
る一対のセンサチューブ３２，３３を収納してなる。

【００４８】この質量流量計３１は共振状態で振動する
一対のセンサチューブ３２，３３に流体を流したときに
生ずるコリオリ力によるセンサチューブ３２，３３の変
位を検出して流量を計測するコリオリ式の流量計であ
る。そのため、センサチューブ３２，３３は収納ケース
３１Ａにより結露、塵埃あるいは外力等から保護されて
いる。

【００４９】センサチューブ３２，３３は、側面図上は
Ｕ字状に、平面図上はＪ字状に屈曲されて、流出管３４
に対して対称に取り付けてある。また、センサチューブ
３２，３３の直管３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂに
は、計測ユニット４２が設けられている。また、直管３
２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂの基端部分は、サポート
板４１により保持されている。

【００５０】上流側配管（図示せず）を通って供給され
た流体は、流入管４０よりマニホールド３９に流入し、
マニホールド３９内で分岐して夫々センサチューブ３
２，３３の流入側直管部３２ａ，３３ａ内を流れ、そし
て流出側直管３２ｂ，３３ｂ内を流れてマニホールド３
９内で合流されて流出管３４内に入り、流出管３４内を
流れて下流側配管（図示せず）に到る。

【００５１】流量計測時、上記加振器３５，３６により
振動しているセンサチューブ３２，３３内を流体が流れ
るときコリオリの力が生じ、これにより、センサチュー
ブ３２，３３の振動に位相差を生じる。演算装置（図示
せず）は加振器３５，３６及び、ピックアップ３７，３
８と接続されている。従って、センサチューブ３２，３
３の振動が上記のようにピックアップ３７，３８により
検出され、上記センサチューブ３２，３３の振動の位相
差が演算装置で質量流量に変換される。

【００５２】図８は計測ユニット４２の構成を示す図で
ある。３５，３６は加振器であり、夫々センサチューブ
３２，３３の流入側の直管３２ａと３３ａとの間、流出
側の直管３２ｂと３３ｂとの間に介在し、夫々センサチ
ューブ３２，３３をＹ方向に振動させる。加振器３５，
３６は実質電磁ソレノイドと同様な構成であり、駆動コ
イル３５ａ，３６ａと磁石３５ｂ，３６ｂとを組み合わ
せたものである。即ち、駆動コイル３５ａ，３６ａが励
磁されると、駆動コイル３５ａ，３６ａと磁石３５ｂ，
３６ｂとの反発力によりセンサチューブ３２，３３が離
間方向に変位し、駆動コイル３５ａ，３６ａが消磁され
るとセンサチューブ３２，３３が近接方向に復帰する。

【００５３】尚、加振器３５と３６とは夫々１８０度の
位相差で交互に励磁され、例えば一方のセンサチューブ
３２の流入側、流出側の直管３２ａ，３２ｂが離間方向
に変位したとき、他方のセンサチューブ３３の流入側、
流出側の直管３３ａ，３３ｂが近接方向に変位する。

【００５４】３７，３８はピックアップであり、夫々セ
ンサチューブ３２，３３の流入側、流出側の直管３２
ａ，３３ａ間及び、３２ｂ，３３ｂ間に介在し、センサ
チューブ３２，３３のＹ方向の振動を検出する。ピック
アップ３７，３８はセンサチューブ３２，３３の流入
側、流出側の直管３２ａ，３３ａ及び３２ｂ，３３ｂ部
分の相対変位（位相差）を検出する。

【００５５】ピックアップ３７，３８は、センサコイル
３７ａ，３８ａと磁石３７ｂ，３８ｂとが対向するよう
にセンサチューブ３２，３３の直管３２ａ，３２ｂ，３
３ａ，３３ｂに取り付けられている。即ち、一対のセン
サチューブ３２，３３が加振器３５，３６によりＹ方向
に交互に加振されると、一方のピックアップ３７はセン
サチューブ３２，３３の流入側直管３２ａ，３３ａ間の
相対変位量を検出し、他方のピックアップ３８はセンサ
チューブ３２，３３の流出側直管３２ｂ，３３ｂ間の相
対変位量を検出する。

【００５６】これらの加振器３５，３６及びピックアッ
プ３７，３８は、夫々センサチューブ３２，３３の直管
３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂに固定された第１乃至
第４の支持板４３〜４６に支持されるように取り付けら
れている。第１の支持板４３は、直管３２ａが挿通され
て固定される貫通孔４３ａと、貫通孔４３ａより下方に
延在し加振器３５の駆動コイル３５ａが取り付けられた
取付部４３ｂと、貫通孔４３ａより上方から側方（セン
サチューブ３３側）に延在しピックアップ３７の磁石３
７ｂが取り付けられた取付部４３ｃとを有する。

【００５７】第２の支持板４４は、直管３３ａが挿通さ
れて固定される貫通孔４４ａと、貫通孔４４ａより下方
に延在し加振器３６の磁石３６ｂが取り付けられた取付
部４４ｂと、貫通孔４４ａより側方（センサチューブ３
２側）に延在しピックアップ３７のコイル３７ａが取り
付けられた取付部４４ｃとを有する。

【００５８】第３の支持板４５は、直管３２ｂが挿通さ
れて固定される貫通孔４５ａと、貫通孔４５ａより上方
に延在し加振器３５の磁石３５ｂが取り付けられた取付
部４５ｂと、貫通孔４５ａより側方（センサチューブ３
３側）に延在しピックアップ３８のコイル３８ａが取り
付けられた取付部４５ｃとを有する。

【００５９】第４の支持板４６は、直管３３ｂが挿通さ
れて固定される貫通孔４６ａと、貫通孔４６ａより上方
に延在し加振器３６のコイル３６ａが取り付けられた取
付部４６ｂと、貫通孔４６ａの下方から側方（センサチ
ューブ３２側）に延在しピックアップ３８の磁石３８ｂ
が取り付けられた取付部４６ｃとを有する。

【００６０】このように加振器３５，３６及びピックア
ップ３７，３８を支持する各支持板４３〜４６は、計測
時に各コイル３５ａ，３６ａ，３７ａ，３８ａと各磁石
３５ｂ，３６ｂ，３７ｂ，３８ｂとがＹ方向の相対変位
するため、センサチューブ３２，３３の長手方向上同一
位置に固定させると共に、直管３２ａ，３２ｂ，３３
ａ，３３ｂを軸に回動しないように固定される。

【００６１】図９は各支持板４３〜４６がセンサチュー
ブ３２，３３に固定される前の状態を示す図である。各
支持板４３〜４６は、夫々接続板４７〜５０により互い
に一体に接続されている。従って、各支持板４３〜４６
は、１枚の同一素材である板５１に空間５２及び溝５３
〜５６を設けることにより一体に接続された状態に加工
される。そして、各支持板４３〜４６と各接続板４７〜
５０との間には、接続部５７〜６０が形成される。この
各接続部５７〜６０は、各支持板４３〜４６の周縁部近
傍に設けられる。また、各接続部５７〜６０の接続強度
は、ニッパ又はペンチ等の手動工具を使用して容易に切
断できる程度となるように、その体積（板厚ｔ，幅ａ，
長さｂ）が設定されている。

【００６２】このように４枚の支持板４３〜４６は、前
述した第１実施例の場合と同様に各接続部５７〜６０に
より一体に接続された状態のままセンサチューブ３２，
３３に固定されるため、センサチューブ３２，３３の長
手方向上の同一位置に正確に固定されると共に、直管３
２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂを軸として回動すること
なく所定位置に固定される。

【００６３】次に、各接続部５７〜６０をニッパ又はペ
ンチ等の手動工具を使用して切断する。そして、各接続
部５７〜６０を切断することにより、各支持板４３〜４
６間に介在していた接続板４７〜５０を除去することが
できる。その結果、各支持板４３〜４６は、互いに相対
移動可能に分離される。各接続部５７〜６０は、各支持
板４３〜４６の周縁部近傍に位置すると共に、ニッパ又
はペンチ等の手動工具を使用して容易に切断できる程度
の接続強度を有するため、簡単に切断することができ
る。

【００６４】次に、センサチューブ３２，３３に固定さ
れた各支持板４７〜５０に加振器３５，３６及びピック
アップ３７，３８を装着する。これで、センサチューブ
３２，３３は振動することができ、計測可能な状態とな
る。このようにして、各支持板４７〜５０がセンサチュ
ーブ３２，３３の所定位置に正確に固定されるため、各
コイル３５ａ，３６ａ，３７ａ，３８ａと各磁石３５
ｂ，３６ｂ，３７ｂ，３８ｂとの各相対位置は、取付後
も維持される。

【００６５】図１０は本発明の第３実施例の斜視図であ
る。質量流量計６１の本体６１Ａは両端部にフランジ６
１ａ，６１ｂを有し、一方のフランジ６１ａは上流側配
管（図示せず）に接続され、他方のフランジ６１ｂは下
流側配管（図示せず）に接続されている。

【００６６】また、本体５１Ａの両端部には、流入口
（図１０では隠れて見えない）と流出口６２とが穿設さ
れており、本体６１Ａの内部は仕切板６１ｃ，６１ｄに
より仕切られている。センサチューブ６３，６４は夫々
Ｕ字状に形成され、一端が流入口に連通し、他端が流出
口６２に連通するように本体５１Ａの外周に接続されて
いる。

【００６７】センサチューブ６３，６４間のＵ字状湾曲
部６３ａ，６４ａの中央位置には、センサチューブ６
３，６４をＹ方向に加振するための加振器ユニット６５
が取り付けられている。また、センサチューブ６３，６
４間のＵ字状湾曲部に接続されたセンサチューブ６３，
６４の直管部６３ｂ，６４ｂ，６３ｃ，６４ｃの先端に
はピックアップユニット６６，６７が設けられている。
また、直管部６３ｂ，６４ｂ，６３ｃ，６４ｃに基端部
分は、サポート板６８により保持されている。

【００６８】加振器ユニット６５の加振器及び、ピック
アップユニット６６，６７のピックアップは、夫々セン
サチューブ６３，６４に固定された支持板６９，７０に
より支持されている。尚、加振器ユニット６５及びピッ
クアップユニット６６，６７は、前述した第１実施例の
ものと同様な構成であり、支持板６９，７０も前述した
第１実施例の支持板２３，２４と同様な構成である。

【００６９】図１１は加振器ユニット６５及びピックア
ップユニット６６，６７の構成を示し、図１２は固定前
の支持板６９，７０の接続状態を示す。尚、加振器ユニ
ット６５及びピックアップユニット６６，６７は第１実
施例のものと同様なため、加振器ユニット６５及びピッ
クアップユニット６６，６７の説明は省略する。

【００７０】固定前の支持板６９，７０は、１枚の板７
１よりなり、接続部７２ａ〜７２ｄにより互いに一体に
接続されている。この接続部７２ａ〜７２ｄは、板７１
に一対の溝７４，７５を設けることにより、支持板６
９，７０間に位置するように形成される。

【００７１】また、溝７４，７５間には、支持板６９，
７０間に位置する接続板７６が形成される。従って、支
持板６９側の接続部７２ａ，７２ｂと支持板７０側の接
続部７２ｃ，７２ｄとの間は、接続板７６により連結さ
れる。そして、各接続部７２ａ〜７２ｄは、支持板６
９，７０がセンサチューブ７，８に固定された後に切断
される。そのため、センサチューブ６３，６４に固定さ
れた支持板６９，７０は、接続部７２ａ〜７２ｄが切断
されることにより、図１１に示される状態に分離され
る。

【００７２】接続部７２ａ〜７２ｄは、支持板６９，７
０間の両側の周縁部分に位置するように設けられ、且つ
その接続強度は板厚ｔ，幅ａ，長さｂにより支持板６
９，７０間を保持するのに充分な強度を有すると共に、
支持板６９，７０がセンサチューブ６３，６４に固定さ
れた後はニッパ又はペンチ等の手動工具を使用して容易
に切断することができる程度の大きさに設定されてい
る。

【００７３】上記支持板６９，７０の取り付け方法は、
前述した第１実施例と同様であり、各支持板６９，７０
は各接続部７２ａ〜７２ｄにより一体に接続された状態
のまま センサチューブ６３，６４の所定位置に正確に
に固定される。また、各接続部７２ａ〜７２ｄは、支持
板６９，７０の周縁部近傍に位置すると共に、ニッパ又
はペンチ等の手動工具を使用して容易に切断できる程度
の接続強度を有するため、簡単に切断することができ
る。従って、切断後各コイル６５ａ，６６ａ，６７ａ及
び磁石６５ｂ，６６ｂ，６７ｂが支持板６９，７０に取
り付けられる。

【００７４】これで、センサチューブ６３，６４は振動
することができ、計測可能な状態となる。このようにし
て、各支持板６９，７０がセンサチューブ６３，６４の
所定位置に正確に固定されるため、コイル６５ａ，６６
ａ，６７ａと磁石６５ｂ，６６ｂ，６７ｂとの各相対位
置は、支持板６９，７０がセンサチューブ６３，６４に
固定された後も維持される。

【００７５】尚、振動式密度計の場合は上記第１乃至第
３実施例の質量流量計と同様な構成であるので、その説
明は省略する。振動式密度計の場合、センサチューブの
固有振動数が流体の密度によって変化することを利用し
て密度を測定するようになっており、上記高調波成分の
ノイズを除去することにより密度測定がより正確に行え
る。

【００７６】

【発明の効果】上述の如く、上記請求項１の発明によれ
ば、各支持板の一部分が接続部により接続され、各支持
板が各センサチューブの直管部分に固定された後に接続
部が切断されるため、各支持板が互いに規制し合うこと
により各支持板をセンサチューブに固定するまでに各支
持板の相対位置が維持される。そのため、従来のように
複数の支持板をセンサチューブに固定する際に支持板が
所定位置からずれることがない。しかも、各支持板をセ
ンサチューブに固定した後も複数の支持板の相対位置が
所定位置に保持されるため、センサチューブを振動させ
る計測時に加振器やピックアップの計測動作のばらつき
を抑制することができる。

【００７７】また、請求項２によれば、接続部が各支持
板の周縁部近傍に設けられているため、各支持板がセン
サチューブに固定された後、接続部を切断しやすく、作
業性を良好にしうる。また、請求項３によれば、接続部
が手動工具により切断しうる程度の接続強度を有するた
め、複数の支持板がセンサチューブに固定された後、接
続部を容易に切断することができる。

【００７８】また、請求項４によれば、加振器又はピッ
クアップが取り付けられる各支持板間の一部分を接続部
により接続させた状態でセンサチューブの直管部分を接
続された支持板に挿通し、その後接続された支持板をセ
ンサチューブの直管部分に固定し、次いで各支持板間を
接続する接続部を切断するため、各支持板をセンサチュ
ーブに固定するまでに各支持板の相対位置がずれること
を防止できると共に、各支持板をセンサチューブに固定
した後も各支持板の相対位置が所定位置に保持されて加
振器やピックアップの計測動作のばらつきを抑制するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる振動式測定装置の第１実施例のコ
リオリ式質量流量計を示す縦断面図である。

【図２】加振器ユニット，ピックアップユニットを支持
する支持板の構成を示す図である。

【図３】センサチューブに固定される前の一体化された
支持板を示す平面図である。

【図４】各支持板をセンサチューブに固定する取付作業
の工程図である。

【図５】各支持板間の接続部を切断する作業の工程図で
ある。

【図６】各支持板に加振器、ピックアップを取り付ける
作業の工程図である。

【図７】本発明の第２実施例の斜視図である。

【図８】第２実施例の計測ユニットを示す図である。

【図９】計測ユニットの支持板が一体化された状態を示
す平面図である。

【図１０】本発明の第３実施例の斜視図である。

【図１１】加振器ユニット，ピックアップユニットを支
持する支持板の構成を示す図である。

【図１２】センサチューブに固定される前の一体化され
た支持板を示す平面図である。

【符号の説明】

１，３１，６１ 質量流量計 ７，８，３２，３３，６３，６４ センサチューブ １３，１４，４３〜４６，６９，７０ 支持板 １９，６５ 加振器ユニット ２０，２１，６６，６７ ピックアップユニット ２５ａ〜２５ｄ，５７〜６０，７２ａ〜７２ｄ 接続部 ３５，３６ 加振器 ３７，３８ ピックアップ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測流体が流れる複数のセンサチューブ
   の互いに平行に延在する直管部分に加振器又はピックア
   ップを支持する支持板を夫々固定し、該加振器により加
   振された各センサチューブの相対変位を該ピックアップ
   により検出する振動式測定装置において、 前記各支持板は一部分が接続部により互いに接続され、 前記接続部は、前記各支持板が前記センサチューブの直
   管部分に固定された後に切断可能に設けられていること
   を特徴とする振動式測定装置。
2. 【請求項２】 前記接続部は、前記第１，第２の支持板
   の周縁部近傍に設けられたことを特徴とする請求項１の
   振動式測定装置。
3. 【請求項３】 前記接続部は、手動工具により切断しう
   る程度の接続強度を有することを特徴とする請求項１の
   振動式測定装置。
4. 【請求項４】 加振器又はピックアップが取り付けられ
   る各支持板の一部分を接続部により接続させた状態でセ
   ンサチューブの直管部分を該接続された支持板に挿通
   し、その後前記接続された支持板をセンサチューブの直
   管部分に固定し、次いで前記各の支持板間を接続する前
   記接続部を切断することを特徴とする振動式測定装置の
   製造方法。