JPH08222530A - 冷凍チャックテーブル - Google Patents
冷凍チャックテーブルInfo
- Publication number
- JPH08222530A JPH08222530A JP4484795A JP4484795A JPH08222530A JP H08222530 A JPH08222530 A JP H08222530A JP 4484795 A JP4484795 A JP 4484795A JP 4484795 A JP4484795 A JP 4484795A JP H08222530 A JPH08222530 A JP H08222530A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- freezing
- chuck table
- suction
- frozen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 水を供給して凍らせる必要がなく、ウェーハ
を吸引した状態で凍結し固定出来るようにした、ダイシ
ング装置の冷凍チャックテーブルを提供する。 【構成】 半導体ウェーハを保持しダイシングを遂行す
るダイシング装置のチャックテーブルにおいて、このチ
ャックテーブルはウェーハを吸引保持する吸引部と、こ
の吸引部に保持されたウェーハを冷凍し固定する冷凍部
と、を少なくとも含む。吸引部はポーラス部材で構成さ
れ、冷凍部は熱電素子で構成される。
を吸引した状態で凍結し固定出来るようにした、ダイシ
ング装置の冷凍チャックテーブルを提供する。 【構成】 半導体ウェーハを保持しダイシングを遂行す
るダイシング装置のチャックテーブルにおいて、このチ
ャックテーブルはウェーハを吸引保持する吸引部と、こ
の吸引部に保持されたウェーハを冷凍し固定する冷凍部
と、を少なくとも含む。吸引部はポーラス部材で構成さ
れ、冷凍部は熱電素子で構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイシング装置の冷凍
チャックテーブルに関するものである。
チャックテーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ダイシング装置は、例えば図５に示すよ
うにカセット載置領域Ａに載置されたカセットＣ内から
搬出入手段Ｂにより半導体ウェーハＷ（粘着テープＮを
介してフレームＳに固定されている）を待機領域Ｄに搬
出し、旋回アームを有する搬送手段ＥにてウェーハＷを
チャックテーブルＴに搬送する。このチャックテーブル
Ｔに吸引保持されたウェーハＷは、横移動されてアライ
メント手段Ｆに位置付けられ、アライメントされた後に
回転ブレードを有する切削手段Ｇによって切削される。
ウェーハＷの切削時には、従来切削水を供給して回転ブ
レードを冷やすようにしているが、その冷却効果を高め
ると共に多量の切削水を供給せずに済むようにしたダイ
シング装置が知られている（例えば特開平１−１８８３
０８号公報）。
うにカセット載置領域Ａに載置されたカセットＣ内から
搬出入手段Ｂにより半導体ウェーハＷ（粘着テープＮを
介してフレームＳに固定されている）を待機領域Ｄに搬
出し、旋回アームを有する搬送手段ＥにてウェーハＷを
チャックテーブルＴに搬送する。このチャックテーブル
Ｔに吸引保持されたウェーハＷは、横移動されてアライ
メント手段Ｆに位置付けられ、アライメントされた後に
回転ブレードを有する切削手段Ｇによって切削される。
ウェーハＷの切削時には、従来切削水を供給して回転ブ
レードを冷やすようにしているが、その冷却効果を高め
ると共に多量の切削水を供給せずに済むようにしたダイ
シング装置が知られている（例えば特開平１−１８８３
０８号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のダイシング
装置は、氷の上にウェーハを固定してダイシングするも
のであるが、水を供給して凍らせる方式であるため装置
が複雑となり、水が凍ってからでないとウェーハを固定
出来ない不便があり、時間が掛かって非能率的であり作
業上厄介な点もある。本発明は、水を供給して凍らせる
ことなく、ウェーハを吸引した状態で凍結し固定出来る
ようにした、ダイシング装置の冷凍チャックテーブルを
提供することを課題とする。
装置は、氷の上にウェーハを固定してダイシングするも
のであるが、水を供給して凍らせる方式であるため装置
が複雑となり、水が凍ってからでないとウェーハを固定
出来ない不便があり、時間が掛かって非能率的であり作
業上厄介な点もある。本発明は、水を供給して凍らせる
ことなく、ウェーハを吸引した状態で凍結し固定出来る
ようにした、ダイシング装置の冷凍チャックテーブルを
提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の手段として、本発明は、半導体ウェーハを保持しダイ
シングを遂行するダイシング装置のチャックテーブルに
おいて、このチャックテーブルはウェーハを吸引保持す
る吸引部と、この吸引部に保持されたウェーハを冷凍し
固定する冷凍部と、を少なくとも含む冷凍チャックテー
ブルを要旨とする。更に、吸引部はポーラス部材で構成
されており、冷凍部は熱電素子で構成されていることを
要旨とする。
の手段として、本発明は、半導体ウェーハを保持しダイ
シングを遂行するダイシング装置のチャックテーブルに
おいて、このチャックテーブルはウェーハを吸引保持す
る吸引部と、この吸引部に保持されたウェーハを冷凍し
固定する冷凍部と、を少なくとも含む冷凍チャックテー
ブルを要旨とする。更に、吸引部はポーラス部材で構成
されており、冷凍部は熱電素子で構成されていることを
要旨とする。
【０００５】
【作 用】チャックテーブルの吸引部でウェーハを吸引
保持すると共に、熱電素子を有する冷凍部でそのウェー
ハを短時間で冷凍し固定することが出来る。
保持すると共に、熱電素子を有する冷凍部でそのウェー
ハを短時間で冷凍し固定することが出来る。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１は第１実施例を示すもので、１はチャッ
クテーブル本体であり、(イ) 、(ロ)に示すように上面開
口部にはポーラス部材からなる吸引部２が設けられ、そ
の吸引部２にはペルチェ等の熱電素子からなる冷凍部３
が配設されている。更に、チャックテーブル本体１の開
口縁部には吸引孔からなる吸引部２′と、ペルチェ等の
熱電素子からなる冷凍部３とが一定の間隔をあけて交互
に配設されている。
詳説する。図１は第１実施例を示すもので、１はチャッ
クテーブル本体であり、(イ) 、(ロ)に示すように上面開
口部にはポーラス部材からなる吸引部２が設けられ、そ
の吸引部２にはペルチェ等の熱電素子からなる冷凍部３
が配設されている。更に、チャックテーブル本体１の開
口縁部には吸引孔からなる吸引部２′と、ペルチェ等の
熱電素子からなる冷凍部３とが一定の間隔をあけて交互
に配設されている。
【０００７】このように形成されたチャックテーブルＴ
1 は、前記のように搬送手段ＥによりフレームＳ付きの
ウェーハＷが搬送されると吸引部２、２′で吸引保持す
ると共に、冷凍部３により冷却してウェーハＷを冷凍し
固定する。この場合、ウェーハＷを吸引保持すると同時
に冷凍部３のペルチェ等の熱電素子を作動させて短時間
で冷凍し固定出来るので、作業上極めて能率的である。
1 は、前記のように搬送手段ＥによりフレームＳ付きの
ウェーハＷが搬送されると吸引部２、２′で吸引保持す
ると共に、冷凍部３により冷却してウェーハＷを冷凍し
固定する。この場合、ウェーハＷを吸引保持すると同時
に冷凍部３のペルチェ等の熱電素子を作動させて短時間
で冷凍し固定出来るので、作業上極めて能率的である。
【０００８】チャックテーブルＴ1 上に冷凍固定された
ウェーハＷは、前記のようにアライメント手段Ｆの真下
に位置付けられてアライメントされ、その後切削手段Ｇ
の回転ブレードによりダイシングされる。
ウェーハＷは、前記のようにアライメント手段Ｆの真下
に位置付けられてアライメントされ、その後切削手段Ｇ
の回転ブレードによりダイシングされる。
【０００９】回転ブレードは冷凍したウェーハＷを切削
するので、摩擦熱が未然に防止されて冷却効果が高くな
り、ブレードの寿命を延ばすと共に切削抵抗が小となっ
てウェーハＷのチッピングを減少させることが出来る。
するので、摩擦熱が未然に防止されて冷却効果が高くな
り、ブレードの寿命を延ばすと共に切削抵抗が小となっ
てウェーハＷのチッピングを減少させることが出来る。
【００１０】図２は本発明の第２実施例を示すもので、
(イ) 、(ロ) に示すようにチャックテーブル本体１１の上
面板１１ａに多数の小孔からなる吸引部１２を形成する
と共に、上面板１１ａの裏側にペルチェ等の熱電素子か
らなる冷凍部１３を、前記吸引部１２を塞がないように
して配設してある。
(イ) 、(ロ) に示すようにチャックテーブル本体１１の上
面板１１ａに多数の小孔からなる吸引部１２を形成する
と共に、上面板１１ａの裏側にペルチェ等の熱電素子か
らなる冷凍部１３を、前記吸引部１２を塞がないように
して配設してある。
【００１１】このように構成されたチャックテーブルＴ
2 も、前記チャックテーブルＴ1 と同様にフレーム付き
のウェーハＷを吸引部１２で吸引保持すると共に、冷凍
部１３により冷却してウェーハＷを冷凍し固定すること
が出来る。ウェーハＷを吸引保持すると同時に短時間に
冷凍固定出来るので、作業上極めて能率的である。
2 も、前記チャックテーブルＴ1 と同様にフレーム付き
のウェーハＷを吸引部１２で吸引保持すると共に、冷凍
部１３により冷却してウェーハＷを冷凍し固定すること
が出来る。ウェーハＷを吸引保持すると同時に短時間に
冷凍固定出来るので、作業上極めて能率的である。
【００１２】前記チャックテーブル本体１１の上面板１
１ａに、ウェーハＷのストリート（切断ライン）に合わ
せて溝（図示せず）を設けておけば、その溝に回転ブレ
ードの刃先を逃がすことによってウェーハＷを完全切断
することが出来る。ウェーハＷの凍結状態が維持される
ので、切断されたチップはばらばらにならず、粘着テー
プＮを介してフレームＳに固定していないウェーハでも
完全切断が可能である。
１ａに、ウェーハＷのストリート（切断ライン）に合わ
せて溝（図示せず）を設けておけば、その溝に回転ブレ
ードの刃先を逃がすことによってウェーハＷを完全切断
することが出来る。ウェーハＷの凍結状態が維持される
ので、切断されたチップはばらばらにならず、粘着テー
プＮを介してフレームＳに固定していないウェーハでも
完全切断が可能である。
【００１３】図３は本発明の第３実施例を示すもので、
チャックテーブル本体２１の上面板２１ａに多数の小孔
からなる吸引部２２を形成すると共に、上面板２１ａの
裏側に冷凍部２３を、前記吸引部２２を塞がないように
して配設してある。但し、この場合冷凍部２３はペルチ
ェ等の熱電素子から構成されておらず、各冷凍部２３に
接続する供給管２４を前記チャックテーブル本体２１内
に設け、Ｎ2 等の適宜の冷却媒体を供給することによ
り、上面板２１ａに吸引保持したウェーハＷを冷凍し固
定出来るようにしてある。
チャックテーブル本体２１の上面板２１ａに多数の小孔
からなる吸引部２２を形成すると共に、上面板２１ａの
裏側に冷凍部２３を、前記吸引部２２を塞がないように
して配設してある。但し、この場合冷凍部２３はペルチ
ェ等の熱電素子から構成されておらず、各冷凍部２３に
接続する供給管２４を前記チャックテーブル本体２１内
に設け、Ｎ2 等の適宜の冷却媒体を供給することによ
り、上面板２１ａに吸引保持したウェーハＷを冷凍し固
定出来るようにしてある。
【００１４】このように構成されたチャックテーブルＴ
3 は、前記のチャックテーブルＴ1、Ｔ2 と同様にウェ
ーハＷを吸引保持すると同時に短時間にて冷凍し固定す
ることが出来る。
3 は、前記のチャックテーブルＴ1、Ｔ2 と同様にウェ
ーハＷを吸引保持すると同時に短時間にて冷凍し固定す
ることが出来る。
【００１５】図４は本発明の第４実施例を示すもので、
チャックテーブルＴ4 は下部テーブル３１と、この下部
テーブル３１に着脱可能に形成された上部テーブル４１
とから構成されている。前記下部テーブル３１は、前記
上部テーブル４１を着脱するための嵌合部３１ａを有
し、その嵌合部の底板には複数の孔から成る吸引部３２
が形成されている。一方、上部テーブル４１は、上面板
４１ａに多数の小孔からなる吸引部４２が形成されると
共に、上面板４１ａの裏側にペルチェ等の熱電素子から
なる冷凍部４３が前記吸引部４２を塞がないようにして
配設され、更に底板の中央部には前記下部テーブル３１
の中央の通孔３１ｂと連通させるための係合孔４１ｂが
設けられている。
チャックテーブルＴ4 は下部テーブル３１と、この下部
テーブル３１に着脱可能に形成された上部テーブル４１
とから構成されている。前記下部テーブル３１は、前記
上部テーブル４１を着脱するための嵌合部３１ａを有
し、その嵌合部の底板には複数の孔から成る吸引部３２
が形成されている。一方、上部テーブル４１は、上面板
４１ａに多数の小孔からなる吸引部４２が形成されると
共に、上面板４１ａの裏側にペルチェ等の熱電素子から
なる冷凍部４３が前記吸引部４２を塞がないようにして
配設され、更に底板の中央部には前記下部テーブル３１
の中央の通孔３１ｂと連通させるための係合孔４１ｂが
設けられている。
【００１６】このように構成されたチャックテーブルＴ
4 は、上部テーブル４１の上にウェーハＷを載置して下
部テーブル３１側から吸引すると、下部テーブル３１の
吸引部３２により上部テーブル４１が前記嵌合部３１ａ
に吸引固定されると共に、上部テーブル４１は吸引部４
２によりウェーハＷを吸引固定し、更に前記冷凍部４３
により短時間で冷凍し固定することが出来る。
4 は、上部テーブル４１の上にウェーハＷを載置して下
部テーブル３１側から吸引すると、下部テーブル３１の
吸引部３２により上部テーブル４１が前記嵌合部３１ａ
に吸引固定されると共に、上部テーブル４１は吸引部４
２によりウェーハＷを吸引固定し、更に前記冷凍部４３
により短時間で冷凍し固定することが出来る。
【００１７】ウェーハＷのダイシング後に下部テーブル
３１側の吸引を解除すると、上部テーブル４１を下部テ
ーブル３１の嵌合部３１ａから外すことが出来る。従っ
て、ダイシングされたウェーハを凍結状態のままで上部
テーブル４１と一緒に次工程まで搬送することが出来
る。この場合、前記と同様に上部テーブル４１の上面板
４１ａにウェーハＷのストリートに合わせて溝（図示せ
ず）を設け、ウェーハＷの完全切断が出来るように構成
することが可能であり、切断されたチップは凍結状態が
維持されるのでばらばらにならない。
３１側の吸引を解除すると、上部テーブル４１を下部テ
ーブル３１の嵌合部３１ａから外すことが出来る。従っ
て、ダイシングされたウェーハを凍結状態のままで上部
テーブル４１と一緒に次工程まで搬送することが出来
る。この場合、前記と同様に上部テーブル４１の上面板
４１ａにウェーハＷのストリートに合わせて溝（図示せ
ず）を設け、ウェーハＷの完全切断が出来るように構成
することが可能であり、切断されたチップは凍結状態が
維持されるのでばらばらにならない。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
チャックテーブルの吸引部でウェーハを吸引保持すると
共に、冷凍部でそのウェーハを短時間で冷凍し固定する
ので、水を供給して凍結させる方式に比して装置が簡単
となり、水が凍るのを待つ必要がないので短時間で済
み、作業が能率的である等の優れた効果を奏する。又、
ウェーハを吸引した状態で凍結固定出来るのでウェーハ
の平坦性が確保出来、凍結により切削水の節減が図れ、
チッピングを減少させ、テープレス切削が可能になる等
の効果を奏する。
チャックテーブルの吸引部でウェーハを吸引保持すると
共に、冷凍部でそのウェーハを短時間で冷凍し固定する
ので、水を供給して凍結させる方式に比して装置が簡単
となり、水が凍るのを待つ必要がないので短時間で済
み、作業が能率的である等の優れた効果を奏する。又、
ウェーハを吸引した状態で凍結固定出来るのでウェーハ
の平坦性が確保出来、凍結により切削水の節減が図れ、
チッピングを減少させ、テープレス切削が可能になる等
の効果を奏する。
【図１】 本発明の第１実施例を示すもので、(イ) はそ
の縦断面図、(ロ) は平面図である。
の縦断面図、(ロ) は平面図である。
【図２】 本発明の第２実施例を示すもので、(イ) はそ
の縦断面図、(ロ) は平面図である。
の縦断面図、(ロ) は平面図である。
【図３】 本発明の第３実施例を示す縦断面図である。
【図４】 本発明の第４実施例を示す縦断面図である。
【図５】 従来のダイシング装置の説明図である。
１…チャックテーブル本体 ２…吸引部 ３…冷凍
部 １１…チャックテーブル本体 １１ａ…上面板 １
２…吸引部 １３…冷凍部 ２１…チャックテーブル本体 ２１ａ…上面板 ２
２…吸引部 ２３…冷凍部 ２４…供給管 ３１…下部テーブル ３１ａ…嵌合部 ３１ｂ…通
孔 ３２…吸引部 ４１…上部テーブル ４１ａ…上面板 ４１ｂ…係
合孔 ４２…吸引部 ４３…冷凍部
部 １１…チャックテーブル本体 １１ａ…上面板 １
２…吸引部 １３…冷凍部 ２１…チャックテーブル本体 ２１ａ…上面板 ２
２…吸引部 ２３…冷凍部 ２４…供給管 ３１…下部テーブル ３１ａ…嵌合部 ３１ｂ…通
孔 ３２…吸引部 ４１…上部テーブル ４１ａ…上面板 ４１ｂ…係
合孔 ４２…吸引部 ４３…冷凍部
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体ウェーハを保持しダイシングを遂
行するダイシング装置のチャックテーブルにおいて、こ
のチャックテーブルはウェーハを吸引保持する吸引部
と、この吸引部に保持されたウェーハを冷凍し固定する
冷凍部と、を少なくとも含む冷凍チャックテーブル。 - 【請求項２】 吸引部はポーラス部材で構成されてお
り、冷凍部は熱電素子で構成されている、請求項１記載
の冷凍チャックテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4484795A JPH08222530A (ja) | 1995-02-09 | 1995-02-09 | 冷凍チャックテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4484795A JPH08222530A (ja) | 1995-02-09 | 1995-02-09 | 冷凍チャックテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08222530A true JPH08222530A (ja) | 1996-08-30 |
Family
ID=12702880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4484795A Pending JPH08222530A (ja) | 1995-02-09 | 1995-02-09 | 冷凍チャックテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08222530A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100882557B1 (ko) * | 2001-10-18 | 2009-02-12 | 가부시기가이샤 디스코 | 판형물 지지 방법 |
| JP2009147073A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハ加工装置 |
| JP2011243867A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Lintec Corp | 支持装置および支持方法、ならびに、シート貼付装置および貼付方法 |
| JP2016157732A (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | 防衛装備庁長官 | 冷凍ピンチャック装置および冷凍ピンチャック方法 |
-
1995
- 1995-02-09 JP JP4484795A patent/JPH08222530A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100882557B1 (ko) * | 2001-10-18 | 2009-02-12 | 가부시기가이샤 디스코 | 판형물 지지 방법 |
| JP2009147073A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハ加工装置 |
| JP2011243867A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Lintec Corp | 支持装置および支持方法、ならびに、シート貼付装置および貼付方法 |
| JP2016157732A (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | 防衛装備庁長官 | 冷凍ピンチャック装置および冷凍ピンチャック方法 |
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